JPH10206114A - Ic検査用照明装置 - Google Patents
Ic検査用照明装置Info
- Publication number
- JPH10206114A JPH10206114A JP764197A JP764197A JPH10206114A JP H10206114 A JPH10206114 A JP H10206114A JP 764197 A JP764197 A JP 764197A JP 764197 A JP764197 A JP 764197A JP H10206114 A JPH10206114 A JP H10206114A
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- JP
- Japan
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- light source
- inspection
- carrier
- illuminating
- leads
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ICのリード及びマークの画像処理検査を同
一場所で同時に安定して行えるようにする。 【解決手段】 検査すべきIC3を収容するキャリア1
と、IC3を上方から照明する多段に配置された光源9
と、キャリ1ア内のIC3とLED光源9との間に配置
された光拡散筒12とを設ける。
一場所で同時に安定して行えるようにする。 【解決手段】 検査すべきIC3を収容するキャリア1
と、IC3を上方から照明する多段に配置された光源9
と、キャリ1ア内のIC3とLED光源9との間に配置
された光拡散筒12とを設ける。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、IC検査用照明装
置、特にICのリード及びマークの画像処理検査を行う
ために用いられるIC検査用照明装置に関する。
置、特にICのリード及びマークの画像処理検査を行う
ために用いられるIC検査用照明装置に関する。
【0002】
【従来の技術】完成したICは、パッケージから複数の
リードが引き出されていると共に、パッケージにはマー
クが設けられた外観形状を有している。従って、完成後
のICに対しては、リード及びマークが正常に設けられ
ているか否かを確認するために、外観検査が行われる。
ICはより高機能化の要求、集積度の向上などにつれ
て、パッケージから引き出されるリードのピッチは微細
化されているので、外観検査を目視で行うのは困難であ
る。
リードが引き出されていると共に、パッケージにはマー
クが設けられた外観形状を有している。従って、完成後
のICに対しては、リード及びマークが正常に設けられ
ているか否かを確認するために、外観検査が行われる。
ICはより高機能化の要求、集積度の向上などにつれ
て、パッケージから引き出されるリードのピッチは微細
化されているので、外観検査を目視で行うのは困難であ
る。
【0003】このため最近では、カメラを通じて検査対
象であるICを拡大画像とし、画像処理検査によって、
リード及びマークを検査することが行われている。ここ
で、画像処理検査を行うにあたっては、一般にIC検査
用照明装置が用いられるが、検査対象であるICの照明
条件が重要になってきている。
象であるICを拡大画像とし、画像処理検査によって、
リード及びマークを検査することが行われている。ここ
で、画像処理検査を行うにあたっては、一般にIC検査
用照明装置が用いられるが、検査対象であるICの照明
条件が重要になってきている。
【0004】図4及び図5は従来のIC検査用照明装置
を示すもので、図4は概略側面図、図5は概略上面図で
ある。同図において、1はキャリアで、黒色であり、こ
の一部にはポケット2が設けられて、このポケット2内
には検査対象であるIC3が収容される。
を示すもので、図4は概略側面図、図5は概略上面図で
ある。同図において、1はキャリアで、黒色であり、こ
の一部にはポケット2が設けられて、このポケット2内
には検査対象であるIC3が収容される。
【0005】ICとして、図3に示すように、パッケー
ジ4の周囲の四方向から複数のリード5が引き出された
形状を有する、QFP(クワッド・フラット・パッケー
ジ)タイプのICを例として採った。6はパッケージ4
に凹部の形態で設けられたマーク(インク、レーザなど
による)である。7はキャリア2の上方に設けられてI
C3を上方から照明する光源で、光源としては例えばリ
ング状蛍光灯、ハロゲンファイバー照明、LED等の各
光源が利用されている。8はキャリア2及び光源7の上
方に配置されたカメラレンズである。
ジ4の周囲の四方向から複数のリード5が引き出された
形状を有する、QFP(クワッド・フラット・パッケー
ジ)タイプのICを例として採った。6はパッケージ4
に凹部の形態で設けられたマーク(インク、レーザなど
による)である。7はキャリア2の上方に設けられてI
C3を上方から照明する光源で、光源としては例えばリ
ング状蛍光灯、ハロゲンファイバー照明、LED等の各
光源が利用されている。8はキャリア2及び光源7の上
方に配置されたカメラレンズである。
【0006】以上のような構成のIC検査用照明装置を
用いて、光源7によってキャリア2に収容されたIC3
を上方から照明した状態で、カメラレンズ8を通じてI
C3を拡大画像となして、リード5及びマーク6の画像
処理検査が行われる。この場合、背景(キャリア2)及
びパッケージが黒、リード5、5、・・・及びマーク6
が白として現われる。
用いて、光源7によってキャリア2に収容されたIC3
を上方から照明した状態で、カメラレンズ8を通じてI
C3を拡大画像となして、リード5及びマーク6の画像
処理検査が行われる。この場合、背景(キャリア2)及
びパッケージが黒、リード5、5、・・・及びマーク6
が白として現われる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のIC
検査用照明装置には、多数のICに対して同時にリード
及びマークの画像処理検査を正確に行うことが困難であ
るという問題があった。即ち、多数のICに対してリー
ド及びマークの画像処理検査を行うった場合、、各々の
ICの位置が異なることに起因してIC毎の照明条件が
異なってくることになり、その為、測定ICの機種毎に
別々の照明条件を設定して検査を行わなければならなか
った。
検査用照明装置には、多数のICに対して同時にリード
及びマークの画像処理検査を正確に行うことが困難であ
るという問題があった。即ち、多数のICに対してリー
ド及びマークの画像処理検査を行うった場合、、各々の
ICの位置が異なることに起因してIC毎の照明条件が
異なってくることになり、その為、測定ICの機種毎に
別々の照明条件を設定して検査を行わなければならなか
った。
【0008】もしも、そのような事情を考慮せずに、同
時に多数のICに対するリード及びマークの画像処理検
査を行おうとすると、次のような不都合が生じた。
時に多数のICに対するリード及びマークの画像処理検
査を行おうとすると、次のような不都合が生じた。
【0009】マーク6をはっきりと映し出すために
は、光源7を近づける必要があるが、近づけ過ぎるとリ
ード5による光の反射が強くなる。このために、画像の
膨張、ハレーション、ポケット2の壁への写り込みなど
が生じて、リード5の画像処理検査が正しくできなくな
る。
は、光源7を近づける必要があるが、近づけ過ぎるとリ
ード5による光の反射が強くなる。このために、画像の
膨張、ハレーション、ポケット2の壁への写り込みなど
が生じて、リード5の画像処理検査が正しくできなくな
る。
【0010】リード5をはっきりと映し出すために
は、IC3からある程度上方に光源7を離す必要があ
る。しかし、これだとマーク6に対する照明の明るさ不
足が生じ、また上方からの照明のために、マーク6に対
するコントラスト不足が生じて、マーク6の画像処理検
査が確実にできなくなる。
は、IC3からある程度上方に光源7を離す必要があ
る。しかし、これだとマーク6に対する照明の明るさ不
足が生じ、また上方からの照明のために、マーク6に対
するコントラスト不足が生じて、マーク6の画像処理検
査が確実にできなくなる。
【0011】リード5の表面状態(メッキハガレ、打
コン、キズ、バリなど)によっては、照明を当てた際に
影や、暗部などが生じて、画像処理検査の障害となる。
特に、指向性の強い照明の場合にははっきりと表れる。
コン、キズ、バリなど)によっては、照明を当てた際に
影や、暗部などが生じて、画像処理検査の障害となる。
特に、指向性の強い照明の場合にははっきりと表れる。
【0012】IC3の各リード5が均等に写し出され
ない場合があり、リード5の画像処理検査が正しくでき
なくなる。
ない場合があり、リード5の画像処理検査が正しくでき
なくなる。
【0013】そこで、本願発明者がその原因、即ち、多
数のICに対する画像処理検査を行おうとするとICの
光源に対する場所の違いによりIC毎に照明条件が異な
ることの原因を追究したところ、従来の装置では照明の
指向性が強過ぎ、それが上述した不都合を招くことが判
明した。
数のICに対する画像処理検査を行おうとするとICの
光源に対する場所の違いによりIC毎に照明条件が異な
ることの原因を追究したところ、従来の装置では照明の
指向性が強過ぎ、それが上述した不都合を招くことが判
明した。
【0014】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、パッケージにマークが設けられてい
るICの前記リード及びマークの画像処理検査を行うた
めに用いられるIC検査用照明装置において、複数のI
Cのリード及びマークの画像処理検査を同一場所で同時
に安定して行うことを目的とする。
されたものであり、パッケージにマークが設けられてい
るICの前記リード及びマークの画像処理検査を行うた
めに用いられるIC検査用照明装置において、複数のI
Cのリード及びマークの画像処理検査を同一場所で同時
に安定して行うことを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明IC検査用照明装
置は、検査すべきICを収容するキャリアと、ICを上
方から照明する多段に配置されたLED光源と、キャリ
ア内のICと光源との間に配置された光拡散手段と、を
有することを特徴とする。
置は、検査すべきICを収容するキャリアと、ICを上
方から照明する多段に配置されたLED光源と、キャリ
ア内のICと光源との間に配置された光拡散手段と、を
有することを特徴とする。
【0016】本発明IC検査用照明装置によれば、IC
を上方から照明する光源が多段に配置されており、光源
がIC側から視た角度の異なる位置にあるので、光源か
らの光の全体としての点で指向性が弱くなる。
を上方から照明する光源が多段に配置されており、光源
がIC側から視た角度の異なる位置にあるので、光源か
らの光の全体としての点で指向性が弱くなる。
【0017】また、光拡散手段を有することにより、光
源からの光の拡散性をさらに高めることができるので、
さらに、分布の均一性の高い拡散光線を得ることができ
る。従って、光の指向性をより弱くでき、リード及びマ
ークの画像処理検査を同時に行う多数のICの照明条件
を略同一とすることができる。従って、ICのリード及
びマークの画像処理検査を多数のICに対して同時に安
定して行うことができる。
源からの光の拡散性をさらに高めることができるので、
さらに、分布の均一性の高い拡散光線を得ることができ
る。従って、光の指向性をより弱くでき、リード及びマ
ークの画像処理検査を同時に行う多数のICの照明条件
を略同一とすることができる。従って、ICのリード及
びマークの画像処理検査を多数のICに対して同時に安
定して行うことができる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示実施の形態に
従って詳細に説明する。
従って詳細に説明する。
【0019】図1及び図2は本発明IC検査用照明装置
の第1の実施の形態を示すもので、図1は概略側面図、
図2は概略上面図である。
の第1の実施の形態を示すもので、図1は概略側面図、
図2は概略上面図である。
【0020】同図において、1はキャリアで、検査対象
であるIC3を収容するポケット2が設けられている。
ICとして、図3に示すように、パッケージ4の周囲の
四方向から複数のリード5が引き出された形状を有す
る、QFP型IC3を例として採った。説明を簡単にす
るために、各側面から5本のリード5が引き出されてい
る例で示している。また、被測定IC3は便宜上1個の
み示したが、実際には多数のICが同時に測定される。
C6はパッケージ4に設けられたマーク(インク、レー
ザなどによる)である。
であるIC3を収容するポケット2が設けられている。
ICとして、図3に示すように、パッケージ4の周囲の
四方向から複数のリード5が引き出された形状を有す
る、QFP型IC3を例として採った。説明を簡単にす
るために、各側面から5本のリード5が引き出されてい
る例で示している。また、被測定IC3は便宜上1個の
み示したが、実際には多数のICが同時に測定される。
C6はパッケージ4に設けられたマーク(インク、レー
ザなどによる)である。
【0021】9はキャリア2の上方に設けられてIC3
を上方から照明するLED光源で、このLED光源9
は、キャリア2の表面に対して高さ方向に多段に配置さ
れて、上部に配置されたリード照明用光源10と、下部
に配置されたマーク照明用光源11とから構成されてい
る。これによって、LED光源9は立体的に配置される
ようになっている。リード照明用光源10はリード5を
照明するのに適した明るさに調整され、マーク照明用光
源11はマーク6を照明するのに適した明るさに調整さ
れる。LED光源9を立体的に配置したことにより、こ
のように照明対象に応じて独立して明るさの調整ができ
るようになる。また、光源のIC3に向う光の角度の分
布の均一性が高くなる。即ち、照明用光線の指向性が弱
くなる。
を上方から照明するLED光源で、このLED光源9
は、キャリア2の表面に対して高さ方向に多段に配置さ
れて、上部に配置されたリード照明用光源10と、下部
に配置されたマーク照明用光源11とから構成されてい
る。これによって、LED光源9は立体的に配置される
ようになっている。リード照明用光源10はリード5を
照明するのに適した明るさに調整され、マーク照明用光
源11はマーク6を照明するのに適した明るさに調整さ
れる。LED光源9を立体的に配置したことにより、こ
のように照明対象に応じて独立して明るさの調整ができ
るようになる。また、光源のIC3に向う光の角度の分
布の均一性が高くなる。即ち、照明用光線の指向性が弱
くなる。
【0022】12はキャリア2内のIC3とLED光源
9との間に配置された、例えばアクリル板からなる光拡
散筒で、例えば内面に凹凸を有する。従って、この光拡
散筒12は光拡散手段として働く。一例として、光拡散
筒12は、高さ寸法70mm、内径寸法30mmに設け
られている。
9との間に配置された、例えばアクリル板からなる光拡
散筒で、例えば内面に凹凸を有する。従って、この光拡
散筒12は光拡散手段として働く。一例として、光拡散
筒12は、高さ寸法70mm、内径寸法30mmに設け
られている。
【0023】図1及び図2から明らかなように、光拡散
筒12は、多段に配置されたLED光源9の内側に配置
され、かつIC3を被うように配置されている。8はキ
ャリア2及びLED光源9の上方に配置されたカメラレ
ンズである。
筒12は、多段に配置されたLED光源9の内側に配置
され、かつIC3を被うように配置されている。8はキ
ャリア2及びLED光源9の上方に配置されたカメラレ
ンズである。
【0024】以上のような構成のIC検査用照明装置を
用いて、LED光源9によってキャリア2に収容された
IC3を上方から照明した状態で、カメラレンズ8を通
じてIC3を拡大画像となして撮像し、リード5及びマ
ーク6の画像処理検査を行う。
用いて、LED光源9によってキャリア2に収容された
IC3を上方から照明した状態で、カメラレンズ8を通
じてIC3を拡大画像となして撮像し、リード5及びマ
ーク6の画像処理検査を行う。
【0025】この場合、本実施形態のIC検査用照明装
置によれば、IC3を照明するLED光源9を、リード
照明用光源10とマーク照明用光源11とを多段に配置
することにより立体的に配置するようにしたので、各光
源10、11をリード5及びマーク6を照明するのに適
した明るさに調整することができる。この結果、均一な
拡散光源が得られるようになり、凹凸部分や穴部分の内
部まで鮮明に映し出すことができるようになる。特に、
キャリア1のポケット2に収容されたIC3を照明する
場合、上方からの自然配光に近いものが得られるように
なり、画像処理検査において悪影響となる影や、暗部を
自然に消すことができるようになる。これにより、リー
ド5及びマーク6の画像処理検査を行うに際して、リー
ド5の形状やマーク6の種類に合わせた最適な照明条件
が得られるようになる。
置によれば、IC3を照明するLED光源9を、リード
照明用光源10とマーク照明用光源11とを多段に配置
することにより立体的に配置するようにしたので、各光
源10、11をリード5及びマーク6を照明するのに適
した明るさに調整することができる。この結果、均一な
拡散光源が得られるようになり、凹凸部分や穴部分の内
部まで鮮明に映し出すことができるようになる。特に、
キャリア1のポケット2に収容されたIC3を照明する
場合、上方からの自然配光に近いものが得られるように
なり、画像処理検査において悪影響となる影や、暗部を
自然に消すことができるようになる。これにより、リー
ド5及びマーク6の画像処理検査を行うに際して、リー
ド5の形状やマーク6の種類に合わせた最適な照明条件
が得られるようになる。
【0026】さらに、本実施形態のIC検査用照明装置
によれば、光拡散手段として働く光拡散筒12を設けた
ことにより、この拡散筒12は外周面のLED光源9か
らの光を受けて面照明を行うように作用するので、さら
に拡散性の強い光線が得られるようになる。
によれば、光拡散手段として働く光拡散筒12を設けた
ことにより、この拡散筒12は外周面のLED光源9か
らの光を受けて面照明を行うように作用するので、さら
に拡散性の強い光線が得られるようになる。
【0027】この結果、次のような具体的な効果を得る
ことができる。
ことができる。
【0028】(1)例えばLEDからなる単一の種類の
照明用光源を用いるだけで、キャリアのポケット内に収
容したICのリード及びマークの画像処理検査を行うこ
とができる。
照明用光源を用いるだけで、キャリアのポケット内に収
容したICのリード及びマークの画像処理検査を行うこ
とができる。
【0029】(2)照明条件の幅を広くとることができ
るので、照明の対象が変化しても調整を少なく済ませる
ことができる。
るので、照明の対象が変化しても調整を少なく済ませる
ことができる。
【0030】(3)比較的光強度分布の均一な照明がで
きるので、画像処理検査におけるプログラムでの前処理
などを不要に、または少なくすることができる。
きるので、画像処理検査におけるプログラムでの前処理
などを不要に、または少なくすることができる。
【0031】尚、本文中の説明では、光源としてLED
を用いたが、必ずしもそれに限定されず、リング状蛍光
灯、ハロゲンランプ等他の光源を用いるようにしても良
い。また、光拡散手段としては光拡散筒を用いた例で説
明したが、これに限らず検査対象の形状、配置などの状
況に応じて、その形状、寸法などは任意に変更可能であ
る。また、光拡散筒の材料としても、アクリルを用いた
例で説明したが、これに限らずガラス、プラスチックな
どの他の材料を用いることができる。さらに、検査対象
であるICのパッケージ形状としてはQFP型ICを例
にあげたが、これに限らずDIPなどの他の形状のパッ
ケージを有するICに対しても同様に適用することがで
きる。
を用いたが、必ずしもそれに限定されず、リング状蛍光
灯、ハロゲンランプ等他の光源を用いるようにしても良
い。また、光拡散手段としては光拡散筒を用いた例で説
明したが、これに限らず検査対象の形状、配置などの状
況に応じて、その形状、寸法などは任意に変更可能であ
る。また、光拡散筒の材料としても、アクリルを用いた
例で説明したが、これに限らずガラス、プラスチックな
どの他の材料を用いることができる。さらに、検査対象
であるICのパッケージ形状としてはQFP型ICを例
にあげたが、これに限らずDIPなどの他の形状のパッ
ケージを有するICに対しても同様に適用することがで
きる。
【0032】
【発明の効果】以上述べたように、本発明IC検査用照
明装置によれば、ICを上方から照明する光源が多段に
配置されており、光源がIC側から視た角度の異なる位
置にあるので、光源からの光の全体としての点で指向性
が弱くなる。
明装置によれば、ICを上方から照明する光源が多段に
配置されており、光源がIC側から視た角度の異なる位
置にあるので、光源からの光の全体としての点で指向性
が弱くなる。
【0033】また、光拡散手段を有することにより、光
源からの光の拡散性をさらに高めることができるので、
さらに、分布の均一性の高い拡散光線を得ることができ
る。従って、光の指向性をより弱くでき、リード及びマ
ークの画像処理検査を同時に行う多数のICの照明条件
を略同一とすることができる。従って、ICのリード及
びマークの画像処理検査を多数のICに対して同時に安
定して行うことができる。
源からの光の拡散性をさらに高めることができるので、
さらに、分布の均一性の高い拡散光線を得ることができ
る。従って、光の指向性をより弱くでき、リード及びマ
ークの画像処理検査を同時に行う多数のICの照明条件
を略同一とすることができる。従って、ICのリード及
びマークの画像処理検査を多数のICに対して同時に安
定して行うことができる。
【図1】本発明IC検査用照明装置の第1の実施の形態
を示す概略側面図である。
を示す概略側面図である。
【図2】本発明IC検査用照明装置の第1の実施の形態
を示す概略上面図である。
を示す概略上面図である。
【図3】本発明IC検査用照明装置により検査されるI
Cの一例を示す上面図である。
Cの一例を示す上面図である。
【図4】従来例のIC検査用照明装置を示す概略側面図
である。
である。
【図5】従来例のIC検査用照明装置を示す概略上面図
である。
である。
1・・・キャリア、3・・・IC、5・・・リード、6
・・・マーク、9・・・LED光源、10・・・リード
照明用光源、11・・・マーク照明用光源、12・・・
光拡散筒。
・・・マーク、9・・・LED光源、10・・・リード
照明用光源、11・・・マーク照明用光源、12・・・
光拡散筒。
Claims (3)
- 【請求項1】 パッケージから複数のリードが引き出さ
れ、パッケージにマークが設けられているICの前記リ
ード及びマークの画像処理検査を行うために用いられる
IC検査用照明装置であって、 検査すべきICを収容するキャリアと、 前記ICを上方から照明する多段に配置された光源と、 前記キャリア内のICと光源との間に配置された光拡散
手段とを有することを特徴とするIC検査用照明装置。 - 【請求項2】 多段に配置された光源が、上部に配置さ
れたリード照明用光源と、下部に配置されたマーク照明
用光源とから構成されていることを特徴とする請求項1
記載のIC検査用照明装置。 - 【請求項3】 光拡散手段が、多段に配置された光源の
内側に配置され、且つICを被う光拡散筒から構成され
ていることを特徴とする請求項1又は2記載のIC検査
用照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP764197A JPH10206114A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | Ic検査用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP764197A JPH10206114A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | Ic検査用照明装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10206114A true JPH10206114A (ja) | 1998-08-07 |
Family
ID=11671464
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP764197A Pending JPH10206114A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | Ic検査用照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10206114A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2005001552A1 (ja) * | 2003-06-27 | 2006-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | 眼鏡レンズの製造方法、マーキング装置、マーキングシステム、眼鏡レンズ |
-
1997
- 1997-01-20 JP JP764197A patent/JPH10206114A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2005001552A1 (ja) * | 2003-06-27 | 2006-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | 眼鏡レンズの製造方法、マーキング装置、マーキングシステム、眼鏡レンズ |
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