JPH10227935A - マルチモード光導波路用モード分離器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マルチファイバ中を伝搬している間に進行方
向に拡がってしまい、前後のパルスと重なってしまうた
めに、光の強度変調を測る従来の方式では高速の通信は
出来なかったのを解決する。 【解決手段】 光通信に用いるレーザ１−１からの出射
光を伝搬するマルチモード光導波路１−３の受光側出口
に前記光導波路の特定の伝搬モードの光のみを回折する
ホログラム素子１−４を配置し、前記伝搬モードの光の
み進行方向を変化させる。 【効果】 マルチモードを導波してきた光の中から所望
のモードを取り出すことが出来るので、安価で接続の容
易なマルチモードファイバを用いてもシングルモードフ
ァイバと同等の通信速度を得られるという効果がある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はマルチモード光導波路用
モード分離器、さらに詳細には光ファイバを用いた光通
信分野で利用し、特に、安価であるが通信速度がシング
ルモードファイバ使用時に較べて遅い、マルチモードフ
ァイバを利用する際に、通信速度を向上させる目的で使
用するマルチモード光導波路用モード分離器に関する。

【０００２】

【従来の技術および問題点】マルチモードファイバは、
シングルモードファイバに較べて安価ではあるが、通信
速度が遅い。これは、マルチモードファイバ中の各々の
光伝搬モード間で光の伝搬速度が異なる事に起因する。
マルチモードファイバに入射された光は、ファイバ中で
は複数個のモードに分解され、各々のモードの進行速度
で伝搬する。従って、ある時刻にファイバに入射した光
パルスは、ファイバ中を伝搬している間に進行方向に拡
がってしまい、前後のパルスと重なってしまうために、
光の強度変調を測る従来の方式では高速の通信は出来な
かった。

【０００３】

【問題点を解決する為の手段】上記問題点を解決するた
め、本発明によるマルチモード光導波路用モード分離器
は、光通信に用いるレーザからの出射光を伝搬するマル
チモード光導波路の受光側出口に前記光導波路の特定の
伝搬モードの光のみを回折するホログラム素子を配置
し、前記伝搬モードの光のみ進行方向を変化させること
を特徴とする。

【０００４】すなわち、上記問題点を解決するためには
受信側で各々の伝搬モードを分離して強度変調を測れば
良い。まず、モードの分離の為にホログラム素子を用い
る。以下にモード分離の原理を述べる。

【０００５】図２はマルチモードファイバを伝搬し出射
する各モードの模式図と座標軸の説明図である。コア
（２−１）、クラッド（２−２）を有するマルチモード
ファイバＭの各伝搬モードの光の電場ベクトルを、→Ｅ
α＝（Ｅxα，Ｅyα，Ｅzα）で表す。ここで、ギリシ
ャ文字の添字（α）はモードを区別するための添字で、
ローマ字の添字（ｘ，ｙ，ｚ）はベクトルの成分を示
す。すなわちファイバ中の伝搬モードをＥα，Ｅβ，Ｅ
γで、それらが出射した光をＦα，Ｆβ，Ｆγで表し
た。モードの数は、ファイバの規格化周波数に依存す
る。また、表記上の問題より、上記「→文字」は下記の
数１のような表記を示している（以下同じ）。

【０００６】

【数１ａ】

【０００７】説明のため、光の進行方向、即ちファイバ
の軸はｚ方向であるとする（出射端近傍におけるファイ
バの軸をｚ軸とする）。各モードのベクトルの成分は、
空間と時間の関数である。ここで、各々のモードはｘｙ
面内で同じ束縛条件を持つ偏微分方程式の解を表す固有
モードであるから、ｘｙ面内で直交する［ここで、“ｘ
ｙ面内で直交する”とは、ふたつの関数、ψとφが、

【０００８】

【数１ｂ】

【０００９】（積分範囲はｘ，ｙ共に−∞から∞まで）
を満たす事を意味する。ψ^*は、ψの複数共役］。即
ち、＜Ｅmα｜Ｅnβ＞＝Ａmαδmnδαβである（ここ
で、δはクロネッカーのデルタ、Ａは定数である）。

【００１０】また、ファイバの端面から出射した光の電
場振幅（Ｆmα（ｘ，ｙ，ｚ，ｔ））も、フレネル回折
の近似範囲において、ｘｙ面内で直交する。即ち、＜Ｆ
mα｜Ｆnβ＞＝Ｂmαδmnδαβとなる。（Ｂは定
数）。ここで、特定の導波モードαのファイバ端面から
出射した光（電場ベクトル：→Ｆα，波数ベクトル：→
Ｋα）と、同じレーザから発射された任意の光（電場ベ
クトル：→Ｐ，波数ベクトル：→Ｋ_pを干渉させ、その
干渉縞をフォトリフラクティブ材料などの干渉縞を記録
できる材料中に記録する。干渉縞の明暗コントラスト
は、→Ｆα^*・→Ｐ＋→Ｆα・→Ｐ^*に比例するが、屈折
率分布はフォトリフラクティブ結晶の結晶方位と、干渉
縞の波数ベクトル（→Ｋ_G＝→Ｋ_p一→Ｋα）依存し、Δ
ｎ＝−（ｎ³／２）ｒ→Ｅ_scとして記録される［→Ｒ・
→Ｓは、ベクトル→Ｒと→Ｓのスカラー積、ｎ，Δｎは
屈折率とその変化量で３×３の行列、ｒは一次の電気光
学定数（ポッケルス定数）で３階のテンソル、→Ｅ_scは
空間電場ベクトル（→Ｋ_Gに平行）であり、その振幅
（｜→Ｅ_sc｜）は｜→Ｋ_G｜と材料特性に依存する］。

【００１１】さて、記録された屈折率変調分布によるマ
ルチモードファイバからの光の回折を考える。屈折率変
調（Δｎ）は、

【００１２】

【数２】

【００１３】で与えられる。ここで、γ_effは、ｒと→
Ｅ_scの方向、及び、回折される光の偏光方向によって決
定される実効的な電気光学定数、Ｃは比例定数である。

【００１４】ファイバ端面からの出射光（→Ｆβ＋→Ｆ
β^*）が、上記（（２）式）のΔｎによる変調を受ける
と、

【００１５】

【数３】

【００１６】に比例する回折光（→Ｈ）が発生する。

【００１７】ここで、ファイバからの出射光と干渉させ
る光（→Ｐ）について、次の二種類の場合を考える。

【００１８】（１）→Ｐがｘｙ面内で一様である、即ち
→Ｐがｘ，ｙの関数でない場合、上記積分（（３）式）
は、

【００１９】

【数４】

【００２０】と書ける（ｏはベクトルの直積を表す）の
で、ＦαmとＦβnの直交性より、α≠βの時、上記積分
（（４）式）は０となり光は回折されず、記録時に使用
したモード（α）の光のみ回折し、→Ｐに比例する光を
発生する。ｘｙ平面内で一様な光→Ｐとは、ファイバの
軸（ｚ軸）に平行な＋ｚもしくは、−ｚ方向へ進む平面
波であるが、＋ｚ方向への平面波はファイバからの出射
光と重なり分離が難しいので、−ｚ方向へ進む光を用い
る（図３）。図３は上記第１の方法によるモード分離器
とＰ光の進行方向の関係を示す図であり、問題を解決す
る手段の一節で、モードが分離して回折される為の→Ｐ
光の条件として上記にあげた方法での配置図である。Ｐ
光は、平面波で、かつ直線偏光しておりファイバに対向
して進む。ファイバとモード分離器（３−１）の間にハ
ーフミラー（３−２）をおき、回折光を分岐する。

【００２１】（２）→Ｐがｚ方向に一様、即ち、→Ｋ_p
がｚ軸に垂直な場合、ＦαmとＦβnの直交性が任意のｚ
で満たされるので、（３）式の積分はＤを比例定数とし
て、

【００２２】

【数５】

【００２３】と書ける。ここで、→Ｆα，→Ｆβは、フ
ァイバの導波モードからの出射光なので、→Ｆαｏ→Ｆ
βのｘｙ面内に於ける各成分の空間周波数はせいぜい
（４πn／λ）ｓｉｎθ_max程度であるのに対し、→Ｐの
ｘｙ平面内の空間周波数は、２πn／λとなる。ここ
で、λは導波光の真空中の波長、θ_maxはファイバのカ
ットオフ角で、ファイバのコアとクラッドの屈折率をそ
れぞれｎ₀，ｎ₁とすると、ｓｉｎθ_max〜（２（ｎ₀−ｎ
₁）／ｎ₀）^1/2で与えられ、比屈折率差（Δ₀＝ｎ₀−ｎ₁
／ｎ₀）が、０．１％のマルチモードファイバの場合、
２ｓｉｎθ_max〜０．０９であり、→Ｐの空間周波数に
比べて一桁以上小さい。この場合、（５）式は、

【００２４】

【数６】

【００２５】と近似でき、結局、（１）の場合と同様に
記録時に使用したモード（α）の光のみ回折し、→Ｐに
比例する光を発生する（図４）。図４は第２の方法によ
るモード分離器とＰ光の進行方向の関係を示し、問題を
解決する手段の一節で、モードが分離して回折される為
の→Ｐ光の条件として第二にあげた方法での配置図であ
る。Ｐ光は、平面波で、かつ直線偏光しておりファイバ
軸に垂直方向に進む。Ｐ光の電場の振動方向はｚ軸に垂
直で、ｘｙ面内にある。ただし、図中、４−１はモード
分離器である。

【００２６】次に、特定のモード（α）からの出射光の
みと光（→Ｐ）を干渉させ、その干渉縞を屈折率分布と
してフォトリフラクティブ材料中に記録する方法の原理
を述べる。ファイバ中を伝搬するモードは、それぞれ固
有の光の伝搬速度（υα）を持ち、高次のモード程、伝
搬速度が遅い（図５：Ａｍｎｏｎ Ｙａｒｉｖ著“ＯＰ
ｔｉｃａｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，ｆｏｕｒｔｈ
ｅｄ．，”Ｓａｕｎｄｅｒｓ Ｃｏｌｌｅｇｅ Ｐｕｂ
ｌｉｓｈｉｎｇ，ＩＳＢＮ ０−０３−０４７４４４−
２，ｐａｇｅ ９３の引用で、校正ミスを正したも
の）。従って、屈折率分布を作るためのレーザの可干渉
距離をｄ_iとして、記録したいモード（α）と最も伝搬
速度の近いモードの伝搬速度をυβとして、図６に示す
マルチモードファイバ（６−６）の長さ（Ｌ_m）を、

【００２７】 ｄ_i＜Ｌ_mｃ｜（１／υα）−（１／υβ）｜ （７）

【００２８】満たすように、十分長く取る。同時に、同
じレーザ（６−１）から発した光（→Ｐ）は、鏡を便っ
て空間中を通るか、もしくはシングルモードファイバ
（６−９）を通して遅延させ、マルチモードファイバ
（６−６）を通ったモード（α）と干渉できる様にす
る。これは、使用するマルチモードファイバ（６−６）
のモードごとの遅延時間を計算して→Ｐ光の伝搬距離を
決定しても良いし、レーザから短パルスを発生し、マル
チモードファイバを通る光をモードごとにパルスとして
分離し、所定のモードからのパルスが→Ｐ光と同時にフ
ォトリフラクティブ材料に到達するように実験的に決定
しても良い。

【００２９】→Ｐ光は、レンズ等を用いて（１）の形式
の場合には−ｚ方向に進行する平面波としてフォトリフ
ラクティブ材料に入射させるが、（７）式を満たす限り
所望のモード（α）以外とは干渉縞を生じないので、
（２）式の如く屈折率分布が形成される。この場合、回
折光はファイバに向かって進行するので、マルチモード
ファイバとフォトリフラクティブ材料の間にハーフミラ
ー等を挿入し、回折光を受光素子に導入する必要があ
る。（２）の形式の場合も→Ｐ光は平面波に加工してお
く必要がある。この場合、→Ｐ，→Ｋ_p共にｚ軸に垂直
なければならない。所望のモード（α）以外とは干渉し
ないのは（１）の形式と同様である。

【００３０】ここで、複数の→Ｐ光，｛→Ｐα，→Ｐ
β，→Ｐγ，…｝を用意し、それぞれ、｛→Ｆα，→Ｆ
β，→Ｆγ，…｝と可干渉であるように遅延時間を設定
し、進行方向をそれぞれ異なる様にすると、複数のモー
ド｛α，β，γ，…｝がそれぞれ異なる方向に回折さ
れ、請求項２の実施が可能となる。

【００３１】なお、フォトリフラクティブ材料は、上記
で説明したように光の干渉縞を屈折率変調分布に変換し
て記憶するという作用があるが、マルチモードからの光
のみを照射し続けると記憶された屈折率変調分布が消え
てしまうと言う欠点がある。この欠点を補うのが、“定
着”操作である。フォトリフラクティブ材料における屈
折率変調分布は、光励起による電子の再配列に由来する
ものであるが、電子の分布をプロトン等のイオン分布に
変換するか、強誘電性分極反転分布に変換し、屈折率変
調分布を消えないようにするのが“定着”であり、ニオ
ブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）ニオブ酸タンタル酸カリ
ウム（ＫＴａ_1-xＮｂ_xＯ₃）、ニオブ酸ストロンチウム
バリウム（Ｓｒ_xＢａ_1-xＮｂ₂Ｏ₆）、タンタル酸リチウ
ム（ＬｉＴａＯ₃）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ₃）
で報告されている。これらの材料の使用により、本発明
におけるマルチモード光導波路用モード分離器の使用寿
命が延伸される。

【００３２】

【実施例】まず、図６を用いて、作製法を説明する。具
体例として、比屈折率差（Δ₀）が０．０５％、コア径
（２ａ）が３２μｍ、コアの屈折率（ｎ₀）が１．４０
のファイバ（６−６）と、波長８３０ｎｍの半導体レー
ザ（６−１）の出射光を用いて通信する場合について述
べる。マルチモード光導波路用モード分離器（６−２
０）の材質としては、請求項４に挙げた材料のうち、ニ
オブ酸ストロンチウムバリウム（Ｓｒ_0.75xＢａ_0.35Ｎ
ｂ₂Ｏ₆）にクロム（Ｃｒ）を０．０２ｗｔ％ドープした
ものを用いる例をあげる。Ｓｒ_0.75xＢａ_0.35Ｎｂ
₂Ｏ₆：Ｃｒは赤から赤外にかけての波長でフォトリフラ
クティブ効果の感度があり、波長８３０ｎｍでの使用に
適している。

【００３３】このファイバは、波長８３０ｎｍにおい
て、規格化周波数（Ｖ〜２πaｎ₀／λ（２Δ₀）^1/2）は
約５．３６であり、ＬＰ₀₁，ＬＰ₁₁，ＬＰ₂₁，ＬＰ₀₂，
ＬＰ₃₁の各モードが存在するが（ここで、Δ₀が小さい
のでファイバ中のモードをＬＰモードで近似するのは良
い近似である）、これらのうち、ＬＰ₀₁，ＬＰ₁₁の二つ
のモードのみ取り出し、それぞれ異なる方向に回折させ
る方法を述べる。

【００３４】図５から、ＬＰ₀₁の規格化伝搬定数（ｂ）
は０．８５、ＬＰ₁₁のそれは０．６２、次に大きいの
は、ＬＰ₂₁の０．３３であり、実際の伝搬速度（υ）の
表式、

【００３５】 υ＝ｃ／ｎ₀［１＋Δ₀（ｂ−１）］ （８）

【００３６】に従って、

【００３７】 ｃ｜（１／υ₀₁）−（１／υ₁₁）｜＝１．６１×１０^-4 （９）

【００３８】 ｃ｜（１／υ₁₁）−（１／υ₂₁）｜＝２．０３×１０^-4 （１０）

【００３９】から、式（７）を用いて、ｄ_i＜１．６１
×１０^-4Ｌ_m側を満たすようにｄ_i，Ｌ_mを設定する。こ
こで、半導体レーザの可干渉距離を高周波重畳によって
短くし、ｄ_i〜１ｍｍ程度にしておけば、Ｌ_m＞６．２ｍ
であれば、所望のモードを独立に干渉させることが出来
る。ここでは、安全を見越して、Ｌ_m＝１０ｍとする。

【００４０】マルチモード光導波路用モード分離器本体
（６−２０）であるＳｒ_0.75xＢａ_{0 .35}Ｎｂ₂Ｏ₆：Ｃｒ
（以後、ＳＢＮ：Ｃｒと略記）は、１ｍｍ×１ｍｍ×１
ｍｍの直方体とし、結晶のｃ面がファイバに向くように
設置する。ＳＢＮ：Ｃｒの各面は光学研磨し、表面に無
反射コートをする。ファイバ（６−６）端面とＳＢＮ：
Ｃｒの間隔は、０．２ｍｍとする。定着処理のためにＳ
ＢＮ：Ｃｒの温度を摂氏４０度まであげられるように、
遠赤外線ランプ（６−１９）を用意する。

【００４１】レーザ光はレンズ（６−２）でコリメート
された後、偏光ビームスプリッター（６−４）を用いて
２光束に分け、それぞれマルチモードファイバ（６−
６）とシングルモードファイバ（長さ９．９ｍ）（６−
９）に結合させる。ここで、半波長板（６−３）は２光
束の強度比を調整するために設ける。シングルモードフ
ァイバを出射した光はレンズ（６−１０）によって平行
光にしたあと、さらに半波長板（６−１１）と偏光ビー
ムスプリッター（６−１２）を用いて２光束（→Ｐ₁，
→Ｐ₂）に分け、それぞれ遅延のためのミラーセット
（６−１３，６−１８）を経由し（尚，→Ｐ₂について
は半波長板によって偏光面を回転させ、→Ｐ₁，→Ｐ₂共
に電場の振動方向がＺ軸に垂直になるようにしてお
く）、ＳＢＮ：Ｃｒ（６−２０）にｚ軸に垂直に対向入
射させる。遅延の為のミラーセット（６−１３，６−１
８）は→Ｐ₁はＬＰ₀₁と、→Ｐ₂はＬＰ₁₁とそれぞれ干渉
できるように微調整する。屈折率変調分布作製時には、
遠赤外線ランプ（６−１９）をＳＢＮ：Ｃｒ（６−２
０）に照射して、温度を４０℃に保持する。温度を上げ
るのは、電荷分布を分極反転分布に変換して、“定着”
を実施するためである。半導体レーザとして出力２０ｍ
Ｗのものを用いる場合、約３０分間の干渉させ続ける時
間が必要であるので、系の振動を抑えるため、すべての
光学系は除振台の上に配置される。

【００４２】図１は本発明の効果を最も良く示す図で、
本発明のモード分離器を用いた光通信を説明するもので
あり、レーザ（１−１）から強度変調された光（１−
９）が、レンズ（１−２）を介してマルチモードファイ
バ（１−３）に結合される。ファイバの距離が長く、信
号変調が高速である場合、ファイバからの出力信号はモ
ードの重なりのために（１−１０）の様につぶれてしま
う。一方、本発明のモード分離器（１−４）を用いる
と、ＬＰ₀₁モードは図中上方ヘ、ＬＰ₁₁モードは図中下
方ヘ平面波として回折される為に、それぞれ、レンズ
（１−５，１−７）及び、フォトディテクター（１−
６，１−８）を用いて、二つのモードを（１−１１，１
−１２）の如く分離して受光できる。

【００４３】上述のように作製されたマルチモード光導
波路用モード分離器（１−４）は、ＬＰ₀₁とＬＰ₁₁の光
を、それぞれ１％程度の効率で１８０°異なる方向に回
折する。それぞれ、レンズ（１−５，１−７）を用いて
フォトディテクター（１−６，１−８）上に集光する。
マルチモード光ファイバ（１−３）への入力信号を（１
‐９）の如く模式すると、ファイバからの出力信号は各
モードの重なりによって、（１−１０）の様に信号がつ
ぶれてしまうが，モード分離器（１−４）が、ＬＰ₀₁の
光をフォトディテクター（１−６）ヘ、ＬＰ₁₁の光をフ
ォトディテクター（１−８）へ導くために、信号はそれ
ぞれ、順に（１−１１）と（１−１２）の様に入力信号
が再生される。長さ１ｋｍのマルチモードファイバに適
用する場合、モード分離器がない場合のＬＰ₀₁モードと
ＬＰ₃₁モードの伝搬速度差に由来する制限（二つのモー
ドの到達時間差は２ｎｓ）から、ビットレートはせいぜ
い１００Ｍｂｐｓであったものが、モード分離器を付加
することにより、シングルモードファイバと同程度の数
１０Ｇｂｐｓ〜１００Ｇｂｐｓで使用可能となる。

【００４４】上記実施例で用いたニオブ酸ストロンチウ
ムバリウムに代わってニオブ酸リチウム、ニオブ酸タン
タル酸カリウム、タンタル酸リチウム、チタン酸バリウ
ムを用いても同様の結果を得た。

【００４５】

【発明の効果】以上で説明したように、本発明によっ
て、マルチモードを導波してきた光の中から所望のモー
ドを取り出すことが出来るので、安価で接続の容易なマ
ルチモードファイバを用いてもシングルモードファイバ
と同等の通信速度を得られるという効果がある（請求項
１）。マルチモードファイバ中の各モードの強度比は、
温度や曲げ等の環境に依存するが、複数のモードを別々
の方向に取り出すことで、その中の最強の強度を持つモ
ードを選択することにより環境の変化にも耐えられる
（請求項２）。これらの効果を請求項）の材料を用いる
ことにより実施することができ、請求項４の“定着”操
作可能な材料を選ぶことで本発明品の使用寿命を延ばす
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のモード分離器を用いた光通信を説明す
る図。

【図２】マルチモードファイバを伝搬し出射する各モー
ドの模式図と座標軸の説明図。

【図３】第１の方法によるモード分離器とＰ光の進行方
向の関係を示す配置図。

【図４】第２の方法によるモード分離器とＰ光の進行方
向の関係を示す配置図。

【図５】比屈折率差（Δ₀）が小さく、直線偏光（Ｌ
Ｐ）モード近似が妥当なマルチモード光ファイバに於け
る、規格化周波数と規格化伝搬定数の関係を示す図。

【図６】本発明のモード分離器を作製する方法を説明す
る図。

【符号の説明】

１−１ レーザ １−２ レンズ １−３ マルチモードファイバ １−４ モード分離器 １−５ レンズ １−６ フォトディテクター １−７ レンズ １−８ フォトディテクター ６−１ レーザ ６−２ レンズ ６−５ レンズ ６−８ レンズ ６−１０ レンズ ６−３ 半波長板 ６−１１ 半波長板 ６−１５ 半波長板 ６−４ 偏光ビームスプリッター ６−１２ 偏光ビームスプリッター ６−７ ミラー ６−１４ ミラー ６−１６ ミラー ６−１７ ミラー ６−６ マルチモード光ファイバ ６−９ シングルモード光ファイバ ６−１３ 光路長調整用ミラーセット ６−１４ 光路長調整用ミラーセット ６−１９ 遠赤外線ランプ ６−２０ 本発明によるモード分離器本体

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光通信に用いるレーザからの出射光を伝搬
   するマルチモード光導波路の受光側出口に前記光導波路
   の特定の伝搬モードの光のみを回折するホログラム素子
   を配置し、前記伝搬モードの光のみ進行方向を変化させ
   ることを特徴とするマルチモード光導波路用モード分離
   器。
2. 【請求項２】前記伝搬モードが複数個あり、前記ホログ
   ラム素子は、各々の伝搬モードの光をそれぞれを異なる
   方向に同時に回折することを特徴とする請求項１記載の
   マルチモード光導波路用モード分離器。
3. 【請求項３】前記ホログラム素子に、光の干渉縞を屈折
   率変調分布として記録したフォトリフラクティブ材料を
   用いることを特徴とする請求項１および２記載のマルチ
   モード光導波路用モード分離器。
4. 【請求項４】前記屈折率変調分布の形成を、前記マルチ
   モード導波路の各伝搬モードの光と、前記光通信に用い
   るレーザから出射する前記各伝搬モードに対応させた複
   数の各光とをそれぞれ前記フォトリフラクティブ材料に
   入射させ、干渉させることにより生じた干渉縞を記録す
   ることにより行うことを特徴とする請求項３記載のマル
   チモード光導波路用モード分離器。
5. 【請求項５】前記フォトリフラクティブ材料にニオブ酸
   リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）、ニオブ酸タンタル酸カリウ
   ム（ＫＴａ_1-xＮｂ_xＯ₃）、ニオブ酸ストロンチウムバ
   リウム（Ｓｒ_xＢａ_1-xＮｂ₂Ｏ₆）、タンタル酸リチウム
   （ＬｉＴａＯ₃）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ₃）の
   いずれかを用い、前記屈折率変調分布を保持することを
   特徴とする請求項３および４記載のマルチモード光導波
   路用モード分離器。
6. 【請求項６】前記屈折率変調分布の保持を、前記屈折率
   変調分布の形成時に、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂ
   Ｏ₃）、ニオブ酸タンタル酸カリウム（ＫＴａ_{1 -x}Ｎｂ_x
   Ｏ₃）、ニオブ酸ストロンチウムバリウム（Ｓｒ_xＢａ
   _1-xＮｂ₂Ｏ₆）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）、
   チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ₃）の温度を上昇させる
   ことにより行うことを特徴とする請求項５記載のマルチ
   モード光導波路用モード分離器。