JPH10202075A - 疎水性透過膜の透過性能維持方法 - Google Patents
疎水性透過膜の透過性能維持方法Info
- Publication number
- JPH10202075A JPH10202075A JP889397A JP889397A JPH10202075A JP H10202075 A JPH10202075 A JP H10202075A JP 889397 A JP889397 A JP 889397A JP 889397 A JP889397 A JP 889397A JP H10202075 A JPH10202075 A JP H10202075A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrapure water
- hydrophobic
- carbon dioxide
- gas
- permeable membrane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】炭酸ガスを疎水性透過膜を透過させて超純水に
溶解して超純水の比抵抗値を調整する比抵抗調整装置に
おける疎水性透過膜の透過性能を維持する方法を提供す
る。 【解決手段】比抵抗調整装置における疎水性透過膜にて
形成された炭酸ガスの流通路に、乾燥状態のガス（炭酸
ガス、ドライエア等）を常時流通させて、当該ガスによ
り、疎水性透過膜に侵入する超純水の水蒸気を排出し
て、疎水性透過膜の透過性能の劣化を防止する。
溶解して超純水の比抵抗値を調整する比抵抗調整装置に
おける疎水性透過膜の透過性能を維持する方法を提供す
る。 【解決手段】比抵抗調整装置における疎水性透過膜にて
形成された炭酸ガスの流通路に、乾燥状態のガス（炭酸
ガス、ドライエア等）を常時流通させて、当該ガスによ
り、疎水性透過膜に侵入する超純水の水蒸気を排出し
て、疎水性透過膜の透過性能の劣化を防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超純水の比抵抗調
整装置における疎水性透過膜の透過性能を維持する方法
に関する。
整装置における疎水性透過膜の透過性能を維持する方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】超純水は、半導体の製造工程において基
板の洗浄に使用されるが、超純水の比抵抗値が高い場合
には基板に静電気が発生して、基板に絶縁破壊が生じた
り、微粒子が付着する等の不都合が生じる。このため、
基板の洗浄水として使用される超純水は、その使用に先
だって比抵抗調整装置により処理して、その比抵抗値を
所定の範囲に調整することが好ましい。超純水の比抵抗
調整装置の一形式としては、特公平５−２１８４１号公
報に示されている比抵抗調整装置がある。
板の洗浄に使用されるが、超純水の比抵抗値が高い場合
には基板に静電気が発生して、基板に絶縁破壊が生じた
り、微粒子が付着する等の不都合が生じる。このため、
基板の洗浄水として使用される超純水は、その使用に先
だって比抵抗調整装置により処理して、その比抵抗値を
所定の範囲に調整することが好ましい。超純水の比抵抗
調整装置の一形式としては、特公平５−２１８４１号公
報に示されている比抵抗調整装置がある。
【０００３】当該比抵抗調整装置は、超純水を供給する
入口および流出させる出口を有する処理室と、炭酸ガス
を供給する入口および流出させる出口を有し前記処理室
内に配設された疎水性で炭酸ガスを透過させる疎水性透
過膜にて形成された流通路を備え、同流通路を流通する
炭酸ガスの一部を前記疎水性透過膜を透過させて前記処
理室内を流通する超純水に溶解させることにより、超純
水の比抵抗値を調整するように構成されている。
入口および流出させる出口を有する処理室と、炭酸ガス
を供給する入口および流出させる出口を有し前記処理室
内に配設された疎水性で炭酸ガスを透過させる疎水性透
過膜にて形成された流通路を備え、同流通路を流通する
炭酸ガスの一部を前記疎水性透過膜を透過させて前記処
理室内を流通する超純水に溶解させることにより、超純
水の比抵抗値を調整するように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、当該比抵抗
調整装置においては、流通路を流通する炭酸ガスが疎水
性透過膜を透過して処理室内の超純水に侵入して溶解す
ることにより、超純水の比抵抗値が調整されるものであ
るが、処理室内の超純水の圧力が流通路内の炭酸ガスの
圧力に比較して高いため、超純水が水蒸気の状態で疎水
性透過膜内に侵入して付着し、流通路内の炭酸ガスの処
理室側への透過を規制することになる。かかる現象は、
比抵抗調整装置を長時間運転した場合、流通路内へ供給
する炭酸ガスの圧力を低くして運転した場合、超純水を
処理室内に滞留した状態で運転を停止した場合等に著し
く発生する。
調整装置においては、流通路を流通する炭酸ガスが疎水
性透過膜を透過して処理室内の超純水に侵入して溶解す
ることにより、超純水の比抵抗値が調整されるものであ
るが、処理室内の超純水の圧力が流通路内の炭酸ガスの
圧力に比較して高いため、超純水が水蒸気の状態で疎水
性透過膜内に侵入して付着し、流通路内の炭酸ガスの処
理室側への透過を規制することになる。かかる現象は、
比抵抗調整装置を長時間運転した場合、流通路内へ供給
する炭酸ガスの圧力を低くして運転した場合、超純水を
処理室内に滞留した状態で運転を停止した場合等に著し
く発生する。
【０００５】これに対処するためには、比抵抗調整装置
を運転停止した場合に、流通路の入口および出口を大気
に開放して疎水性透過膜を乾燥する方法が考えられる
が、かかる方法では疎水性透過膜の入口側の近傍、出口
側の近傍は乾燥されるが、疎水性透過膜の全体を乾燥さ
せるには長時間を要し、疎水性透過膜の透過性能を確実
に回復させることは実質的には不可能である。
を運転停止した場合に、流通路の入口および出口を大気
に開放して疎水性透過膜を乾燥する方法が考えられる
が、かかる方法では疎水性透過膜の入口側の近傍、出口
側の近傍は乾燥されるが、疎水性透過膜の全体を乾燥さ
せるには長時間を要し、疎水性透過膜の透過性能を確実
に回復させることは実質的には不可能である。
【０００６】従って、本発明の目的は、上記した形式の
超純水の比抵抗調整装置における疎水性透過膜の透過性
能を常に維持することにある。
超純水の比抵抗調整装置における疎水性透過膜の透過性
能を常に維持することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、超純水を供給
する入口および流出させる出口を有する処理室と、炭酸
ガスを供給する入口および流出させる出口を有し前記処
理室内に配設された疎水性で炭酸ガスを透過させる疎水
性透過膜にて形成された流通路を備え、同流通路を流通
する炭酸ガスの一部を前記疎水性透過膜を透過させて前
記処理室内を流通する超純水に溶解させることにより、
超純水の比抵抗値を調整する比抵抗調整装置における疎
水性透過膜の透過性能維持方法であり、前記流通路に乾
燥状態のガスを常時流通させることを特徴とするもので
ある。
する入口および流出させる出口を有する処理室と、炭酸
ガスを供給する入口および流出させる出口を有し前記処
理室内に配設された疎水性で炭酸ガスを透過させる疎水
性透過膜にて形成された流通路を備え、同流通路を流通
する炭酸ガスの一部を前記疎水性透過膜を透過させて前
記処理室内を流通する超純水に溶解させることにより、
超純水の比抵抗値を調整する比抵抗調整装置における疎
水性透過膜の透過性能維持方法であり、前記流通路に乾
燥状態のガスを常時流通させることを特徴とするもので
ある。
【０００８】本発明に係る透過性能維持方法において
は、前記乾燥状態のガスとして、炭酸ガス、窒素ガス、
アルゴンガス、または露点が大気温度以下のドライエア
が好ましく、特に、比抵抗調整装置に常備されている炭
酸ガス、または簡単で安価に得られるドライエアを採用
することが好ましい。
は、前記乾燥状態のガスとして、炭酸ガス、窒素ガス、
アルゴンガス、または露点が大気温度以下のドライエア
が好ましく、特に、比抵抗調整装置に常備されている炭
酸ガス、または簡単で安価に得られるドライエアを採用
することが好ましい。
【０００９】
【発明の作用・効果】本発明に係る疎水性透過膜の透過
性能維持方法によれば、比抵抗調整装置を構成する流通
路に乾燥状態のガスを常時流通させるようにしているた
め、当該ガスにより疎水性透過膜に侵入してくる水蒸気
を積極的に排出することができ、疎水性透過膜を常時乾
燥状態に維持し得て、疎水性透過膜の透過性能を常に維
持することができる。
性能維持方法によれば、比抵抗調整装置を構成する流通
路に乾燥状態のガスを常時流通させるようにしているた
め、当該ガスにより疎水性透過膜に侵入してくる水蒸気
を積極的に排出することができ、疎水性透過膜を常時乾
燥状態に維持し得て、疎水性透過膜の透過性能を常に維
持することができる。
【００１０】特に、乾燥状態のガスとして炭酸ガスを採
用する場合には、比抵抗調整装置の運転停止中は勿論の
こと運転再開に当たっても、炭酸ガスと他のガスとの切
り替えが不要であって極めて都合がよい。
用する場合には、比抵抗調整装置の運転停止中は勿論の
こと運転再開に当たっても、炭酸ガスと他のガスとの切
り替えが不要であって極めて都合がよい。
【００１１】
（比抵抗調整装置）図１には、本発明に係る透過性能維
持方法が適用される比抵抗調整装置の一例が示されてい
る。当該比抵抗調整装置は、処理槽１１、および処理槽
１１内に配設された疎水性透過膜にて形成された筒体１
２を備えている。処理槽１１は本発明の処理室を構成
し、かつ筒体１２は本発明の疎水性膜にて形成された流
通路を構成しているもので、処理槽１１には、その入口
に超純水の供給管路１３ａが接続されているとともに、
その出口に流出管路１３ｂが接続されており、また筒体
１２には、その入口に炭酸ガスの供給管路１４ａが接続
されているとともに、その出口に流出管路１４ｂが接続
されている。
持方法が適用される比抵抗調整装置の一例が示されてい
る。当該比抵抗調整装置は、処理槽１１、および処理槽
１１内に配設された疎水性透過膜にて形成された筒体１
２を備えている。処理槽１１は本発明の処理室を構成
し、かつ筒体１２は本発明の疎水性膜にて形成された流
通路を構成しているもので、処理槽１１には、その入口
に超純水の供給管路１３ａが接続されているとともに、
その出口に流出管路１３ｂが接続されており、また筒体
１２には、その入口に炭酸ガスの供給管路１４ａが接続
されているとともに、その出口に流出管路１４ｂが接続
されている。
【００１２】当該比抵抗処理装置においては、炭酸ガス
の供給管路１４ａにガス流量調整機構２０が介装されて
おり、また超純水の流出管路１３ｂには比抵抗値を検出
するための比抵抗値センサー３１が介装されている。
の供給管路１４ａにガス流量調整機構２０が介装されて
おり、また超純水の流出管路１３ｂには比抵抗値を検出
するための比抵抗値センサー３１が介装されている。
【００１３】ガス流量調整機構２０は、互いに並列する
４本の流路２１ａ〜２１ｄを備え、各流路２１ａ〜２１
ｄにはそれぞれ電磁バルブ２２ａ〜２２ｄと、ガスフィ
ルター２３ａ〜２３ｄとが介装されている。各電磁バル
ブ２２ａ〜２２ｄは電磁式の開閉バルブであり、また各
ガスフィルター２３ａ〜２３ｄはガス透過量をそれぞれ
異にするもので、例えば第１ガスフィルター２３ａの透
過量を１とした場合に、第２ガスフィルター２３ｂの透
過量は１／２に、第３ガスフィルター２３ｃの透過量は
１／４に、第４ガスフィルター２３ｄの透過量は１／８
にそれぞれ設定されている。
４本の流路２１ａ〜２１ｄを備え、各流路２１ａ〜２１
ｄにはそれぞれ電磁バルブ２２ａ〜２２ｄと、ガスフィ
ルター２３ａ〜２３ｄとが介装されている。各電磁バル
ブ２２ａ〜２２ｄは電磁式の開閉バルブであり、また各
ガスフィルター２３ａ〜２３ｄはガス透過量をそれぞれ
異にするもので、例えば第１ガスフィルター２３ａの透
過量を１とした場合に、第２ガスフィルター２３ｂの透
過量は１／２に、第３ガスフィルター２３ｃの透過量は
１／４に、第４ガスフィルター２３ｄの透過量は１／８
にそれぞれ設定されている。
【００１４】ガス流量調整機構２０においては、コント
ローラ３２からの動作信号に基づいて各電磁バルブ２２
ａ〜２２ｄの開閉動作が制御されて、筒体１２内への炭
酸ガスの流量が制御されるもので、コントローラ３２は
比抵抗値センサー３１からの検出信号に基づいて各電磁
バルブ２２ａ〜２２ｄに対して動作信号を出力する。
ローラ３２からの動作信号に基づいて各電磁バルブ２２
ａ〜２２ｄの開閉動作が制御されて、筒体１２内への炭
酸ガスの流量が制御されるもので、コントローラ３２は
比抵抗値センサー３１からの検出信号に基づいて各電磁
バルブ２２ａ〜２２ｄに対して動作信号を出力する。
【００１５】（比抵抗調整方法）当該比抵抗調整装置を
使用して超純水の比抵抗値を調整するには、被処理水で
ある一定の温度の超純水を供給管路１３ａを通して一定
の圧力、一定の流量で処理槽１１内に供給するととも
に、流出管路１３ｂを通して流出させ、かつ筒体１２内
へは炭酸ガスをガス流量調整機構２０を通して供給する
とともに、ガス流出管路１４ｂを通して流出させる。
使用して超純水の比抵抗値を調整するには、被処理水で
ある一定の温度の超純水を供給管路１３ａを通して一定
の圧力、一定の流量で処理槽１１内に供給するととも
に、流出管路１３ｂを通して流出させ、かつ筒体１２内
へは炭酸ガスをガス流量調整機構２０を通して供給する
とともに、ガス流出管路１４ｂを通して流出させる。
【００１６】この間、筒体１２内を流通する炭酸ガスの
一部が疎水性透過膜を透過して処理槽１１内に侵入して
超純水に溶解し、超純水の比抵抗値を所定の値に低下さ
せる。また、この間、処理槽１１から流出する超純水の
比抵抗値は比抵抗値センサー３１により常時検出され、
コントローラ３２では、この検出信号に基づいて各電磁
バルブ２２ａ〜２２ｄに対して動作信号が出力されて、
筒体１２内への炭酸ガスの供給量が適正に制御され、超
純水の比抵抗値が設定された所定の範囲に調整される。
一部が疎水性透過膜を透過して処理槽１１内に侵入して
超純水に溶解し、超純水の比抵抗値を所定の値に低下さ
せる。また、この間、処理槽１１から流出する超純水の
比抵抗値は比抵抗値センサー３１により常時検出され、
コントローラ３２では、この検出信号に基づいて各電磁
バルブ２２ａ〜２２ｄに対して動作信号が出力されて、
筒体１２内への炭酸ガスの供給量が適正に制御され、超
純水の比抵抗値が設定された所定の範囲に調整される。
【００１７】しかして、当該比抵抗調整方法において
は、ガス流量調整機構２０を構成する各電磁バルブ２２
ａ〜２２ｄのいずれか１個を常時開成状態に設定して、
筒体１２内へは常に所定量の炭酸ガスを供給して流通さ
せる手段を採用しており、かかる炭酸ガスの供給量を考
慮して、ガス流量調整機構２０では筒体１１内への炭酸
ガスの供給量を制御する手段が採られている。
は、ガス流量調整機構２０を構成する各電磁バルブ２２
ａ〜２２ｄのいずれか１個を常時開成状態に設定して、
筒体１２内へは常に所定量の炭酸ガスを供給して流通さ
せる手段を採用しており、かかる炭酸ガスの供給量を考
慮して、ガス流量調整機構２０では筒体１１内への炭酸
ガスの供給量を制御する手段が採られている。
【００１８】なお、当該比抵抗調整装置において、ガス
供給管路１４ａにおけるガス流量調整機構２０と筒体１
２の入口との間にガス供給管路を接続して、筒体１２内
ヘの他のガス、例えば、ドライエア、窒素ガス、アルゴ
ンガス等の供給を可能に構成すれば、筒体１２内へ常時
供給する炭酸ガスに換えて、これらのガスまたはエアを
使用することができる。
供給管路１４ａにおけるガス流量調整機構２０と筒体１
２の入口との間にガス供給管路を接続して、筒体１２内
ヘの他のガス、例えば、ドライエア、窒素ガス、アルゴ
ンガス等の供給を可能に構成すれば、筒体１２内へ常時
供給する炭酸ガスに換えて、これらのガスまたはエアを
使用することができる。
【００１９】このように、当該比抵抗調整方法によれ
ば、比抵抗調整装置を構成する流通路を構成する筒体１
２内へは、常時所定量の炭酸ガス、その他のガス（ドラ
イエア）を流通させるようにしているため、これらのガ
スの流通により、筒体１２を構成する疎水性透過膜に侵
入してくる水蒸気を積極的に排出することができ、疎水
性透過膜を常時乾燥状態に保持し得て、疎水性透過膜の
透過性能を常に維持することができる。
ば、比抵抗調整装置を構成する流通路を構成する筒体１
２内へは、常時所定量の炭酸ガス、その他のガス（ドラ
イエア）を流通させるようにしているため、これらのガ
スの流通により、筒体１２を構成する疎水性透過膜に侵
入してくる水蒸気を積極的に排出することができ、疎水
性透過膜を常時乾燥状態に保持し得て、疎水性透過膜の
透過性能を常に維持することができる。
【００２０】当該比抵抗値の調整方法において、特に、
疎水性透過膜の透過性能の維持に炭酸ガスを採用すれ
ば、当該抵抗調整装置の運転中および停止中は勿論のこ
と、運転再開に当たっても、炭酸ガスと他のガスとの切
り替えが不要であって、極めて都合がよい。
疎水性透過膜の透過性能の維持に炭酸ガスを採用すれ
ば、当該抵抗調整装置の運転中および停止中は勿論のこ
と、運転再開に当たっても、炭酸ガスと他のガスとの切
り替えが不要であって、極めて都合がよい。
【００２１】（実験）本実験では、図１に示す比抵抗調
整装置を使用し、かつ筒体１２としてポリプロピレン製
の疎水性透過膜にて形成されて異なる条件下におかれた
各筒体１２を使用して、筒体１２内への炭酸ガスの供給
圧力を変化させて、超純水の比抵抗値を調整する実験を
試みた。
整装置を使用し、かつ筒体１２としてポリプロピレン製
の疎水性透過膜にて形成されて異なる条件下におかれた
各筒体１２を使用して、筒体１２内への炭酸ガスの供給
圧力を変化させて、超純水の比抵抗値を調整する実験を
試みた。
【００２２】本実験においては、超純水を水温２０℃に
設定して、水圧３ｋｇ／ｃｍ2、流量２ｌ／ｍｉｎで処
理槽１１内に供給するとともに流出させた。この間、筒
体１２内には各圧力の炭酸ガスを供給して、流出される
超純水の比抵抗値が一定になるように調整した。但し、
比抵抗値センサー３１は流出管路１３ｂにおける処理槽
１１側の接続部から３００ｍｍ下流側に設置しているも
ので、得られた結果を表１に示す。なお、比抵抗値は、
処理開始から５〜１０秒後のものである。
設定して、水圧３ｋｇ／ｃｍ2、流量２ｌ／ｍｉｎで処
理槽１１内に供給するとともに流出させた。この間、筒
体１２内には各圧力の炭酸ガスを供給して、流出される
超純水の比抵抗値が一定になるように調整した。但し、
比抵抗値センサー３１は流出管路１３ｂにおける処理槽
１１側の接続部から３００ｍｍ下流側に設置しているも
ので、得られた結果を表１に示す。なお、比抵抗値は、
処理開始から５〜１０秒後のものである。
【００２３】但し、表１の各実験ＮＯは、それぞれ異な
る条件下におかれた筒体１２を使用した実験を意味し、
実験ＮＯ．１は各実験の初期性能である。また、実験Ｎ
Ｏ．２では、実験ＮＯ．１に使用する筒体を処理槽１１
内に設置して炭酸ガスを流通させることなく、水圧３ｋ
ｇ／ｃｍ2の超純水の下で１５時間放置した後の筒体、
実験ＮＯ．３では、実験ＮＯ．２に使用する筒体内に炭
酸ガスを１ｃｃ／ｍｉｎの流量で１５時間流通させた後
の筒体、実験ＮＯ．４では、実験ＮＯ．２に使用する筒
体内に炭酸ガスを１００ｃｃ／ｍｉｎの流量で１５時間
流通させた後の筒体、実験ＮＯ．５では実験ＮＯ．２に
使用する筒体内にドライクリーンエアを１ｃｃ／ｍｉｎ
の流量で１５時間流通させた後の筒体、実験ＮＯ．６で
は実験ＮＯ．２に使用する筒体内にドライクリーンエア
を１００ｃｃ／ｍｉｎの流量で１５時間流通させた後の
筒体をそれぞれ使用している。
る条件下におかれた筒体１２を使用した実験を意味し、
実験ＮＯ．１は各実験の初期性能である。また、実験Ｎ
Ｏ．２では、実験ＮＯ．１に使用する筒体を処理槽１１
内に設置して炭酸ガスを流通させることなく、水圧３ｋ
ｇ／ｃｍ2の超純水の下で１５時間放置した後の筒体、
実験ＮＯ．３では、実験ＮＯ．２に使用する筒体内に炭
酸ガスを１ｃｃ／ｍｉｎの流量で１５時間流通させた後
の筒体、実験ＮＯ．４では、実験ＮＯ．２に使用する筒
体内に炭酸ガスを１００ｃｃ／ｍｉｎの流量で１５時間
流通させた後の筒体、実験ＮＯ．５では実験ＮＯ．２に
使用する筒体内にドライクリーンエアを１ｃｃ／ｍｉｎ
の流量で１５時間流通させた後の筒体、実験ＮＯ．６で
は実験ＮＯ．２に使用する筒体内にドライクリーンエア
を１００ｃｃ／ｍｉｎの流量で１５時間流通させた後の
筒体をそれぞれ使用している。
【００２４】
【表１】
【００２５】（考察）表１に示す結果を参照すると、筒
体１２を水圧３ｋｇ／ｃｍ2の超純水下で炭酸ガスを流
通させずに長時間放置すると、筒体１２は炭酸ガスの透
過性能を著しく低下させていることが明かである。ま
た、透過性能の低下した筒体１２に、炭酸ガスやドライ
クリーンエアを１ｃｃ／ｍｉｎで長時間流通させた場合
には、透過性能はかなりの程度劣化防止され、ガス流量
を１００ｃｃ／ｍｉｎ程度に多く流通させると透過性能
はほぼ完全に劣化防止されることがわかる。
体１２を水圧３ｋｇ／ｃｍ2の超純水下で炭酸ガスを流
通させずに長時間放置すると、筒体１２は炭酸ガスの透
過性能を著しく低下させていることが明かである。ま
た、透過性能の低下した筒体１２に、炭酸ガスやドライ
クリーンエアを１ｃｃ／ｍｉｎで長時間流通させた場合
には、透過性能はかなりの程度劣化防止され、ガス流量
を１００ｃｃ／ｍｉｎ程度に多く流通させると透過性能
はほぼ完全に劣化防止されることがわかる。
【００２６】従って、比抵抗調整装置が運転中か否かを
問わず、筒体１２内に炭酸ガスを常時流通させておけ
ば、または筒体１２内に運転中は炭酸ガスを常時流通さ
せ、運転停止時には炭酸ガスを直ちにドライクリーンエ
アに切換えて流通させれば、筒体１２の透過性能を劣化
させることなく維持することができる。
問わず、筒体１２内に炭酸ガスを常時流通させておけ
ば、または筒体１２内に運転中は炭酸ガスを常時流通さ
せ、運転停止時には炭酸ガスを直ちにドライクリーンエ
アに切換えて流通させれば、筒体１２の透過性能を劣化
させることなく維持することができる。
【図１】本発明の透過性能維持方法を実施するに適した
超純水の比抵抗調整装置を示す概略構成図である。
超純水の比抵抗調整装置を示す概略構成図である。
１１…処理槽、１２…筒体、１３ａ…水供給管路、１３
ｂ…水流出管路、１４ａ…ガス供給管路、１４ｂ…ガス
流出管路、２０…ガス流量調整機構、２１ａ〜２１ｄ…
流路、２２ａ〜２２ｄ…電磁バルブ、２３ａ〜２３ｄ…
ガスフィルター、３１…比抵抗値センサー、３２…コン
トローラ。
ｂ…水流出管路、１４ａ…ガス供給管路、１４ｂ…ガス
流出管路、２０…ガス流量調整機構、２１ａ〜２１ｄ…
流路、２２ａ〜２２ｄ…電磁バルブ、２３ａ〜２３ｄ…
ガスフィルター、３１…比抵抗値センサー、３２…コン
トローラ。
Claims (2)
- 【請求項１】超純水を供給する入口および流出させる出
口を有する処理室と、炭酸ガスを供給する入口および流
出させる出口を有し前記処理室内に配設された疎水性で
炭酸ガスを透過させる疎水性透過膜にて形成された流通
路を備え、同流通路を流通する炭酸ガスの一部を前記疎
水性透過膜を透過させて前記処理室内を流通する超純水
に溶解させることにより、超純水の比抵抗値を調整する
比抵抗調整装置における疎水性透過膜の透過性能を維持
する方法であり、前記流通路に乾燥状態のガスを常時流
通させることを特徴とする超純水の比抵抗調整装置にお
ける疎水性透過膜の透過性能維持方法。 - 【請求項２】請求項１に記載の透過性能維持方法におい
て、前記乾燥状態のガスは、炭酸ガス、窒素ガス、アル
ゴンガス、または露点が大気温度以下のドライエアであ
ることを特徴とする超純水の比抵抗調整装置における疎
水性透過膜の透過性能維持方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00889397A JP3631870B2 (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | 疎水性透過膜の透過性能維持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00889397A JP3631870B2 (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | 疎水性透過膜の透過性能維持方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10202075A true JPH10202075A (ja) | 1998-08-04 |
| JP3631870B2 JP3631870B2 (ja) | 2005-03-23 |
Family
ID=11705367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00889397A Expired - Lifetime JP3631870B2 (ja) | 1997-01-21 | 1997-01-21 | 疎水性透過膜の透過性能維持方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3631870B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100783857B1 (ko) * | 2000-09-27 | 2007-12-10 | 다이닛뽄 잉크 앤드 케미칼즈, 인코포레이티드 | 초순수의 비저항 조정 장치 및 조정 방법 |
| WO2016167134A1 (ja) * | 2015-04-13 | 2016-10-20 | Dic株式会社 | 比抵抗値調整装置及び比抵抗値調整方法 |
-
1997
- 1997-01-21 JP JP00889397A patent/JP3631870B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100783857B1 (ko) * | 2000-09-27 | 2007-12-10 | 다이닛뽄 잉크 앤드 케미칼즈, 인코포레이티드 | 초순수의 비저항 조정 장치 및 조정 방법 |
| WO2016167134A1 (ja) * | 2015-04-13 | 2016-10-20 | Dic株式会社 | 比抵抗値調整装置及び比抵抗値調整方法 |
| CN107427786A (zh) * | 2015-04-13 | 2017-12-01 | Dic株式会社 | 电阻率值调整装置及电阻率值调整方法 |
| US10792623B2 (en) | 2015-04-13 | 2020-10-06 | Dic Corporation | Device for adjusting specific resistance value and method for adjusting specific resistance value |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3631870B2 (ja) | 2005-03-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR970028871A (ko) | 처리액공급방법 및 처리액공급장치 | |
| JP2706853B2 (ja) | メンブランフィルタの完全性検査方法及び検査装置 | |
| US6869499B2 (en) | Substrate processing method and substrate processing apparatus | |
| KR100251876B1 (ko) | 감압 처리장치 | |
| JPH06200753A (ja) | 内燃機関の排気管内に２次空気を供給する機構を検査する方法及び装置 | |
| JPH10202075A (ja) | 疎水性透過膜の透過性能維持方法 | |
| JPH10202242A (ja) | 超純水の比抵抗調整方法 | |
| JP3538513B2 (ja) | 疎水性透過膜の透過性能回復方法 | |
| JP2003129125A (ja) | ストリップ連続熱処理炉 | |
| JP4574051B2 (ja) | 熱処理方法及びそれに用いる熱処理装置 | |
| JPH05103921A (ja) | 薬液ろ過装置 | |
| JP2007014885A (ja) | ガス処理システム | |
| JP2000070887A (ja) | 炭酸ガス溶存純水供給方法及び炭酸ガス溶存純水供給ユニット並びにそれを備えた基板処理装置 | |
| JPH10312968A (ja) | 排気切換方法及び排気切換装置 | |
| JP2623434B2 (ja) | 空気圧縮装置 | |
| JP2002211763A (ja) | 粉体輸送装置 | |
| JP2003010661A (ja) | 炭酸水製造装置および炭酸水製造装置の運転方法 | |
| KR100476715B1 (ko) | 배기 가스 처리 시스템 | |
| JP2000189782A (ja) | 排気切換装置 | |
| JP2750052B2 (ja) | オゾン散気装置 | |
| JPH0628040A (ja) | マスフローコントローラー | |
| JPH10156104A (ja) | 膜脱気装置 | |
| JP2008183533A (ja) | 揮発性有機ガスの濃度希釈方法 | |
| JPH03292496A (ja) | ボンベ付ガス供給装置 | |
| JP2000015047A (ja) | 排ガス除害装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041108 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041130 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041220 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081224 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081224 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091224 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091224 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101224 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111224 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121224 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131224 Year of fee payment: 9 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |