JPH10221248A - 光学的検査方法及び光学的検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 生物組織に代表される光学的散乱体の内部構
造を無侵襲に計測するために有用な、高いコントラスト
で被検物体の内部構造を検査・表示することのできる光
学的検査方法を提供する。 【解決手段】 本発明の光学的検査方法では、空間的に
不均一に分布する光吸収特性及び光散乱特性を有する被
検物体１１に対して検査光９を照射し、該被検物体１１
からの後方散乱光を測定する。この際、異なる中心波長
を有する複数の検査光を被検物体内の任意の場所（集光
点１５）に集光し、該場所から後方に反射される異なる
中心波長を有する複数の非散乱光成分の強度を検出し、
該複数の非散乱光成分の強度の相対的関係を上記被検物
体１１内の任意の場所について算出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、生物組織に代表さ
れる光学的散乱体（被検物体）の内部構造を無侵襲に計
測する光学的検査方法及び光学的検査装置に関する。特
には、高いコントラストで被検物体の内部構造を検査・
表示することのできる光学的検査方法及び光学的検査装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】生体組織の解剖学的情報や病理・生理学
的情報を無侵襲に計測できる方法としては、Ｘ線ＣＴや
ＭＲＩ、超音波断層、ＰＥＴ等が実用化されている。さ
らに、これらの測定技術でも可視化することができない
組織構造変化を光波を用いて可視化する試みも行われて
いる。この技術分野は一般に光ＣＴ技術と呼ばれている
（応用物理、第62巻第１号、p10-17等参照）。

【０００３】光ＣＴには大別すると２つの手法があり、
一つは前方散乱透過光を検出する方法、他は後方散乱光
を検出する方法である。光ＣＴでは、通常、比較的生体
内における吸収が少ない可視光から近赤外光にかけての
電磁波が入射光（検査光）として用いられるが、この領
域の電磁波はＸ線や電波（ＭＲＩ）などに比べると、生
体内における散乱が強く、またその散乱過程が非常に複
雑である（例えば、The Journal of Investigative Der
matology, Vol. 77, No. 1, p13-19(1981)等参照）。前
方散乱透過光を検出することにより、精度の高い内部構
造を可視化するためには、散乱過程をどのように数学的
に処理するかが困難な課題として残されている。一方、
後方散乱光を検出することにより、組織表層の構造を可
視化する試みは、時間的コヒーレンスの短い光源と干渉
光学系を用いて行われ、比較的精度の高い内部像が得ら
れている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような方法の一例
として、Science, Vol. 254, p1178-1181(1991) 等に
は、時間的コヒーレンスの短い光波を被検物体に入射す
る以前に位相特性を保持したまま２分割し、分割された
一方の光波を物体に入射し、他方を参照面で反射させた
後に前記の物体から後方散乱された一方の光波と光学的
に干渉させることにより、物体表層の内部構造を可視化
する方法が開示されている。しかしながら、この方法で
は、例えば、物体表層に強く光を吸収する層が存在する
と、その光吸収層より物体の内部からの信号が著しく減
衰する。従って、光吸収層の厚み、あるいは光吸収層下
部の構造を知ることが困難であった。

【０００５】本発明は、物体内に光吸収係数の大きな領
域が存在する場合でも、その光吸収の強い領域とその下
部構造を正確に可視化しうる光学的検査方法及び光学的
検査装置を提供することを目的とする。また、より一般
的には、生物組織に代表される光学的散乱体（被検物
体）の内部構造を無侵襲に計測するために有用な、高い
コントラストで被検物体の内部構造を検査・表示するこ
とのできる光学的検査方法及び光学的検査装置を提供す
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の第１態様の光学的検査方法は、 空間的に
不均一に分布する光吸収特性及び／又は光散乱特性を有
する被検物体に対して検査光を照射し、該被検物体から
の後方散乱光を測定して該被検物体内における光吸収特
性及び光散乱特性についての情報を得る光学的検査方法
であって； 異なる中心波長を有する複数の検査光を被
検物体内の任意の場所に集光し、 該場所から後方に反
射される異なる中心波長を有する複数の非散乱光成分の
強度を検出し、 該複数の非散乱光成分の強度の相対的
関係を上記被検物体内の任意の場所について算出するこ
とを特徴とする。

【０００７】各検査光の非散乱光単独の情報に基づいて
被検物体の光学的特性を対象とするよりも、複数の検査
光の非散乱光成分の相対的な関係を対象としたほうが、
より明確な光学的特性に関する情報（コントラストの高
い画像情報等）を得ることができる場合がある。

【０００８】

【発明の実施の形態】この態様の光学的検査方法におい
ては、上記複数の検査光を同時に同一の場所に集光し、
上記複数の非散乱光成分を分離してその強度を検出する
ことが好ましい。

【０００９】また、上記複数の検査光のうちの１つが上
記被検物体内に存在する光吸収体の吸収係数が比較的低
い光であり、上記複数の検査光のうちの他の１つが上記
被検物体内に存在する光吸収体の吸収係数が比較的高い
光であることが好ましい。これは、後方散乱光の減衰に
おける、光波伝播経路に存在する光吸収体による減衰と
光散乱過程に起因する減衰とに分割することを容易とす
る。以下の実施例で述べるように、測定の対象となる光
吸収物質に応じて、入射波長は変化させる。

【００１０】本発明の第２態様の光学的検査方法は、
空間的に不均一に分布する光吸収特性及び光散乱特性を
有する被検物体に対して検査光を照射し、該被検物体か
らの後方散乱光を測定して該被検物体内における光吸収
特性及び／又は光散乱特性についての情報を得る光学的
検査方法であって； 検査光を被検物体の内の任意の場
所に集光し、 この際、集光の位置を、上記場所を中心
として光軸方向に周期的にわずかに上下させ、 上記場
所から後方に散乱させる非散乱光の強度を検出し、 該
非散乱光強度を示す信号のうち、上記集光の位置を周期
的に上下させる周波数と同期する信号のみを増幅し、
この信号を上記被検物体内の任意の場所について表示す
ることを特徴とする。

【００１１】この態様の場合、測定値そのものが微分値
の性格を有し、光学的特性の変化する被検物体の部分
（境界部）で大きな測定値（信号）を得ることができ
る。したがって、境界部の像を高いコントラストで表示
することができる。

【００１２】本発明の第１態様の光学的検査装置は、
空間的に不均一に分布する光吸収特性及び／又は光散乱
特性を有する被検物体に対して検査光を照射し、該被検
物体からの後方散乱光を測定して該被検物体内における
光吸収特性及び光散乱特性についての情報を得る光学的
検査装置であって； 異なる中心波長を有する２つ以上
の検査光を共軸に被検物体に入射する手段と、 後方散
乱光の強度を、それぞれの入射光ごとに計測する手段
と、 被検物体内に進入した光波の非散乱成分を、物体
内の任意の場所の有限の空間領域に集光するための光学
系と、 該空間領域から後方に反射される非散乱光成分
を選択的に検出するための光学系と、 検出された該光
波を異なる中心波長を有する２つ以上の光波成分に分離
する光学系と、該分離された光波成分の強度を測定する
ための光検出装置と、 各空間領域に対応させて上記複
数の非散乱光成分の強度の相対的関係を表示する手段
と、 を具備することを特徴とする。

【００１３】本発明の第２態様の光学的検査装置は、
空間的に不均一に分布する光吸収特性及び／又は光散乱
特性を有する被検物体に対して検査光を照射し、該被検
物体からの後方散乱光を測定して該被検物体内における
光吸収特性及び光散乱特性についての情報を得る光学的
検査装置であって； 検査光を被検物体内の任意の場所
に集光する手段と、 集光の位置を、上記場所を中心と
して光軸方向に周期的にわずかに上下させる手段と、
上記場所から後方に散乱させる非散乱光の強度を検出す
る手段と、 該非散乱光強度を示す信号のうち、上記集
光の位置を周期的に上下させる周波数と同期する信号の
みを増幅する手段と、 この信号を上記被検物体内の任
意の場所について表示する手段と、 を具備することを
特徴とする。

【００１４】図１は、本発明の第１態様の光学的検査装
置の構成を概念的に示す図である。光学的検査装置１
は、光源３を有する。この光源３は異なる中心波長を有
する２種類の検査光４を、共軸に、図の下方に発する。
検査光４はハーフミラー５を透過して下方に進み、集光
光学系７に入る。集光光学系７を出た検査光９は、収束
光となり被検物体１１中に入射し、被検物体１１中の任
意の場所（集光点１５）に集光する。なお、被検物体１
１中の符号１３は、光吸収物質である。

【００１５】一方、集光点１５で後方に散乱した後方散
乱光は、図の上方に進み集光光学系７を通過してハーフ
ミラー５で図の右方向に反射される。なお、検出光学系
を別に独立して設けて、集光光学系を後方散乱光が通過
しない構成とすることもできる。ハーフミラー５で反射
した後方散乱光２１は、レンズ２３で集光され、集光点
１５と共役の焦点の位置に配置されたピンホール２５内
に集光する。このピンホール２５によって、被検物体１
１中の集光点１５からの後方散乱光が選択的にその後の
測定光学系に入射される。

【００１６】ピンホール２５を出た後方散乱光２６は、
レンズ２７で平行化された後に分光手段２９に入射す
る。分光手段２９は、後方散乱光２６を、２種類の異な
る波長（各検査光波長）に分割して、受光器３１、３３
に送る。受光器３１、３３は、各波長の光の強度を測定
する。

【００１７】集光光学系７と被検物体１１との間には、
集光点１５を被検物体１１中で三次元的に走査するため
の集光点走査手段４１が設けられている。この走査手段
４１は、基本的には、集光光学系７と被検物体１１の相
対的な位置を固定したまま集光点１５を動かす方式と、
集光光学系７と被検物体１１の相対的な位置を動かす方
式のいずれかを採用できる。符号４３は、集光点１５の
位置（変位量）を計測するための手段である。

【００１８】本発明の第１態様の光学的検査装置では、
入射光として波長の異なる複数の光波を用いる。それぞ
れの光波が物体中に存在する光吸収体を透過する際の吸
収による減衰は、光波の波長に依存する。一方、散乱に
よる光波の減衰の波長依存性は比較的緩慢である。例え
ば、人体の皮層における後方散乱係数は、６００nmの光
で８５０nmの光での高々２倍程度である。一方、メラニ
ンの吸収係数は、６００nmの光で８５０nmの光の５倍に
も達する。したがって、このような２波長における後方
散乱光の差（あるいは商等）を測定すれば、光波伝播経
路中の光吸収体による光吸収量を、高いＳ／Ｎで測定す
ることが可能となる。

【００１９】次に考えなければならない問題は、その光
吸収体の空間分布をどのように測定するかである。本態
様では、散乱物体中を伝播する仮想的な非散乱光成分が
有限の空間領域で集光するように、集光光学系を設定
し、同様に検出光学系も集光点からの非散乱光成分のみ
を検出するように、サンプルの屈折率等を想定して設定
した。非散乱光成分とは実際は前方多重散乱直進光成分
と呼ぶほうが正しいといえるが、入射、検出光学系を設
定する際の設計原理であるので、あえて非散乱光成分と
呼んだ。

【００２０】図２に示すような、被検物体１１の表面に
垂直な方向をＺ軸とし、Ｚ軸に沿って集光点１５を被検
物体１１中で移動した場合を考える。被検物体１１に入
射する二種類の検査光Ａ光とＢ光のうち、Ａ光は物体中
の斜線領域（光吸収物質１３）にある程度吸収され、非
斜線領域１４では吸収されない。また、Ａ光Ｂ光はとも
に両領域１３、１４で同じ散乱特性を持つと仮定する。

【００２１】Ａ光とＢ光の後方散乱光を、入射光学系を
介して測定する場合を、簡単なモデルを用いて計算した
結果を図３に示す。図３において、縦軸は後方散乱光強
度の対数を表し、横軸は集光点のＺ軸位置を表す。図中
の上の実線は、Ｂ光の後方散乱光強度を示す。このＢ光
の後方散乱光強度は、被検物体１１の散乱の影響で、集
光点のＺ軸位置が深くなるほど直線的に低下する。一
方、図中の真中の破線はＡ光の後方散乱光強度を示す。
Ａ光の後方散乱光強度の線は、三本の折れ線５１、５
３、５５となっている。これは、両側の折れ線５１、５
５が散乱のみの領域（図２の符号１４）に対応してお
り、中央の折れ線５３がＡ光の光吸収物質（斜線領域１
３）に対応している。中央の折れ線５３は、光吸収物質
のＡ光吸収の影響で、両側の折れ線５１、５５よりも後
方散乱光の低下が激しい。

【００２２】図３の一番下の点線はＡ／Ｂ（Ａ光の後方
散乱光とＢ光の後方散乱光の対数差）を示す。この線Ａ
／Ｂも、折れ線６１、６３、６５となっているが、各折
れ線６１、６３、６５の境界部の曲がり具合（各線の傾
斜の差）が、Ａ光の線（破線）よりも明確となってい
る。そして、折れ線６３の対応部分（Ｚ軸のｑからｒ）
が、光吸収物質１３に対応する領域であることがわか
る。集光点を二次元あるいは三次元点に走査しながら、
この折れ線６３に対応する領域を画像表示すれば、生体
物中における特異な光吸収物質領域をＣＴ表示できる。

【００２３】次に図１の態様の光学的検査装置の個々の
機能部分について説明する。光源３としては複数のレー
ザーを用いることが最も簡便である。キセノンランプ等
のインコヒーレント光源からの光を回折格子等で分光し
て用いることも可能であるが、輝度が低い点が不利であ
る。また、必要に応じて、単一レーザーの基本波と高調
波、あるいはパラメトリック発振等も利用できる。

【００２４】集光レンズは通常の光学レンズ、反射鏡な
どが使える。集光点の移動は、三次元駆動ステージ等に
より、光学系と被検物体の相対的な位置の移動により行
うことができる。あるいは、必要に応じて、可動ミラー
等により集光光学系に入射する光の伝播方向を変化させ
ることによっても行うことができる。集光点の移動距離
は、上記の相対的な位置の変化量や、波数ベクトルの変
化量から見積もることができる。

【００２５】検出光学系で検出された後方直進散乱光
は、再び光学系を経て上記焦点に共役な点に集光され
る。この集光点にピンホールを配することにより焦点以
外の場所からの散乱光成分を除去する。ピンホールを経
た光は、分光光学系を経て、各波長の光に分割され、そ
れぞれの光強度が測定される。分光光学系として、回折
格子、プリズム等の分散媒質、多層膜反射鏡（ダイクロ
イックミラー）、色ガラスフィルター等が使える。各波
長の光強度は集光点位置の情報と共に記録され、数値的
解析がなされる。必要に応じて、検出器の出力は電気回
路において演算することも可能である。数値解析、及び
演算結果から吸収体の存在領域が推定される。

【００２６】

【実施例】

実施例１ 図４は、本発明の一実施例に係る光学的検査装置の構成
を示す。光源として、ヘリウムネオンレーザー３ａ（波
長６３３nm）とネオジミウムＹＡＧレーザー３ｂ（波長
１，０６０nm）を用いた。それぞれのレーザーの前部に
はアイソレータ３ａ′、３ｂ′を配置した。両方のレー
ザーはダイクロイックミラー５１で共軸に合波され、光
学的チョッパー５３、半透明鏡５、対物レンズ７を経て
サンプル１１に入射された。光学的チョッパー５３は、
その強度変調周波数に同期する出力成分のみを増幅し
て、Ｓ／Ｎ比を高めるためのものである。使用した対物
レンズ７のＮＡは０．２５、ワーキング距離約４０mm、
倍率は２０倍であった。

【００２７】サンプル１１は表層部分にメラノーマ（悪
性黒色腫、光吸収物質１３）が存在する人体組織サンプ
ルである。６３３nmにおけるメラノーマの光吸収係数
は、１，０６０nmにおけるその吸収係数よりも５倍以上
大きい。一方、６３３nmにおけるメラノーマ及び通常の
人体組織における光散乱係数は、１，０６０nmのそれの
高々２倍である。サンプル１１内の集光点１５から後方
に散乱された光は、対物レンズ７を経て、半透明鏡５で
反射され、ピンホール２５内の共役な焦点に集光され
る。このピンホール２５で、サンプル中の仮想的な焦点
（集光点１５）から、散乱を受けずに対物レンズ７に到
達した光のみ選択される。前述したように、ここで言う
非散乱光成分とは厳密には多重散乱直進光成分を意味す
る。

【００２８】ピンホール２５で空間的な選別を受けた後
方散乱光は、次に光学プリズム２９で分光され、それぞ
れ光検出器３１ｂ及び３３ｂに入射する。ここで、３１
ａ及び３３ａは、１，０６０nm、６３３nmの光をそれぞ
れ再度選別するためのシャープカットフィルターであ
る。４１は、サンプル１１の保持台１６を移動するため
の三次元移動ステージである。４３は、その変位量を測
定するための装置である。

【００２９】サンプル１１をある位置に固定した状態
で、光検出器３１ｂ、及び３３ｂからの出力をロックイ
ンアンプ５５に入力し、Ｓ／Ｎ比を高めるため、光学的
チョッパー５３による強度変調周波数に同期する出力成
分のみを増幅し、コンピュータ５７に記録した。次に適
当量サンプル１１を移動し、再びロックインアンプ５５
の出力を記録した。以上の測定を、集光点１５をサンプ
ル１１内で三次元的に走査しながら、異なるサンプル位
置で繰り返した。最後にサンプル１１に依存する信号を
解析し、メラノーマの存在領域を推定しＣＲＴ５９に画
像表示した。この際、必要に応じて両光検出器３１ｂ、
３３ｂからの信号の比を計算した。

【００３０】実施例２ 図５は、本発明の他の１実施例（第二態様）に係る光学
的検査装置の構成を示す。図５の光学的検査装置におい
て図４の光学的検査装置と同一の符号で示されているも
のは、同様の部品又は部分である。

【００３１】本実施例の特徴は、対物レンズ７を駆動す
るピエゾアクチュエータ６１を有することである。ピエ
ゾアクチュエータ６１は、対物レンズ７とサンプル１１
間の距離を、レンズの光軸に平行に周期的に変化させ
る。本実施例では、レンズ７とサンプルホルダー１６間
に積層型ピエゾ素子を配し、ピエゾ素子に交流電圧を印
加することによってレンズサンプル間距離を周期的に変
動させた。サンプル１１をある位置に固定した状態で、
光検出器３１ｂ及び３３ｂからの出力をロックインアン
プ５５に入力し、ピエゾアクチュエータ６１に印加して
いる交流電圧に同期する出力成分のみを増幅し、コンピ
ュータ５７に記録した。次に適当量サンプル１１を移動
し、再びロックインアンプ５５の出力を記録した。以上
の測定を、集光点１５をサンプル１１内で三次元的に走
査しながら、異なるサンプル位置で繰り返した。最後に
サンプル１１に依存する信号を解析し、メラノーマの存
在領域を推定しＣＲＴ５９に画像表示した。この際、必
要に応じて両光検出器３１ｂ、３３ｂからの信号の比を
計算した。

【００３２】

【発明の効果】本発明の第１態様によれば、異なる光吸
収特性を有する光散乱体が混在する被検体に対して、複
数の中心波長を有する光波を入射し、被検体中の有限の
空間領域に前方多重散乱直進光成分を集光し、該集光領
域から反射される直進光成分のみを分光検出することに
より、被検体中の異なる光吸収特性を有する物体の空間
分布をより正確に測定することができる。

【００３３】また、本発明の第２態様によれば、検査光
の集光の位置を周期的にわずかに上下させ、その上下動
の周波数と同期する信号のみを増幅するので、測定値そ
のものが微分値の性格を有し、光学的特性の変化する被
検物体の部分（境界部）で大きな測定値（信号）を得る
ことができる。したがって、境界部の像を高いコントラ
ストで表示することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１態様の光学的検査装置の構成を概
念的に示す図である。

【図２】本発明の第一態様の測定原理を説明するための
図である。

【図３】二種類の検査光Ａ光とＢ光の後方散乱光を、入
射光学系を介して測定する場合を、簡単なモデルを用い
て計算した結果を示す。

【図４】本発明の一実施例に係る光学的検査装置の構成
を示す。

【図５】本発明の他の１実施例に係る光学的検査装置の
構成を示す。

【符号の説明】

１ 光学的検査装置 ３ 光源 ４ 検査光 ５ ハーフミラー ７ 集光光学系 ９ 検査光・後方
散乱光 １１ 被検物体 １３ 光吸収物質 １５ 集光点 １６ サンプル保
持台 ２１ 後方散乱光 ２３ レンズ ２５ ピンホール ２７ レンズ ２９ 分光手段 ３１、３３ 受光
器 ４１ 集光点走査手段 ４３ 集光点位置
計測手段 ５１ ダイクロイックミラー ５３ 光学的チョ
ッパー ５５ ロックインアンプ ５７ コンピュー
タ ５９ ＣＲＴ ６１ ピエゾアク
チュエータ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 空間的に不均一に分布する光吸収特性及
   び／又は光散乱特性を有する被検物体に対して検査光を
   照射し、該被検物体からの後方散乱光を測定して該被検
   物体内における光吸収特性及び光散乱特性についての情
   報を得る光学的検査方法であって；異なる中心波長を有
   する複数の検査光を被検物体内の任意の場所に集光し、 該場所から後方に反射される異なる中心波長を有する複
   数の非散乱光成分の強度を検出し、 該複数の非散乱光成分の強度の相対的関係を上記被検物
   体内の任意の場所について算出することを特徴とする光
   学的検査方法。
2. 【請求項２】 上記検査光を、上記被検物体内に分布す
   る複数の場所に走査させながら集光し、各複数の場所に
   ついて上記複数の非散乱光成分の強度の相対的関係を算
   出し、算出した値を上記各場所に対応させて画像表示す
   ることを特徴とする請求項１記載の光学的検査方法。
3. 【請求項３】 上記複数の検査光を同時に同一の場所に
   集光し、上記複数の非散乱光成分を分離してその強度を
   検出することを特徴とする請求項１又は２記載の光学的
   検査方法。
4. 【請求項４】 上記複数の検査光のうちの１つが上記被
   検物体内に存在する光吸収体の吸収係数が比較的低い光
   であり、上記複数の検査光のうちの他の１つが上記被検
   物体内に存在する光吸収体の吸収係数が比較的高い光で
   あることを特徴とする請求項１又は２記載の光学的検査
   方法。
5. 【請求項５】 空間的に不均一に分布する光吸収特性及
   び／又は光散乱特性を有する被検物体に対して検査光を
   照射し、該被検物体からの後方散乱光を測定して該被検
   物体内における光吸収特性及び光散乱特性についての情
   報を得る光学的検査方法であって；検査光を被検物体の
   内の任意の場所に集光し、 この際、集光の位置を、上記場所を中心として光軸方向
   に周期的にわずかに上下させ、 上記場所から後方に散乱させる非散乱光の強度を検出
   し、 該非散乱光強度を示す信号のうち、上記集光の位置を周
   期的に上下させる周波数と同期する信号のみを増幅し、 この信号を上記被検物体内の任意の場所について表示す
   ることを特徴とする光学的検査方法。
6. 【請求項６】 空間的に不均一に分布する光吸収特性及
   び／又は光散乱特性を有する被検物体に対して検査光を
   照射し、該被検物体からの後方散乱光を測定して該被検
   物体内における光吸収特性及び光散乱特性についての情
   報を得る光学的検査装置であって；異なる中心波長を有
   する２つ以上の検査光を共軸に被検物体に入射する手段
   と、 後方散乱光の強度を、それぞれの入射光ごとに計測する
   手段と、 被検物体内に進入した光波の非散乱成分を、物体内の任
   意の場所の有限の空間領域に集光するための光学系と、 該空間領域から後方に反射される非散乱光成分を選択的
   に検出するための光学系と、 検出された該光波を異なる中心波長を有する２つ以上の
   光波成分に分離する光学系と、 該分離された光波成分の強度を測定するための光検出装
   置と、 各空間領域に対応させて上記複数の非散乱光成分の強度
   の相対的関係を表示する手段と、 を具備することを特徴とする光学的検査装置。
7. 【請求項７】 空間的に不均一に分布する光吸収特性及
   び／又は光散乱特性を有する被検物体に対して検査光を
   照射し、該被検物体からの後方散乱光を測定して該被検
   物体内における光吸収特性及び光散乱特性についての情
   報を得る光学的検査装置であって；検査光を被検物体内
   の任意の場所に集光する手段と、 集光の位置を、上記場所を中心として光軸方向に周期的
   にわずかに上下させる手段と、 上記場所から後方に散乱させる非散乱光の強度を検出す
   る手段と、 該非散乱光強度を示す信号のうち、上記集光の位置を周
   期的に上下させる周波数と同期する信号のみを増幅する
   手段と、 この信号を上記被検物体内の任意の場所について表示す
   る手段と、 を具備することを特徴とする光学的検査装置。