JPH10231138A - 光ファイバ用ガラス母材の製造装置 - Google Patents
光ファイバ用ガラス母材の製造装置Info
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- JPH10231138A JPH10231138A JP3578197A JP3578197A JPH10231138A JP H10231138 A JPH10231138 A JP H10231138A JP 3578197 A JP3578197 A JP 3578197A JP 3578197 A JP3578197 A JP 3578197A JP H10231138 A JPH10231138 A JP H10231138A
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- JP
- Japan
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- glass
- fine particles
- chamber
- glass fine
- peeled
- Prior art date
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 光ファイバ用ガラス母材の製造装置におい
て、チャンバー内に付着した未堆積ガラス微粒子が剥離
してすすとなることを防止すること。 【解決手段】 チャンバー内にバーナ、排気管、ターゲ
ットを備え、バーナの火炎中で合成したガラス微粒子を
ターゲットに堆積させ光ファイバ母材を製造する装置に
おいて、チャンバー内のガラス微粒子の付着し易い位
置、或いはこの微粒子が付着したとき、剥離し易い位置
に溝を付ける。
て、チャンバー内に付着した未堆積ガラス微粒子が剥離
してすすとなることを防止すること。 【解決手段】 チャンバー内にバーナ、排気管、ターゲ
ットを備え、バーナの火炎中で合成したガラス微粒子を
ターゲットに堆積させ光ファイバ母材を製造する装置に
おいて、チャンバー内のガラス微粒子の付着し易い位
置、或いはこの微粒子が付着したとき、剥離し易い位置
に溝を付ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ用ガラ
ス母材の製造装置に関するもので、特にチャンバー内に
付着した未堆積微粒子が剥離してすすとなって舞うこと
を防止し、安定した製造を可能とする装置に関するもの
である。
ス母材の製造装置に関するもので、特にチャンバー内に
付着した未堆積微粒子が剥離してすすとなって舞うこと
を防止し、安定した製造を可能とする装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、光ファイバ用ガラス母材は、ＶＡ
Ｄ法等により、チャンバー内において酸水素火炎中での
ガラス原料ガスの火炎加水分解反応により製造され、母
材に堆積されなガラス微粒子は生成するHCl ガス等と共
に排気管からチャンバー外に排気されている。
Ｄ法等により、チャンバー内において酸水素火炎中での
ガラス原料ガスの火炎加水分解反応により製造され、母
材に堆積されなガラス微粒子は生成するHCl ガス等と共
に排気管からチャンバー外に排気されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、排気により、
すべての未堆積ガラス微粒子がチャンバー外に排出され
ることはなく、ガラス微粒子がチャンバー内や排気管内
に充満し、内壁等に多量付着し、付着ガラス微粒子がチ
ャンバー内に舞い込み、堆積中の母材表面に再度付着し
て母材の泡の原因となる。また、チャンバー内に落下し
た未堆積のガラス微粒子がすすとなって舞い、制御系の
窓に付着し、制御系を乱すという問題が生じている。そ
こで、従来は、排気量を多くするなどしてこの問題に対
処してきた。しかしながら、近年、大型の母材を製造す
るようになると、製造時間が長くなり、母材が大きくな
るためにチャンバー内壁と母材の距離も近くなり、浮遊
ガラス微粒子が内壁等に付着し易くなり、付着したガラ
ス微粒子が剥離して、泡や制御系の乱れを引き起し、そ
のため安定した母材の製造が困難になる問題が生じた。
すべての未堆積ガラス微粒子がチャンバー外に排出され
ることはなく、ガラス微粒子がチャンバー内や排気管内
に充満し、内壁等に多量付着し、付着ガラス微粒子がチ
ャンバー内に舞い込み、堆積中の母材表面に再度付着し
て母材の泡の原因となる。また、チャンバー内に落下し
た未堆積のガラス微粒子がすすとなって舞い、制御系の
窓に付着し、制御系を乱すという問題が生じている。そ
こで、従来は、排気量を多くするなどしてこの問題に対
処してきた。しかしながら、近年、大型の母材を製造す
るようになると、製造時間が長くなり、母材が大きくな
るためにチャンバー内壁と母材の距離も近くなり、浮遊
ガラス微粒子が内壁等に付着し易くなり、付着したガラ
ス微粒子が剥離して、泡や制御系の乱れを引き起し、そ
のため安定した母材の製造が困難になる問題が生じた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の問題に
鑑みなされたもので、光ファイバ用ガラス母材の製造装
置において、チャンバー内にバーナ、排気管、ターゲッ
トを備え、バーナの火炎中で合成したガラス微粒子をタ
ーゲットに堆積させ光ファイバ母材を製造する装置にお
いて、チャンバー内のガラス微粒子の付着し易い位置、
或いはこの微粒子が付着したとき、剥離し易い位置に溝
に溝を付けることを特徴とするものである。従来のチャ
ンバーの堆積ガラス微粒子の付着し易い位置、或いはこ
の微粒子が付着したとき、剥離し易い位置に溝をつける
ことにより、一度内壁に付着したガラス微粒子が剥離し
て再度チャンバー内にすす状になって舞うことを防止す
るものである。
鑑みなされたもので、光ファイバ用ガラス母材の製造装
置において、チャンバー内にバーナ、排気管、ターゲッ
トを備え、バーナの火炎中で合成したガラス微粒子をタ
ーゲットに堆積させ光ファイバ母材を製造する装置にお
いて、チャンバー内のガラス微粒子の付着し易い位置、
或いはこの微粒子が付着したとき、剥離し易い位置に溝
に溝を付けることを特徴とするものである。従来のチャ
ンバーの堆積ガラス微粒子の付着し易い位置、或いはこ
の微粒子が付着したとき、剥離し易い位置に溝をつける
ことにより、一度内壁に付着したガラス微粒子が剥離し
て再度チャンバー内にすす状になって舞うことを防止す
るものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１(a) は、本発明の光ファイバ
用ガラス母材の製造装置の一例を示したもので、符号の
１はチャンバー、２はコア用バーナ、３はクラッド用バ
ーナ、４はターゲット、５は排気管、６は多孔質ガラス
母材、７は溝を示したものである。また図１(b) は、Ａ
部分の溝７を内壁に網目状に形成した場合の拡大図を示
したものである。光ファイバ用ガラス母材の製造は、チ
ャンバー１内で、ターゲット４を回転させながら、これ
にコア用バーナ２、クラッド用バーナ３からそれぞれコ
ア用ガラス原料ガス、クラッド用ガラス原料ガスの酸水
素火炎による加水分解反応により生成したコア用ガラス
微粒子、クラッド用ガラス微粒子を堆積させて、軸方向
に上昇させて多孔質ガラス母材６を形成し、塩酸ガスお
よび未堆積のガラス微粒子を排気管５より排出させ、こ
の際図１(b) に示すような、チャンバー内のすすが付着
し易い部分に溝を付け、チャンバー内壁の表面積を大き
くし、付着したガラス微粒子をより強固に内壁に付着さ
せて、付着した微粒子が剥離しないようにしてガラス母
材を製造するもので、この方法によりチャンバー内に落
下して再び多孔質ガラス母材に付着し、母材の泡等の原
因になるのを防ぎ、またこれらがすすとして制御窓等に
付着することを防止することができる。チャンバー内の
溝を付ける場所は、すすが付着し易い場所、或いは付着
物が剥離し易い場所で、チャンバーの内壁の一部または
全部、排気管の一部または全部、装置部品の一部または
全部が良い。溝は、網目状あるいは格子状に配置し、そ
の面積はすすの付着しやすい場所の面積より大きくすれ
ば良い。このようにして、チャンバー内壁、排気管以外
の圧力タップ、その他の装置部品の外壁、内壁等にも同
様にして溝を付けることにより、付着した微粒子が再度
チャンバー内に舞うことをより一層防止できる。
用ガラス母材の製造装置の一例を示したもので、符号の
１はチャンバー、２はコア用バーナ、３はクラッド用バ
ーナ、４はターゲット、５は排気管、６は多孔質ガラス
母材、７は溝を示したものである。また図１(b) は、Ａ
部分の溝７を内壁に網目状に形成した場合の拡大図を示
したものである。光ファイバ用ガラス母材の製造は、チ
ャンバー１内で、ターゲット４を回転させながら、これ
にコア用バーナ２、クラッド用バーナ３からそれぞれコ
ア用ガラス原料ガス、クラッド用ガラス原料ガスの酸水
素火炎による加水分解反応により生成したコア用ガラス
微粒子、クラッド用ガラス微粒子を堆積させて、軸方向
に上昇させて多孔質ガラス母材６を形成し、塩酸ガスお
よび未堆積のガラス微粒子を排気管５より排出させ、こ
の際図１(b) に示すような、チャンバー内のすすが付着
し易い部分に溝を付け、チャンバー内壁の表面積を大き
くし、付着したガラス微粒子をより強固に内壁に付着さ
せて、付着した微粒子が剥離しないようにしてガラス母
材を製造するもので、この方法によりチャンバー内に落
下して再び多孔質ガラス母材に付着し、母材の泡等の原
因になるのを防ぎ、またこれらがすすとして制御窓等に
付着することを防止することができる。チャンバー内の
溝を付ける場所は、すすが付着し易い場所、或いは付着
物が剥離し易い場所で、チャンバーの内壁の一部または
全部、排気管の一部または全部、装置部品の一部または
全部が良い。溝は、網目状あるいは格子状に配置し、そ
の面積はすすの付着しやすい場所の面積より大きくすれ
ば良い。このようにして、チャンバー内壁、排気管以外
の圧力タップ、その他の装置部品の外壁、内壁等にも同
様にして溝を付けることにより、付着した微粒子が再度
チャンバー内に舞うことをより一層防止できる。
【０００６】
実施例 図１(a) のＡ部のチャンバー上部の内壁に、巾１mm、深
さ0.3mm の溝を１mmの間隔で、図１(b) に示すように、
縦、横に100mm ×200mm で付けた外径250mm のチャンバ
ーを用いて、チャンバー内にターゲット棒をつり下げ30
rpm で回転上昇させながら、SiCl4 をArキャリアガスで
100SCCM 、GeCl4 をArキャリアガスで20SCCM、水素ガス
2.5SLM、酸素ガス５SLM をコア用バーナに、SiCl4 をAr
キャリアガスで350SCCM 、水素ガス30SLM 、酸素ガス30
SLM をクラッド用バーナにそれぞれ供給し、生成したガ
ラス微粒子を堆積させて、外径100mm 、長さ1000mmの多
孔質母材を50本製造し、1500℃で焼結ガラス化してガラ
ス母材を得た。このガラス母材は、製造中に、１本もす
すの剥離等の問題がなく、気泡混入のないものであっ
た。
さ0.3mm の溝を１mmの間隔で、図１(b) に示すように、
縦、横に100mm ×200mm で付けた外径250mm のチャンバ
ーを用いて、チャンバー内にターゲット棒をつり下げ30
rpm で回転上昇させながら、SiCl4 をArキャリアガスで
100SCCM 、GeCl4 をArキャリアガスで20SCCM、水素ガス
2.5SLM、酸素ガス５SLM をコア用バーナに、SiCl4 をAr
キャリアガスで350SCCM 、水素ガス30SLM 、酸素ガス30
SLM をクラッド用バーナにそれぞれ供給し、生成したガ
ラス微粒子を堆積させて、外径100mm 、長さ1000mmの多
孔質母材を50本製造し、1500℃で焼結ガラス化してガラ
ス母材を得た。このガラス母材は、製造中に、１本もす
すの剥離等の問題がなく、気泡混入のないものであっ
た。
【０００７】比較例 チャンバー内に溝を形成しなかった以外は、実施例と同
様に行って、外径100mm 、長さ1000mmの多孔質ガラス母
材を５本製造したところ、５本とも引き上げ後半におい
て、チャンバー内壁に付着したすすが剥離し、うち１本
については制御系の窓に付着し、制御が乱れ停止した。
また、これらの多孔質ガラス母材を焼結ガラスとして製
造したガラス母材には泡の混入が多く確認された。
様に行って、外径100mm 、長さ1000mmの多孔質ガラス母
材を５本製造したところ、５本とも引き上げ後半におい
て、チャンバー内壁に付着したすすが剥離し、うち１本
については制御系の窓に付着し、制御が乱れ停止した。
また、これらの多孔質ガラス母材を焼結ガラスとして製
造したガラス母材には泡の混入が多く確認された。
【０００８】
【発明の効果】本発明によれば、製造中、内壁に堆積し
た堆積粒子の剥離を防止することにより、チャンバー内
のすすが減少し、母材等にすすが入り込むことを防止で
きるので、気泡混入のないファイバ母材を安定して製造
することができる。
た堆積粒子の剥離を防止することにより、チャンバー内
のすすが減少し、母材等にすすが入り込むことを防止で
きるので、気泡混入のないファイバ母材を安定して製造
することができる。
【図１】(a)光ファイバ用ガラス母材の製造装置の一例
である。 (b)Ａ部分の溝の拡大図である。
である。 (b)Ａ部分の溝の拡大図である。
１…チャンバー ２…コア用バーナ ３…クラッド用バーナ ４…ターゲット ５…排気管 ６…多孔質ガラス母材 ７…溝
Claims (4)
- 【請求項１】チャンバー内にバーナ、排気管、ターゲッ
トを備え、バーナの火炎中で合成したガラス微粒子をタ
ーゲットに堆積させ光ファイバ母材を製造する装置にお
いて、チャンバー内のガラス微粒子の付着し易い位置、
或いはこの微粒子が付着したとき、剥離し易い位置に溝
を付けることを特徴とする光ファイバ用ガラス母材の製
造装置。 - 【請求項２】溝をチャンバー内壁に付けた請求項１に記
載の光ファイバ用ガラス母材の製造装置。 - 【請求項３】溝をチャンバー内の排気管の内外両面に付
けた請求項１に記載の光ファイバ用ガラス母材の製造装
置。 - 【請求項４】溝をチャンバー内装置部品のガラス微粒子
の付着し易い位置に付けた請求項１に記載の光ファイバ
用ガラス母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3578197A JP3199657B2 (ja) | 1997-02-20 | 1997-02-20 | 光ファイバ用ガラス母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3578197A JP3199657B2 (ja) | 1997-02-20 | 1997-02-20 | 光ファイバ用ガラス母材の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10231138A true JPH10231138A (ja) | 1998-09-02 |
| JP3199657B2 JP3199657B2 (ja) | 2001-08-20 |
Family
ID=12451451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3578197A Expired - Fee Related JP3199657B2 (ja) | 1997-02-20 | 1997-02-20 | 光ファイバ用ガラス母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3199657B2 (ja) |
-
1997
- 1997-02-20 JP JP3578197A patent/JP3199657B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3199657B2 (ja) | 2001-08-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |