JPH10206340A - ハードディスク検査装置 - Google Patents
ハードディスク検査装置Info
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- JPH10206340A JPH10206340A JP773397A JP773397A JPH10206340A JP H10206340 A JPH10206340 A JP H10206340A JP 773397 A JP773397 A JP 773397A JP 773397 A JP773397 A JP 773397A JP H10206340 A JPH10206340 A JP H10206340A
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- hard disk
- measurement block
- vibration
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、ハードディスク表面の突起の有無を
検査するハードディスク検査装置に関し、ハードディス
ク表面の突起の有無を短時間で検査する。 【解決手段】ハードディスク１０を回転させながら、ハ
ードディスク１０をアクセスするＭＲヘッドと同様の構
造の測定ブロック１０２の振動を、レーザドプラ振動計
（レーザ光２１）あるいはコンタクトマイクロホン３０
により検出する。
検査するハードディスク検査装置に関し、ハードディス
ク表面の突起の有無を短時間で検査する。 【解決手段】ハードディスク１０を回転させながら、ハ
ードディスク１０をアクセスするＭＲヘッドと同様の構
造の測定ブロック１０２の振動を、レーザドプラ振動計
（レーザ光２１）あるいはコンタクトマイクロホン３０
により検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスク表
面の突起の有無を検査するハードディスク検査装置に関
する。
面の突起の有無を検査するハードディスク検査装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、コンピュータシステムにおけ
る記憶装置等としてハードディスクが広く採用されてお
り、近年益々大容量化が進んできている。その大容量化
の一貫として、磁界によって抵抗値が変化する磁気抵抗
素子をハードディスクへのデータの書込みやハードディ
スクからのデータの読出しを行なうためのヘッドとして
用いたＭＲヘッドが注目されている。このＭＲヘッドを
用いると、従来から使用されていたヘッドを用いた場合
と比べ、ハードディスクへの高密度記録を実現すること
ができ、ハードディスクの一層の大容量化を実現するこ
とができる。
る記憶装置等としてハードディスクが広く採用されてお
り、近年益々大容量化が進んできている。その大容量化
の一貫として、磁界によって抵抗値が変化する磁気抵抗
素子をハードディスクへのデータの書込みやハードディ
スクからのデータの読出しを行なうためのヘッドとして
用いたＭＲヘッドが注目されている。このＭＲヘッドを
用いると、従来から使用されていたヘッドを用いた場合
と比べ、ハードディスクへの高密度記録を実現すること
ができ、ハードディスクの一層の大容量化を実現するこ
とができる。
【０００３】ＭＲヘッドに限らず従来から使用されてい
たヘッドを用いた場合も、円盤状のハードディスクが回
転すると空気流の作用によりそのヘッドがハードディス
ク表面から僅かに離れている浮いた状態になり、その状
態でハードディスクへのデータの書込みやハードディス
クからのデータの読出し（ハードディスクへのアクセス
と称する）を行なっているが、ＭＲヘッドの場合、高密
度記録を行なうために、従来のヘッドを用いた場合より
もハードディスク表面にさらに近づいた状態となるよう
に、すなわちハードディスク表面との間の間隔が例えば
５０ｎｍ〜１５０ｎｍとなるように、そのヘッドの重量
や形状等が調整されている。
たヘッドを用いた場合も、円盤状のハードディスクが回
転すると空気流の作用によりそのヘッドがハードディス
ク表面から僅かに離れている浮いた状態になり、その状
態でハードディスクへのデータの書込みやハードディス
クからのデータの読出し（ハードディスクへのアクセス
と称する）を行なっているが、ＭＲヘッドの場合、高密
度記録を行なうために、従来のヘッドを用いた場合より
もハードディスク表面にさらに近づいた状態となるよう
に、すなわちハードディスク表面との間の間隔が例えば
５０ｎｍ〜１５０ｎｍとなるように、そのヘッドの重量
や形状等が調整されている。
【０００４】一方、ハードディスク表面には、その製造
過程において、１μｍ×１μｍ程度の寸法であって、高
さが、数十ｎｍ〜数百ｎｍの突起が発生する場合があ
り、ハードディスク表面にこのような突起が発生する
と、ハードディスク表面から僅か５０ｎｍ〜１００ｎｍ
浮いた状態でハードディスクをアクセスするＭＲヘッド
と干渉してしまう場合がある。ところがＭＲヘッドは熱
に極めて敏感であり、ハードディスク表面の微小突起と
の干渉による僅かな発熱によってもアクセスエラーが生
じる場合ある。このため、ＭＲヘッドを採用して高密度
記録、大容量化を図るためには、ハードディスク表面の
微小突起の有無を精確に、かつ、効率の良い検査を行な
うために短時間に検出することが極めて重要な課題とし
て注目されてきている。
過程において、１μｍ×１μｍ程度の寸法であって、高
さが、数十ｎｍ〜数百ｎｍの突起が発生する場合があ
り、ハードディスク表面にこのような突起が発生する
と、ハードディスク表面から僅か５０ｎｍ〜１００ｎｍ
浮いた状態でハードディスクをアクセスするＭＲヘッド
と干渉してしまう場合がある。ところがＭＲヘッドは熱
に極めて敏感であり、ハードディスク表面の微小突起と
の干渉による僅かな発熱によってもアクセスエラーが生
じる場合ある。このため、ＭＲヘッドを採用して高密度
記録、大容量化を図るためには、ハードディスク表面の
微小突起の有無を精確に、かつ、効率の良い検査を行な
うために短時間に検出することが極めて重要な課題とし
て注目されてきている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したようなハード
ディスク表面の微小突起を検出する方法の１つとして、
そのハードディスクにＭＲヘッドを用いて実際にアクセ
スしてみる方法が考えられる。しかしながら、この方法
では、ハードディスク全域をアクセスするのに多大の時
間を要し、一方、ハードディスクの製造工程の最終の検
査工程ではハードディスク一枚あたり数秒程度で検査す
ることが要請されており、この方法では、このような短
時間での検査は不可能である。
ディスク表面の微小突起を検出する方法の１つとして、
そのハードディスクにＭＲヘッドを用いて実際にアクセ
スしてみる方法が考えられる。しかしながら、この方法
では、ハードディスク全域をアクセスするのに多大の時
間を要し、一方、ハードディスクの製造工程の最終の検
査工程ではハードディスク一枚あたり数秒程度で検査す
ることが要請されており、この方法では、このような短
時間での検査は不可能である。
【０００６】また、ハードディスク表面の微小突起を直
接的に検出する方法として、例えばそのハードディスク
表面にレーザビームを照射し干渉の原理を利用してハー
ドディスク表面の凹凸を検出する方法が考えられる。ハ
ードディスク表面の微小突起の高さは数十ｎｍ〜数百ｎ
ｍ程度であるため、この方法により十分な高精度の検出
が可能である。しかしながら、ハードディスク表面の微
小突起の表面の寸法は１μｍ×１μｍ程度であり、した
がって極めて細く絞ったレーザビームを用いそのように
細く絞ったレーザビームでハードディスク表面全域を走
査する必要があり、この方法もハードディスク一枚あた
り極めて多大な検査時間を必要とする。
接的に検出する方法として、例えばそのハードディスク
表面にレーザビームを照射し干渉の原理を利用してハー
ドディスク表面の凹凸を検出する方法が考えられる。ハ
ードディスク表面の微小突起の高さは数十ｎｍ〜数百ｎ
ｍ程度であるため、この方法により十分な高精度の検出
が可能である。しかしながら、ハードディスク表面の微
小突起の表面の寸法は１μｍ×１μｍ程度であり、した
がって極めて細く絞ったレーザビームを用いそのように
細く絞ったレーザビームでハードディスク表面全域を走
査する必要があり、この方法もハードディスク一枚あた
り極めて多大な検査時間を必要とする。
【０００７】本発明は、上記事情に鑑み、ハードディス
ク表面の突起の有無を短時間で検査することのできるハ
ードディスク検査装置を提供することを目的とする。
ク表面の突起の有無を短時間で検査することのできるハ
ードディスク検査装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のハードディスク検査装置は、ハードディスク表面の
突起の有無を検査するハードディスク検査装置におい
て、ハードディスクを水平に回転させるハードディスク
回転装置と、ハードディスクが回転することによってそ
のハードディスク上に浮いた状態に配置される測定ブロ
ックと、その測定ブロックを先端に固定しその測定ブロ
ックをハードディスクの半径方向に移動させるアーム
と、その測定ブロックの振動を検出するセンサとを備え
たことを特徴とする。
明のハードディスク検査装置は、ハードディスク表面の
突起の有無を検査するハードディスク検査装置におい
て、ハードディスクを水平に回転させるハードディスク
回転装置と、ハードディスクが回転することによってそ
のハードディスク上に浮いた状態に配置される測定ブロ
ックと、その測定ブロックを先端に固定しその測定ブロ
ックをハードディスクの半径方向に移動させるアーム
と、その測定ブロックの振動を検出するセンサとを備え
たことを特徴とする。
【０００９】ここで、上記測定ブロックは、ハードディ
スクをアクセスするヘッドを流用したものであってもよ
い。また、上記本発明のハードディスク検査装置におい
て、上記センサは、測定ブロックの振動を検出すること
ができるものであればどのようなセンサであってもよい
が、例えば、上記測定ブロックに上方からレーザ光を照
射してその測定ブロックの上下方向の振動を検出するレ
ーザドプラ振動計や、上記アームを経由して伝達してき
た振動を検出するコンタクトマイクロホンを好適に採用
することができる。
スクをアクセスするヘッドを流用したものであってもよ
い。また、上記本発明のハードディスク検査装置におい
て、上記センサは、測定ブロックの振動を検出すること
ができるものであればどのようなセンサであってもよい
が、例えば、上記測定ブロックに上方からレーザ光を照
射してその測定ブロックの上下方向の振動を検出するレ
ーザドプラ振動計や、上記アームを経由して伝達してき
た振動を検出するコンタクトマイクロホンを好適に採用
することができる。
【００１０】本発明のハードディスク検査装置は、例え
ばハードディスクをアクセスするヘッドをそのまま流用
した、あるいはそれと類似に構成した測定ブロックを、
ハードディスクを実際にアクセスするヘッドと同様にし
て用いて、その測定ブロックがハードディスク表面の突
起に衝突して生じる振動を、例えばレーザドプラ振動計
やコンタクトマイクロホン等のセンサを用いて検出する
ものであり、その測定ブロックとして、例えば１ｍｍ×
１ｍｍ程度の寸法等、ハードディスク表面の突起の寸法
（例えば１μｍ×１μｍ）と比べ極めて大きな測定ブロ
ックを用いることができ、ハードディスク表面の広い領
域を一度に検査することができ、その測定ブロックで、
例えば数秒程度の短時間でハードディスクの表面全面を
走査することができる。また検出精度も後述する実験デ
ータに示すように極めて高精度の検出が可能である。
ばハードディスクをアクセスするヘッドをそのまま流用
した、あるいはそれと類似に構成した測定ブロックを、
ハードディスクを実際にアクセスするヘッドと同様にし
て用いて、その測定ブロックがハードディスク表面の突
起に衝突して生じる振動を、例えばレーザドプラ振動計
やコンタクトマイクロホン等のセンサを用いて検出する
ものであり、その測定ブロックとして、例えば１ｍｍ×
１ｍｍ程度の寸法等、ハードディスク表面の突起の寸法
（例えば１μｍ×１μｍ）と比べ極めて大きな測定ブロ
ックを用いることができ、ハードディスク表面の広い領
域を一度に検査することができ、その測定ブロックで、
例えば数秒程度の短時間でハードディスクの表面全面を
走査することができる。また検出精度も後述する実験デ
ータに示すように極めて高精度の検出が可能である。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。図１は、本発明のハードディスク検査装置の
一部を示した模式斜視図である。検査対象のハードディ
スク１０がスピンドル１０１に取り付けられて矢印Ａ方
向に水平に回転している。このハードディスク１０の上
には、ハードディスク１０の回転に伴う空気流の作用に
よりハードディスク１０から僅かに浮いた状態に測定ブ
ロック１０２が配置されている。
説明する。図１は、本発明のハードディスク検査装置の
一部を示した模式斜視図である。検査対象のハードディ
スク１０がスピンドル１０１に取り付けられて矢印Ａ方
向に水平に回転している。このハードディスク１０の上
には、ハードディスク１０の回転に伴う空気流の作用に
よりハードディスク１０から僅かに浮いた状態に測定ブ
ロック１０２が配置されている。
【００１２】この測定ブロック１０２は、支持アーム１
０３の先端１０３ａに固定されており、この支持アーム
１０３は、後端を軸として回動し、測定ブロック１０２
をハードディスク１０３の半径方向に移動させるように
構成されている。この測定ブロック１０２は、ハードデ
ィスクアクセス用のＭＲヘッドがそのまま流用されてい
る。
０３の先端１０３ａに固定されており、この支持アーム
１０３は、後端を軸として回動し、測定ブロック１０２
をハードディスク１０３の半径方向に移動させるように
構成されている。この測定ブロック１０２は、ハードデ
ィスクアクセス用のＭＲヘッドがそのまま流用されてい
る。
【００１３】ここで、ハードディスク１０表面に微小突
起が存在しているとその微小突起と測定ヘッド１０２が
干渉し測定ヘッド１０２が振動する。そこで、ここで
は、その測定ヘッドの振動を検出するために、その測定
ヘッドに、後述するレーザドプラ振動計のレーザ光２１
が照射され、あるいは、支持アーム１０３の後端部１０
３ｂ（回動中心が好ましい）に、測定ヘッド１０２と微
小突起との干渉により測定ヘッド１０２において発生し
支持アーム１０３を伝達してきた振動を検出するコンタ
クトマイクロホン３０が固定される。
起が存在しているとその微小突起と測定ヘッド１０２が
干渉し測定ヘッド１０２が振動する。そこで、ここで
は、その測定ヘッドの振動を検出するために、その測定
ヘッドに、後述するレーザドプラ振動計のレーザ光２１
が照射され、あるいは、支持アーム１０３の後端部１０
３ｂ（回動中心が好ましい）に、測定ヘッド１０２と微
小突起との干渉により測定ヘッド１０２において発生し
支持アーム１０３を伝達してきた振動を検出するコンタ
クトマイクロホン３０が固定される。
【００１４】尚、図１にはレーザドプラ振動計（図１に
は図示せず）から出射したレーザ光２１とコンタクトマ
イクロホン３０との双方が示されているが、レーザドプ
ラ振動計とコンタクトマイクロホンの双方を備える必要
はなく、いずれか一方のみを備えて振動を検出してもよ
い。図２は、レーザドプラ振動計の原理説明図である。
は図示せず）から出射したレーザ光２１とコンタクトマ
イクロホン３０との双方が示されているが、レーザドプ
ラ振動計とコンタクトマイクロホンの双方を備える必要
はなく、いずれか一方のみを備えて振動を検出してもよ
い。図２は、レーザドプラ振動計の原理説明図である。
【００１５】波長λ，周波数ｆ0 のレーザ光を、速度Ｖ
で移動中のターゲット１に照射する。このとき、ターゲ
ット１で反射した反射レーザ光はターゲット１の動きに
より周波数偏移を受ける。レーザ光の照射方向かつ反射
方向とターゲット１の移動方向との成す角度をθとする
と、周波数遷移量ｆD は、 ｆD ＝２・Ｖ・ｃｏｓθ／λ ……（１） である。すなわち、反射レーザ光の周波数はｆ0 ＋ｆD
となる。
で移動中のターゲット１に照射する。このとき、ターゲ
ット１で反射した反射レーザ光はターゲット１の動きに
より周波数偏移を受ける。レーザ光の照射方向かつ反射
方向とターゲット１の移動方向との成す角度をθとする
と、周波数遷移量ｆD は、 ｆD ＝２・Ｖ・ｃｏｓθ／λ ……（１） である。すなわち、反射レーザ光の周波数はｆ0 ＋ｆD
となる。
【００１６】そこで、この反射レーザ光（周波数ｆ0 ＋
ｆD ）と、入射レーザ光から分離した参照レーザ光（周
波数ｆ0 ）とを干渉させ受光すると、それらの差の周波
数差（ｆ0 ＋ｆD −ｆ0 ＝ｆD ）に相当するビート信号
を得ることができる。このビート信号の周波数ｆD によ
り、ターゲット１の、レーザ光の照射方向の速度Ｖｃｏ
ｓθを検出することができる。通常は、参照レーザ光は
周波数ｆ0 のまま用いるのではなく、周波数シフトを受
けた参照レーザ光（周波数ｆ0 ＋ｆM ）を用いる。こう
することにより、ターゲット１が静止している場合に周
波数ｆM のビート信号が観察され、ターゲット１が移動
すると、そのターゲット１の移動方向（照射レーザ光の
光軸に沿う移動方向）プラス側、マイナス側に応じてビ
ート信号の周波数が周波数ｆM からプラス側あるいはマ
イナス側に変化し、これにより、そのターゲットの移動
速度とともに移動方向も知ることができる。
ｆD ）と、入射レーザ光から分離した参照レーザ光（周
波数ｆ0 ）とを干渉させ受光すると、それらの差の周波
数差（ｆ0 ＋ｆD −ｆ0 ＝ｆD ）に相当するビート信号
を得ることができる。このビート信号の周波数ｆD によ
り、ターゲット１の、レーザ光の照射方向の速度Ｖｃｏ
ｓθを検出することができる。通常は、参照レーザ光は
周波数ｆ0 のまま用いるのではなく、周波数シフトを受
けた参照レーザ光（周波数ｆ0 ＋ｆM ）を用いる。こう
することにより、ターゲット１が静止している場合に周
波数ｆM のビート信号が観察され、ターゲット１が移動
すると、そのターゲット１の移動方向（照射レーザ光の
光軸に沿う移動方向）プラス側、マイナス側に応じてビ
ート信号の周波数が周波数ｆM からプラス側あるいはマ
イナス側に変化し、これにより、そのターゲットの移動
速度とともに移動方向も知ることができる。
【００１７】図３は、レーザドプラ振動計の基本構成図
である。レーザ光源２０１から出射した、周波数ｆ0 の
レーザ光２０は、ビームスプリッタ２０２により測定レ
ーザ光２１と参照レーザ光２２とに二分される。測定レ
ーザ光２１はビームスプリッタ２０３を透過し、図１に
示す測定ブロック１０２に照射される。その測定ブロッ
ク１０２が測定レーザ光２１の光軸方向に振動すると、
その測定ブロック１０２で反射したレーザ光は、周波数
遷移を受けることになる。
である。レーザ光源２０１から出射した、周波数ｆ0 の
レーザ光２０は、ビームスプリッタ２０２により測定レ
ーザ光２１と参照レーザ光２２とに二分される。測定レ
ーザ光２１はビームスプリッタ２０３を透過し、図１に
示す測定ブロック１０２に照射される。その測定ブロッ
ク１０２が測定レーザ光２１の光軸方向に振動すると、
その測定ブロック１０２で反射したレーザ光は、周波数
遷移を受けることになる。
【００１８】その周波数遷移を受けた、周波数ｆ0 ＋ｆ
D の反射レーザ光は、ビームスプリッタ２０３で反射
し、ミラー２０４で反射し、ビームスプリッタ２０５を
透過し、受光器２０６に至る。一方、ビームスプリッタ
２０２で反射した参照レーザ光２２は、音響光学変調器
２０７で周波数変調を受け、周波数ｆ0 ＋ｆM の参照レ
ーザ光となってビームスプリッタ２０５で反射し受光器
２０６に至る。
D の反射レーザ光は、ビームスプリッタ２０３で反射
し、ミラー２０４で反射し、ビームスプリッタ２０５を
透過し、受光器２０６に至る。一方、ビームスプリッタ
２０２で反射した参照レーザ光２２は、音響光学変調器
２０７で周波数変調を受け、周波数ｆ0 ＋ｆM の参照レ
ーザ光となってビームスプリッタ２０５で反射し受光器
２０６に至る。
【００１９】受光器２０６では、参照レーザ光の周波数
ｆ0 ＋ｆM と反射レーザ光のｆ0 ＋ｆD との差の周波数
ｆM −ｆD のビート信号が観察される。このビート信号
は振動検出回路２０８に入力され、このビート信号の周
波数変化が電圧信号に変換され、これにより測定ブロッ
ク１０２の振動が検出される。図４は、コンタクトマイ
クロホンの概略構成図である。
ｆ0 ＋ｆM と反射レーザ光のｆ0 ＋ｆD との差の周波数
ｆM −ｆD のビート信号が観察される。このビート信号
は振動検出回路２０８に入力され、このビート信号の周
波数変化が電圧信号に変換され、これにより測定ブロッ
ク１０２の振動が検出される。図４は、コンタクトマイ
クロホンの概略構成図である。
【００２０】マイクロホンは、一般的に、空気の振動に
伴って振動するダイヤフラムを備えそのダイヤフラムの
振動をピックアップする構成を有しているが、コンタク
トマイクロホン３０は、ダイヤフラム３０１の前面に密
閉気室３０２を備え、その密閉気室３０２の前面が固体
２（図１に示すハードディスク検査装置の場合はアーム
１０３の後端部１０３ｂ）の表面にあてがわれ、その固
体２（アーム１０３）の振動が密閉気室３０２内部の気
体に伝えられ、さらにその気体の振動がダイヤフラム３
０１に伝えられる。ダイヤフラム３０１の振動のピック
アップは通常のマイクロホンと同様であり、ここでの説
明は省略する。
伴って振動するダイヤフラムを備えそのダイヤフラムの
振動をピックアップする構成を有しているが、コンタク
トマイクロホン３０は、ダイヤフラム３０１の前面に密
閉気室３０２を備え、その密閉気室３０２の前面が固体
２（図１に示すハードディスク検査装置の場合はアーム
１０３の後端部１０３ｂ）の表面にあてがわれ、その固
体２（アーム１０３）の振動が密閉気室３０２内部の気
体に伝えられ、さらにその気体の振動がダイヤフラム３
０１に伝えられる。ダイヤフラム３０１の振動のピック
アップは通常のマイクロホンと同様であり、ここでの説
明は省略する。
【００２１】図１に示すハードディスク検査装置では、
ハードディスク１０を回転させながら、支持アーム１０
３を回動させることにより測定ブロック１０２をハード
ディスク１０の半径方向に移動させ、その間、レーザド
プラ振動計により測定ブロック１０２の振動が検出さ
れ、あるいはコンタクトマイクロホン３０により支持ア
ーム１０３を伝わってきた振動が検出される。このよう
にして、ハードディスク１枚あたり数秒でそのハードデ
ィスク表面全面について微小突起の有無が検出される。
ハードディスク１０を回転させながら、支持アーム１０
３を回動させることにより測定ブロック１０２をハード
ディスク１０の半径方向に移動させ、その間、レーザド
プラ振動計により測定ブロック１０２の振動が検出さ
れ、あるいはコンタクトマイクロホン３０により支持ア
ーム１０３を伝わってきた振動が検出される。このよう
にして、ハードディスク１枚あたり数秒でそのハードデ
ィスク表面全面について微小突起の有無が検出される。
【００２２】図５は、レーザドプラ振動計を用いて測定
ブロックの振動を検出したときの信号波形図である。図
５（ａ），（ｂ）はそれぞれ、ハードディスク表面に微
小突起が存在しない状態、存在する状態における信号波
形である。図５（ａ）と図５（ｂ）とを比較すると、十
分なＳ／Ｎをもって微小突起の存在を検出することがで
きることがわかる。
ブロックの振動を検出したときの信号波形図である。図
５（ａ），（ｂ）はそれぞれ、ハードディスク表面に微
小突起が存在しない状態、存在する状態における信号波
形である。図５（ａ）と図５（ｂ）とを比較すると、十
分なＳ／Ｎをもって微小突起の存在を検出することがで
きることがわかる。
【００２３】図６は、コンタクトマイクロホンを用いて
支持アーム後端部の振動を検出したときの信号波形図で
ある。図６（ａ），（ｂ）は、それぞれ図５（ａ），
（ｂ）と同様、ハードディスク表面に微小突起が存在し
ない場合、存在する場合における信号波形である。図６
（ａ）と図６（ｂ）とを比較すると、コンタクトマイク
ロホンによっても、十分なＳ／Ｎをもって微小突起の存
在を検出することができることがわかる。
支持アーム後端部の振動を検出したときの信号波形図で
ある。図６（ａ），（ｂ）は、それぞれ図５（ａ），
（ｂ）と同様、ハードディスク表面に微小突起が存在し
ない場合、存在する場合における信号波形である。図６
（ａ）と図６（ｂ）とを比較すると、コンタクトマイク
ロホンによっても、十分なＳ／Ｎをもって微小突起の存
在を検出することができることがわかる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のハードデ
ィスク検査装置によればハードディスク表面の突起の有
無を高速かつ十分な精度で検出することができる。
ィスク検査装置によればハードディスク表面の突起の有
無を高速かつ十分な精度で検出することができる。
【図１】本発明のハードディスク検査装置の一部を示し
た模式斜視図である。
た模式斜視図である。
【図２】レーザドプラ振動計の原理説明図である。
【図３】レーザドプラ振動計の基本構成図である。
【図４】コンタクトマイクロホンの概略構成図である。
【図５】レーザドプラ振動計を用いて測定ブロックの振
動を検出したときの信号波形図である。
動を検出したときの信号波形図である。
【図６】コンタクトマイクロホンを用いて支持アーム後
端部の振動を検出したときの信号波形図である。
端部の振動を検出したときの信号波形図である。
１ ターゲット ２ 固体 １０ ハードディスク ２０ レーザ光 ２１ 測定レーザ光 ２２ 参照レーザ光 ３０ コンタクトマイクロホン １０１ スピンドル １０２ 測定ブロック １０３ アーム １０３ａ アーム先端 １０３ｂ アーム後端部 ２０１ レーザ光源 ２０２，２０３，２０５ ビームスプリッタ ２０４ ミラー ２０６ 受光器 ２０７ 音響光学変調器 ２０８ 振動検出回路 ３０１ ダイヤフラム ３０２ 密閉気室
Claims (4)
- 【請求項１】 ハードディスク表面の突起の有無を検査
するハードディスク検査装置において、 ハードディスクを水平に回転させるハードディスク回転
装置と、 ハードディスクが回転することによって該ハードディス
ク上に浮いた状態に配置される測定ブロックと、 該測定ブロックを先端に固定しその測定ブロックをハー
ドディスクの半径方向に移動させるアームと、 前記測定ブロックの振動を検出するセンサとを備えたこ
とを特徴とするハードディスク検査装置。 - 【請求項２】 前記測定ブロックが、ハードディスクを
アクセスするヘッドを流用したものであることを特徴と
する請求項１記載のハードディスク検査装置。 - 【請求項３】 前記センサが、前記測定ブロックに上方
からレーザ光を照射してその測定ブロックの上下方向の
振動を検出するレーザドプラ振動計であることを特徴と
するハードディスク検査装置。 - 【請求項４】 前記センサが、前記アームを経由して伝
達してきた振動を検出するコンタクトマイクロホンであ
ることを特徴とする請求項１記載のハードディスク検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP773397A JPH10206340A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | ハードディスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP773397A JPH10206340A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | ハードディスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10206340A true JPH10206340A (ja) | 1998-08-07 |
Family
ID=11673916
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP773397A Withdrawn JPH10206340A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | ハードディスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10206340A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6523413B1 (en) | 1998-12-28 | 2003-02-25 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Acoustic inspection method for hard disks, acoustic inspection system for hard disks, and program memory medium |
-
1997
- 1997-01-20 JP JP773397A patent/JPH10206340A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6523413B1 (en) | 1998-12-28 | 2003-02-25 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Acoustic inspection method for hard disks, acoustic inspection system for hard disks, and program memory medium |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040406 |