JPH10217074A - 平面研削方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワーク加工面を効率良くかつ高精度で平面研
削する。 【解決手段】 ウェハＷ等のワークの加工面を平面研削
するための方法及び装置。加工面の最大幅寸法以上の軸
方向寸法をもつ研削用砥石を回転させ、加工面に接触さ
せながら、ワークと研削用砥石とを相対移動させて研削
を行う。その研削中、加工位置ｘでの加工面と研削用砥
石との接触幅ｂが大きいほど、加工条件を切込み量が増
える方向に変化させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハをは
じめとする各種ワークの加工面を平面状に研削するため
の方法及び装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ワーク加工面を平面研削する装置
として、図６に示すようなものが一般に知られている。
図示のテーブル９０は、ベッド上に設置され、図略のボ
ールねじ機構等で水平方向に往復駆動されるようになっ
ている。ワーク９２は、その加工面９２ａが上を向く状
態でテーブル９０上に設置され、このテーブル９０と一
体に往復動するようにテーブル９０に固定されている。
一方、テーブル９０の上方には、水平に延びる砥石軸９
４が配設され、この砥石軸９４の端部に研削用砥石９６
が固定されている。この研削用砥石９６は、上記砥石軸
９４を中心軸とする円筒状の外周面を有している。

【０００３】このような装置によれば、図略のモータ等
により砥石軸９４及び研削用砥石９６を一体に回転駆動
し、研削用砥石９６の外周面をワーク９２の上面（加工
面９２ａ）に押付けながら、ワーク９２をテーブル９０
と一体に水平方向に移送することにより、加工面９２ａ
を平面研削することができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】図６に示すように、従
来の平面研削装置では、研削用砥石９６の幅寸法（すな
わち軸方向寸法ａ）が加工面９２ａの最大幅寸法ｄmax
よりも小さいため、一回のワーク移送では、その加工面
９２ａの一部しか研削することができない。従って、加
工面９２ａを全域にわたって研削するには、砥石軸９４
と平行な方向に研削用砥石９６の位置を変えて何度もワ
ーク９２の往復操作をしなければならず、加工能率が悪
い。

【０００５】このような不都合を解消する手段として、
研削用砥石９６の軸方向寸法ａを加工面９２ａの最大幅
寸法ｄmaxよりも大きくし、加工中常に加工面９２ａを
その幅方向全域にわたって研削用砥石９６と接触させる
ことが考えられる。しかし、この場合、ワーク９２の位
置によってその加工面９２ａと研削用砥石９６とが接触
している部分の幅寸法（以下、接触幅と称する。）が変
化するので、この接触幅の増減に伴って研削用砥石９６
が加工面９２から受ける上向きの反力も増減してしま
う。この反力は、砥石支持部材（例えば砥石軸９４）等
を弾性変形させながら研削用砥石９６を上向きに変位さ
せるものであるので、この反力の増減に伴って研削用砥
石９６が加工中に上下に変位することになる。このよう
な加工中での研削用砥石９６の上下動は、加工面９２ａ
の平面度を悪化させる要因となる。

【０００６】本発明は、このような事情に鑑み、ワーク
加工面を効率良くしかも高精度で平面研削できる方法及
び装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段として、本発明は、円筒状外周面を有し、かつ、
ワーク加工面の最大幅寸法以上の軸方向寸法を有する研
削用砥石をその中心軸回りに回転させ、この研削用砥石
にワークの加工面をその幅方向全域にわたって接触させ
ながらこれらの研削用砥石及びワークを研削用砥石の回
転軸と略直交する方向に相対移動させるとともに、この
相対移動中、上記研削用砥石に対する加工面の接触幅が
大きいほど切り込み量を増やす方向に研削加工条件を変
化させるものである。

【０００８】また本発明は、円筒状外周面を有し、か
つ、ワーク加工面の最大幅寸法以上の軸方向寸法を有す
る研削用砥石と、この研削用砥石をその中心軸回りに回
転可能に支持する砥石支持部材と、上記研削用砥石を回
転させる砥石駆動手段と、上記研削用砥石にワークの加
工面を接触させながらこれらのワーク及び研削用砥石を
研削用砥石の回転軸と略直交する方向に相対移動させる
加工送り手段と、上記加工面が上記研削用砥石と接触し
ている加工位置を検出する加工位置検出手段と、上記ワ
ークの加工中、上記加工位置検出手段により検出される
加工位置での研削用砥石に対する加工面の接触幅が大き
いほど加工面の切り込み量を増やす方向に研削加工条件
を変化させる制御手段とを備えたものである。

【０００９】これらの方法及び装置では、研削加工中、
常に加工面をその幅方向全域にわたって研削用砥石に接
触させるので、従来のように研削用砥石の位置をその軸
方向にずらして何度も研削加工を繰り返すといった作業
は要しない。また、その研削加工中、加工面と研削用砥
石との接触幅の変化に起因して加工面から研削用砥石へ
向かう反力（すなわち研削用砥石を加工面から遠ざかる
方向に変位させようとする力）が増減しても、その接触
幅が大きいほど、すなわち、上記反力が大きいほど、切
込み量を増やす方向に加工条件を変化させるので、これ
により加工面の実際の切込み量を均等化して加工面の平
面度を高めることができる。

【００１０】上記制御手段による制御には、種々のもの
が考えられる。例えば、上記砥石支持部材及び研削用砥
石を上記加工面に対して接離する方向に移動させる切込
み送り手段を備えるとともに、上記制御手段として、上
記接触幅が大きいほど上記研削用砥石を上記加工面に押
付ける向きにこの研削用砥石及び砥石支持部材を変位さ
せるように上記切込み送り手段を作動させる切込み制御
手段を備えることにより、実際の切込み量の均等化がで
きる。

【００１１】ここで、一対の研削用砥石をその回転軸同
士が平行となるように配置し、これら研削用砥石を互い
に接離する方向に移動させるように上記切込み送り手段
を構成したものでは、両研削用砥石のすき間にワークを
通してこのワークの両面に研削用砥石を接触させるよう
に加工送り手段を構成するとともに、上記加工位置での
両研削用砥石に対するワーク両面の接触幅が大きいほど
研削用砥石同士を接近させるように上記切込み制御手段
を構成すればよい。この装置では、両研削用砥石により
ワークの両面を同時研削できる利点がある。

【００１２】また、ワークと研削用砥石との相対移動速
度が低いほど、実際の切込み量は増大するので、上記制
御手段として、上記接触幅が大きいほど上記ワークと研
削用砥石との相対移動速度を低下させるように上記加工
送り手段を作動させる送り速度制御手段を備えるように
してもよい。

【００１３】また、上記切込み量は研削用砥石の回転速
度にも影響を受けるので、この回転速度を変化させるよ
うにしてもよい。例えば、上記研削用砥石として表面に
気孔を有しない砥石を用いる場合には、この研削用砥石
と加工面との間に形成されるクーラント膜に起因して、
研削用砥石の回転速度が高いほどこの研削用砥石が加工
面に対して滑りやすくなり、実際の切込み量は低減する
ので、この場合には、上記制御手段として、上記接触幅
が大きいほど上記砥石の回転速度を低下させるように上
記砥石駆動手段を作動させる砥石駆動制御手段を備えれ
ばよい。

【００１４】逆に、上記研削用砥石として表面に気孔を
有する砥石を用いる場合には、その気孔内にクーラント
が取り込まれるために上記クーラント膜及びこれに起因
する滑りは生じにくく、砥石回転速度が高いほど、すな
わち単位時間当たりに加工面に接触する砥粒の数が多い
ほど、実際の切込み量は増大するので、この場合には、
上記制御手段として、上記接触幅が大きいほど上記砥石
の回転速度を上昇させるように上記砥石駆動手段を作動
させる砥石駆動制御手段を備えればよい。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態の一
例を図１〜図５に基づいて説明する。なお、この実施の
形態では、ワーク加工面として半導体ウェハＷの両面を
研削するものを示すが、本発明は種々の工作物の加工面
であって、その送り方向に幅寸法が変化する加工面の平
面研削に良好に適用できるものである。

【００１６】図２〜図４に示すウェハ研削装置は、ベッ
ド１０を備えている。このベッド１０の左右両翼部には
砥石台１２が配置され、両砥石台１２の奥中央にウェハ
保持台１４が配置されている。

【００１７】各砥石台１２は、固定台１６と、移動台１
８とを備えている。固定台１６は、加工装置全体の左右
方向（図２及び図４のＸ軸方向。以下、単に「Ｘ軸方
向」と称する。）に延び、ベッド１０上に固定されてい
る。移動台１８は、固定台１６上にＸ軸方向にスライド
可能に支持され、切込み送りモータ２８及び図略の送り
ねじ機構からなる切込み送り手段によって上記Ｘ軸方向
にスライド駆動されるようになっている。

【００１８】各移動台１８の前端部（加工装置中央より
の端部）には、砥石保持部（砥石保持部材）２０が形成
されている。この砥石保持部２０には、上下に延びる砥
石回転軸２２が回転可能に保持され、この砥石回転軸２
２の周囲に研削用砥石２４が固定されている。そして、
上記切込み送りモータ２８の作動で両移動台１８が相互
逆向きにスライド駆動されることにより、研削用砥石２
４が互いに接離する方向に移送され、両研削用砥石２４
間の隙間寸法が調節されるようになっている。また、各
砥石回転軸２２には砥石駆動モータ（砥石駆動手段）２
６が連結され、この砥石駆動モータ２６の作動により研
削用砥石２４が砥石回転軸２２を中心に所定方向（図４
の矢印方向）に回転駆動されるようになっている。

【００１９】なお、本発明では研削用砥石２４の具体的
な材質は問わず、ウェハの研削に適したものであれば良
い。一般には、ダイヤモンド砥石を結合剤で一体化した
ものが好適である。

【００２０】ウェハ保持台１４も、固定台３０と、移動
台３２とを備えている。固定台３０は、加工装置全体の
前後方向（図２及び図４のＹ軸方向。以下、単に「Ｙ軸
方向」と称する。）に延び、ベッド１０上に固定されて
いる。移動台３２は、固定台３０上にＹ軸方向にスライ
ド可能に支持され、ウェハ送りモータ３３及び図略の送
りねじ機構からなる加工送り手段によって上記Ｙ軸方向
にスライド駆動されるようになっている。

【００２１】移動台３２には、上記Ｙ軸方向に延びる上
下一対の支持アーム３４が固定され、これら支持アーム
３４の前端部同士の間にキャリア３６が固定されてい
る。このキャリア３６は、図５（ａ）に示すように、加
工対象であるウェハＷよりも薄肉の板状をなし、このウ
ェハＷの半径と同一の曲率半径をもつ円弧状の内周面３
６ａを有している。さらに、上記ウェハＷの表裏両側の
エッジが面取りされてテーパー面ｔｆが形成されている
関係から、このテーパー面ｔｆとキャリア３６の内周面
３６ａとを略合致させるべく、この内周面３６ａがＶ溝
状に形成されている。

【００２２】上記キャリア３６よりも後方の位置には、
シリンダ装置３８が設けられている。このシリンダ装置
３８は、シリンダ本体への油圧あるいは空気圧の供給に
よりＸ軸方向に伸縮する複数の伸縮ロッド３９を有し、
これら伸縮ロッド３９の前端部に固定板４０が固定され
ている。そして、この固定板４０から前方（キャリア３
６に近づく方向）にクランパ保持部材４２が延び、この
クランパ保持部材４２の前端にクランパ４４が固定され
ている。

【００２３】このクランパ４４も、前記キャリア３６と
同様、ウェハＷよりも薄肉の板状をなし、このウェハＷ
の半径と同一の曲率半径をもつ円弧状の内周面４４ａを
有している。さらに、上記ウェハＷのテーパー面ｔｆと
クランパ４４の内周面４４ａとを略合致させるべく、こ
の内周面４４ａもＶ溝状に形成されている。そして、上
記シリンダ装置３８の作動でクランパ４４が前方に駆動
されることにより、このクランパ４４の内周面４４ａと
上記キャリア３６の内周面３６ａとがウェハＷの外周テ
ーパー面ｔｆと略合致する状態でウェハＷがクランプ可
能とされ（図５（ａ）二点鎖線）、このクランプ状態で
ウェハ送りモータ３３が作動することにより、ウェハＷ
が移動台３２と一体に上記Ｙ軸方向に移送されるように
なっている。

【００２４】ここで、キャリア３６及びクランパ４４の
Ｘ軸方向に関する配設位置は、両研削用砥石２４の中間
位置と合致する位置に設定されている。また、両研削用
砥石２４の軸方向寸法（図例では上下方向の寸法）はウ
ェハＷの直径以上の寸法に設定され、かつ、このウェハ
Ｗの両面全域が両研削用砥石２４と接触可能となるよう
に、上記キャリア３６及びクランパ４４がウェハＷを保
持する高さ位置が設定されている。

【００２５】ベッド１０上において、図４のようにキャ
リア３６及びクランパ４４が最も後退した位置から両研
削用砥石２４間の位置へ至る途中の位置には、ウェハ供
給台４６が立設されている。このウェハ供給台４６の上
部には、その片側面（図３では右側面、図４では手前側
面）にウェハＷを吸着保持する吸着部４７が設けられて
いる。

【００２６】ベッド１０の適所には支持コラム４８が立
設され、この支持コラム４８の上端にドレス装置５０が
支持されている。このドレス装置５０は、固定台５２及
び昇降台５４を備えており、固定台５２は上記支持コラ
ム４８に固定され、昇降台５４は固定台５２に上下方向
（図４のＺ軸方向）にスライド可能すなわち昇降可能に
支持されている。

【００２７】昇降台５４からは下向きに砥石保持棒５６
が延設され、この砥石保持棒５６の下端にドレス用砥石
５８が固定されている。このドレス用砥石５８は、その
Ｘ軸方向両端が砥石保持棒５６の両側面から突出してお
り、このドレス用砥石５８の両突出部が両研削用砥石２
４の側面に同時接触可能となるように（図３参照）、ド
レス装置５０全体の支持位置が設定されている。また、
固定台５２の頂部にはドレス送りモータ６０が設けら
れ、このドレス送りモータ６０及び図略の送りねじ機構
によって、上記昇降台５４、砥石保持棒５６、及びドレ
ス用砥石５８が一体に上下に往復駆動されるようになっ
ている。

【００２８】この装置には、図２に示すような制御装置
（制御手段）７０が装備されている。この制御装置７０
は、コンピュータ等からなり、各モータ２６，２８，３
３，６０に内蔵されたエンコーダの出力する検出信号に
基づき、これらのモータやシリンダ装置３８の作動を制
御するように構成されている。

【００２９】次に、この制御装置７０の制御の下で行わ
れるウェハＷの両面研削動作を説明する。

【００３０】 初期状態として、砥石台１２の移動台
１８、ウェハ保持台１４の移動台３２、クランパ４４を
全て後退させる。すなわち、研削用砥石２４同士を大き
く離間させ、キャリア３６及びクランパ４４を吸着部４
７よりも後方に位置させる。

【００３１】 ウェハ送りモータ３３を作動させて移
動台３２を前進させ、キャリア３６の円弧状内周面３６
ａの中心が吸着部４７の中心を通り過ぎた位置で停止さ
せる。

【００３２】 図略のスライシング装置により切り出
されたウェハＷを搬送し、これを吸着部４７に吸着させ
る。

【００３３】 シリンダ装置３８を作動させてクラン
パ４４を前進させ、このクランパ４４と前記キャリア３
６とでウェハＷをその直径方向外側からクランプする
（図１（ａ）の二点鎖線の状態）。このクランプ後、吸
着部４７による吸着を止める。

【００３４】 各砥石駆動モータ２６の作動によって
研削用砥石２４を回転駆動するとともに、両砥石台１２
の移動台１８を前進させて研削用砥石２４同士を接近さ
せ、両研削用砥石２４の間の隙間寸法をウェハＷの目標
厚み寸法（＜加工前のウェハＷの厚み寸法）に対応する
寸法に合致させる。

【００３５】 の状態からウェハ保持台１４の移動
台３２をさらに前進させる。ここで、クランプ部材であ
るキャリア３６及びクランパ４４はウェハＷよりも薄い
ため、これらキャリア３６及びクランパ４４は両研削用
砥石２４と接触することなくこれら研削用砥石２４の間
を通り抜け、ウェハＷの表裏両面のみが研削用砥石２４
と接触する（図５（ｂ）の状態）。これにより、ウェハ
Ｗの両面が同時に研削加工される。

【００３６】この研削加工中、制御装置７０は、ウェハ
送りモータ３３に内蔵のエンコーダ（加工位置検出手
段）から入力される検出信号に基づいて、現在のウェハ
Ｗと両研削用砥石２４との接触位置（加工位置）を認識
するとともに、この加工位置でのウェハＷの両面と研削
用砥石２４との接触幅（図例の装置では接触領域の上下
寸法）を演算し、この接触幅が大きいほど両研削用砥石
２４をさら接近させるように両切込み送りモータ２８を
作動させる制御を行う。

【００３７】その詳細を以下に説明する。図１に示すよ
うに、ウェハＷの半径をＲ、ウェハＷの送り方向前端
（図では左端）から加工位置までの距離をｘ、その加工
位置でのウェハＷのエッジ高さをｙとすると、この加工
位置でのウェハＷと研削用砥石２４との接触幅ｂは次式
で表される。

【００３８】

【数１】

【００３９】この数１から、加工位置ｘと接触幅ｂとの
関係を表す次式が導かれる。

【００４０】

【数２】

【００４１】この式に示されるように、加工位置ｘがウ
ェハＷの半径Ｒに近づくにつれて（すなわちウェハＷの
中心位置に近づくにつれて）接触幅ｂは増大し、ｘ＝Ｒ
の位置で接触幅ｂは最大値２Ｒとなる。この位置を過ぎ
た後は接触幅ｂが再び減少し、ｘ＝２Ｒの位置で接触幅
ｂは０に戻る。

【００４２】このように接触幅ｂが加工中に増減する
と、これに比例して研削用砥石２４がウェハＷの両面か
ら受ける反力（両外側向きの力）も増減する。この反力
が大きいほど、各移動台１８におけるボールねじや軸受
等の弾性変形を伴って研削用砥石２４が正規の位置より
も両外側に逃げようとするので、もし移動台１８が従来
のように加工中に完全静止しているとすると、上記反力
の増減に伴って研削用砥石２４の位置がＸ軸方向に変化
する（すなわち研削用砥石２４間の隙間寸法が変化す
る）ことになる。このような隙間寸法の変化は、加工面
であるウェハＷ両面の位置変化に直結し、このウェハＷ
両面の平面度を悪化させる要因となる。具体的には、反
力の大きいウェハＷ中央部でウェハＷが厚くなり、反力
の小さいウェハＷの前後両端部でウェハＷが薄くなって
しまう。

【００４３】そこで、制御装置７０は、加工中での接触
幅ｂの変化をリアルタイムで演算し、この接触幅ｂの増
大に伴い、この接触幅ｂに対応した量（例えば一定の比
例係数を乗じた量）だけ両研削用砥石２４を加工開始時
よりもさらに接近させる。すなわち、両研削用砥石２４
間の隙間寸法を小さくする。このような補正制御によ
り、研削用砥石２４によるウェハＷの両面の切り込み量
を均一化でき、ウェハＷの両面を高精度で平面研削する
ことができる。

【００４４】 加工後のウェハＷは吸着部４７に再吸
着し、適宜回収する。また、研削用砥石２４の切れ味が
鈍った場合等には、ドレス装置５０で適宜ドレッシング
を行う。

【００４５】以上のような方法及び装置によれば、加工
面の最大幅寸法（ウェハ直径２Ｒ）以上の軸方向寸法を
もつ研削用砥石２４を用いて常にウェハＷの両面が幅方
向全域（図例では上下方向全域）にわたって研削用砥石
２４と接触するようにしているので、従来のように研削
用砥石２４の軸方向位置を変えてウェハＷを何度も往復
させる必要がなく、短時間で効率良くウェハＷの両面を
加工することができる。しかも、加工中の接触幅ｂの変
化に伴って両研削用砥石２４の隙間寸法を変化させる
（すなわち切込み位置を変化させる）ようにしているの
で、ウェハＷの両面を高精度で平面研削できる。

【００４６】なお、このような高精度研削を実現する手
段は、上記のような切込み制御に限らず、他の加工条件
の制御、例えば次のような制御を行うように制御装置７
０を構成してもよい。

【００４７】Ａ）ウェハ送り速度制御：接触幅ｂが増大
するにつれて、ウェハＷの送り速度を小さくする。上記
の例では、ウェハＷの中央部分に向かうにつれて送り速
度を低下させ、中央部分を過ぎた後は送り速度を上昇さ
せる。一般に、ウェハＷの切込み量は研削用砥石２４と
の接触時間が長いほど多くなるので、上記のような送り
速度制御を行うことにより、実際の切込み量を均一化し
て平面度を向上させることができる。なお、前記図２等
にはウェハＷを実際に移動させるものを示したが、ウェ
ハＷの位置は固定して研削用砥石２４側を移送する装置
では、この研削用砥石２４の移動速度を変化させるよう
にすればよい。

【００４８】Ｂ）砥石駆動速度制御：切込み量は研削用
砥石２４の回転速度によっても変化するので、砥石駆動
モータ２６による砥石回転駆動速度を加工中に変化させ
ることによっても形状補正が可能である。ただし、研削
用砥石２４の性状によって制御内容を異ならせる必要が
ある。

【００４９】まず、レジノイド結合剤（人造樹脂質結合
剤）を用いた砥石のように、表面に実質上気孔を有しな
い砥石を研削用砥石２４として用いた場合には、この研
削用砥石２４と加工面との間にクーラント膜が形成され
るため、砥石回転速度が大きいほど加工面に対して研削
用砥石２４が滑り易く、実際の切込み量は低減する。従
って、この場合には、上記接触幅ｂが増大するにつれて
砥石回転速度を低下させるような制御を行えばよい。

【００５０】逆に、ビトリファイド結合剤（磁器質結合
剤）のように、表面に十分な数の気孔を有する砥石を研
削用砥石２４として用いた場合には、供給されるクーラ
ントが気孔内に取り込まれて上記クーラント膜の形成及
びこれに起因する滑りが抑制されるため、砥石回転速度
が大きいほど、すなわち、単位時間当たりに加工面と接
触する砥石の数が多いほど、実際の切込み量は増大す
る。従って、この場合には、上記接触幅ｂが増大するに
つれて砥石回転速度を上昇させるような制御を行えばよ
い。

【００５１】なお、前記図２等には、一対の研削用砥石
２４の間にウェハＷを通してその両面を同時研削するも
のを示したが、本発明は、前記図６に示したようなテー
ブル移送式のもの、すなわち、テーブルでワークを移送
しながらその一面のみを研削するものにも適用すること
が可能である。図６に示すタイプの装置において切込み
制御により形状補正をするには、研削用砥石９６を上下
方向に変位可能とし、接触幅の増大に伴って研削用砥石
９６を降下させるような制御を行えばよい。

【００５２】また、上記装置では、ワークであるウェハ
Ｗを研削用砥石２４の回転軸に対して完全に直交する方
向に相対移動させるものを示したが、その相対移動の方
向は研削用砥石２４の回転軸に対して若干傾斜していて
もよい。

【００５３】

【発明の効果】以上のように本発明は、回転する研削用
砥石にワークの加工面をその幅方向全域にわたって接触
させながら研削用砥石とワークとを相対移動させるとと
もに、この相対移動中、上記研削用砥石に対する加工面
の接触幅が大きいほど切り込み量を増やす方向に研削加
工条件を変化させて形状補正をするものであるので、研
削用砥石を軸方向に動かすことなく、加工面を効率良く
かつ高精度で平面研削できる効果がある。

【００５４】具体的に、上記研削用砥石及びその砥石支
持部材を上記加工面に対して接離する方向に移動させる
切込み送り手段と、上記接触幅が大きいほど上記研削用
砥石を上記加工面に押付ける向きにこの研削用砥石及び
砥石支持部材を変位させるように上記切込み送り手段を
作動させる切込み制御手段とを備えたものによれば、加
工中の接触幅の変化に起因する研削用砥石の変位を直接
的に解消することができ、より確実に加工面の平面度を
高めることができる効果が得られる。

【００５５】ここで、一対の研削用砥石をその回転軸同
士が平行となるように配置し、これら研削用砥石を互い
に接離する方向に移動させるように上記切込み送り手段
を構成するとともに、上記加工位置での両研削用砥石に
対するワーク両面の接触幅が大きいほど研削用砥石同士
を接近させるように上記切込み制御手段を構成したもの
によれば、ワーク両面の同時研削を可能にして加工能率
を高めながら、両加工面の平面度を高く保持できる効果
が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態におけるウェハの加工位置
と接触幅との関係を示す説明図である。

【図２】本発明の実施の形態にかかるウェハ研削装置の
全体平面図である。

【図３】本発明の実施の形態にかかるウェハ研削装置の
全体正面図である。

【図４】本発明の実施の形態にかかるウェハ研削装置の
全体斜視図である。

【図５】（ａ）は本発明の実施の形態においてウェハに
クランパをアプローチさせる様子を示す断面平面図、
（ｂ）は同クランパ及びキャリアでウェハをクランプし
た状態でこのウェハの両面を研削加工している様子を示
す断面平面図である。

【図６】従来の平面研削装置の一例を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】 １２ 砥石台 １４ ウェハ保持台 ２０ 砥石保持部 ２４ 研削用砥石 ２６ 回転駆動モータ（砥石駆動手段） ２８ 切込み送りモータ（切込み送り手段） ３３ ウェハ送りモータ（加工送り手段） ７０ 制御装置（制御手段） Ｗ ウェハ（ワーク）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川口 桂司 広島市南区宇品東５丁目３番38号 トーヨ ーエイテック株式会社内 (72)発明者 長谷川 文彦 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社白河工場内 (72)発明者 土屋 敏弘 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社白河工場内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円筒状外周面を有し、かつ、ワーク加工
   面の最大幅寸法以上の軸方向寸法を有する研削用砥石を
   その中心軸回りに回転させ、この研削用砥石にワークの
   加工面をその幅方向全域にわたって接触させながらこれ
   らの研削用砥石及びワークを研削用砥石の回転軸と略直
   交する方向に相対移動させるとともに、この相対移動
   中、上記研削用砥石に対する加工面の接触幅が大きいほ
   ど切り込み量を増やす方向に研削加工条件を変化させる
   ことを特徴とする平面研削方法。
2. 【請求項２】 円筒状外周面を有し、かつ、ワーク加工
   面の最大幅寸法以上の軸方向寸法を有する研削用砥石
   と、この研削用砥石をその中心軸回りに回転可能に支持
   する砥石支持部材と、上記研削用砥石を回転させる砥石
   駆動手段と、上記研削用砥石にワークの加工面を接触さ
   せながらこれらのワーク及び研削用砥石を研削用砥石の
   回転軸と略直交する方向に相対移動させる加工送り手段
   と、上記加工面が上記研削用砥石と接触している加工位
   置を検出する加工位置検出手段と、上記ワークの加工
   中、上記加工位置検出手段により検出される加工位置で
   の研削用砥石に対する加工面の接触幅が大きいほど加工
   面の切り込み量を増やす方向に研削加工条件を変化させ
   る制御手段とを備えたことを特徴とする平面研削装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載の平面研削装置において、
   上記砥石支持部材及び研削用砥石を上記加工面に対して
   接離する方向に移動させる切込み送り手段を備えるとと
   もに、上記制御手段として、上記接触幅が大きいほど上
   記研削用砥石を上記加工面に押付ける向きにこの研削用
   砥石及び砥石支持部材を変位させるように上記切込み送
   り手段を作動させる切込み制御手段を備えたことを特徴
   とする平面研削装置。
4. 【請求項４】 請求項３記載の平面研削装置において、
   一対の研削用砥石をその回転軸同士が平行となるように
   配置し、これら研削用砥石を互いに接離する方向に移動
   させるように上記切込み送り手段を構成し、両研削用砥
   石のすき間にワークを通してこのワークの両面に研削用
   砥石を接触させるように加工送り手段を構成するととも
   に、上記加工位置での両研削用砥石に対するワーク両面
   の接触幅が大きいほど研削用砥石同士を接近させるよう
   に上記切込み制御手段を構成したことを特徴とする平面
   研削装置。
5. 【請求項５】 請求項２記載の平面研削装置において、
   上記制御手段として、上記接触幅が大きいほど上記ワー
   クと研削用砥石との相対移動速度を低下させるように上
   記加工送り手段を作動させる送り速度制御手段を備えた
   ことを特徴とする平面研削装置。
6. 【請求項６】 請求項２記載の平面研削装置において、
   上記研削用砥石を表面に気孔を有しない砥石とするとと
   もに、上記制御手段として、上記接触幅が大きいほど上
   記砥石の回転速度を低下させるように上記砥石駆動手段
   を作動させる砥石駆動制御手段を備えたことを特徴とす
   る平面研削装置。
7. 【請求項７】 請求項２記載の平面研削装置において、
   上記研削用砥石を表面に気孔を有する砥石とするととも
   に、上記制御手段として、上記接触幅が大きいほど上記
   砥石の回転速度を上昇させるように上記砥石駆動手段を
   作動させる砥石駆動制御手段を備えたことを特徴とする
   平面研削装置。