JPH10235488A - 三次元レーザ加工機のレーザビーム伝送方法およびその装置 - Google Patents
三次元レーザ加工機のレーザビーム伝送方法およびその装置Info
- Publication number
- JPH10235488A JPH10235488A JP9042591A JP4259197A JPH10235488A JP H10235488 A JPH10235488 A JP H10235488A JP 9042591 A JP9042591 A JP 9042591A JP 4259197 A JP4259197 A JP 4259197A JP H10235488 A JPH10235488 A JP H10235488A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- axis
- laser
- laser processing
- processing head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ加工ヘッドの移動にかかわらず高精度
のレーザ加工を行うことができるような三次元レーザ加
工機のレーザビーム伝送方法およびその装置を提供す
る。 【解決手段】 レーザ発振器５より発振されたレーザビ
ームＬＢはベンドミラーＢＭ１によりＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸
に沿ってレーザ加工ヘッド９まで伝送され、さらに、レ
ーザ加工ヘッド９のＡ軸およびＣ軸の回転中心軸方向へ
レーザビームＬＢを方向変換するベンドミラーＢＭ１、
ＢＭ２の角度を角度調整装置３９により調整して、レー
ザビームＬＢが各回転軸と平行に伝送されるようにする
ので、レーザ加工ヘッド９を回転させてもレーザビーム
ＬＢは一定の位置に伝送される。これにより、安定して
高精度のレーザ加工を行うことができる。
のレーザ加工を行うことができるような三次元レーザ加
工機のレーザビーム伝送方法およびその装置を提供す
る。 【解決手段】 レーザ発振器５より発振されたレーザビ
ームＬＢはベンドミラーＢＭ１によりＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸
に沿ってレーザ加工ヘッド９まで伝送され、さらに、レ
ーザ加工ヘッド９のＡ軸およびＣ軸の回転中心軸方向へ
レーザビームＬＢを方向変換するベンドミラーＢＭ１、
ＢＭ２の角度を角度調整装置３９により調整して、レー
ザビームＬＢが各回転軸と平行に伝送されるようにする
ので、レーザ加工ヘッド９を回転させてもレーザビーム
ＬＢは一定の位置に伝送される。これにより、安定して
高精度のレーザ加工を行うことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、三次元レーザ加
工機のレーザビーム伝送方法およびその装置に関するも
のである。
工機のレーザビーム伝送方法およびその装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、板材にレーザ加工を行う三次
元レーザ加工機においては、レーザ発振器とレーザ加工
ヘッドを備えており、通常レーザ加工ヘッドはＸ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸、およびＺ軸回りの回転であるＣ軸、上下方向
の揺動であるＡ軸、レーザビームの照射方向へのＷ軸等
の移動方向を有している。このため、レーザ発振器にお
いて発振されたレーザビームは、レーザビーム伝送装置
である複数のベンドミラーを介して前記各軸方向の移動
に対応しながらレーザ加工ヘッドに導かれ、レーザ加工
ヘッドにおいて集光レンズによりレーザビームを集光し
て板材のレーザ加工を行っている。
元レーザ加工機においては、レーザ発振器とレーザ加工
ヘッドを備えており、通常レーザ加工ヘッドはＸ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸、およびＺ軸回りの回転であるＣ軸、上下方向
の揺動であるＡ軸、レーザビームの照射方向へのＷ軸等
の移動方向を有している。このため、レーザ発振器にお
いて発振されたレーザビームは、レーザビーム伝送装置
である複数のベンドミラーを介して前記各軸方向の移動
に対応しながらレーザ加工ヘッドに導かれ、レーザ加工
ヘッドにおいて集光レンズによりレーザビームを集光し
て板材のレーザ加工を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の技術にあっては、レーザ加工ヘッドをＡ軸方
向へ回転させた時に、Ａ軸の回転中心軸とレーザビーム
が平行でない場合には、集光レンズに導かれるレーザビ
ームの方向が変化してしまう。これに伴ってレーザビー
ムの芯がずれるので、切断不良を生じたり、加工精度不
良となったりするという問題がある。このようにレーザ
ビームがＡ軸の回転中心軸と平行にならない場合として
は、Ｚ軸コラムとレーザ加工ヘッドとの取付面が傾いて
いる場合や、レーザ加工ヘッドへ導かれたレーザビーム
をＡ軸回転軸方向へ方向変換させるベンドミラーの角度
がずれている場合等が考えられる。しかも、この各度が
ずれないようにレーザ加工ヘッドの上面をＺ軸コラムの
下面に取付ける際にはシビアな精度を出すように取付け
ている。同様にＡ軸ベンドミラーを取付ける際にはシビ
アな精度を出すように取付けている。
うな従来の技術にあっては、レーザ加工ヘッドをＡ軸方
向へ回転させた時に、Ａ軸の回転中心軸とレーザビーム
が平行でない場合には、集光レンズに導かれるレーザビ
ームの方向が変化してしまう。これに伴ってレーザビー
ムの芯がずれるので、切断不良を生じたり、加工精度不
良となったりするという問題がある。このようにレーザ
ビームがＡ軸の回転中心軸と平行にならない場合として
は、Ｚ軸コラムとレーザ加工ヘッドとの取付面が傾いて
いる場合や、レーザ加工ヘッドへ導かれたレーザビーム
をＡ軸回転軸方向へ方向変換させるベンドミラーの角度
がずれている場合等が考えられる。しかも、この各度が
ずれないようにレーザ加工ヘッドの上面をＺ軸コラムの
下面に取付ける際にはシビアな精度を出すように取付け
ている。同様にＡ軸ベンドミラーを取付ける際にはシビ
アな精度を出すように取付けている。
【０００４】この発明の目的は、以上のような従来の技
術に着目してなされたものであり、レーザ加工ヘッドの
移動にかかわらず高精度のレーザ加工を行うことができ
るような三次元レーザ加工機のレーザビーム伝送方法お
よびその装置を提供することにある。
術に着目してなされたものであり、レーザ加工ヘッドの
移動にかかわらず高精度のレーザ加工を行うことができ
るような三次元レーザ加工機のレーザビーム伝送方法お
よびその装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１による発明の三次元レーザ加工機のレー
ザビーム伝送方法は、レーザ発振器により発振されたレ
ーザビームを複数のベンドミラーにより方向変換して三
次元的に移動するレーザ加工ヘッドに伝送し、レーザ加
工ヘッドに設けられているノズルからワークにレーザビ
ームを照射することによりレーザ加工を行う三次元レー
ザ加工機のレーザビーム伝送方法において、前記レーザ
ビームをレーザ加工ヘッドのＡ軸回転軸方向およびＣ軸
回転軸方向へ反射せしめるベンドミラーの角度を調整し
て、前記レーザ加工ヘッドを各回転軸回りに回転させた
時のレーザビームの照射点がノズルの中心に略一点とな
るようにレーザビームを各回転軸に平行に伝送するこ
と、を特徴とするものである。
めに、請求項１による発明の三次元レーザ加工機のレー
ザビーム伝送方法は、レーザ発振器により発振されたレ
ーザビームを複数のベンドミラーにより方向変換して三
次元的に移動するレーザ加工ヘッドに伝送し、レーザ加
工ヘッドに設けられているノズルからワークにレーザビ
ームを照射することによりレーザ加工を行う三次元レー
ザ加工機のレーザビーム伝送方法において、前記レーザ
ビームをレーザ加工ヘッドのＡ軸回転軸方向およびＣ軸
回転軸方向へ反射せしめるベンドミラーの角度を調整し
て、前記レーザ加工ヘッドを各回転軸回りに回転させた
時のレーザビームの照射点がノズルの中心に略一点とな
るようにレーザビームを各回転軸に平行に伝送するこ
と、を特徴とするものである。
【０００６】従って、レーザ発振器により発振されたレ
ーザビームは複数のベンドミラーによりＸ軸、Ｙ軸、Ｚ
軸に沿ってレーザ加工ヘッドまで伝送される。さらに、
レーザ加工ヘッドのＡ軸およびＣ軸の回転中心軸方向へ
レーザビームを方向変換するＡ軸およびＣ軸ベンドミラ
ーの角度を調整して、レーザビームが各回転軸と平行に
伝送されるようにする。
ーザビームは複数のベンドミラーによりＸ軸、Ｙ軸、Ｚ
軸に沿ってレーザ加工ヘッドまで伝送される。さらに、
レーザ加工ヘッドのＡ軸およびＣ軸の回転中心軸方向へ
レーザビームを方向変換するＡ軸およびＣ軸ベンドミラ
ーの角度を調整して、レーザビームが各回転軸と平行に
伝送されるようにする。
【０００７】請求項２による発明の三次元レーザ加工機
のレーザビーム伝送装置は、レーザ発振器により発振さ
れたレーザビームを複数のベンドミラーにより方向変換
して三次元的に移動するレーザ加工ヘッドに伝送し、レ
ーザ加工ヘッドに設けられているノズルからワークにレ
ーザビームを照射することによりレーザ加工を行う三次
元レーザ加工機であって、前記レーザ加工ヘッドをＡ軸
回転軸およびＣ軸回転軸回りに回転させた時のレーザビ
ームの照射点がノズルの中心に略一点となるように調整
すべく、前記レーザビームをレーザ加工ヘッドのＡ軸回
転軸方向へ方向変換するＡ軸ベンドミラーおよびＣ軸回
転軸方向へ方向変換するＣ軸ベンドミラーにそれぞれ角
度調整装置を設けてなること、を特徴とするものであ
る。
のレーザビーム伝送装置は、レーザ発振器により発振さ
れたレーザビームを複数のベンドミラーにより方向変換
して三次元的に移動するレーザ加工ヘッドに伝送し、レ
ーザ加工ヘッドに設けられているノズルからワークにレ
ーザビームを照射することによりレーザ加工を行う三次
元レーザ加工機であって、前記レーザ加工ヘッドをＡ軸
回転軸およびＣ軸回転軸回りに回転させた時のレーザビ
ームの照射点がノズルの中心に略一点となるように調整
すべく、前記レーザビームをレーザ加工ヘッドのＡ軸回
転軸方向へ方向変換するＡ軸ベンドミラーおよびＣ軸回
転軸方向へ方向変換するＣ軸ベンドミラーにそれぞれ角
度調整装置を設けてなること、を特徴とするものであ
る。
【０００８】従って、レーザ発振器により発振されたレ
ーザビームは複数のベンドミラーによりＸ軸、Ｙ軸、Ｚ
軸に沿ってレーザ加工ヘッドまで伝送される。さらに、
レーザ加工ヘッドのＡ軸およびＣ軸の回転中心軸方向へ
レーザビームを方向変換するＡ軸およびＣ軸ベンドミラ
ーの角度を角度調整装置により調整して、レーザビーム
が各回転軸と平行に伝送されるようにする。
ーザビームは複数のベンドミラーによりＸ軸、Ｙ軸、Ｚ
軸に沿ってレーザ加工ヘッドまで伝送される。さらに、
レーザ加工ヘッドのＡ軸およびＣ軸の回転中心軸方向へ
レーザビームを方向変換するＡ軸およびＣ軸ベンドミラ
ーの角度を角度調整装置により調整して、レーザビーム
が各回転軸と平行に伝送されるようにする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態の例
を図面に基づいて説明する。
を図面に基づいて説明する。
【００１０】図１には、この発明に係るレーザビーム伝
送装置１を用いた三次元レーザ加工機３の全体が示され
ている。この三次元レーザ加工機３では、図示省略のレ
ーザ電源から電力が供給されてレーザビームＬＢを発振
するレーザ発振器５と、このレーザ発振器５からのレー
ザビームＬＢを加工位置まで伝送するレーザビーム伝送
装置１、およびワークにレーザ加工を行うべく先端にノ
ズル７（図２参照）を備えたレーザ加工ヘッド９等を有
している。
送装置１を用いた三次元レーザ加工機３の全体が示され
ている。この三次元レーザ加工機３では、図示省略のレ
ーザ電源から電力が供給されてレーザビームＬＢを発振
するレーザ発振器５と、このレーザ発振器５からのレー
ザビームＬＢを加工位置まで伝送するレーザビーム伝送
装置１、およびワークにレーザ加工を行うべく先端にノ
ズル７（図２参照）を備えたレーザ加工ヘッド９等を有
している。
【００１１】図２および図３を併せて参照するに、レー
ザ加工ヘッド９は上端に設けられているヘッド取付面１
１ＵがＺ軸コラム１３の下端に設けられているヘッド取
付面１１Ｌに取付けられている。このＺ軸コラム１３
は、Ｘ軸方向へ移動自在のキャレッジにおいてＹ軸方向
へ移動自在のＹ軸キャレッジ１７にＺ軸方向へ移動自在
に設けられている。
ザ加工ヘッド９は上端に設けられているヘッド取付面１
１ＵがＺ軸コラム１３の下端に設けられているヘッド取
付面１１Ｌに取付けられている。このＺ軸コラム１３
は、Ｘ軸方向へ移動自在のキャレッジにおいてＹ軸方向
へ移動自在のＹ軸キャレッジ１７にＺ軸方向へ移動自在
に設けられている。
【００１２】再び図１に戻って、このような三次元レー
ザ加工機３におけるレーザビーム伝送装置１では、レー
ザ発振器５から発振されたレーザビームＬＢはベンドミ
ラーＢＭ１を有するＹ軸方向へ移動自在なＹ軸キャレッ
ジ１７が設けられている。
ザ加工機３におけるレーザビーム伝送装置１では、レー
ザ発振器５から発振されたレーザビームＬＢはベンドミ
ラーＢＭ１を有するＹ軸方向へ移動自在なＹ軸キャレッ
ジ１７が設けられている。
【００１３】このＹ軸キャレッジ１７内部においてＺ軸
方向へ上下移動するＺ軸コラム１３の下側に取付けられ
ているレーザ加工ヘッド９には、前記第１ベンドミラー
ＢＭ１からのレーザビームＬＢを水平方向へ方向変換す
る第２ベンドミラーＢＭ２（Ａ軸ベンドミラー）、およ
びこの第２ベンドミラーＢＭ２からのレーザビームＬＢ
を下方へ方向変換して集光レンズ２５に導く第３ベンド
ミラーＢＭ３が設けられている。
方向へ上下移動するＺ軸コラム１３の下側に取付けられ
ているレーザ加工ヘッド９には、前記第１ベンドミラー
ＢＭ１からのレーザビームＬＢを水平方向へ方向変換す
る第２ベンドミラーＢＭ２（Ａ軸ベンドミラー）、およ
びこの第２ベンドミラーＢＭ２からのレーザビームＬＢ
を下方へ方向変換して集光レンズ２５に導く第３ベンド
ミラーＢＭ３が設けられている。
【００１４】図４および図５に基づいて、Ｃ軸回りおよ
びＡ軸回りの回転時におけるレーザビームＬＢのアライ
メント方法の原理について説明する。
びＡ軸回りの回転時におけるレーザビームＬＢのアライ
メント方法の原理について説明する。
【００１５】まず、レーザ加工ヘッド９をＣ軸回りに９
０度づつ回転させながら、芯出しと同様の方法でノズル
７の穴２７の中心２７ＣとレーザビームＬＢの芯の位置
を確認する。Ｃ軸の回転軸とレーザビームＬＢが平行で
ない場合には、図４に示されるように、０度回転位置の
レーザビームＬＢの照射点２９、９０度回転照射点３
１、１８０度照射点３３、２７０度照射点３５等は、ば
らついて存在し同一点に集中しない。
０度づつ回転させながら、芯出しと同様の方法でノズル
７の穴２７の中心２７ＣとレーザビームＬＢの芯の位置
を確認する。Ｃ軸の回転軸とレーザビームＬＢが平行で
ない場合には、図４に示されるように、０度回転位置の
レーザビームＬＢの照射点２９、９０度回転照射点３
１、１８０度照射点３３、２７０度照射点３５等は、ば
らついて存在し同一点に集中しない。
【００１６】この場合には、Ｃ軸方向回転の中心軸と平
行な方向へレーザビームＬＢを方向変換するための第１
ベンドミラーＢＭ１の角度を適当な方向へ調整する。こ
のとき、レーザビームＬＢが照射する点のばらつきが大
きくなる場合には、調整方向が逆なので反対方向へ第１
ベンドミラーＢＭ１を調整し、図５に示されているよう
に、レーザビームＬＢの照射点３７がノズル７の穴２７
の略中央の一点に集まるように調整する。このように調
整された場合には、レーザ加工ヘッド９をＣ軸方向へ回
転してもレーザビームＬＢは常に一点に照射されること
となるので、レーザビームＬＢはＣ軸の回転軸と平行な
方向へ照射されていることがわかる。
行な方向へレーザビームＬＢを方向変換するための第１
ベンドミラーＢＭ１の角度を適当な方向へ調整する。こ
のとき、レーザビームＬＢが照射する点のばらつきが大
きくなる場合には、調整方向が逆なので反対方向へ第１
ベンドミラーＢＭ１を調整し、図５に示されているよう
に、レーザビームＬＢの照射点３７がノズル７の穴２７
の略中央の一点に集まるように調整する。このように調
整された場合には、レーザ加工ヘッド９をＣ軸方向へ回
転してもレーザビームＬＢは常に一点に照射されること
となるので、レーザビームＬＢはＣ軸の回転軸と平行な
方向へ照射されていることがわかる。
【００１７】同様にして、Ａ軸方向回転の中心軸と平行
な方向へレーザビームＬＢを方向変換するための第２ベ
ンドミラーＢＭ２を調整することにより、レーザ加工ヘ
ッド９をＡ軸回りに回転した場合にレーザビームＬＢが
同一点を照射するようにする。
な方向へレーザビームＬＢを方向変換するための第２ベ
ンドミラーＢＭ２を調整することにより、レーザ加工ヘ
ッド９をＡ軸回りに回転した場合にレーザビームＬＢが
同一点を照射するようにする。
【００１８】一方、図６および図７には、前述の第１ベ
ンドミラーＢＭ１および第２ベンドミラーＢＭ２に適用
できる角度調整装置３９が示されている。この角度調整
装置３９では、略三角柱状のベースブロック４１の斜面
４３に例えば第２ベンドミラーＢＭ２を張り付けたベー
スプレート４５を角度調整自在に取付けたものである。
このベースプレート４５では、スプリング４７を介して
ボルト４９により三方の隅がベースブロック４１に取付
けられており、各ボルト４９の内側近傍に角度調整ネジ
５１が設けられている。
ンドミラーＢＭ１および第２ベンドミラーＢＭ２に適用
できる角度調整装置３９が示されている。この角度調整
装置３９では、略三角柱状のベースブロック４１の斜面
４３に例えば第２ベンドミラーＢＭ２を張り付けたベー
スプレート４５を角度調整自在に取付けたものである。
このベースプレート４５では、スプリング４７を介して
ボルト４９により三方の隅がベースブロック４１に取付
けられており、各ボルト４９の内側近傍に角度調整ネジ
５１が設けられている。
【００１９】従って、角度調整ネジ５１を回すことによ
り、スプリング４７に反してあるいはスプリング４７に
より押えられてベースプレート４５の傾きが変化する。
これにより第２ベンドミラーＢＭ２の角度を調整する
が、ベースプレート４５はスプリング４７により常にベ
ースブロック４１側に押付けられているので、ガタつく
ことはない。なお、第１ベンドミラーＢＭ１についても
全く同様の角度調整装置３９を適用することができる。
り、スプリング４７に反してあるいはスプリング４７に
より押えられてベースプレート４５の傾きが変化する。
これにより第２ベンドミラーＢＭ２の角度を調整する
が、ベースプレート４５はスプリング４７により常にベ
ースブロック４１側に押付けられているので、ガタつく
ことはない。なお、第１ベンドミラーＢＭ１についても
全く同様の角度調整装置３９を適用することができる。
【００２０】以上の結果から、第１ベンドミラーＢＭ１
および第２ベンドミラーＢＭ２の角度を調整することに
より、レーザビームＬＢをＣ軸方向回転軸およびＡ軸方
向回転軸と平行に伝送することができるので、レーザ加
工ヘッド９をＡ軸回りおよびＣ軸回りに回転させた場合
にレーザビームＬＢがばらつかないようにすることがで
きる。このため、切断不良を回避して加工精度を改善す
ることができる。
および第２ベンドミラーＢＭ２の角度を調整することに
より、レーザビームＬＢをＣ軸方向回転軸およびＡ軸方
向回転軸と平行に伝送することができるので、レーザ加
工ヘッド９をＡ軸回りおよびＣ軸回りに回転させた場合
にレーザビームＬＢがばらつかないようにすることがで
きる。このため、切断不良を回避して加工精度を改善す
ることができる。
【００２１】なお、この発明は前述の実施の形態に限定
されることなく、適宜な変更を行なうことにより、その
他の態様で実施し得るものである。すなわち、前述の実
施の形態においては、Ａ軸方向回転の中心軸と平行にレ
ーザビームＬＢを伝送するために第２ベンドミラーＢＭ
２の角度調整を行う場合について説明したが、この代わ
りにＺ軸コラム１３のヘッド取付面１３Ｌに対するレー
ザ加工ヘッド９の取付面１１Ｕの角度を調整するように
しても同様の作用・効果を得ることができる。但し、こ
の場合には、取付面１３Ｌ、１１Ｕの角度調整がＣ軸の
回転軸およびＺ軸との平行度に影響を及ぼさないような
調整を行う必要がある。
されることなく、適宜な変更を行なうことにより、その
他の態様で実施し得るものである。すなわち、前述の実
施の形態においては、Ａ軸方向回転の中心軸と平行にレ
ーザビームＬＢを伝送するために第２ベンドミラーＢＭ
２の角度調整を行う場合について説明したが、この代わ
りにＺ軸コラム１３のヘッド取付面１３Ｌに対するレー
ザ加工ヘッド９の取付面１１Ｕの角度を調整するように
しても同様の作用・効果を得ることができる。但し、こ
の場合には、取付面１３Ｌ、１１Ｕの角度調整がＣ軸の
回転軸およびＺ軸との平行度に影響を及ぼさないような
調整を行う必要がある。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よる三次元レーザ加工機のレーザビーム伝送方法では、
レーザ発振器より発振されたレーザビームは複数のベン
ドミラーによりＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に沿ってレーザ加工ヘ
ッドまで伝送され、さらに、レーザ加工ヘッドのＡ軸お
よびＣ軸の回転中心軸方向へレーザビームを方向変換す
るＡ軸およびＣ軸ベンドミラーの角度を調整して、レー
ザビームが各回転軸と平行に伝送されるようにするの
で、レーザ加工ヘッドを回転させてもレーザビームは一
定の位置に伝送される。これにより、安定して高精度の
レーザ加工を行うことができる。
よる三次元レーザ加工機のレーザビーム伝送方法では、
レーザ発振器より発振されたレーザビームは複数のベン
ドミラーによりＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に沿ってレーザ加工ヘ
ッドまで伝送され、さらに、レーザ加工ヘッドのＡ軸お
よびＣ軸の回転中心軸方向へレーザビームを方向変換す
るＡ軸およびＣ軸ベンドミラーの角度を調整して、レー
ザビームが各回転軸と平行に伝送されるようにするの
で、レーザ加工ヘッドを回転させてもレーザビームは一
定の位置に伝送される。これにより、安定して高精度の
レーザ加工を行うことができる。
【００２３】請求項２の発明による三次元レーザ加工機
のレーザビーム伝送装置では、レーザ発振器により発振
されたレーザビームは複数のベンドミラーによりＸ軸、
Ｙ軸、Ｚ軸に沿ってレーザ加工ヘッドまで伝送され、さ
らに、レーザ加工ヘッドのＡ軸およびＣ軸の回転中心軸
方向へレーザビームを方向変換するＡ軸およびＣ軸ベン
ドミラーの角度を角度調整装置により調整して、レーザ
ビームが各回転軸と平行に伝送されるようにするので、
レーザ加工ヘッドを回転させてもレーザビームは一定の
位置に伝送される。これにより、安定して高精度のレー
ザ加工を行うことができる。
のレーザビーム伝送装置では、レーザ発振器により発振
されたレーザビームは複数のベンドミラーによりＸ軸、
Ｙ軸、Ｚ軸に沿ってレーザ加工ヘッドまで伝送され、さ
らに、レーザ加工ヘッドのＡ軸およびＣ軸の回転中心軸
方向へレーザビームを方向変換するＡ軸およびＣ軸ベン
ドミラーの角度を角度調整装置により調整して、レーザ
ビームが各回転軸と平行に伝送されるようにするので、
レーザ加工ヘッドを回転させてもレーザビームは一定の
位置に伝送される。これにより、安定して高精度のレー
ザ加工を行うことができる。
【図１】この発明に係る三次元レーザ加工機のレーザビ
ーム伝送装置を示す全体図である。
ーム伝送装置を示す全体図である。
【図２】図１中II方向から見たレーザ加工ヘッドの側面
図である。
図である。
【図３】図２中III 方向から見たレーザ加工ヘッドの正
面図である。
面図である。
【図４】レーザ加工ヘッドをＣ軸回りに回転させた場合
においてレーザビームがばらついている異常な状態を示
す説明図である。
においてレーザビームがばらついている異常な状態を示
す説明図である。
【図５】レーザ加工ヘッドをＣ軸回りに回転させた場合
においてレーザビームが同一点に照射されている正常な
状態を示す説明図である。
においてレーザビームが同一点に照射されている正常な
状態を示す説明図である。
【図６】ベンドミラーの角度調整装置の一例を示す断面
図である。
図である。
【図７】図６中VII 方向から見た正面図である。
１ レーザビーム伝送装置 ３ 三次元レーザ加工機 ５ レーザ発振器 ７ ノズル ９ レーザ加工ヘッド ３１〜３７ 照射点 ３９ 角度調整装置 ＢＭ１〜ＢＭ３ ベンドミラー ＬＢ レーザビーム
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ発振器より発振されたレーザビー
ムを複数のベンドミラーにより方向変換して三次元的に
移動するレーザ加工ヘッドに伝送し、レーザ加工ヘッド
に設けられているノズルからワークにレーザビームを照
射することによりレーザ加工を行う三次元レーザ加工機
のレーザビーム伝送方法において、前記レーザビームを
レーザ加工ヘッドのＡ軸回転軸方向およびＣ軸回転軸方
向へ反射せしめるベンドミラーの角度を調整して、前記
レーザ加工ヘッドを各回転軸回りに回転させた時のレー
ザビームの照射点がノズルの中心に略一点となるように
レーザビームを各回転軸に平行に伝送すること、を特徴
とする三次元レーザ加工機のレーザビーム伝送方法。 - 【請求項２】 レーザ発振器により発振されたレーザビ
ームを複数のベンドミラーにより方向変換して三次元的
に移動するレーザ加工ヘッドに伝送し、レーザ加工ヘッ
ドに設けられているノズルからワークにレーザビームを
照射することによりレーザ加工を行う三次元レーザ加工
機であって、前記レーザ加工ヘッドをＡ軸回転軸および
Ｃ軸回転軸回りに回転させた時のレーザビームの照射点
がノズルの中心に略一点となるように調整すべく、前記
レーザビームをレーザ加工ヘッドのＡ軸回転軸方向へ方
向変換するＡ軸ベンドミラーおよびＣ軸回転軸方向へ方
向変換するＣ軸ベンドミラーにそれぞれ角度調整装置を
設けてなること、を特徴とする三次元レーザ加工機のレ
ーザビーム伝送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9042591A JPH10235488A (ja) | 1997-02-26 | 1997-02-26 | 三次元レーザ加工機のレーザビーム伝送方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9042591A JPH10235488A (ja) | 1997-02-26 | 1997-02-26 | 三次元レーザ加工機のレーザビーム伝送方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10235488A true JPH10235488A (ja) | 1998-09-08 |
Family
ID=12640316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9042591A Pending JPH10235488A (ja) | 1997-02-26 | 1997-02-26 | 三次元レーザ加工機のレーザビーム伝送方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10235488A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104325225A (zh) * | 2014-10-27 | 2015-02-04 | 无锡华联精工机械有限公司 | 一种激光切割机 |
| CN109794688A (zh) * | 2019-02-20 | 2019-05-24 | 广东铭钰科技股份有限公司 | 一种可调节激光方向的激光打标装置 |
| WO2020090915A1 (ja) * | 2018-10-30 | 2020-05-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工装置 |
-
1997
- 1997-02-26 JP JP9042591A patent/JPH10235488A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104325225A (zh) * | 2014-10-27 | 2015-02-04 | 无锡华联精工机械有限公司 | 一种激光切割机 |
| CN104325225B (zh) * | 2014-10-27 | 2016-01-06 | 无锡华联精工机械有限公司 | 一种激光切割机 |
| WO2020090915A1 (ja) * | 2018-10-30 | 2020-05-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工装置 |
| JP2020069487A (ja) * | 2018-10-30 | 2020-05-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工装置 |
| CN112955272A (zh) * | 2018-10-30 | 2021-06-11 | 浜松光子学株式会社 | 激光加工装置 |
| CN109794688A (zh) * | 2019-02-20 | 2019-05-24 | 广东铭钰科技股份有限公司 | 一种可调节激光方向的激光打标装置 |
| CN109794688B (zh) * | 2019-02-20 | 2024-05-10 | 广东铭钰科技股份有限公司 | 一种可调节激光方向的激光打标装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101419336B (zh) | 一种振镜式激光三维扫描系统 | |
| CN1137011C (zh) | 激光加工装置 | |
| US8921734B2 (en) | Laser cutting machine | |
| JP2002066780A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2925835B2 (ja) | レーザ加工装置用手首構造 | |
| JP2009078288A (ja) | レーザ加工ロボット | |
| CN213318327U (zh) | 一种光束入射角可控的激光加工装置 | |
| JPH10235488A (ja) | 三次元レーザ加工機のレーザビーム伝送方法およびその装置 | |
| JPH10186215A (ja) | 高出力レーザ伝送ミラー駆動装置 | |
| JP3333679B2 (ja) | 溝切削装置及び溝切削方法 | |
| WO2021199220A1 (ja) | 刃先加工装置および切削装置 | |
| JPH11267873A (ja) | レーザ光の走査光学系及びレーザ加工装置 | |
| JP2019005802A (ja) | レーザ加工方法及びレーザ加工装置及びレーザ出射ユニット | |
| JPH08132264A (ja) | レーザ加工機 | |
| WO1991004828A1 (en) | High power, multi axis laser beam cutter with image processing monitor | |
| CN211438578U (zh) | 一种曲面切割装置 | |
| CN218976007U (zh) | 一种激光反射装置和激光器 | |
| JPS62197289A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JP2824170B2 (ja) | ロボット用レーザ加工装置 | |
| JPH11254168A (ja) | レーザ加工装置の制御方法 | |
| JP2001038484A (ja) | レーザ加工装置用出射光学系 | |
| JP2001235701A (ja) | 高速微細レーザ加工方法およびその装置 | |
| JP2001212686A (ja) | レーザ出射光学系 | |
| JPH0985470A (ja) | レーザマーキング装置 | |
| JPS6376784A (ja) | レ−ザ加工機用の回転ヘツド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 Year of fee payment: 11 |