JPH10221520A - カラーフィルタ付基板用ブラックマトリックス - Google Patents
カラーフィルタ付基板用ブラックマトリックスInfo
- Publication number
- JPH10221520A JPH10221520A JP2567397A JP2567397A JPH10221520A JP H10221520 A JPH10221520 A JP H10221520A JP 2567397 A JP2567397 A JP 2567397A JP 2567397 A JP2567397 A JP 2567397A JP H10221520 A JPH10221520 A JP H10221520A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- black matrix
- film
- copper
- nickel
- alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造に際して有害物質を発生することなく、
かつ、コストアップを伴うことなく、低反射、遮光性等
の光学特性や、コントラストや高画質化にも有用なカラ
ーフィルタ付基板用ブラックマトリックスを提供する。 【解決手段】 ブラックマトリックス２の材質を、ニッ
ケルと銅を主成分とする合金とし、好ましくはニッケル
と銅の合計の含有率を重量比で５０％以上とすることに
より、エッチング時に有害物質を発生せず、また、黒色
性に伴う低反射性と遮光性に優れ、かつ、薄膜化を容易
としてカラーフィルタ層４の平坦化を可能とする。
かつ、コストアップを伴うことなく、低反射、遮光性等
の光学特性や、コントラストや高画質化にも有用なカラ
ーフィルタ付基板用ブラックマトリックスを提供する。 【解決手段】 ブラックマトリックス２の材質を、ニッ
ケルと銅を主成分とする合金とし、好ましくはニッケル
と銅の合計の含有率を重量比で５０％以上とすることに
より、エッチング時に有害物質を発生せず、また、黒色
性に伴う低反射性と遮光性に優れ、かつ、薄膜化を容易
としてカラーフィルタ層４の平坦化を可能とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はカラーフィルタ付基
板用ブラックマトリックスに関し、例えばＴＦＴ型等の
カラー液晶パネルに使用するのに適したブラックマトリ
ックスに関する。
板用ブラックマトリックスに関し、例えばＴＦＴ型等の
カラー液晶パネルに使用するのに適したブラックマトリ
ックスに関する。
【０００２】
【従来の技術】高画質、薄型、軽量等の特質を持つ液晶
ディスプレイに用いられるカラー液晶パネルは、一般
に、透明なガラス基板に形成される赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）、青（Ｂ）３原色のカラーフィルタ層と、その３
色の色画素間を仕切るように格子状にパターニングされ
ブラックマトリックスと、ＩＴＯ等の透明導電膜を主た
る要素として構成される。
ディスプレイに用いられるカラー液晶パネルは、一般
に、透明なガラス基板に形成される赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）、青（Ｂ）３原色のカラーフィルタ層と、その３
色の色画素間を仕切るように格子状にパターニングされ
ブラックマトリックスと、ＩＴＯ等の透明導電膜を主た
る要素として構成される。
【０００３】ブラックマトリックスは、カラーフィルタ
の３原色の混合を防止して画像の高コントラスト化を図
り、その画質の高品位化を図る重要な要素であって、低
反射率、遮光性等の光学特性、３原色材料との密着性、
３原色からなるカラーフィルタ層を形成する際のプロセ
スとの適合性、耐熱性、耐酸化性、耐アルカリ性等が要
求される。
の３原色の混合を防止して画像の高コントラスト化を図
り、その画質の高品位化を図る重要な要素であって、低
反射率、遮光性等の光学特性、３原色材料との密着性、
３原色からなるカラーフィルタ層を形成する際のプロセ
スとの適合性、耐熱性、耐酸化性、耐アルカリ性等が要
求される。
【０００４】このようなブラックマトリックスを形成す
る材料としては、従来、上記した光学特性のうち遮光性
に優れ、また、３原色材料と密着性にも優れた材料であ
り、蒸着技術とパターニング技術との併用により形成さ
れるクロムまたはクロムを主成分とする金属材料や、ク
ロム膜よりコストが低く、かつ、製作が容易なカーボン
ブラック等を分散させた感光性樹脂膜が一般に使用され
ている。
る材料としては、従来、上記した光学特性のうち遮光性
に優れ、また、３原色材料と密着性にも優れた材料であ
り、蒸着技術とパターニング技術との併用により形成さ
れるクロムまたはクロムを主成分とする金属材料や、ク
ロム膜よりコストが低く、かつ、製作が容易なカーボン
ブラック等を分散させた感光性樹脂膜が一般に使用され
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ブラッ
クマトリックスとしてクロムまたはクロムを主成分とす
る金属膜を使用すると、光の反射率が高くなる。このた
め、反射率低減のために酸化クロムと金属クロムの２層
からなるクロム膜が開発されたが、この場合、製造の工
程数が増加するためにコスト高になるという欠点があ
る。
クマトリックスとしてクロムまたはクロムを主成分とす
る金属膜を使用すると、光の反射率が高くなる。このた
め、反射率低減のために酸化クロムと金属クロムの２層
からなるクロム膜が開発されたが、この場合、製造の工
程数が増加するためにコスト高になるという欠点があ
る。
【０００６】更に大きな問題点として、クロムをパター
ニングする際、有害物質である６価クロム（Ｃｒ6+）が
発生するために、そのＣｒ6+の処理等の環境面での対応
が必要になるという点がある。
ニングする際、有害物質である６価クロム（Ｃｒ6+）が
発生するために、そのＣｒ6+の処理等の環境面での対応
が必要になるという点がある。
【０００７】一方、カーボンブラック等を分散させた感
光性樹脂を使用する場合には、金属膜を用いる場合に比
してコストを低減できるという利点はあるものの、膜厚
が厚く（通常、金属膜では０．１μｍ前後となるのに対
し、樹脂膜は１μｍ前後となってしまう）、図３に模式
的断面図を示すように、ブラックマトリックス３０のパ
ターニング後にオフセット印刷等によってカラーフィル
タ層３１を形成したとき、ブラックマトリックス３０の
両端側でカラーフィルタ層３１が隆起しやすく、表面の
平滑性が損なわれ、コントラストの低下を招く原因とな
る。しかも、カーボンブラック等を分散させた感光性樹
脂を使用すると、その硬化が不十分となりやすく、塗膜
性能が劣るために、パターン精度が悪く解像性が劣化す
るという欠点もある。
光性樹脂を使用する場合には、金属膜を用いる場合に比
してコストを低減できるという利点はあるものの、膜厚
が厚く（通常、金属膜では０．１μｍ前後となるのに対
し、樹脂膜は１μｍ前後となってしまう）、図３に模式
的断面図を示すように、ブラックマトリックス３０のパ
ターニング後にオフセット印刷等によってカラーフィル
タ層３１を形成したとき、ブラックマトリックス３０の
両端側でカラーフィルタ層３１が隆起しやすく、表面の
平滑性が損なわれ、コントラストの低下を招く原因とな
る。しかも、カーボンブラック等を分散させた感光性樹
脂を使用すると、その硬化が不十分となりやすく、塗膜
性能が劣るために、パターン精度が悪く解像性が劣化す
るという欠点もある。
【０００８】本発明はこのような実情に鑑みてなされた
もので、コントラストや解像性を損なうことがなく、ま
た、製造に際して有害物質を発生することなく、しかも
コストアップを伴うことなく光反射率を抑制することの
できるカラーフィルタ付基板用ブラックマトリックスの
提供を目的としている。
もので、コントラストや解像性を損なうことがなく、ま
た、製造に際して有害物質を発生することなく、しかも
コストアップを伴うことなく光反射率を抑制することの
できるカラーフィルタ付基板用ブラックマトリックスの
提供を目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のカラーフィルタ付基板用ブラックマトリッ
クスは、その材質がニッケルと銅を主成分とする合金か
らなることを特徴としている（請求項１）。
め、本発明のカラーフィルタ付基板用ブラックマトリッ
クスは、その材質がニッケルと銅を主成分とする合金か
らなることを特徴としている（請求項１）。
【００１０】ここで、本発明のブラックマトリックスに
おいては、合金を構成する主成分であるニッケルと銅の
合計の含有率が重量比で５０％以上とすることが望まし
い（請求項２）。
おいては、合金を構成する主成分であるニッケルと銅の
合計の含有率が重量比で５０％以上とすることが望まし
い（請求項２）。
【００１１】本発明のブラックマトリックスによると、
その材質がニッケルと銅とを主成分とする合金であるた
め、クロムまたはクロム合金を用いる場合と同様に膜厚
を薄く（０．１μｍ程度）することができると同時に、
クロムを用いる場合に比してより黒色を含んだ合金とな
るが故に遮光性に優れたブラックマトリックスを得るこ
とができる。しかも、クロムを用いる場合のようにパタ
ーニングの際に有害物質を発生することもない。
その材質がニッケルと銅とを主成分とする合金であるた
め、クロムまたはクロム合金を用いる場合と同様に膜厚
を薄く（０．１μｍ程度）することができると同時に、
クロムを用いる場合に比してより黒色を含んだ合金とな
るが故に遮光性に優れたブラックマトリックスを得るこ
とができる。しかも、クロムを用いる場合のようにパタ
ーニングの際に有害物質を発生することもない。
【００１２】また、ニッケルと銅の合計の含有率を増大
させていくほど黒色性に富んだ合金膜を形成することが
でき、請求項２に係る発明のようにこれらの合計の含有
率を重量比で５０％以上とすると、反射率の低いブラッ
クマトリックスを得ることができる。
させていくほど黒色性に富んだ合金膜を形成することが
でき、請求項２に係る発明のようにこれらの合計の含有
率を重量比で５０％以上とすると、反射率の低いブラッ
クマトリックスを得ることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態である
カラー液晶パネルの模式的断面図である。透明ガラス基
板１は、大型化、薄型化、低コスト化が要求されている
ＴＦＴ用として主流の３６０×４６５ｍｍのガラス基板
で、そのガラス基板１１の一面に膜厚約２００ÅのＳｉ
Ｏ2 膜１１が形成されている。そのＳｉＯ2 膜１１の上
面に、膜厚が約０．１μｍのブラックマトリックス２が
形成されている。
カラー液晶パネルの模式的断面図である。透明ガラス基
板１は、大型化、薄型化、低コスト化が要求されている
ＴＦＴ用として主流の３６０×４６５ｍｍのガラス基板
で、そのガラス基板１１の一面に膜厚約２００ÅのＳｉ
Ｏ2 膜１１が形成されている。そのＳｉＯ2 膜１１の上
面に、膜厚が約０．１μｍのブラックマトリックス２が
形成されている。
【００１４】このブラックマトリックス２はニッケル
（Ｎｉ）と銅（Ｃｕ）とを主成分とする合金からなり、
この例においては重量比でＮｉが約６０％、Ｃｕが約３
５％であって、他に微量の金属等の成分を含んでいる。
そのＮｉ，Ｃｕ以外の成分としては、Ｆｅ、Ｍｎ等の金
属のほか、Ｓｉ、Ｃ、Ｓ等を含んでもよい。
（Ｎｉ）と銅（Ｃｕ）とを主成分とする合金からなり、
この例においては重量比でＮｉが約６０％、Ｃｕが約３
５％であって、他に微量の金属等の成分を含んでいる。
そのＮｉ，Ｃｕ以外の成分としては、Ｆｅ、Ｍｎ等の金
属のほか、Ｓｉ、Ｃ、Ｓ等を含んでもよい。
【００１５】ブラックマトリックス２は、上記組成から
なる合金材料をターゲットとしたスパッタ蒸着によりＳ
ｉＯ2 膜１１上に一様な合金膜を形成したのち、エッチ
ングにより格子状にパターニングすることによって形成
される。
なる合金材料をターゲットとしたスパッタ蒸着によりＳ
ｉＯ2 膜１１上に一様な合金膜を形成したのち、エッチ
ングにより格子状にパターニングすることによって形成
される。
【００１６】格子状のブラックマトリックス２によって
仕切られた各微小部分がそれぞれ色画素部３を構成し、
その各色画素部３に、それぞれ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）の３色からなるカラーフィルタ層４が形成されて
いる。なお、このカラーフィルタ層４は、従来と同様に
オフセット印刷等によって塗布される。
仕切られた各微小部分がそれぞれ色画素部３を構成し、
その各色画素部３に、それぞれ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）の３色からなるカラーフィルタ層４が形成されて
いる。なお、このカラーフィルタ層４は、従来と同様に
オフセット印刷等によって塗布される。
【００１７】そして、そのカラーフィルタ層４の上に
は、トップコート層５を介してＩＴＯ電極直ぐが形成さ
れている。以上の本発明の実施の形態によると、Ｎｉお
よびＣｕを重量比で約６０％および３５％で含有する合
金は、スパッタ蒸着により容易に０．１μｍ程度の膜厚
とすることができるため、その上に設けられるカラーフ
ィルタ層４は平滑性に富んだものとなり、コントラスト
の良好なカラー液晶パネルとなる。
は、トップコート層５を介してＩＴＯ電極直ぐが形成さ
れている。以上の本発明の実施の形態によると、Ｎｉお
よびＣｕを重量比で約６０％および３５％で含有する合
金は、スパッタ蒸着により容易に０．１μｍ程度の膜厚
とすることができるため、その上に設けられるカラーフ
ィルタ層４は平滑性に富んだものとなり、コントラスト
の良好なカラー液晶パネルとなる。
【００１８】また、遮光性を表す光学濃度ＯＤ値につい
ては、ＣｒまたはＣｒを主成分とする合金からなる従来
のブラックマトリックスと同様に３以上とすることがで
きるとともに、カラーフィルタ層４の３原色材料に対す
る密着性についても、Ｃｒを用いる場合と同様に金属膜
の特性として優れたものとなる。
ては、ＣｒまたはＣｒを主成分とする合金からなる従来
のブラックマトリックスと同様に３以上とすることがで
きるとともに、カラーフィルタ層４の３原色材料に対す
る密着性についても、Ｃｒを用いる場合と同様に金属膜
の特性として優れたものとなる。
【００１９】そして、ＴＦＴ型のカラー液晶パネルにお
けるブラックマトリックスに要求される低反射性につい
ては、Ｎｉを６０％程度含んでいるため黒色性に優れ、
Ｃｒ膜と酸化クロム膜とを積層した構造のブラックマト
リックスと同等またはそれ以上とすることができる。
けるブラックマトリックスに要求される低反射性につい
ては、Ｎｉを６０％程度含んでいるため黒色性に優れ、
Ｃｒ膜と酸化クロム膜とを積層した構造のブラックマト
リックスと同等またはそれ以上とすることができる。
【００２０】更に、以上の実施の形態において特に注目
すべき点は、ブラックマトリックス２の組成がＮｉ約６
０％、Ｃｕ約３５％程度であり、Ｃｒを含んでいないこ
とから、蒸着後に格子状にパターニングする工程におい
て、ＣｒまたはＣｒを主成分とする合金を蒸着してパタ
ーニングする場合のような有害物質を発生しない点であ
り、環境面での対応を特に必要とすることがない、とい
う利点がある。
すべき点は、ブラックマトリックス２の組成がＮｉ約６
０％、Ｃｕ約３５％程度であり、Ｃｒを含んでいないこ
とから、蒸着後に格子状にパターニングする工程におい
て、ＣｒまたはＣｒを主成分とする合金を蒸着してパタ
ーニングする場合のような有害物質を発生しない点であ
り、環境面での対応を特に必要とすることがない、とい
う利点がある。
【００２１】なお、以上の実施の形態では、ブラックマ
トリックス２の組成としてＮｉ約６０％、Ｃｕ約３５％
として、他に微量の金属等を含有する合金としたが、Ｎ
ｉおよびＣｕの組成比はこれに限定されることなく、合
金中に占めるＮｉおよびＣｕの合計の重量比が５０％以
上であれば、上記と略同等の作用効果を奏することがで
きる。
トリックス２の組成としてＮｉ約６０％、Ｃｕ約３５％
として、他に微量の金属等を含有する合金としたが、Ｎ
ｉおよびＣｕの組成比はこれに限定されることなく、合
金中に占めるＮｉおよびＣｕの合計の重量比が５０％以
上であれば、上記と略同等の作用効果を奏することがで
きる。
【００２２】また、ＮｉおよびＣｕを主成分とするブラ
ックマトリックスをスパッタ蒸着により蒸着する際、雰
囲気中のＯ2 ガスおよびＮ2 ガスの割合を変化させるこ
とにより、エッチング特性を制御することが可能である
ことが確かめられている。
ックマトリックスをスパッタ蒸着により蒸着する際、雰
囲気中のＯ2 ガスおよびＮ2 ガスの割合を変化させるこ
とにより、エッチング特性を制御することが可能である
ことが確かめられている。
【００２３】更に、本発明においては、ブラックマトリ
ックスの膜厚は約０．１μｍに限られることなく、金属
膜の特性を利用した薄い膜であれば特にその膜厚は問わ
れることはない。
ックスの膜厚は約０．１μｍに限られることなく、金属
膜の特性を利用した薄い膜であれば特にその膜厚は問わ
れることはない。
【００２４】また、上記した実施の形態においては、ガ
ラス基板１の上にＳｉＯ2 膜１１を形成し、その上にブ
ラックマトリックス２を形成したが、図２に本発明の他
の実施の形態の要部構造を模式的断面図で示すように、
ＳｉＯ2 膜１１上に光吸収膜層（約５００Å）を設け、
その上にブラックマトリックス２を形成してもよく、こ
の場合、ブラックマトリックス２の反射率をより低くす
ることが可能となる。
ラス基板１の上にＳｉＯ2 膜１１を形成し、その上にブ
ラックマトリックス２を形成したが、図２に本発明の他
の実施の形態の要部構造を模式的断面図で示すように、
ＳｉＯ2 膜１１上に光吸収膜層（約５００Å）を設け、
その上にブラックマトリックス２を形成してもよく、こ
の場合、ブラックマトリックス２の反射率をより低くす
ることが可能となる。
【００２５】更にまた、ガラス基板としてソーダガラス
を使用する場合には、上記の各実施の形態のようにＳｉ
Ｏ2 膜を成膜した後、ブラックマトリックスをパターニ
ングする場合が多いが、ガラス基板にノンソーダガラス
を用いる場合には、ＳｉＯ2膜を設けない場合がある。
つまり、本発明においては、ＳｉＯ2 膜は必須の構成要
件ではなく、光吸収膜を形成する場合をも含めて、用い
るガラス基板の材質に応じて適宜に設けれ足りる。
を使用する場合には、上記の各実施の形態のようにＳｉ
Ｏ2 膜を成膜した後、ブラックマトリックスをパターニ
ングする場合が多いが、ガラス基板にノンソーダガラス
を用いる場合には、ＳｉＯ2膜を設けない場合がある。
つまり、本発明においては、ＳｉＯ2 膜は必須の構成要
件ではなく、光吸収膜を形成する場合をも含めて、用い
るガラス基板の材質に応じて適宜に設けれ足りる。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、カラー
フィルタ付基板用ブラックマトリックスとして、その材
質をニッケルと銅を主成分とする合金で構成しているた
め、低反射、遮光性等の光学特性を、従来のＣｒまたは
Ｃｒの合金を用いたブラックマトリックスと同等または
それ以上に良好なものとすることができ、しかも、その
パターニングの際に有害な物質を発生することがなく、
環境に悪影響を及ぼすことなく製造することができる。
フィルタ付基板用ブラックマトリックスとして、その材
質をニッケルと銅を主成分とする合金で構成しているた
め、低反射、遮光性等の光学特性を、従来のＣｒまたは
Ｃｒの合金を用いたブラックマトリックスと同等または
それ以上に良好なものとすることができ、しかも、その
パターニングの際に有害な物質を発生することがなく、
環境に悪影響を及ぼすことなく製造することができる。
【００２７】また、膜厚についても樹脂を使用する場合
に比して薄くすることができ、平滑性に優れ、高コント
ラスト化を図ることができ、画像の高品位化に対応する
こともできる。
に比して薄くすることができ、平滑性に優れ、高コント
ラスト化を図ることができ、画像の高品位化に対応する
こともできる。
【００２８】更に、特に多層化することなく上記の光学
特性をはじめとする諸性能を発揮することができるの
で、コスト的に有利であると同時に、大量生産にも適し
たものとなる。
特性をはじめとする諸性能を発揮することができるの
で、コスト的に有利であると同時に、大量生産にも適し
たものとなる。
【図１】本発明の実施の形態であるカラー液晶パネルの
構成を示す模式的断面図
構成を示す模式的断面図
【図２】本発明の他の実施の形態の要部構成を示す模式
的断面図
的断面図
【図３】樹脂製のブラックマトリックスを用いた従来の
カラー液晶パネルの要部構造を示す模式的断面図
カラー液晶パネルの要部構造を示す模式的断面図
１ ガラス基板 ２ ブラックマトリックス ３ 色画素部 ４ カラーフィルタ層 １１ ＳｉＯ2 膜 ２０ 光吸収膜層
Claims (2)
- 【請求項１】 カラー液晶パネルに使用されるカラーフ
ィルタ付基板に、色画素間を仕切るようにパターニング
されるブラックマトリックスであって、その材質がニッ
ケルと銅とを主成分とする合金であることを特徴とする
カラーフィルタ付基板用ブラックマトリックス。 - 【請求項２】 上記合金は、主成分であるニッケルと銅
との合計の含有率が重量比で５０％以上であることを特
徴とする、請求項１に記載のカラーフィルタ基板用ブラ
ックマトリックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2567397A JPH10221520A (ja) | 1997-02-07 | 1997-02-07 | カラーフィルタ付基板用ブラックマトリックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2567397A JPH10221520A (ja) | 1997-02-07 | 1997-02-07 | カラーフィルタ付基板用ブラックマトリックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10221520A true JPH10221520A (ja) | 1998-08-21 |
Family
ID=12172311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2567397A Pending JPH10221520A (ja) | 1997-02-07 | 1997-02-07 | カラーフィルタ付基板用ブラックマトリックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10221520A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010008680A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Mitsubishi Gas Chemical Co Inc | ブラックマトリックス表面処理用水溶液及びブラックマトリックスの表面処理方法 |
| EP3012714B1 (en) * | 2013-06-19 | 2021-12-22 | Toppan Printing Co., Ltd. | Substrate for display device, and display device |
-
1997
- 1997-02-07 JP JP2567397A patent/JPH10221520A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010008680A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Mitsubishi Gas Chemical Co Inc | ブラックマトリックス表面処理用水溶液及びブラックマトリックスの表面処理方法 |
| EP3012714B1 (en) * | 2013-06-19 | 2021-12-22 | Toppan Printing Co., Ltd. | Substrate for display device, and display device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6285424B1 (en) | Black mask, color filter and liquid crystal display | |
| US20090051860A1 (en) | Blank, black matrix, and color filter | |
| US5808714A (en) | Low reflection shadow mask | |
| US7136121B2 (en) | RGB resins covering the black matrix and filling three contiguous aperture, each jointing adjacent resins and forming a continuous flat surface | |
| JP2005091788A (ja) | エレクトロクロミック素子 | |
| JP4569016B2 (ja) | 液晶表示装置用ブラックマトリクスおよびカラーフィルタ | |
| JPH10221520A (ja) | カラーフィルタ付基板用ブラックマトリックス | |
| JPH063506B2 (ja) | カラー液晶表示用透明基板 | |
| JP3969743B2 (ja) | 低反射薄膜基板 | |
| US6268693B1 (en) | Cathode ray tube having a reduced difference in light transmittances between a central region and a peripheral region of a panel face thereof | |
| JPH11119676A (ja) | ブランクス及びブラックマトリクス | |
| JP4419037B2 (ja) | ブラックマトリックス用遮光膜を形成するためのスパッタリングターゲット | |
| JPH05127014A (ja) | カラーフイルタ用ブラツクマスク | |
| JP2000121825A (ja) | 遮光層付き基板、その製造方法並びにスパッタターゲット、カラーフィルタ基板、及び表示素子 | |
| JPH11119007A (ja) | ブランクス及びブラックマトリクス | |
| JP3305189B2 (ja) | カラー表示装置及び該カラー表示装置の製造方法 | |
| JPH10307204A (ja) | 遮光層付き基板及びその製造方法並びにカラーフィルタ基板及び液晶表示素子 | |
| JP4419036B2 (ja) | ブラックマトリックス用遮光膜を形成するためのスパッタリングターゲット | |
| JPH1124058A (ja) | 遮光層付き基板及びその製造方法及びカラーフィルタ基板及び液晶表示素子 | |
| JPH1152126A (ja) | 遮光層付き基板及びその製造方法及びカラーフィルタ基板及び液晶表示素子 | |
| JPH0713147A (ja) | カラーフィルター基板及び液晶表示素子 | |
| JP2001311812A (ja) | ブラックマトリックスを形成するための遮光膜および遮光膜形成用スパッタリングターゲット | |
| JP2925643B2 (ja) | カラーフィルター | |
| JP3131375B2 (ja) | カラー表示装置及び該カラー表示装置の製造方法 | |
| JP2000206314A (ja) | 遮光層付き基板、カラ―フィルタ基板、表示素子、遮光層付き基板を形成するためのタ―ゲット及び遮光層付き基板の製造方法 |