JPH10235558A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、半導体ウェーハを研磨する研磨装置
に関し、ターンテーブルのチャックテーブルを回転駆動
させるために必要なケーブルの配線方法を改善すること
にある。 【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル１２
と、該チャックテーブルが２以上配設されたターンテー
ブル１０と、該チャックテーブルに被加工物を搬出入す
る被加工物搬出入領域と、該チャックテーブルに保持さ
れた被加工物を研磨する研磨領域と、を少なくとも含
み、該ターンテーブルは、チャックテーブルを被加工物
搬出入領域と研磨領域とに位置付ける研磨装置１Ａであ
って、該研磨領域の下部には、該ターンテーブルの回転
によって位置付けられたチャックテーブルに回転力を伝
達する駆動手段が配設されており、該チャックテーブル
と該駆動手段とはクラッチ手段３０，３１によって着脱
することとした研磨装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハを
研磨する研磨装置に係り、詳しくは研磨装置におけるタ
ーンテーブルの支持構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体ウェーハのウェーハメイキ
ングにおいてはその両面が平坦面になるように研磨さ
れ、ＩＣ等の回路が形成されているウェーハにおいては
該回路が形成されていない裏面側が放熱効果を高めるた
め薄く研磨される。

【０００３】その半導体ウェーハを研磨するための研磨
装置１の要部の概略構成とその作用を説明すると、図１
３に示すように、水平状態に置かれる作業テーブル２
と、該作業テーブル２上に起立して設けられた支持部材
３と、該支持部材３に上下方向に並列して摺動自在に設
けられたスライド板４，４を介して取り付けられた一対
の砥石用駆動部５，５と、該砥石用駆動部５の下部に突
出した回転軸６に取り付けられたホイールベース７と、
該ホイールベース７に取り付けられた研磨用の砥石８
と、前記スライド板４，４を各々摺動させる移動用駆動
部９，９と、が装備されている。

【０００４】また、前記作業テーブル２上には、円盤状
で回転自在なターンテーブル１０が配設され、該ターン
テーブル１０は、作業テーブル２の内側にあるターンテ
ーブル回転手段で、その周方向に９０度または１８０度
の回転に選択されて反復回転される。

【０００５】更に、前記ターンテーブル１０のテーブル
上には、半導体ウェーハ１１を吸着・支持するチャック
テーブル１２が、周方向に９０度の均等配置で４箇所に
配設され、各々のチャックテーブル１２がターンテーブ
ル１０に対して回転自在となっている。

【０００６】前記チャックテーブル１２を自転させるチ
ャックテーブル回転手段である駆動部が該チャックテー
ブル１２の下に配設され、ターンテーブル１０に付随し
て回転される。なお、ターンテーブル１０において、前
記駆動部５，５に対峙するチャックテーブル１２，１２
を含むテーブルの略半分を研磨領域Ａと言い、残りのテ
ーブルの半分を被加工物搬出入領域Ｂと言う。

【０００７】前記作業テーブル２上には、前記ターンテ
ーブル１０のウェーハ搬出入領域Ｂにおけるチャックテ
ーブル１２，１２に各々対応して、一対のセンター合わ
せテーブル１３，１３が設けられるとともに、該センタ
ー合わせテーブル１３，１３とチャックテーブル１２，
１２との間に、一対の搬出入手段である搬出アーム１
４，１４が設けられている。

【０００８】前記センター合わせテーブル１３，１３の
後方位置の作業テーブル２上に、半導体ウェーハ１１を
収納・貯蔵するカセット１６が合計４個載置されてい
る。更に、前記各カセット１６の開口部から略等距離に
して、該カセット１６に収納された半導体ウェーハ１１
を取り出したり、逆に、半導体ウェーハ１１をカセット
１６に収納したりするロボットアーム１７が作業テーブ
ル２に設けられている。なお、符号１５は半導体ウェー
ハ１１の仮受け台を示しており、ウェーハ１１の搬送に
おいて適宜使用される。

【０００９】このような研磨装置１によって、カセット
１６からロボットアーム１７によって半導体ウェーハ１
１を取り出してセンター合わせテーブル１３に載置し、
搬出アーム１４で被加工物搬出入領域Ｂにおけるチャッ
クテーブル１２に前記半導体ウェーハ１１を搬出して、
当該チャックテーブル１２に半導体ウェーハ１１を吸着
・支持させる。そして、前記チャックテーブル１２が研
磨領域Ａにターンテーブル１０によって位置付けられ、
該半導体ウェーハ１１がホイールベース７と対峙し砥石
８によって所定厚さに研磨されるものである。

【００１０】また、図１４に示すように、ターンテーブ
ル１０に２個のチャックテーブル１２を備えて、そのタ
ーンテーブル１０の回転方法やチャックテーブル１２の
回転方法は概ね前記研磨装置１と同様に構成されてい
て、半導体ウェーハ１１を薄く研磨する１種類研磨専用
の研磨装置１Ａも知られている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記研
磨装置１，１Ａにおけるターンテーブル１０には、前記
チャックテーブル回転手段における駆動モータ，該チャ
ックテーブル１２の傾きを調整する調整用駆動モータ，
その他のチャックテーブル回転検出用のセンサー等が付
随して設けられ、装置の框体側からこれらに電気的接続
を図る電気ケーブルが配線されている。

【００１２】よって、ターンテーブル１０の反復回転の
際に、そのターンテーブル１０に付随して前記駆動モー
タ等が一緒に反復回転されてしまうので、これらに接続
されている前記電気ケーブルが框体側からよじれて引き
回され、その結果ターンテーブルの周辺に設置されてい
る機器に絡みついたり、それらの機器を損傷させたり、
場合によっては当該電気ケーブルが断線されたりするお
それがある。このように、従来の研磨装置における、タ
ーンテーブル側に設けられたチャックテーブルの駆動
部，チャックテーブル傾き調整装置の駆動部，センサー
等には、電気配線の引き回しに解決しなければならない
課題がある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明に係る研磨装置の
上記課題を解決するための要旨は、被加工物を保持する
チャックテーブルと、該チャックテーブルが２以上配設
されたターンテーブルと、該チャックテーブルに被加工
物を搬出入する被加工物搬出入領域と、該チャックテー
ブルに保持された被加工物を研磨する研磨領域と、を少
なくとも含み、該ターンテーブルは、チャックテーブル
を被加工物搬出入領域と研磨領域とに位置付ける研磨装
置であって、該研磨領域の下部には、該ターンテーブル
の回転によって位置付けられたチャックテーブルに回転
力を伝達する駆動手段が配設されており、該チャックテ
ーブルと該駆動手段とはクラッチ手段によって着脱する
ことである。

【００１４】また、前記被加工物搬出入領域の下部に
は、ターンテーブルの回転によって位置付けられたチャ
ックテーブルに回転力を伝達する駆動手段が配設されて
おり、該チャックテーブルと該駆動手段とはクラッチ手
段によって着脱すること、；前記クラッチ手段は、駆動
手段の上部に配設された回転力伝達板と、チャックテー
ブルの下部に配設された被回転力伝達板とを含み、該回
転力伝達板は昇降手段によって昇状態と降状態とに位置
付けられ、昇状態の時に該被回転力伝達板と接触して回
転力を伝達し、降状態の時に離脱すること、；前記回転
力伝達板と被回転伝達板との少なくとも一方に、吸引機
能を持たせたこと、；前記駆動手段は、駆動源と、駆動
力を伝達する伝達ベルトと、該伝達ベルトが巻かれるプ
ーリー手段とからなり、前記プーリー手段には、回転伝
達板を昇降動させる昇降手段が配設されているととも
に、該回転力伝達板の表面に吸引作用を施す吸引手段が
配設されていることである。

【００１５】本発明の研磨装置によれば、ターンテーブ
ルによって公転されるチャックテーブルに対して、駆動
手段の回転力がクラッチ手段によって前記チャックテー
ブルに伝達されるので、該駆動手段は前記ターンテーブ
ルで公転されることがなく、研磨装置の框体の所定箇所
に固定されている。よって、当該駆動手段に電気的に配
線されるリード線も、前記ターンテーブルによって回転
移動されることがなく、該リード線等の配線が機器に絡
みつくおそれもなくなる。また、前記クラッチ手段に吸
引手段を付加することにより、そのクラッチ手段におけ
る回転力伝達板と被回転力伝達板とが吸着されて、確実
な回転力の伝達が遂行される。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、本発明に関し、従来技術
（図１４）と略同一の外観形状を有する研磨装置１Ａに
おいて、その要部である研磨装置１Ａにおけるターンテ
ーブルとチャックテーブル及び駆動手段について図面を
参照して説明する。なお、従来例に対応する部分には、
従来例と同一の符号を付けて説明する。

【００１７】前記研磨装置１Ａのターンテーブル１０に
備えられたチャックテーブル１２と、これを回転駆動さ
せる駆動手段の構成は、図１乃至図３に示すように、研
磨装置１Ａの框体１ｃに、ターンテーブル１０がロータ
リジョイント等の支持部材１０ｄにより回転自在に支持
されている。

【００１８】前記ターンテーブル１０は、その下部にプ
ーリ部１０ａが設けられ、そこにベルト２０が巻装され
るとともに、框体側部に配設した駆動プーリ２１に巻き
掛けられている。

【００１９】前記駆動プーリ２１は、前記框体１ｃに取
付けられたブラケット１ｄで支持されており、該駆動プ
ーリ２１の回転軸が、カップリングを介してその下部に
配設された駆動モータ２２の回転軸に連結されている。

【００２０】このターンテーブル１０には、４箇所又は
２箇所にチャックテーブル１２が回転自在にして設けら
れている。その支持方法は３点支持にして支持部が設ら
れており、そのうち２箇所の支持部では、図２乃至図３
に示すように、該支持部を上下方向に昇降させるチャッ
クテーブル傾き調整装置２３が設けられている。

【００２１】前記チャックテーブル傾き調整装置２３
は、その調整用モータを回転させてロッドを昇降させる
ことで、チャックテーブル１２の傾きを微調整するもの
である。

【００２２】また、ターンテーブル１０の周囲下側に
は、図３乃至図５に示すように、チャックテーブル用の
回転検出センサー１８，前記チャックテーブル傾き調整
装置２３の調整用モータ等に、それぞれ信号伝達や電源
供給のための電気ケーブル１９ａが配線され、併せてこ
れらに対応した電気ケーブル１９ｂが框体側からターン
テーブル１０の近傍に配線され、両者を接続するための
脱着コネクタ２７が設けられている。

【００２３】前記脱着コネクタ２７は、ターンテーブル
１０側に雌型コネクタ２４が設けられ、框体１ｃ側に雄
型コネクタ２５が設けられて、構成されている。そし
て、前記雄型コネクタ２５は、その側方近傍に併設され
ているエアーシリンダー２６のロッド２６ａにブラケッ
トを介して係合され、該ロッド２６ａの伸縮により進退
させられるようになっている。そして、このエアーシリ
ンダー２６によって前記雌型コネクタ２４と雄型コネク
タ２５との係合・脱着がなされて、前記駆動モータやセ
ンサー等への電源供給が行われたり、電源供給が遮断さ
れたりするものである。

【００２４】また、前記チャックテーブル１２の回転軸
は、前記ターンテーブル１０の貫通孔から垂下されてロ
ータリーショイント２８及びジョイント２９を介して、
框体側の支持部材で回転自在に支持された平板状のクラ
ッチプレート３０に連結される。

【００２５】前記ロータリージョイント２８は、チャッ
クテーブル傾き調整装置２３で軸心の傾きが調整される
チャックテーブル１２の回転軸と、被回転力伝達板であ
るクラッチプレート３０の回転軸との軸心ズレを吸収す
るために設けられるものである。

【００２６】前記クラッチプレート３０の詳細は、図６
に示すように、例えば、ステンレス等の金属製で円盤状
のフランジ部３０ａと、それと一体に設けた軸部３０ｂ
と、フランジ部３０ａの表面に焼付け手段で貼着したゴ
ム板３０ｃ（例えば、ニトリルゴム、その他のゴムの弾
性体で、硬度が約７０程度）とから構成されている。

【００２７】前記軸部３０ｂの中央部には、クラッチ連
結時の軸心位置決め用の位置決め孔３０ｄが穿設されて
いる。また、この軸部３０ｂの側周面の一部に、キー溝
３０ｅが設けられている。

【００２８】前記クラッチプレート３０の真下には、互
いの軸心を合わせるようにして、昇降自在な回転力伝達
板であるクラッチプレート３１が、クラッチ面を対向さ
せ対峙するようにして設けられている。

【００２９】このクラッチプレート３１の詳細は、図７
乃至図８に示すように、金属製の例えばステンレス製で
あって、全体が円盤状で前記クラッチプレート３０とほ
ぼ同じ直径の大きさに形成され、そのクラッチ面側の中
央部には、後述の位置決めピン３２を嵌合・固定するた
めの凹状の台座３１ａが設けられ、更に軸心に対して同
心円状に吸引溝３１ｂ，３１ｃが設けられ、該吸引溝３
１ｂ，３１ｃを互いに連通させる連通溝３１ｄが所望箇
所に設けられている。

【００３０】前記吸引溝３１ｂ，３１ｃの凹状の形状
は、図示したものに限らず、例えば、Ｕ字状，Ｖ字状，
半円形状，等にしたり、その溝数等も任意に設定できる
ものである。前記連通溝３１ｄについても、その形状，
数についても図示したものに限らず種々設定できるもの
である。また、前記台座３１ａの底面に設けられた４個
のネジ孔３１ｅは、後述の位置決めピン３２をボルトで
ネジ止めするために設けたものである。

【００３１】前記クラッチプレート３１のクラッチ面と
反対側のボス部３１ｆには、前記台座３１ａに貫通する
軸嵌合孔３１ｇが設けられ、その側面には、軸嵌合孔３
１ｇに挿入される、後述のスプライン軸３５をボルトで
締結して締め付け固定するための、貫通孔３１ｉ，ネジ
孔３１ｈ，締付け用の切欠き３１ｊが、図７及び図９に
示すように、それぞれ設けられている。

【００３２】クラッチプレート３１の台座３１ａに収納
され固定される位置決めピン３２は、図１０乃至図１１
に示すように、略円錐状の尖塔部３２ａとフランジ部３
２ｂと軸部３２ｃとからなり、金属製で例えばステンレ
ス製で形成されている。

【００３３】そして、前記尖塔部３２ａの基部の側面か
ら中心を通る吸引用の吸引孔３２ｄが貫通して設けら
れ、該吸引孔３２ｄに連通するように、軸部３２ｃの軸
心に沿って下端面に開口する連通孔３２ｅが穿設されて
いる。

【００３４】また、前記フランジ部３２ｂには、ボルト
を挿通させその頭部の台座となる取付孔３２ｆが、前記
クラッチプレート３１における台座３１ａのネジ孔３１
ｅに各々対応して、４箇所で同心円状に配設されてい
る。

【００３５】前記軸部３２ｃの下部外周面には、周方向
に沿って凹溝３２ｇが設けられ、この凹溝３２ｇにゴム
製のＯリング３４を嵌着することで、後述のスプライン
軸３５と当該軸部３２ｃとの嵌合における気密性を保つ
ようになっている。

【００３６】前記クラッチプレート３０，３１及び位置
決めピン３２は、図１２に示すように、軸心を揃えて配
置されるものである。

【００３７】前記回転伝達板であるクラッチプレート３
１を回転させる駆動手段は、図１乃至図３に示すよう
に、研磨装置１Ａの框体１ｃの側部に固定して設けられ
た駆動源である電動モータ３６と、その電動モータ３６
の駆動力を伝達する伝達ベルト３７，３８と、該伝達ベ
ルト３８が巻かれるプーリー手段３９とからなる。

【００３８】前記プーリ手段３９は、框体１ｃに固着さ
れているボールスプライン軸受け４０と、この軸受け４
０に挿通されて回転自在に支持され、かつ、上下方向に
スライド自在なスプライン軸３５と、該スプライン軸３
５を回転させるプーリ４１と、前記スプライン軸３５の
下部に連結されたロータリージョイント４２と、該ロー
タリージョイント４２を介してスプライン軸３５を上下
方向に昇降させる昇降手段のエアーシリンダー４３と、
前記ロータリージョイント４２に一端が接続された吸引
管４４とからなる。

【００３９】前記スプライン軸３５は、外周面に軸心方
向に平行な複数本の溝が設けられており、該軸３５が挿
通される前記ボールプスライン軸受け４０に対してスラ
イド自在となっている。

【００４０】また、軸３５の先端部が、クラッチプレー
ト３１の台座３１ａに固定された位置決めピン３２に軸
止めされることで該クラッチプレート３１を支持し、且
つ、この軸の軸心に沿って中央に吸引用中空孔３５ａ
（図１０参照）が設けられ、位置決めピン３２の連通孔
３２ｅと連通して吸引作用するようになっている。

【００４１】前記エアーシリンダー４３は、框体１ｃ側
に取付けられた水平支持部材４５に固定されている。ま
た、前記吸引管４４の一端が、框体１ｃの内部に備えら
れたバキューム装置（図示せず）に連結されている。

【００４２】前記バキューム装置の吸引路は、前記吸引
管４４からロータリージョイント４２，スプライン軸３
５の吸引用中空孔３５ａ，位置決めピン３２の連通孔３
２ｅ及び吸引孔３２ｄ、そして、クラッチプレート３１
の吸引溝３１ｂ，連通溝３１ｄ，吸引溝３１ｃへと到る
ものである。

【００４３】そして、クラッチプレート３０，３１が当
接された際に、前記バキューム装置が稼働して、前記吸
引溝３１ｂ，３１ｃ内部の空気が前記吸引路を通って排
出されて吸引機能が発揮され、両クラッチプレート３
０，３１が強固に吸着されるものである。

【００４４】以上のようにしてチャックテーブル１２を
回転させる駆動手段及びクラッチ手段が構成され、研磨
装置１Ａにおける研磨領域Ａまたは被加工物搬出入領域
Ｂにの下に設けられるものである。また、前記クラッチ
手段における吸引機能は、被回転伝達板のクラッチプレ
ート３０側に設ける様にしても良いものである。

【００４５】このような研磨装置１Ａによれば、図１乃
至図２に示すように、駆動モータ２２の回転によって駆
動プーリ２１，ベルト２０を介して、ターンテーブル１
０が、９０度または１８０度のインデックス回転し、研
磨領域Ａ若しくは被加工物搬出入領域Ｂにチャックテー
ブル１２を位置付ける。

【００４６】前記ターンテーブル１０の回転停止後に、
昇降手段のエアーシリンダー４３が稼働してそのロッド
が伸張し、ボールスプライン軸受け４０に対してスライ
ド自在なスプライン軸３５を押し上げる。

【００４７】そして、このスプライン軸３５の先端に支
持されたクラッチプレート３１を、位置決めピン３２を
クラッチプレート３０の位置決め孔３０ｄに嵌合させて
位置合わせをしつつ、当該クラッチプレート３０に当接
させて昇状態にする。

【００４８】この昇状態になると、バキューム装置が稼
働して、前記吸引管４４からクラッチプレート３１の吸
引溝３１ｂ，３１ｃの内部の空気が排出されて真空状態
となり、クラッチプレート３０，３１が吸着される。

【００４９】そして、電動モータ３６が回転すると、伝
達ベルト３７，３８を介してプーリ手段のプーリ４１と
前記スプライン軸３５とが回転し、更にクラッチプレー
ト３１が回転する。

【００５０】前記クラッチプレート３１の回転により、
これに吸着されたクラッチプレート３０も回転し、ロー
タリージョイント２８を介してチャックテーブル１２が
回転する。そして、このチャックテーブル１２上に載置
された半導体ウェーハ１１が研磨作用されるものであ
る。

【００５１】また、前記ターンテーブル１０がインデッ
クス回転され、その回転が停止され位置決めされた後
に、図４に示すように、脱着コネクタ２７においてエア
ーシリンダー２６が稼働し、框体１ｃ側の雄型コネクタ
２５がターンテーブル１０側の雌型コネクタ２４に嵌合
されて、電気ケーブル１９ａ，１９ｂが電気的に導通
し、チャックテーブル用の回転検出センサー１８やチャ
ックテーブル傾き調整装置２３の調整用モータが稼働可
能状態になる。

【００５２】このように、チャックテーブル１２は、框
体１ｃ側に設けられた駆動手段の回転伝達力をクラッチ
手段により回転され、ターンテーブル１０側には当該チ
ャックテーブル１２を回転させる駆動モータが設けられ
ていないので、框体１ｃ側からターンテーブル１０側へ
電気ケーブルを配線する必要が無くなって、ターンテー
ブル１０の反復回転に伴う、電気ケーブルの周囲機器へ
の絡みつきが解消されるものである。

【００５３】また、ターンテーブル１０側に設けられる
センサー等への信号伝達方法やモータ等への電源供給方
法は、前記着脱自在な脱着コネクタ２７によって電気的
接続が適宜に遂行されるので、框体側からターンテーブ
ル側へ直接的に電気ケーブルや信号用リード線を配線す
る必要がなく、ターンテーブル１０の反復回転に伴う電
気ケーブルの周囲機器への絡みつきが解消されるもので
ある。

【００５４】更に、クラッチ手段に吸引機能を付加した
ことで、クラッチプレート３１の回転力が確実にクラッ
チプレート３０に伝達されるものである。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の研磨装置
は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャッ
クテーブルが２以上配設されたターンテーブルと、該チ
ャックテーブルに被加工物を搬出入する被加工物搬出入
領域と、該チャックテーブルに保持された被加工物を研
磨する研磨領域と、を少なくとも含み、該ターンテーブ
ルは、チャックテーブルを被加工物搬出入領域と研磨領
域とに位置付ける研磨装置であって、該研磨領域の下部
には、該ターンテーブルの回転によって位置付けられた
チャックテーブルに回転力を伝達する駆動手段が配設さ
れており、該チャックテーブルと該駆動手段とはクラッ
チ手段によって着脱するので、ターンテーブル側には当
該チャックテーブルを回転させる駆動手段が設けられて
いないので、框体側からターンテーブル側へ電気ケーブ
ルを配線する必要が無くなって、ターンテーブルの反復
回転に伴う、電気ケーブルの機器への絡みつきが解消さ
れるという優れた効果を奏するものである。

【００５６】前記クラッチ手段には、回転力伝達板と被
回転伝達板とを含み、その少なくとも一方に、吸引機能
を持たせたので、駆動手段からの回転力が確実にチャッ
クテーブルに伝達され、研磨作業が安定して遂行される
という優れた効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る研磨装置の要部であるチャックテ
ーブルと駆動部とを示す縦断面図である。

【図２】同本発明に係る研磨装置の要部で、図１に対し
て直交方向の縦断面図である。

【図３】同本発明に係る研磨装置における、ターンテー
ブルの平面図である。

【図４】同本発明に係る研磨装置における、ターンテー
ブルの周囲に配設される脱着コネクタの使用状態説明図
である。

【図５】同本発明に係る研磨装置における、ターンテー
ブルの周囲に配設される脱着コネクタの使用状態説明図
である。

【図６】同本発明における研磨装置の、被回転力伝達板
であるクラッチプレートの断面図である。

【図７】同本発明における研磨装置の、回転力伝達板で
あるクラッチプレートの断面図である。

【図８】同本発明における研磨装置の、回転力伝達板で
あるクラッチプレートの平面図である。

【図９】同本発明における研磨装置の、回転力伝達板で
あるクラッチプレートのボス部の底面図である。

【図１０】同本発明における研磨装置の、回転力伝達板
であるクラッチプレートに固定される位置決めピンの断
面図である。

【図１１】同本発明における研磨装置の、回転力伝達板
であるクラッチプレートに固定される位置決めピンの平
面図である。

【図１２】同本発明における研磨装置の、被回転力伝達
板と回転力伝達板と位置決めピンとの配置関係を示す説
明図である。

【図１３】従来例に係る研磨装置１の斜視図である。

【図１４】同従来例に係る研磨装置１Ａの斜視図であ
る。

【符号の説明】

１Ａ 研磨装置、１ｃ 框体、１ｄ ブラケット、１０
ターンテーブル、１０ａ プーリ部、１０ｄ 支持部
材、１２ チャックテーブル、１８ 回転検出センサ
ー、１９ａ，１９ｂ 電気ケーブル、２０ ベルト、２
１ 駆動プーリ、２２ 駆動モータ、２３ チャックテ
ーブル傾き調整装置、２４ 雌型コネクタ、２５ 雄型
コネクタ、２６ エアーシリンダー、２６ａ ロッド、
２７ 脱着コネクタ、２８ ロータリジョイント、２９
ジョイント、３０ クラッチプレート、３０ａ フラ
ンジ部、３０ｃ ゴム板、３０ｄ 位置決め孔、３１
クラッチプレート、３１ａ 台座、３１ｂ，３１ｃ 吸
引溝、３１ｄ 連通溝、３１ｆ ボス部、３１ｇ 軸嵌
合孔、３１ｉ 貫通孔、３１ｊ 切欠き、３２ 位置決
めピン、３２ａ 尖塔部、３２ｂ フランジ部、３２ｃ
軸部、３２ｄ 吸引孔、３２ｅ 連通孔、３２ｇ 凹
溝、３４ Ｏリング、３５ スプライン軸、３５ａ 吸
引用中空孔、３６ 駆動モータ、３７，３８ 伝達ベル
ト、３９ プーリ手段、４０ ボールスプライン軸受
け、４２ ロータリージョイント、４３エアーシリンダ
ー、４４ 吸引管。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被加工物を保持するチャックテーブル
   と、該チャックテーブルが２以上配設されたターンテー
   ブルと、該チャックテーブルに被加工物を搬出入する被
   加工物搬出入領域と、該チャックテーブルに保持された
   被加工物を研磨する研磨領域と、を少なくとも含み、該
   ターンテーブルは、チャックテーブルを被加工物搬出入
   領域と研磨領域とに位置付ける研磨装置であって、 該研磨領域の下部には、該ターンテーブルの回転によっ
   て位置付けられたチャックテーブルに回転力を伝達する
   駆動手段が配設されており、該チャックテーブルと該駆
   動手段とはクラッチ手段によって着脱すること、 を特徴とする研磨装置。
2. 【請求項２】 被加工物搬出入領域の下部には、ターン
   テーブルの回転によって位置付けられたチャックテーブ
   ルに回転力を伝達する駆動手段が配設されており、該チ
   ャックテーブルと該駆動手段とはクラッチ手段によって
   着脱すること、を特徴とする請求項１に記載の研磨装
   置。
3. 【請求項３】 クラッチ手段は、駆動手段の上部に配設
   された回転力伝達板と、チャックテーブルの下部に配設
   された被回転力伝達板とを含み、該回転力伝達板は昇降
   手段によって昇状態と降状態とに位置付けられ、昇状態
   の時に該被回転力伝達板と接触して回転力を伝達し、降
   状態の時に離脱すること、 を特徴とする請求項１または２に記載の研磨装置。
4. 【請求項４】 回転力伝達板と被回転伝達板との少なく
   とも一方に、吸引機能を持たせたこと、 を特徴とする請求項３に記載の研磨装置。
5. 【請求項５】 駆動手段は、駆動源と、駆動力を伝達す
   る伝達ベルトと、該伝達ベルトが巻かれるプーリー手段
   とからなり、 前記プーリー手段には、回転伝達板を昇降動させる昇降
   手段が配設されているとともに、 該回転力伝達板の表面に吸引作用を施す吸引手段が配設
   されていること、 を特徴とする請求項４に記載の研磨装置。