JPH10209640A - Manufacture of multi-layer ceramic substrate - Google Patents
Manufacture of multi-layer ceramic substrateInfo
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- JPH10209640A JPH10209640A JP1990297A JP1990297A JPH10209640A JP H10209640 A JPH10209640 A JP H10209640A JP 1990297 A JP1990297 A JP 1990297A JP 1990297 A JP1990297 A JP 1990297A JP H10209640 A JPH10209640 A JP H10209640A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は複数のセラミックグ
リーンシートを積層してなる多層セラミック基板の製造
方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic substrate formed by laminating a plurality of ceramic green sheets.
【０００２】[0002]
【従来技術】一般に半導体デバイス等の電子部品を搭載
するのに用いる多層セラミック基板の製造工程を以下に
示す。アルミナ（Ａｌ2Ｏ5）、シリカ（ＳｉＯ2）、マ
グネシア（ＭｇＯ）、等のセラミックに、ブチラールあ
るいはセルロースなどの有機結合材及びこれらの有機結
合材の溶剤として、トリクロールエチレン、プタノー
ル、パークロールエチレン等を加えて十分ボールミル混
合する。この混合工程により、セラミック粉末は有機結
合材と均一に混合され、所定の粘度を有するスリップと
なる。このスリップを、キャスティングにより所定の厚
さを有するセラミックグリーンシートとなる。このよう
に複数のセラミックグリーンシート（以下、単にグリー
ンシートとも言う）を積層した多層シート積層体を得た
後、この多層シート積層体を焼成し、焼結一体化させて
多層セラミック基板を製造している。2. Description of the Related Art Generally, a manufacturing process of a multilayer ceramic substrate used for mounting an electronic component such as a semiconductor device will be described below. Ceramics such as alumina (Al 2 O 5 ), silica (SiO 2 ), and magnesia (MgO); organic binders such as butyral and cellulose; and trichlorethylene, butanol, and parkrol as solvents for these organic binders Add ethylene and the like and mix well with a ball mill. By this mixing step, the ceramic powder is uniformly mixed with the organic binder to form a slip having a predetermined viscosity. The slip is cast into a ceramic green sheet having a predetermined thickness. After obtaining a multilayer sheet laminate in which a plurality of ceramic green sheets (hereinafter, also simply referred to as green sheets) are laminated as described above, the multilayer sheet laminate is fired and sintered and integrated to produce a multilayer ceramic substrate. ing.
【０００３】従来は、このような多層シート積層体１を
形成する際には、グリーンシートの方向、もしくは表裏
面が反転したりしないように、図１に示すように各グリ
ーンシートの所定面隅部の基準位置に円孔２を設けた
り、あるいは図２に示すように、隅部に切り欠き３を設
けたりして、位置合せ用の目印として用いていた。Conventionally, when such a multilayer sheet laminate 1 is formed, a predetermined corner of each green sheet is formed as shown in FIG. 1 so that the direction of the green sheet or the front and back surfaces is not inverted. A circular hole 2 is provided at a reference position of the portion, or a notch 3 is provided at a corner as shown in FIG. 2 to be used as a mark for alignment.
【０００４】さらに、グリーンシートの積層順の間違い
を避け、しかも、万一積層順の間違いが起こった場合に
も間違い箇所を検知する方法として、所定順序に積層す
ると、積層順を示す切り欠き（または、孔）が下層から
上層へ徐々に大きくなっていくように、全グリーンシー
トにそれぞれ大きさの違う切り欠き（または、孔）を設
け、図３に示すような階段状の積層順検知部４を形成し
て、積層順を確認するものも提案されている（特開平４
−７７６６３）。[0004] Further, as a method of avoiding a mistake in the stacking order of the green sheets and detecting an erroneous portion even in the event of an error in the stacking order, when the sheets are stacked in a predetermined order, a notch indicating the stacking order ( Alternatively, notches (or holes) having different sizes are provided on all the green sheets so that the holes gradually increase from the lower layer to the upper layer, and a step-like laminating order detecting unit as shown in FIG. No. 4 has been proposed to confirm the stacking order.
-77663).
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする問題点】しかし、図１や図２
に示すような方法では、円孔２や切り欠き３は単に位置
合せ用の目印にすぎない。このため、類似した形状に加
工されたグリーンシートを積層する場合は、順番を誤り
なく積層することが困難であり、また、積層した後にお
いても誤りを発見することが困難であった。However, FIG. 1 and FIG.
In the method shown in FIG. 2, the circular hole 2 and the notch 3 are merely alignment marks. For this reason, when laminating green sheets processed in a similar shape, it is difficult to laminate without misordering, and it is difficult to find an error even after lamination.
【０００６】また、図３に示すように、すべてのグリー
ンシートに大きさの違う切り欠きや孔を設けて積層後に
単一の積層順検知部４を形成する場合は、グリーンシー
トが上層になればなるほど切り欠きや孔が大きくなって
しまう。図４は、１２層のグリーンシート（１ａ〜ｌ）
からなる多層シート積層体１の断面図であるが、このよ
うに単一の積層順検知部のみを用いた場合、セラミック
基板が多層になると、上層に位置する切り欠きまたは孔
が極めて大きくなってしまう。したがって、基板内に検
知部を設ける場合は、基板の配線密度が高いと設置場所
の確保が難しく、そのために基板を大きくすることにな
る。グリーンシートの余白部に積層順検知窓４を設ける
場合であっても、場所の確保が難しくなり、グリーンシ
ートのサイズを大きくすることになる。また、一つの積
層順検知窓４で積層順を確認しようとすると、多層のグ
リーンシートからなる多層シート積層体１においては検
知部が深くなり、目視や画像認識による確認が困難であ
った。さらに、全層を積層した後に積層順を確認する
と、積層順の間違いがわかっても、全層が不良品とな
り、無駄が多いという問題点があった。As shown in FIG. 3, when notches or holes having different sizes are provided in all the green sheets to form a single stacking order detecting section 4 after laminating, the green sheets become upper layers. Notches and holes become larger as the length increases. FIG. 4 shows a 12-layer green sheet (1a-1)
Is a cross-sectional view of the multilayer sheet laminate 1 made up of the following. When only a single lamination order detection unit is used, when the ceramic substrate is multilayered, the notch or hole located in the upper layer becomes extremely large. I will. Therefore, in the case where the detection unit is provided in the substrate, if the wiring density of the substrate is high, it is difficult to secure an installation place, and therefore, the substrate is enlarged. Even when the stacking order detection window 4 is provided in the margin of the green sheet, it is difficult to secure a place and the size of the green sheet is increased. Also, when trying to confirm the lamination order with one lamination order detection window 4, the detection portion becomes deep in the multilayer sheet laminate 1 composed of multiple green sheets, and it is difficult to confirm by visual observation or image recognition. Furthermore, when the stacking order is checked after all the layers are stacked, there is a problem that even if an error in the stacking order is found, all the layers become defective and wasteful.
【０００７】本発明は上述した従来の多層セラミック基
板の製造時における問題点を解決するためものであり、
その目的は、多層セラミック基板の積層順および積層方
向ならびに裏表を見誤ることなく積層でき、積層後にも
容易に確認できる無駄の少ない多層セラミック基板の製
造方法を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems at the time of manufacturing a conventional multilayer ceramic substrate.
An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a multi-layer ceramic substrate with less waste, which can be stacked without mistaking the stacking order, stacking direction, and front and rear of the multilayer ceramic substrate, and can be easily confirmed even after stacking.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
複数のセラミックグリーンシートを所定順序で積層して
積層ブロックを製作する工程と、複数の積層ブロックを
所定順序で積層して多層シート積層体を製作する工程
と、を含む多層セラミック基板の製造方法であって、前
記複数のセラミックグリーンシートは、前記積層ブロッ
ク内での前記セラミックグリーンシートの積層順を示す
シート積層順マークと、前記多層シート積層体内での前
記積層ブロックの積層順を示すブロック積層順マーク
と、を有することを特徴とする多層セラミック基板の製
造方法を要旨とする。According to the first aspect of the present invention,
A method of manufacturing a multilayer ceramic substrate, comprising: a step of manufacturing a multilayer block by stacking a plurality of ceramic green sheets in a predetermined order; and a step of manufacturing a multilayer sheet stack by stacking a plurality of multilayer blocks in a predetermined order. The ceramic green sheets may include a sheet stacking order mark indicating a stacking order of the ceramic green sheets in the stacked block, and a block stacking order indicating the stacking order of the stacked blocks in the multilayer sheet stack. And a method for manufacturing a multilayer ceramic substrate having a mark.
【０００９】グリーンシートを複数枚積層してなる多層
セラミック基板を製造する際に、連続して積層されるグ
リーンシートを群に分け、それぞれの群ごとに積層して
積層ブロックを製作する工程と、複数の積層ブロックを
所定順序に積層して多層シート積層体を製作する工程と
の２工程に分けて積層する。When manufacturing a multilayer ceramic substrate formed by laminating a plurality of green sheets, a step of dividing the green sheets continuously laminated into groups, and laminating each of the groups to form a laminated block, A plurality of laminated blocks are laminated in a predetermined order to produce a multilayer sheet laminate, and are laminated in two steps.
【００１０】このとき、グリーンシートには予め前記積
層ブロック内でのそのグリーンシートの積層順を示すシ
ート積層順マークと、そのグリーンシートの属する積層
ブロックの前記多層シート積層体内での積層順を示すブ
ロック積層順マークとを設けておき、積層ブロック製作
後及び多層シート積層体製作後にそれぞれ積層順の検知
部として用いる。シート積層順マークとしては、グリー
ンシート毎に形成した固有の形状や寸法の穴や切り欠
き、あるいは、印刷または打ち抜きによって形成した数
字・文字・記号等を用いるとよい。At this time, the green sheets indicate in advance a sheet stacking order mark indicating the stacking order of the green sheets in the stacked block and the stacking order of the stacked block to which the green sheet belongs in the multilayer sheet stack. A block stacking order mark is provided, and is used as a detection unit for the stacking order after manufacturing the stacked block and after manufacturing the multilayer sheet stack. As the sheet stacking order mark, a hole or notch of a unique shape or size formed for each green sheet, or a number, character, symbol, or the like formed by printing or punching may be used.
【００１１】本発明によれば、シート積層順マークとブ
ロック積層順マークとに分けて設けることにより、前記
検知部が大きくなることがなく、各積層順マークの確認
を目視や画像認識でも簡単かつ効果的に行うことができ
る。また、シート積層順マークとブロック積層順マーク
とを別々に設けているので、上層シートの前記検知部等
が大きくなりすぎたりせず、強度を保つことができる。
また、グリーンシートの積層順の間違いが分かれば、そ
のグリーンシートの属する積層ブロックは不良になる
が、多層シート積層体全部を不良品にしなくて済むの
で、従来技術よりも無駄が少ない。According to the present invention, by separately providing the sheet stacking order mark and the block stacking order mark, the detection unit does not become large, and the checking of each stacking order mark can be easily performed by visual observation or image recognition. It can be done effectively. Further, since the sheet stacking order mark and the block stacking order mark are separately provided, the strength of the upper layer sheet can be maintained without the detection section and the like becoming too large.
Further, if an error in the stacking order of the green sheets is found, the stacking block to which the green sheet belongs becomes defective, but the entire multilayer sheet stack does not need to be rejected.
【００１２】請求項２記載の手段は、前記シート積層順
マークは、積層されるセラミックグリーンシートが上層
になるほど大きく形成された切り欠きまたは孔であっ
て、前記セラミックグリーンシートをそれぞれ所定の順
序で積層した際に、積層方向にすべてのセラミックグリ
ーンシートの上表面の一部が階段状に露出する検知部と
なるように形成されていることを特徴とする請求項１記
載の多層セラミック基板の製造方法を要旨とする。According to a second aspect of the present invention, the sheet stacking order mark is a notch or a hole formed so that the ceramic green sheet to be stacked becomes larger as an upper layer, and the ceramic green sheets are respectively arranged in a predetermined order. 2. The multilayer ceramic substrate according to claim 1, wherein when laminated, a part of the upper surface of all the ceramic green sheets in the laminating direction is formed as a detecting portion that is exposed stepwise. The method is summarized.
【００１３】このような製造方法によれば、切り欠きま
たは孔の大きさの違いによって、各グリーンシートの積
層順を識別できる。さらに、積層後も上方からシート積
層順マークを見れば、所定の順序に積層されている場合
は階段状に検知部が形成されるのに対し、正しく積層さ
れないとその部分が階段状にならないので、容易に積層
順を確認できる。According to such a manufacturing method, the stacking order of each green sheet can be identified by the difference in the size of the notch or hole. Furthermore, if the sheet stacking order mark is viewed from above even after stacking, if the stacking is performed in a predetermined order, the detecting portion is formed in a stepwise manner, but if the stacking is not performed correctly, the portion does not become stepwise. The order of lamination can be easily confirmed.
【００１４】請求項３の発明は、前記シート積層順マー
クは、各積層ブロック内の最下層のセラミックグリーン
シートを除く第２層以上に備えることを特徴とする請求
項１または２のいずれかに記載の多層セラミック基板の
製造方法を要旨とする。According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the sheet stacking order mark is provided on the second layer or more except for the lowermost ceramic green sheet in each stacked block. The method of manufacturing the multilayer ceramic substrate described above is summarized.
【００１５】この製造方法によれば、積層ブロック内の
最下層のグリーンシートには、検知部を設けない。した
がって、切り欠きまたは孔等によって検知部を形成する
場合は、ブロック内の最上層のグリーンシートの切り欠
きまたは孔の大きさが１層分即ち、一回り小さく形成で
きる。また、最下層のグリーンシートに切り欠きまたは
孔がないので、その分積層ブロックや多層シート積層体
の強度が増し、取り扱いが容易になる。さらに、シート
積層順マークが多層セラミック基板内に残る場合には、
基板の強度が向上する。According to this manufacturing method, the lowermost green sheet in the laminated block is not provided with the detecting portion. Therefore, when the detecting portion is formed by the notch or the hole, the size of the notch or the hole of the uppermost green sheet in the block can be formed by one layer, that is, one size smaller. Further, since the lowermost green sheet has no notch or hole, the strength of the laminated block or the multilayer sheet laminated body is increased by that amount, and the handling becomes easy. Furthermore, if the sheet stacking order mark remains in the multilayer ceramic substrate,
The strength of the substrate is improved.
【００１６】また、検知部が重なり、基板の強度が低下
するのを防ぐ方法としては、図７に示したように、シー
ト積層順マークの形成場所をブロック毎にずらすことに
よってもある程度達成できる。この場合、シート積層順
マークは、他の積層ブロックに属するグリーンシートに
よって塞がれる。しかし、図６に示した例の方が、マー
クの大きさを一回り小さくでき、しかも積層ブロックの
最下層が塞がれているので積層ブロックの取り扱いが容
易であるという点で優れている。Further, as shown in FIG. 7, a method for preventing the detection portions from overlapping and reducing the strength of the substrate can also be achieved to some extent by shifting the formation positions of the sheet stacking order marks for each block. In this case, the sheet stacking order mark is closed by a green sheet belonging to another stacked block. However, the example shown in FIG. 6 is superior in that the size of the mark can be made one size smaller, and that the lowermost layer of the laminated block is closed, so that the laminated block is easier to handle.
【００１７】請求項４に記載の発明は、前記セラミック
グリーンシートを所定の順序で積層した際に、前記セラ
ミックグリーンシートにそれぞれ打ち抜き、もしくは印
刷により設けられたシート積層順マークが積層方向に露
出するように、シート積層順マークの上層に位置する部
分にそれぞれのシート積層順マーク毎に切り欠きもしく
は貫通孔からなる積層順確認窓を備えることを特徴とす
る請求項３記載の多層セラミック基板の製造方法を要旨
とする。According to a fourth aspect of the present invention, when the ceramic green sheets are stacked in a predetermined order, the sheet stacking order marks provided by punching or printing on the ceramic green sheets are exposed in the stacking direction. 4. The manufacturing method of a multilayer ceramic substrate according to claim 3, wherein a portion located above the sheet stacking order mark is provided with a stacking order confirmation window including a notch or a through hole for each sheet stacking order mark. The method is summarized.
【００１８】この製造方法によれば、シート積層順マー
クの相対的な大きさの違いに頼らず、各グリーンシート
を積層した際にすべてのシート積層順マークを個別に確
認できるように積層するので、積層順を確認するのが容
易になる。また、前記積層順確認窓の数が各層によって
異なるため、グリーンシートを積層するときも、順序を
誤りにくい。さらに、積層順序確認窓の切り欠きまたは
孔の大きさを同じにすると、打ち抜き金具に安価な標準
サイズのものを用いることができる。According to this manufacturing method, all the green sheets are stacked so that all the green sheets can be individually checked when the green sheets are stacked without depending on the relative size difference between the green sheets. This makes it easy to check the stacking order. Further, since the number of the lamination order confirmation windows is different for each layer, the order is not easily erroneous even when laminating the green sheets. Furthermore, if the size of the notch or hole of the lamination order confirmation window is the same, an inexpensive standard size punching metal can be used.
【００１９】請求項５記載の発明は、前記ブロック積層
順マークは、セラミックグリーンシートが属する積層ブ
ロックごとに同形、同位置に形成され、かつ上に積層さ
れる積層ブロックに属するセラミックシートほど大きく
形成された切り欠きまたは孔であって、前記積層ブロッ
クを所定の順序に積層した際に、積層方向に全積層ブロ
ックの上表面の一部が階段状に露出する検知部となるよ
うに形成されていることを特徴とする請求項１乃至４の
いずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法を要旨
とする。According to a fifth aspect of the present invention, the block stacking order mark is formed in the same shape and at the same position for each of the stacked blocks to which the ceramic green sheets belong, and is formed so as to be larger as the ceramic sheet belongs to the stacked block stacked thereon. The notch or hole is formed such that when the laminated blocks are laminated in a predetermined order, a part of the upper surface of all the laminated blocks in the laminating direction becomes a detecting portion that is exposed stepwise. A method of manufacturing a multilayer ceramic substrate according to any one of claims 1 to 4, wherein:
【００２０】前記ブロック積層順マークは、１つの積層
ブロックに属する全グリーンシートについて共通の形状
及び位置で切り欠きもしくは孔を形成することによっ
て、積層ブロックにつき１つずつ形成される。そして、
積層ブロックを正しい順序で積層して多層シート積層体
を形成したときには、階段状の検知部が形成されるのに
対して、正しく積層されないと階段状とならない。した
がって、検知部を見れば、正しく積層されたかどうか容
易に確認できる。しかも、階段の数はブロックの数とな
り、それほど多い数とならないので、この点でも確認が
容易となる。The block stacking order marks are formed one by one for each stacked block by forming notches or holes in a common shape and position for all the green sheets belonging to one stacked block. And
When the laminated blocks are laminated in the correct order to form a multilayer sheet laminate, a staircase-like detection unit is formed, but if it is not laminated properly, it does not form a staircase. Therefore, by looking at the detection unit, it can be easily confirmed whether or not the layers are correctly stacked. In addition, the number of steps is equal to the number of blocks and not so large, so that it is easy to confirm in this respect as well.
【００２１】請求項６記載の発明は、前記ブロック積層
順マークは、最下積層ブロックを除く第２積層ブロック
以上に形成することを特徴とする請求項１乃至５のいず
れかに記載の多層セラミック基板の製造方法を要旨とす
る。According to a sixth aspect of the present invention, in the multi-layer ceramic according to any one of the first to fifth aspects, the block stacking order mark is formed on a second stacked block or more excluding a lowermost stacked block. The gist is a method for manufacturing a substrate.
【００２２】この製造方法によれば、最下層の積層ブロ
ックは、ブロック積層順マークを設けない。したがっ
て、切り欠きまたは孔等によってブロック積層順マーク
を形成する場合は、多層シート積層体内の最上の積層ブ
ロック内のグリーンシートのブロック積層順マークの大
きさが１ブロック分即ち、一回り小さく形成できる。ま
た、最下の積層ブロック内のグリーンシートに切り欠き
または孔がないので、その分積層ブロックや多層シート
積層体の強度が増し、取り扱いが容易になる。さらに、
ブロック積層順マークが多層セラミック基板内に残る場
合には、基板の強度が向上する。According to this manufacturing method, the lowermost stacked block does not have the block stacking order mark. Therefore, when the block stacking order mark is formed by a notch or a hole, the size of the block stacking order mark of the green sheet in the uppermost stacked block in the multilayer sheet stack can be formed one block, that is, one size smaller. . Also, since there is no cutout or hole in the green sheet in the lowermost laminated block, the strength of the laminated block or the multilayer sheet laminate is increased by that amount, and handling becomes easier. further,
When the block stacking order mark remains in the multilayer ceramic substrate, the strength of the substrate is improved.
【００２３】請求項７記載の発明は、前記セラミックグ
リーンシートを所定の順序で積層した際に、前記積層順
マークが少しずつずれて重なり、斜め方向に積層順検知
窓を形成するように、各セラミックグリーンシートに略
同じ大きさの切り欠きもしくは孔からなるシート積層順
マークを設けることを特徴とする請求項１記載の多層セ
ラミック基板の製造方法を要旨とする。According to a seventh aspect of the present invention, when the ceramic green sheets are stacked in a predetermined order, the stacking order marks are slightly shifted from each other and overlap to form a stacking order detection window in an oblique direction. A method for manufacturing a multilayer ceramic substrate according to claim 1, wherein a sheet stacking order mark having notches or holes of substantially the same size is provided on the ceramic green sheet.
【００２４】この方法で用いるシート積層順マークは、
同じ大きさの切り欠きもしくは孔からなるが、形成場所
を少しずつずらすので、積層後に切り欠きもしくは孔が
重なった部分によって、積層方向に斜めの検知孔が形成
される。前記検知孔は、一層でも積層順を間違えると、
遮断されたり、極端に狭くなったりするので、積層後に
容易にかつ素早く積層順を確認できる。また、この場
合、切り欠きまたは孔はすべて同じ大きさであるので、
打ち抜き金具が安価で済む。The sheet stacking order marks used in this method are:
Although notches or holes of the same size are formed, the formation places are shifted slightly, so that the detection holes oblique to the laminating direction are formed by the portions where the notches or holes overlap after lamination. If the detection hole is mistaken in the stacking order even for one layer,
Since the layers are cut off or extremely narrowed, the stacking order can be easily and quickly confirmed after stacking. Also, in this case, the notches or holes are all the same size,
Punching hardware is inexpensive.
【００２５】[0025]
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施の形態
について、図５〜図９を参照しつつ説明する。図５
(a)、(b)は１２層からなる多層シート積層体１４を４層
ずつの３つの積層ブロック１１、１２、１３に分けてそ
れぞれにシート積層順マーク１５及びブロック積層順マ
ーク１６を設けて積層した状態を示す断面図である。多
層シート積層体１４を積層形成するには以下のようにす
る。すなわち、まず、それぞれ４層のグリーンシート
（１１ａ〜ｄ、１２ａ〜ｄ、１３ａ〜ｄ）をシート積層
順マーク１５に従い積層して、積層ブロック１１、１
２、１３を形成する（５(a)参照）。積層後に、各ブロ
ック上方から検知穴Ａ〜Ｃを覗き、階段状にシートが露
出していることを確認する。次いで、各積層ブロック１
１、１２、１３をブロック積層順マーク１６に従って積
層する（図５(b)参照）。積層した後に、検知穴Ｄによ
り階段状に積層ブロックが露出していることを確認し、
正しい順序で積層された多層シート積層体１４が形成さ
れる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG.
(a) and (b) show that a multilayer sheet stack 14 composed of 12 layers is divided into three stacked blocks 11, 12 and 13 each having four layers, and a sheet stacking order mark 15 and a block stacking order mark 16 are provided respectively. It is sectional drawing which shows the state which laminated | stacked. The following describes how to form the multilayer sheet laminate 14 by lamination. That is, first, four layers of green sheets (11a to d, 12a to d, and 13a to d) are stacked in accordance with the sheet stacking order mark 15, and the stacked blocks 11, 1
2 and 13 are formed (see 5 (a)). After lamination, look through the detection holes A to C from above each block, and confirm that the sheet is exposed in a stepwise manner. Next, each laminated block 1
1, 12, and 13 are laminated according to the block lamination order mark 16 (see FIG. 5B). After laminating, it was confirmed that the laminated block was exposed stepwise by the detection hole D,
A multilayer sheet laminate 14 laminated in the correct order is formed.
【００２６】このように積層順マークをシート積層順マ
ーク１５とブロック積層順マーク１６との２種類に分け
た場合、最上層（１３ｄ）になっても、積層順検知部は
図４の第３層（１ｃ）のものと同等の大きさでよく、図
４の最上層（１ｌ）ようにシート積層順マークが極端に
大きくなることはない。したがって、セラミックグリー
ンシート上で検知部のスペースも十分確保でき、また、
グリーンシートの強度も増す。When the stacking order mark is divided into two types, that is, the sheet stacking order mark 15 and the block stacking order mark 16, even if the stacking order mark is the uppermost layer (13d), the stacking order detection unit will not be able to detect the third order in FIG. The size may be the same as that of the layer (1c), and the sheet stacking order mark does not become extremely large unlike the uppermost layer (1l) in FIG. Therefore, a sufficient space for the detection unit can be secured on the ceramic green sheet.
The strength of the green sheet also increases.
【００２７】次いで、図６は、それぞれ積層ブロック２
１、２２、２３内の最下層の第１層グリーンシート２１
ａ、２２ａ、２３ａを除く上方第２層以上（２１ｂ〜
ｄ、２２ｂ〜ｄ、２３ｂ〜ｄ）のグリーンシートにシー
ト積層順マーク２５を設け、さらに、最下の第１積層ブ
ロック２１を除く第２積層ブロック以上（２２、２３）
にブロック積層順マーク２６を設けた例を示す断面図で
ある。Next, FIG.
First layer green sheet 21 of the lowest layer in 1, 22, 23
a, the upper second layer or more (21b-
(d, 22b-d, 23b-d), the sheet stacking order mark 25 is provided on the green sheet, and further the second stacked block excluding the lowermost first stacked block 21 (22, 23)
FIG. 7 is a cross-sectional view showing an example in which a block stacking order mark 26 is provided in FIG.
【００２８】積層ブロック２１、２２、２３内におい
て、第１層セラミックグリーンシート２１ａ、２２ａ、
２３ａには、シート積層順マーク２５を形成しなくても
積層順の確認は可能である。この場合、２１ｂ〜ｄ、２
２ｂ〜ｄ、２３ｂ〜ｄに設けるシート積層順マークの大
きさは、１層分即ち１回り小さくてよい。また、各積層
ブロック２１、２２、２３内の最下層のグリーンシート
（２１ａ、２２ａ、２３ａ）に切り欠きまたは孔がない
ので、その分、積層ブロック２１、２２、２３の強度が
増し、取り扱いが容易になる。In the laminated blocks 21, 22, 23, the first-layer ceramic green sheets 21a, 22a,
It is possible to check the stacking order without forming the sheet stacking order mark 25 on 23a. In this case, 21b-d, 2
The size of the sheet stacking order marks provided on 2b to 23d and 23b to 23d may be smaller for one layer, that is, one turn. Further, since the lowermost green sheet (21a, 22a, 23a) in each of the laminated blocks 21, 22, 23 has no notch or hole, the strength of the laminated blocks 21, 22, 23 is increased by that much, and handling is easy. It will be easier.
【００２９】また、同様にブロック積層順マーク２６を
第２積層ブロック以上（２２、２３）に形成すると、第
１積層ブロック２１にブロック積層順マーク２６を設け
なかった分だけ上層のブロック積層順マークが小さくな
る。Similarly, when the block stacking order mark 26 is formed on the second stacked block or higher (22, 23), the block stacking order mark of the upper layer is provided by the amount corresponding to the absence of the block stacking order mark 26 on the first stacked block 21. Becomes smaller.
【００３０】なお、上記実施例において、積層順検知部
の階段部は、すべての積層順検知部の両側に形成してあ
るが、少なくとも一部に階段部が形成されていれば良
く、図示した形状に何ら限定されない。In the above embodiment, the stairs of the stacking order detecting section are formed on both sides of all the stacking order detecting sections, but it is sufficient if at least a part of the stairs is formed. It is not limited to any shape.
【００３１】次いで、本願発明の第２の実施の形態につ
いて、図８(a)〜(c)を参照しつつ説明する。本願発明の
第２の実施の形態は、積層ブロック４１内の各グリーン
シート毎に固有のシート積層順マーク４５ａ〜ｃを形成
し、各シート積層順マーク４５ａ〜ｃの上層のグリーン
シートには、シート積層順マーク４５ａ〜ｃをシートで
塞がないで積層後確認できるように、上層のグリーンシ
ート４１ｂ〜ｄには円孔（積層順確認窓４７ａ〜ｃ）を
設けた例である。図８(a)は４層のセラミックグリーン
シートからなる積層ブロック４１を示している。グリー
ンシート第１〜３層（４１ａ〜ｃ）にはそれぞれ積層順
を示す固有の小穴（シート積層順マーク４５ａ〜ｃ）が
開けられており、その個数はグリーンシートの積層順を
示している。さらに、セラミックグリーンシート第２〜
４層（４１ｂ〜ｄ）には、それぞれの下層にあるシート
積層順マーク４５ａ〜ｃを覆わないように積層順確認窓
４７ａ〜ｃが開けられている。図８(b)は、図８(a)に示
したシート積層順マーク４５ａ〜ｃ及び積層順確認窓４
７ａ〜ｃ付近の部分断面図である。図８(c)は、各セラ
ミックグリーンシート４１ａ〜ｄに形成されたシート積
層順マーク４５ａ〜ｃと積層順確認窓４７ａ〜ｃをブロ
ック上方から見た図である。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. According to the second embodiment of the present invention, a unique sheet stacking order mark 45a to 45c is formed for each green sheet in the stacked block 41. In this example, the upper green sheets 41b to 41d are provided with circular holes (lamination order confirmation windows 47a to 47c) so that the sheet lamination order marks 45a to 45c can be confirmed after lamination without being closed by the sheets. FIG. 8A shows a laminated block 41 composed of four ceramic green sheets. The small holes (sheet stacking order marks 45a to 45c) indicating the stacking order are respectively formed in the first to third layers (41a to 41c) of the green sheets, and the number thereof indicates the stacking order of the green sheets. Furthermore, the ceramic green sheet No. 2
In the four layers (41b to 41d), stacking order confirmation windows 47a to 47c are opened so as not to cover the sheet stacking order marks 45a to 45c in the respective lower layers. FIG. 8B shows the sheet stacking order marks 45a to 45c and the stacking order confirmation window 4 shown in FIG.
It is a partial sectional view near 7a-c. FIG. 8C is a diagram showing the sheet stacking order marks 45a to 45c formed on the ceramic green sheets 41a to 41d and the stacking order confirmation windows 47a to 47c viewed from above the block.
【００３２】なお、本例では、小穴によるシート積層順
マーク４５ａ〜ｃを形成した例を示したが、その他にも
数字・文字・記号等を印刷、もしくはパンチングによっ
て設けシート積層順マークとして用いることができる。
特に、小穴によるシート積層順マークは、打ち抜き金型
に同型のものを組み合わせて用いるために、金型を標準
化でき、コストを低減できる。これに対して、数字・文
字・記号等を印刷で設けた場合は、小穴の数を計数しな
くても一見して積層ミスが判る。さらに、シート積層順
マーク４５の色を互いに異なるものとすると、インクの
色によって、識別を容易にすることができる。In this embodiment, an example is shown in which the sheet stacking order marks 45a to 45c are formed by small holes. However, numbers, characters, symbols, etc. may be printed or punched and used as sheet stacking order marks. Can be.
In particular, since the sheet stacking order mark with the small hole is used in combination with the same type as the punching die, the die can be standardized and the cost can be reduced. On the other hand, when numbers, characters, symbols, and the like are provided by printing, a stacking error is apparent at a glance without counting the number of small holes. Further, if the colors of the sheet stacking order marks 45 are different from each other, identification can be facilitated by the color of the ink.
【００３３】次に、本願発明の第３の実施の形態につい
て、図９(ａ)〜(ｂ)を参照しつつ説明する。ここでは、
各グリーンシート５０ａ〜ｄにそれぞれ大きさが同じで
あるが設置箇所を少しずつずらして設けた切り欠きもし
くは孔からなるシート積層順マーク５５を設け、各グリ
ーンシート５０ａ〜ｄを所定の順序で積層し、前記シー
ト積層順マーク５５が少しずつずれて重なる積層順検知
窓５７を有する多層セラミック基板５０を示す。本実施
の形態においては、積層順が正しく積層された場合は、
斜め方向に積層順検知窓５７が形成される（図９(ａ)参
照）。ところが、積層順を間違えた場合には、該積層順
検知窓５７が遮断されるか、あるいは極端に狭くなる。
図９(ｂ)は、図９(ａ)の例での第２層グリーンシート５
２と第３層グリーンシート５３の積層順を間違えた積層
ブロック５９の例を示している。したがって、上述のよ
うに、積層後に積層順検知窓５７を覗いて正しく形成さ
れているか否かを確認することによって、簡単に積層ブ
ロック内のグリーンシートの積層順の正否を確認でき
る。Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 9 (a) and 9 (b). here,
Each of the green sheets 50a to 50d is provided with a sheet stacking order mark 55 composed of a cutout or a hole having the same size but slightly displaced in the installation location, and stacking the green sheets 50a to 50d in a predetermined order. A multilayer ceramic substrate 50 having a stacking order detection window 57 in which the sheet stacking order marks 55 are slightly shifted and overlapped is shown. In the present embodiment, when the lamination order is correctly laminated,
The stacking order detection window 57 is formed in an oblique direction (see FIG. 9A). However, if the stacking order is incorrect, the stacking order detection window 57 is cut off or extremely narrowed.
FIG. 9 (b) shows the second layer green sheet 5 in the example of FIG. 9 (a).
The example of the laminated block 59 in which the lamination order of the second and third layer green sheets 53 is wrong is shown. Therefore, as described above, by checking the stacking order detection window 57 after stacking and confirming whether or not the green sheets are correctly formed, the correct order of the stacking of the green sheets in the stacked block can be easily checked.
【００３４】この方法によれば、シート積層順マーク５
５は、すべて同じ大きさで形成できるので、上層になっ
てもシート積層順マークを大きくする必要がなく、シー
ト積層順マークを形成するスペース確保の問題は生じな
い。また、金型が１種類で良いので、金型の費用が安価
で済む。さらに、単純に積層順検知孔５７の有無、ある
いは大きさだけで正しく積層されたか確認できるので、
目視によっても極めて容易かつ確実に確認作業を行うこ
とができる。According to this method, the sheet stacking order mark 5
5 can be formed in the same size, so that it is not necessary to increase the size of the sheet stacking order mark even in the upper layer, and there is no problem of securing a space for forming the sheet stacking order mark. In addition, since only one type of die is required, the cost of the die can be reduced. Furthermore, since it is possible to simply confirm whether or not the layers are correctly stacked only by the presence or absence or the size of the stacking order detection hole 57,
The checking operation can be performed very easily and reliably by visual inspection.
【００３５】なお、図９(c)に示すように、シート積層
順マーク５５の横にブロック積層順マーク５６を形成す
ると良い。シート積層順マーク５５はすべての同じ大き
さなので、形成個所の若干の違いだけでは、積層前にそ
れぞれの積層順を単独では識別し難い場合があるが、ブ
ロック積層順マーク５６は当該積層ブロック５１に属す
るグリーンシート５１ａ〜ｄではすべて同じ場所に形成
されてので、シート積層順マーク５５とブロック積層順
マーク５６の距離５８の長短を判別することによって、
積層前でも積層順を容易に確認できるようになるからで
ある。As shown in FIG. 9C, a block stacking order mark 56 may be formed beside the sheet stacking order mark 55. Since the sheet stacking order marks 55 are all of the same size, it may be difficult to identify each stacking order alone before stacking only by a slight difference in the formation location. Are formed in the same place in the green sheets 51a to 51d belonging to the following. Therefore, by determining the length 58 of the sheet stacking order mark 55 and the block stacking order mark 56,
This is because the lamination order can be easily confirmed even before lamination.
【図１】基準位置に円孔２を設けた従来の多層シート積
層体１の斜視図。FIG. 1 is a perspective view of a conventional multilayer sheet laminate 1 having a circular hole 2 at a reference position.
【図２】隅部に切り欠き３を設けた従来の多層シート積
層体１の斜視図。FIG. 2 is a perspective view of a conventional multilayer sheet laminate 1 having a notch 3 at a corner.
【図３】全グリーンシートに大きさの異なる切り欠きを
設け、階段状の積層順検知部４を形成した従来の多層シ
ート積層体１の斜視図。FIG. 3 is a perspective view of a conventional multilayer sheet laminate 1 in which cutouts having different sizes are provided in all the green sheets, and a stepwise lamination order detecting unit 4 is formed.
【図４】図３に示す多層シート積層体１の断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view of the multilayer sheet laminate 1 shown in FIG.
【図５】(a)シート積層順マーク１５とブロック積層順
マーク１６とを形成した各積層ブロック１１、１２、１
３の部分断面図。(b)ブロック積層順マーク１６に従
い、(a)の積層ブロック１１、１２、１３を積層した多
層シート積層体１４の部分断面図。FIG. 5 (a) shows the laminated blocks 11, 12, 1 formed with a sheet laminating order mark 15 and a block laminating order mark 16;
3 is a partial sectional view. (b) A partial cross-sectional view of a multilayer sheet laminate 14 in which the laminate blocks 11, 12, and 13 of (a) are laminated according to a block lamination order mark 16.
【図６】シート積層順マーク２５は、第２層以上のグリ
ーンシートにのみ形成し、また、ブロック積層順マーク
２６は、第２積層ブロック以上（２２、２３）にのみ形
成した多層シート積層体２４の部分断面図。FIG. 6 shows a sheet stacking order mark 25 formed only on a green sheet of the second layer or higher, and a block stacking order mark 26 formed on only the second layered block or higher (22, 23). 24 is a partial sectional view of FIG.
【図７】シート積層順マーク３５の形成個所が、各積層
ブロック毎に異なっている多層シート積層体３４の部分
断面図。FIG. 7 is a partial cross-sectional view of a multilayer sheet laminate 34 in which the positions where the sheet stacking order marks 35 are formed are different for each laminated block.
【図８】(a)小穴からなるシート積層順マーク４５ａ〜
ｃを積層後に積層順確認孔４７ａ〜ｃを通して検知する
ことができる積層ブロック４１の部分斜視図。(b)シー
ト積層順マーク４５と積層順確認窓４７ａ〜ｃの形成個
所の部分断面図。(c)積層ブロック４１のシート積層順
マーク４５ａ〜ｃの部分を上面から積層順確認窓４７ａ
〜ｃを通して見た図。FIG. 8 (a) Sheet stacking order marks 45a to 45 each having small holes
FIG. 9 is a partial perspective view of the laminated block 41 that can be detected through the lamination order confirmation holes 47a to 47c after laminating c. (b) Partial sectional view of a place where a sheet stacking order mark 45 and stacking order confirmation windows 47a to 47c are formed. (c) The sheet stacking order marks 45a to 45c of the stacking block 41 are placed on the stacking order confirmation window 47a from the top
FIG.
【図９】(a)シート積層順マーク５５によって、積層順
検知窓５７を形成した積層ブロック５０の部分断面図。
(b)第２層５２と第３層５３との積層順を誤り、積層順
検知窓５７が遮断された例の部分断面図。(c)シート積
層順マーク５５とブロック積層順マーク５６との距離５
８の差異によって積層前に積層順を確認する例を示す部
分断面図。9A is a partial cross-sectional view of a laminated block 50 in which a laminated order detection window 57 is formed by a sheet laminated order mark 55. FIG.
(b) Partial cross-sectional view of an example in which the stacking order of the second layer 52 and the third layer 53 is incorrect and the stacking order detection window 57 is shut off. (c) Distance 5 between sheet stacking order mark 55 and block stacking order mark 56
8 is a partial cross-sectional view showing an example in which the stacking order is confirmed before stacking according to the difference of No. 8. FIG.
１、１４、２４、３４、：多層シート積層体 ２：円孔 ３：切り欠き ４：積層順検知部 ５、１５、２５、３５、５５：シート積層順マーク ６、１６、２６、５６：ブロック積層順マーク １１、２１、３１：第１積層ブロック １２、２２、３２：第２積層ブロック １３、２３、３３：第３積層ブロック ４１、５０、５１：積層ブロック ４５ａ〜ｃ：シート積層順マーク（小穴） ４７ａ〜ｃ：積層順確認窓 １ａ〜ｌ、１１ａ〜ｄ、１２ａ〜ｄ、１３ａ〜ｄ、２１
ａ〜ｄ、２２ａ〜ｄ、２３ａ〜ｄ、４１ａ〜ｄ、５０ａ
〜ｄ、５１ａ〜ｄ：セラミックグリーンシート ５８：シート積層順ブロック５５とブロック積層順マー
ク５６の距離1, 14, 24, 34: multilayer sheet laminate 2: circular hole 3: notch 4: lamination order detection unit 5, 15, 25, 35, 55: sheet lamination order mark 6, 16, 26, 56: block Lamination order mark 11, 21, 31: first lamination block 12, 22, 32: second lamination block 13, 23, 33: third lamination block 41, 50, 51: lamination block 45a-c: sheet lamination order mark ( Small holes) 47a-c: Lamination order confirmation window 1a-l, 11a-d, 12a-d, 13a-d, 21
ad, 22a-d, 23a-d, 41a-d, 50a
-D, 51a-d: ceramic green sheet 58: distance between sheet stacking order block 55 and block stacking order mark 56
Claims (7)
序で積層して積層ブロックを製作する工程と、 複数の積層ブロックを所定順序で積層して多層シート積
層体を製作する工程と、 を含む多層セラミック基板の製造方法であって、前記複
数のセラミックグリーンシートは、 前記積層ブロック内での前記セラミックグリーンシート
の積層順を示すシート積層順マークと、 前記多層シート積層体内での前記積層ブロックの積層順
を示すブロック積層順マークと、 を有することを特徴とする多層セラミック基板の製造方
法。1. A multilayer ceramic comprising: a step of manufacturing a multilayer block by stacking a plurality of ceramic green sheets in a predetermined order; and a step of manufacturing a multilayer sheet stack by stacking a plurality of multilayer blocks in a predetermined order. The method for manufacturing a substrate, wherein the plurality of ceramic green sheets include: a sheet stacking order mark indicating a stacking order of the ceramic green sheets in the stacked block; and a stacking order of the stacked blocks in the multilayer sheet stack. 1. A method for manufacturing a multilayer ceramic substrate, comprising:
ラミックグリーンシートが上層になるほど大きく形成さ
れた切り欠きまたは孔であって、 前記セラミックグリーンシートをそれぞれ所定の順序で
積層した際に、積層方向にすべてのセラミックグリーン
シートの上表面の一部が階段状に露出する検知部となる
ように形成されていることを特徴とする請求項１記載の
多層セラミック基板の製造方法。2. The sheet stacking order mark is a notch or a hole formed so as to be larger as a ceramic green sheet to be stacked becomes an upper layer, and is formed when the ceramic green sheets are stacked in a predetermined order. 2. The method for manufacturing a multilayer ceramic substrate according to claim 1, wherein a part of the upper surface of all the ceramic green sheets is formed as a detecting portion that is exposed stepwise in the direction.
ク内の最下層のセラミックグリーンシートを除く第２層
以上に備えることを特徴とする請求項１または２のいず
れかに記載の多層セラミック基板の製造方法。3. The multilayer ceramic substrate according to claim 1, wherein the sheet stacking order mark is provided on a second layer or more except for a lowermost ceramic green sheet in each stacked block. Manufacturing method.
序で積層した際に、前記セラミックグリーンシートにそ
れぞれ打ち抜き、もしくは印刷により設けられたシート
積層順マークが積層方向に露出するように、シート積層
順マークの上層に位置する部分にそれぞれのシート積層
順マーク毎に切り欠きもしくは貫通孔からなる積層順確
認窓を備えることを特徴とする請求項３記載の多層セラ
ミック基板の製造方法。4. A sheet stacking order mark such that when the ceramic green sheets are stacked in a predetermined order, the sheet stacking order mark provided by punching or printing on the ceramic green sheet is exposed in the stacking direction. 4. The method for manufacturing a multilayer ceramic substrate according to claim 3, further comprising a lamination order confirmation window formed of a notch or a through hole for each sheet lamination order mark in a portion located in the upper layer.
グリーンシートが属する積層ブロックごとに同形、同位
置に形成され、かつ上に積層される積層ブロックに属す
るセラミックシートほど大きく形成された切り欠きまた
は孔であって、 前記積層ブロックを所定の順序に積層した際に、積層方
向に全積層ブロックの上表面の一部が階段状に露出する
検知部となるように形成されていることを特徴とする請
求項１乃至４のいずれかに記載の多層セラミック基板の
製造方法。5. The block stacking order mark is formed in the same shape and at the same position for each stacked block to which the ceramic green sheet belongs, and is formed with a notch or hole formed larger as the ceramic sheet belongs to the stacked block stacked thereon. Wherein when the laminated blocks are laminated in a predetermined order, a part of the upper surface of all the laminated blocks is formed as a detecting portion which is exposed in a stepwise manner in the laminating direction. A method for manufacturing a multilayer ceramic substrate according to claim 1.
ロックを除く第２積層ブロック以上に形成することを特
徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の多層セラミ
ック基板の製造方法。6. The method for manufacturing a multilayer ceramic substrate according to claim 1, wherein the block stacking order mark is formed on a second stacked block or more except for a lowermost stacked block.
序で積層した際に、前記積層順マークが少しずつずれて
重なり、斜め方向に積層順検知窓を形成するように、各
セラミックグリーンシートに略同じ大きさの切り欠きも
しくは孔からなるシート積層順マークを設けることを特
徴とする請求項１記載の多層セラミック基板の製造方
法。7. When the ceramic green sheets are stacked in a predetermined order, the stacking order marks are slightly shifted from each other and overlap to form a stacking order detection window in an oblique direction. 2. The method for manufacturing a multilayer ceramic substrate according to claim 1, wherein a sheet stacking order mark including a cutout or a hole having a size is provided.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990297A JPH10209640A (en) | 1997-01-17 | 1997-01-17 | Manufacture of multi-layer ceramic substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990297A JPH10209640A (en) | 1997-01-17 | 1997-01-17 | Manufacture of multi-layer ceramic substrate |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10209640A true JPH10209640A (en) | 1998-08-07 |
Family
ID=12012148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990297A Pending JPH10209640A (en) | 1997-01-17 | 1997-01-17 | Manufacture of multi-layer ceramic substrate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10209640A (en) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000340698A (en) * | 1999-06-01 | 2000-12-08 | New Japan Radio Co Ltd | Substrate for leadless chip carrier and leadless chip carrier |
| JP2007036002A (en) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Kyocera Corp | Multi-pattern wiring board |
| JP2007301095A (en) * | 2006-05-10 | 2007-11-22 | Sakura Color Prod Corp | Process challenge device for high-pressure steam sterilizer |
| JP2009000713A (en) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Aronshiya:Kk | Diffusion bonding article and its manufacturing method |
| JP2009089223A (en) * | 2007-10-02 | 2009-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | Laminated structure |
| JP2011091835A (en) * | 2010-11-29 | 2011-05-06 | Mitsubishi Electric Corp | Laminated structure |
| JP2011216566A (en) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Hitachi Via Mechanics Ltd | Method for imparting identification mark, printed board drilling machine and program |
| JP2011240688A (en) * | 2010-05-21 | 2011-12-01 | Mitsubishi Electric Corp | Laminated structure |
| JP2012054194A (en) * | 2010-09-03 | 2012-03-15 | Nec Energy Devices Ltd | Laminate type secondary battery |
-
1997
- 1997-01-17 JP JP1990297A patent/JPH10209640A/en active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000340698A (en) * | 1999-06-01 | 2000-12-08 | New Japan Radio Co Ltd | Substrate for leadless chip carrier and leadless chip carrier |
| JP2007036002A (en) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Kyocera Corp | Multi-pattern wiring board |
| JP2007301095A (en) * | 2006-05-10 | 2007-11-22 | Sakura Color Prod Corp | Process challenge device for high-pressure steam sterilizer |
| US8333933B2 (en) | 2006-05-10 | 2012-12-18 | Sakura Color Products Corporation | Process challenge device for a high-pressure steam sterilizer and sheet for a challenge device |
| JP2009000713A (en) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Aronshiya:Kk | Diffusion bonding article and its manufacturing method |
| JP2009089223A (en) * | 2007-10-02 | 2009-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | Laminated structure |
| US8795815B2 (en) | 2007-10-02 | 2014-08-05 | Mitsubishi Electric Corporation | Laminated structure |
| DE102008018241B4 (en) * | 2007-10-02 | 2017-01-12 | Mitsubishi Electric Corp. | Layered structure |
| JP2011216566A (en) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Hitachi Via Mechanics Ltd | Method for imparting identification mark, printed board drilling machine and program |
| JP2011240688A (en) * | 2010-05-21 | 2011-12-01 | Mitsubishi Electric Corp | Laminated structure |
| JP2012054194A (en) * | 2010-09-03 | 2012-03-15 | Nec Energy Devices Ltd | Laminate type secondary battery |
| JP2011091835A (en) * | 2010-11-29 | 2011-05-06 | Mitsubishi Electric Corp | Laminated structure |
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