JPH11254168A - レーザ加工装置の制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】レーザ加工装置の走査光学系の駆動を制御する
ための装置を汎用のロボットコントローラを用いて構成
することを可能とする。 【解決手段】集束位置を多軸ロボットのツール中心点と
し、光軸を伸縮する間節とし、走査光学系を回転する間
節として所望の位置にビームを集束してレーザ加工を行
う装置において、走査光学系に等価な多関節ロボットモ
デルを想定し、この多関節ロボットモデルに基づく同次
変換行列から各関節の変位量を求め、該変位量に基づい
て前記走査光学系を構成する各ミラーの変位量を求め
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ発振器か
ら出射されたレーザ光を加工ヘッドに導入し、被加工物
に前記レーザ光を走査させて加工を行うレーザ加工装置
に適用して好適なレーザ加工装置の制御方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、被加工物に対して溶接を行う
装置として、抵抗溶接装置が用いられている。この抵抗
溶接装置は、一般に、溶接チップを備える一対のガンア
ームで被加工物を挟み、前記溶接チップ間に印加される
電圧によって前記被加工物に対して溶接を行うように構
成されている。

【０００３】ところで、この抵抗溶接装置においては、
溶接作業時に溶接チップが被加工物に直接接触している
ため、前記溶接チップに劣化が生じやすく、該溶接チッ
プの交換に要する費用によってメンテナンスのコストが
高騰するという問題が指摘されている。

【０００４】また、前記ガンアームを被加工物の配置位
置に変位させるためには、該ガンアームが取り付けられ
ている、例えば、多関節ロボットを駆動する必要がある
ため、この多関節ロボットの駆動に要する時間によっ
て、溶接作業の時間的効率が低下するおそれがある。

【０００５】そこで、近年、この種の抵抗溶接装置に代
えて、切断装置等としても利用可能なレーザ加工装置の
導入が望まれている。レーザ加工装置は、レーザ発振器
から出射されたレーザビームを加工ヘッドに導入し、こ
の加工ヘッドに配設されている焦点距離調節手段と走査
手段を介して前記被加工物に前記レーザ光を集束させる
ように構成されている。そして、このレーザ加工装置に
よれば、被加工物に対して非接触で溶接を行うことがで
きるため、前記被加工物との接触によって装置が劣化す
ることがない。また、前記焦点距離調節手段並びに走査
手段を微少に変位させることによって、前記被加工物に
おけるレーザビームの照射位置を移動させることができ
るため、溶接時間の短縮が実現される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レーザ
加工装置の制御を行う場合、光学的幾何学計算によって
前記焦点距離調節手段および走査手段の変位量を求める
必要があり、溶接装置としてこのレーザ加工装置を用い
た場合、該レーザ加工装置を駆動するためのコントロー
ラを新たに構成する必要がある。このため、汎用のロボ
ットコントローラを用いることができず、レーザ加工装
置を構成するための費用が高騰するという問題が認識さ
れている。

【０００７】この発明は、このような課題を考慮してな
されたものであり、汎用のロボットコントローラを用い
てレーザ加工装置を構成することを可能とするレーザ加
工装置の制御方法を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明では、集束位置
の座標から集束光学系の光軸長と走査光学系の走査角度
を求める際に、前記集束位置を多軸ロボットのツール中
心点とし、前記光軸を伸縮する関節とし、前記走査光学
系を回転する関節として求めるようにしている。

【０００９】このため、集束光学系並びに走査光学系を
多軸ロボットとみなして該集束光学系の光軸長と走査光
学系の走査角度を求めることができる。従って、汎用の
ロボットコントローラを用いて前記集束光学系並びに走
査光学系の駆動制御装置を構成することが可能となる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
１〜図５を参照しながら説明する。

【００１１】まず、本実施の形態に係る制御方法が適用
されるレーザ加工装置の構成について簡単に説明する。

【００１２】図１および図２に示すように、レーザ加工
装置１０は、被加工物１２に対してレーザ光Ｌを照射
し、該被加工物１２に、例えば、溶接加工、切断加工等
の加工を施すための装置であり、該レーザ加工装置１０
の加工ヘッド５２には、レーザ発振器５０から出射され
たレーザ光Ｌを前記被加工物１２の加工点ＴＣＰに集束
させるための走査光学系５６が配設されている。この場
合、この走査光学系５６には集束光学系も含まれている
ものとする。

【００１３】この走査光学系５６は、図１に示すよう
に、光学定盤１２０を含み、この光学定盤１２０上には
放物面ミラー１２２が固定されている。図２にも示すよ
うに、レーザ発振器５０から走査光学系５６に導入され
たレーザ光Ｌは、放物面ミラー１２２によって反射され
た後、一旦、集束され、その後、広がり、焦点調節用モ
ータ１０３により矢印Ｐ方向または矢印Ｑ方向に同時に
移動する、それぞれが平面ミラーである焦点調節用ミラ
ー１２４、１２６で順次反射されて光路を変更され、楕
円面ミラー１２８に導入される。

【００１４】楕円面ミラー１２８に導入されたレーザ光
Ｌは、この楕円面ミラー１２８により反射されて再び集
束が開始され、Ｘ軸モータ１０１によりＸ軸１２９を中
心に矢印方向に回動される平面ミラーであるＸ軸走査ミ
ラー１３１で反射された後、Ｙ軸モータ１０２によりＹ
軸１３０を中心に矢印方向に回動される平面ミラーであ
るＹ軸走査ミラー１３２によって反射され、光学定盤１
２０の開口部１３４を通じて加工ヘッド５２から出射さ
れて、被加工物１２上の加工点ＴＣＰで集束される。加
工点ＴＣＰが焦点となるように焦点調節用ミラー１２
４、１２６の位置が焦点調節用モータ１０３により調整
される。この実施の形態の走査光学系５６において、Ｙ
軸走査ミラー１３２から加工点ＴＣＰまでの焦点距離調
節範囲は、約５０ｃｍ〜１３０ｃｍである（例えば、こ
の出願人の出願に係る特開平９−１９２８６８号公報参
照）。

【００１５】なお、図２に示す位置において、Ｙ軸走査
ミラー１３２が回動されたとき、加工点ＴＣＰは紙面の
略奥行き方向に移動し、Ｘ軸走査ミラー１３１が回動さ
れたとき、加工点ＴＣＰは紙面と略平行する略左右方向
に移動する。この走査時に、同時に、被加工物１２の加
工面上に焦点である加工点ＴＣＰが一致するように、焦
点調節用ミラー１２４、１２６の位置が調節される。

【００１６】次に、走査光学系５６（Ｘ軸走査ミラー１
３１、Ｙ軸走査ミラー１３２、並びに焦点調節用ミラー
１２４、１２６）の駆動を制御するための計算モデルに
ついて説明する。

【００１７】本実施の形態においては、前記走査光学系
５６を多関節ロボットに置き換えて計算モデルを求め
る。

【００１８】図３に示すように、ロボットモデル２００
は、前記走査光学系５６における各ミラーに対応する回
転関節と、レーザ光Ｌの光路（光軸長）に対応するアー
ムと、該アームの長さを前記レーザ光Ｌの光路長に応じ
て調節する伸縮関節とから構成されている。

【００１９】即ち、このロボットモデル２００は、図３
中、起点ＣからＸ軸に沿って延びる第１アーム２０２を
有し、この第１アーム２０２は、第１伸縮関節２０４に
よって伸縮される。また、前記第１アーム２０２には第
２アーム２０５が接続されている。前記第２アーム２０
５には、Ｚ軸を中心に回転する第１回転関節２０６を介
して第３アーム２０８が連結される。この場合、該第３
アーム２０８は、前記第１回転関節２０６の回転に伴っ
て、ＸＹ平面に沿い、且つ、Ｙ軸に対して所定角度傾斜
した方向に指向するとともに、該第３アーム２０８に設
けられた第２伸縮関節２１０によって伸縮される。

【００２０】前記第３アーム２０８は、同じ支点を有す
る固定直角関節２１２、第２回転関節２１４、第３回転
関節２１６並びに第４回転関節２１８を介して第４アー
ム２２０に連結される。即ち、この第４アーム２２０
は、前記固定直角関節２１２によってＺ軸に沿った方向
に指向するとともに、第２回転関節２１４によってＺ軸
を中心に所定角度回転される。さらに、前記第４アーム
２２０は、第３回転関節２１６の回転に伴って、ＹＺ平
面に沿い、且つ、Ｚ軸から所定角度傾斜した方向に指向
するとともに、第４回転関節２１８の回転に伴って、Ｘ
軸に平行し、前記Ｚ軸から所定角度傾斜した平面に沿
い、且つ、前記Ｚ軸から所定角度傾斜した方向に対して
さらに所定角度傾斜した方向に指向する。

【００２１】第４アーム２２０には第３伸縮関節２２２
が設けられ、該第４アーム２２０はこの第３伸縮関節２
２２によって伸縮される。

【００２２】この場合、前記起点Ｃは、放物面ミラー１
２２で反射されたレーザ光Ｌが一旦集束される点（焦点
であり、該焦点の符号もＣとする。図２参照）に対応す
る。そして、前記第１アーム２０２は、前記焦点Ｃから
楕円面ミラー１２８までの光路に対応し、前記第２アー
ム２０５は、前記楕円面ミラー１２８からＸ軸走査ミラ
ー１３１までの光路に対応し、前記第３アーム２０８
は、前記Ｘ軸走査ミラー１３１からＹ軸走査ミラー１３
２までの光路に対応し、前記第４アーム２２０は、前記
Ｙ軸走査ミラー１３２から加工点ＴＣＰまでの光路に対
応している（図２並びに図３参照）。即ち、前記第４ア
ーム２２０の先端部がロボットモデル２００のツール中
心点（Tool Center Point ）となる。

【００２３】また、第１回転関節２０６はＸ軸走査ミラ
ー１３１に対応し、第３回転関節２１６はＹ軸走査ミラ
ー１３２に対応している。ただし、レーザ光Ｌの入射角
度と出射角度との関係から、前記Ｘ軸走査ミラー１３１
並びにＹ軸走査ミラー１３２の回転角度は、それぞれ前
記第１回転関節２０６並びに第３回転関節２１６の回転
角度の２分の１である。

【００２４】固定直角関節２１２は、レーザ光ＬがＹ軸
走査ミラー１３２において略Ｚ軸方向に反射されること
に対応して設けられ、第２回転関節２１４は、第１回転
関節２０６の回転に伴って前記第３回転関節２１６に生
じる回転軸の傾きを打ち消すために設けられ、第４回転
関節２１８は、Ｘ軸走査ミラー１３１が回転してＹ軸走
査ミラー１３２に対するレーザ光Ｌの入射角度が変化し
たときに該Ｙ軸走査ミラー１３２からの出射角度も同様
に変化することに対応して設けられている。即ち、第２
回転関節２１４および第４回転関節２１８は、第１回転
関節２０６と同角度回転される（後記の表１参照）。

【００２５】さらに、第１伸縮関節２０４は、焦点調節
用ミラー１２４、１２６の変位に対応して設けられ、第
２伸縮関節２１０は、Ｘ軸走査ミラー１３１の回転に伴
って該Ｘ軸走査ミラー１３１からＹ軸走査ミラー１３２
までのレーザ光Ｌの光路長が変化することに対応して設
けられ、第３伸縮関節２２２は、前記焦点調節用ミラー
１２４、１２６の変位に伴って前記Ｙ軸走査ミラー１３
２から加工点ＴＣＰまでのレーザ光Ｌの光路長（即ち、
焦点距離）が変化することに対応して設けられている。
ただし、前記焦点調節用ミラー１２４、１２６の変位量
は、第１伸縮関節２０４の変位量の２分の１である。

【００２６】次に、ロボットモデル２００の各関節に座
標系を設定する手順について説明する。この場合、ロボ
ットモデル２００全体の基準となる座標系は、第１回転
関節２０６（Ｘ軸走査ミラー１３１）の中心を原点とし
て定められるものとする。即ち、加工点ＴＣＰの座標は
前記基準となる座標系に基づいて求められる。

【００２７】まず、Ｚｎ軸（この場合、ｎ＝０〜７）を
各関節の軸に沿って定める。

【００２８】第１回転関節２０６の中心を原点として、
該原点から前記第１回転関節２０６の回転軸に沿って延
びる軸をＺ０軸として定める。そして、第３アーム２０
８の指向方向に沿って、原点を前記Ｚ０軸と同じとする
Ｚ１軸を定め、次いで、固定直角関節２１２の軸（Ｚ１
軸と同じ方向）を前記第３アーム２０８の先端を原点と
するＺ２軸として定める。同様に、前記第３アーム２０
８の先端を原点として該原点から第２回転関節２１４の
回転軸に沿って延びる軸をＺ３軸、前記原点から第３回
転関節２１６の回転軸に沿って延びる軸をＺ４軸、前記
原点から第４回転関節２１８の回転軸に沿って延びる軸
をＺ５軸、前記原点から第４アーム２２０の指向方向に
沿って延びる軸ををＺ６軸として定める。さらに、前記
第４アーム２２０の先端部（加工点ＴＣＰ）を原点と
し、且つ、第４アーム２２０の指向方向に沿って延びる
軸をＺ７軸として定める。

【００２９】前記Ｚｎ軸を定めた後、該Ｚｎ軸とＺｎ−
１軸との共通の法線をＸｎ軸として定める。まず、Ｚ７
軸とＺ６軸との共通の法線をＸ７軸として定め、次い
で、Ｚ６軸とＺ５軸との共通の法線をＸ６軸として定
め、以下、同様に、Ｘ５〜Ｘ０軸を順次定める。

【００３０】このようにして、Ｚｎ軸とＸｎ軸とから座
標系Σｎが設定される。

【００３１】次に、前記座標系Σｎに対するリンクパラ
メータを求める手順について説明する。

【００３２】

【表１】

【００３３】表１に示すように、リンクパラメータは、
座標系ΣｎのＺｎ−１軸に対する回転角度をθｎ、Ｘｎ
軸に対する回転角度をαｎ、Ｚｎ−１軸に沿った移動距
離をｄｎ、Ｘｎ軸に沿った移動距離をａｎとして求めら
れる。ここで、表１中、ｄ₂は、第２伸縮関節２１０が
収縮しているときの第３アーム２０８の長さ（Ｘ軸走査
ミラー１３１からＹ軸走査ミラー１３２までの最短距
離）を示す。また、表１中、ｈは、第３伸縮関節２２２
が収縮しているときの第４アーム２２０の長さ（Ｙ軸走
査ミラー１３２から加工点ＴＣＰまでの最短距離）をｄ
₃ とすると、 ｈ＝ｄ₃ ×（１＋ｔａｎθ₁ ² ＋ｔａｎθ₃ ² ）^1/2 …（１） で求められる。

【００３４】なお、表１中、Ｐｎは、計算モデルのシス
テムを実際のシステムと同じ形態（姿勢）にさせるため
のオフセット量である。詳しく説明すれば、前記表１の
θｎを求める際、Ｘｎ軸がそれぞれ平行している状態に
おけるθｎが基準値（θｎ＝０°）とされるが、図３に
示すロボットモデル２００においては、該ロボットモデ
ル２００を走査光学系５６に対応させて考慮するため
に、Ｘｎ軸が図３に示す方向に設定されている。即ち、
θｎは、基準値（０°）にオフセット量Ｐｎが加算され
た値となっている。従って、前記リンクパラメータに基
づいて以下に示す同次変換行列を求める場合、オフセッ
ト量Ｐｎを前記θｎから減算する必要がある。

【００３５】次に、前記表１に示したリンクパラメータ
に基づいて、座標系Σｎの座標系Σｎ−１に対する同次
変換行列Ａｎを以下のように求める。

【００３６】

【数１】

【００３７】ここで、Ｃｎはｃｏｓθｎを表し、Ｓｎは
ｓｉｎθｎを表す。

【００３８】さらに、座標系Σ０に対する座標系Σ７の
同次変換行列Ｔ₇ は、 Ｔ₇ ＝Ａ₁ Ａ₂ Ａ₃ Ａ₄ Ａ₅ Ａ₆ Ａ₇ …（９） で求められる。従って、同次変換行列Ｔ₇ は、前記
（２）式〜（８）式から次式のようになる。

【００３９】

【数２】

【００４０】そして、前記（１０）式から、第１回転関
節２０６の回転角度θ₁ 並びに第３回転関節２１６の回
転角度θ₃ は、 θ₃ ＝ｔａｎ^-1｛−（Ｐｙ−ｄ₂ ）／Ｐｚ｝ …（１１） θ₁ ＝ｔａｎ^-1｛Ｃ₃ ×Ｐｘ／（Ｐｚ−ｄ₂ ×Ｃ₃ ）｝ …（１２） で求められる。

【００４１】また、図４に示すように、焦点Ｃから楕円
面ミラー１２８までの距離をｄ₁ ＋２×ｄ、前記楕円面
ミラー１２８から加工点ＴＣＰまでの距離をＳ、前記楕
円面ミラー１２８の焦点距離をｆとする場合、ガウスの
定理より、次の式が成り立つ。

【００４２】 １／ｆ＝１／（ｄ₁ ＋２×ｄ）＋１／Ｓ …（１３） なお、ｄ₁ は焦点Ｃから楕円面ミラー１２８までの最短
距離を表し、ｄは焦点調節用ミラー１２４、１２６の移
動距離を表す。この場合、楕円面ミラー１２８からＸ軸
走査ミラー１３１までの距離をｓとすると、前記距離Ｓ
は、 Ｓ＝ｓ＋ｄ₂ ／ｃｏｓθ₁ ＋ｈ …（１４） となる。従って、前記（１）式、（１３）式並びに（１
４）式から、距離ｄは次の（１５）式のように求められ
る。

【００４３】

【数３】

【００４４】そして、前記（１１）式、（１２）式並び
に（１５）式から、Ｘ軸走査ミラー１３１の回転角度θ
ｘ、Ｙ軸走査ミラー１３２の回転角度θｙは、 θｘ＝θ₁ ／２ …（１６） θｙ＝θ₃ ／２ …（１７） で求められる。

【００４５】このように、本実施の形態においては、走
査光学系５６を多関節ロボットに置き換えたロボットモ
デル２００を想定し、このロボットモデル２００に基づ
くリンクパラメータから得られた同次変換行列を計算す
ることによって、該ロボットモデル２００を構成する各
関節の変位量、即ち、前記走査光学系５６を構成する各
ミラーの変位量を求めることができる。このため、前記
走査光学系５６の各ミラーの変位量を光学的幾何学計算
によって求める場合に比べて計算式を容易に構成するこ
とが可能である。

【００４６】また、多関節ロボットを想定した計算方法
によって前記走査光学系５６の各ミラーの変位量を求め
ることができるため、該走査光学系５６を制御するため
の制御装置を汎用のロボットコントローラを用いて構成
することができる。従って、低コストな制御装置が得ら
れる。

【００４７】さらに、ロボットモデル２００全体の基準
となる座標系は、Ｘ軸走査ミラー１３１の中心を原点と
して定められているため、実際にレーザ加工装置１０に
おける、例えば、加工点ＴＣＰの座標を求めるための距
離を測定する際に、前記原点の位置を容易に確認するこ
とができる。

【００４８】次に、本実施の形態に係る制御方法を適用
して構成される製造ラインについて説明する。

【００４９】図５に示すように、製造ライン２５０は、
前記レーザ発振器５０および加工ヘッド５２で構成され
るロボットとしてのレーザ加工装置１０と、前記レーザ
発振器５０のＯＮ／ＯＦＦを制御するとともに、前記加
工ヘッド５２の駆動および該加工ヘッド５２に設けられ
た走査光学系５６を構成する各ミラーの駆動を制御する
ロボットコントローラ２５２と、該ロボットコントロー
ラ２５２に対して前記レーザ加工装置１０のティーチン
グの指示を行うためのティーチングボックス２５４とか
ら構成されている。

【００５０】この場合、ロボットコントローラ２５２に
は、前記計算モデルがソフトウェアとしてインストール
されており、このインストールされた計算モデルに基づ
いて、走査光学系５６を駆動するためのデータ（Ｘ軸走
査ミラー１３１の回転角度θｘ、Ｙ軸走査ミラー１３２
の回転角度θｙおよび焦点調節用ミラー１２４、１２６
の移動距離ｄ）が求められる。そして、この走査光学系
５６は、前記ロボットコントローラ２５２からのデータ
に基づいて、被加工物１２の所望の位置が加工点ＴＣＰ
となるように、レーザ光Ｌの走査｛Ｘ軸走査ミラー１３
１およびＹ軸走査ミラー１３２の駆動（図２参照）｝お
よび焦点の調節（焦点調節用ミラー１２４、１２６の駆
動）を行う。

【００５１】また、前記レーザ加工装置１０には、図示
しない駆動装置の付勢作用下に、図５に示す矢印Ｕ方向
または矢印Ｄ方向に進退することによって、レーザ発振
器５０から走査光学系５６に対して出射されたレーザ光
Ｌの光路を遮断または開放するとともに、前記レーザ光
Ｌの光路に沿って加工点指示用レーザ光Ｌｐを出射する
レーザポインタ２５６が設けられている。このレーザポ
インタ２５６には半導体レーザ（図示せず）が設けられ
ており、該半導体レーザから出射される低出力の可視レ
ーザ光が、加工点指示用レーザ光Ｌｐとして走査光学系
５６に導入される。この半導体レーザのＯＮ／ＯＦＦは
ロボットコントローラ２５２によって制御される。

【００５２】この場合、前記加工点指示用レーザ光Ｌｐ
を被加工物１２に照射し、その照射位置および集束点を
確認しながらティーチングボックス２５４を操作するこ
とによって、溶接ポイントや溶接経路を示す加工点ＴＣ
Ｐを決定する。この加工点ＴＣＰを決定したとき、前記
計算モデルに基づいて求められたデータがティーチング
データとしてロボットコントローラ２５２の図示しない
記憶手段に格納される。このように、ロボットコントロ
ーラ２５２を通じて走査光学系５６の駆動量が教示さ
れ、ロボットとしてのレーザ加工装置１０に対しティー
チングが行われる。即ち、このレーザ加工装置１０に対
して汎用のロボットと同様にティーチング作業を行うこ
とができる。

【００５３】このように、本実施の形態によれば、走査
光学系５６に対して汎用のロボットと同様のティーチン
グ作業を行うことができるとともに、汎用のロボットコ
ントローラ２５２を用いて製造ライン２５０を構成する
ことができるため、該製造ライン２５０の構成に要する
コストが低減される。

【００５４】なお、この発明は、上述の実施の形態に限
らず、この発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成
を採り得ることはもちろんである。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、レーザ加工装置の集束光学系並びに走査光学系を駆
動するための制御装置を汎用のロボットコントローラを
用いて構成することができるため、該制御装置を低コス
トで製造することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態が適用される走査光学系の
概略的な構成を示す斜視図である。

【図２】走査光学系の模式的な構成を示す側面一部断面
図である。

【図３】ロボットモデルの概略的な構成を示す斜視図で
ある。

【図４】レーザ光の各ミラーにおける集束拡散状態を概
略的に示す側面図である。

【図５】製造ラインの概略的な構成を示すブロック図で
ある。

【符号の説明】

１０…レーザ加工装置 ５０…レーザ発振器 ５６…走査光学系（集束光学系） １２２…放物面ミラー １２４、１２６…焦点調
節用ミラー １２８…楕円面ミラー １３１…Ｘ軸走査ミラー １３２…Ｙ軸走査ミラー ２００…ロボットモデル ２０２…第１アーム ２０４…第１伸縮関節 ２０５…第２アーム ２０６…第１回転関節 ２０８…第３アーム ２１０…第２伸縮関節 ２１２…固定直角関節 ２１４…第２回転関節 ２１６…第３回転関節 ２１８…第４回転関節 ２２０…第４アーム ２２２…第３伸縮関節

フロントページの続き (72)発明者 坂井 義治 埼玉県狭山市新狭山１−10−１ ホンダエ ンジニアリング株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】レーザ発振器から出力されたレーザ光を集
   束光学系と走査光学系とを介して所望の位置に集束さ
   せ、その集束位置において加工を行うレーザ加工装置の
   制御方法において、 前記集束位置の座標から前記集束光学系の光軸長と前記
   走査光学系の走査角度を求める際に、 前記集束位置を多軸ロボットのツール中心点とし、 前記光軸を伸縮する関節とし、 前記走査光学系を回転する関節として求めることを特徴
   とするレーザ加工装置の制御方法。
2. 【請求項２】請求項１記載の方法において、 前記集束光学系と前記走査光学系は、 入射する平行光であるレーザ光を反射して一旦集束させ
   る放物面ミラーと、 前記放物面ミラーにより一旦集束されたレーザ光を反射
   させるとともに、集束位置を調整するために光軸方向に
   移動可能にされた平面ミラーと、 前記平面ミラーにより反射されたレーザ光を反射させる
   とともに集束させる楕円面ミラーと、 前記楕円面ミラーと前記ツール中心点である前記集束位
   置との間に配置される直交２軸走査用の２枚の走査用平
   面ミラーと、 を備えることを特徴とするレーザ加工装置の制御方法。