JPH1019792A

JPH1019792A - 表面検査装置

Info

Publication number: JPH1019792A
Application number: JP8194096A
Authority: JP
Inventors: Akihiko Sekine; 明彦関根
Original assignee: Topcon Corp
Current assignee: Topcon Corp
Priority date: 1996-07-05
Filing date: 1996-07-05
Publication date: 1998-01-23

Abstract

(57)【要約】【課題】従来検査できなかったウェーハのエッジに近
い部分も確実に検査し、異物の発生を見逃さないように
する。【解決手段】光源と、その光源からの光束で対象物を
横切る方向に対象物表面を走査する走査手段を備えた走
査光学系と、該走査方向に対して所定角度の方向へ対象
物を相対的に移動するための移動部と、対象物表面から
の散乱光を受光する光電変換器を備えた受光部と、その
受光部からの信号に基づき表面検査を行う信号処理部と
を有する表面検査装置において、前記走査手段は、走査
光束を往復方向に走査するように制御され、前記信号処
理部は、走査手段による往復走査範囲中、対象物以外か
ら対象物への走査が行われている遷移エリアを除いた範
囲での上記受光部の信号に基づき表面検査を行うように
構成されていることを特徴とする表面検査装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、対象物の表面状態
を検査するための表面検査装置に関し、特に半導体ウェ
ーハの表面の異物や傷等を検査するウェーハ表面検査装
置として最適な表面検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に半導体集積回路は、半導体基板
（ウェーハ）にフォトリソグラフィー工程によって回路
を形成することにより製造される。この際、１枚のウェ
ーハ上に多数の同一の集積回路が作られ、最後にそれら
を切り離して単独の集積回路チップとする。この時、ウ
ェーハ上に異物が存在すると、その部分に形成される回
路パターンに欠陥が生じ、当該集積回路が使用不能にな
る。その結果、１枚の基板から取れる集積回路の数が減
り、歩留まりの低下を招く。

【０００３】このような異物は、ウェーハ表面に金属膜
を形成するＣＶＤ工程などで付着するものと考えられ
る。つまり、プロセス装置内で発生した異物が、その装
置を出てきたウェーハに付着し、その後のリソグラフィ
ー工程で欠陥になってしまうのである。

【０００４】そこで、半導体集積回路製造現場では、モ
ニターウェーハと呼ばれる検査用のウェーハを用いて異
物発生のモニタリングを行っている。検査用ウエーハを
材料ウェーハと同じようにプロセス装置に通し、その前
後にモニターウェーハを検査して、異物の発生が認めら
れたら装置の清掃などの対策を講じるのである。

【０００５】検査方法としては、ウェーハ表面にレーザ
光を集光し、その集光点からの散乱光を受光して、その
信号から異物等を検出する方法が一般的である。図１１
に従来のウェーハ表面検査装置の例を示す。

【０００６】光源にはレーザが用いられ、レーザを出た
光は光学系によって、ウェーハ表面に集光される。集光
されたレーザ光は、光偏向器などを用いて１方向に走査
され、同時にウェーハが前記方向と直交する方向に移動
される。その結果、ウェーハ全面がレーザ光によって走
査される。ウェーハ上の集光点からの散乱光は、レンズ
を介して光電変換器に受光される。散乱光を受光した光
電変換器は、集光点が異物等を横切る際に散乱光の強度
に応じたパルス状の信号を出力する。その信号出力の大
きさによって、散乱物体の大きさを判断するのである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】レーザ光でウェーハ全
面を検査する場合には、ウェーハよりも若干広い範囲を
走査する必要がある。光束が折り返す時に静止状態にな
る瞬間があり、一般にこの点ではパルス信号が得られず
検査ができないからである。

【０００８】しかし、走査範囲をウェーハよりも若干広
めに設定した場合には、ウェーハのエッジ部分に光が当
った時に次のような不具合が生じる。

【０００９】すなわち、ウェーハ表面検査装置では、ウ
ェーハ上の異物による微弱な散乱光を検出するため、高
感度の光電変換器を用いている。これに対し、ウェーハ
のエッジで生じる散乱光は異物の散乱光に比ベて格段に
大きいため、光電変換器はこの散乱光を受けてから暫く
の間正常に動作しなくなる。この間も集光点が移動し続
けるため、ウェーハのエッジからある範囲は測定が不能
となるのである。

【００１０】例えば、ビームをラスター走査して、一方
向についての走査の時に計測を行うと、図１０に斜線で
示した検査不能の領域ができる。この領域の大きさは、
ビームの走査スピードが早いほど大きくなる。そのた
め、今後益々大口径化するウェーハを、短時間で検査し
ようとする場合に、この検査不能領域が大きくなり正確
な検査が行えなくなってしまう。

【００１１】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、その目的は、ウェーハのエッジからの散乱光
による検査不可能な範囲を無くし、ウェーハの全面を確
実に検査することができるウェーハ表面検査装置を提供
する事にある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本願第１発明は、光源
と、その光源からの光束で対象物を横切る方向に対象物
表面を走査する走査手段を備えた走査光学系と、該走査
方向に対して所定角度の方向へ対象物を相対的に移動す
るための移動部と、対象物表面からの散乱光を受光する
光電変換器を備えた受光部と、その受光部からの信号に
基づき表面検査を行う信号処理部とを有する表面検査装
置において、前記走査手段は、走査光束を往復方向に走
査するように制御され、前記信号処理部は、走査手段に
よる往復走査範囲中、対象物外から対象物への走査が行
われている遷移エリアを除いた範囲での上記受光部の信
号に基づき表面検査を行うように構成されていることを
特徴とする表面検査装置を要旨としている。

【００１３】本願第２発明は、光源と、その光源からの
光束で対象物を横切る方向に対象物表面を走査する走査
手段を備えた走査光学系と、該走査方向に対して所定角
度の方向へ対象物を相対的に移動するための移動部と、
対象物表面からの散乱光を受光する光電変換器を備えた
受光部と、その受光部からの信号に基づき表面検査を行
う信号処理部とを有する表面検査装置において、前記走
査手段は、走査光束を往復方向に走査するように制御さ
れ、前記信号処理部は、前記受光部からの信号の配列を
変更し、走査手段による往復走査範囲中、対象物外から
対象物への走査が行われている遷移エリアを含まない範
囲での上記受光部の信号に基づき表面接査を行うように
横成されていることを特徴とする表面検査装置を要旨と
している。

【００１４】

【発明の実施の形態】本願第１発明の表面検査装置は、
光源と、その光源からの光束で対象物を横切る方向に対
象物表面を走査する走査手段を備えた走査光学系と、該
走査方向に対して所定角度の方向へ対象物を相対的に移
動するための移動部と、対象物表面からの散乱光を受光
する光電変換器を備えた受光部と、その受光部からの信
号に基づき表面検査を行う信号処理部とを備えている。

【００１５】そして、前記走査手段は、走査光束を往復
方向に走査するように制御される。また、前記信号処理
部は、走査手段による往復走査範囲中、対象物外から対
象物への走査が行われている遷移エリアを除いた範囲で
の上記受光部の信号に基づき表面検査を行うように構成
される。

【００１６】表面検査は、対象領域全体に関して行われ
る。従って、本発明では、実質的に有効な表面検査は、
時間的には断続的に行われることになる。

【００１７】本発明の好ましい実施態様では、前記信号
処理部は、走査手段による往路走査の後半での受光部の
信号と、復路走査の後半での受光部の信号とに基づき、
表面検査を行うように構成される。

【００１８】この実施態様では、前記信号処理部は、受
光部の信号を記憶する信号記憶部を含み、該信号記憶部
は、走査手段の往路走査の後半のデータを走査順に記憶
し、復路走査の後半のデータを走査順と逆の順序で記憶
し、対象物を横切るように走査した際と同様な順序で受
光部の信号を読み出されるように構成できる。

【００１９】また、該信号記憶部は、受光部からのデー
タを受け取った順に記憶し、データが読み出される際に
は、走査手段の往路走査の後半のデータを走査順に出力
し、復路走査の後半のデータを走査順と逆の順序で出力
し、対象物を横切るように走査した際と同様な順序で受
光部のデータを出力するように構成することも可能であ
る。

【００２０】前記光源部は、走査手段による往復走査範
囲中、対象物外から対象物への走査が行われている遷移
エリアを除いた範囲で点灯し、これ以外の遷移エリアを
含む範囲で消灯するように制御され、前記信号処理部
が、走査手段による往復走査範囲中、対象物外から対象
物への走査が行われている遷移エリアを除いた範囲での
上記受光部の信号に基づき表面検査を行うように構成で
きる。

【００２１】本願第２発明では、前記信号処理部は、前
記受光部からの信号の配列を変更し、走査手段よる往復
走査範囲中、対象物外から対象物への走査が行われてい
る遷移エリアを含まない範囲での上記受光部の信号に基
づき表面接査を行うように構成される。

【００２２】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の第１実施例を
説明する。図１は表面検査装置を概念的に示す光学図、
図２はブロック図である。

【００２３】表面検査装置は移動部１０、光学系２０、
受光部３０、信号処理部４０から構成されている。

【００２４】移動部１０は、少くとも一方向に往復移動
可能なステージ１２を備えている。このステージ１２
は、ウェーハ１等の対象物を一定のゆっくりとした速度
で図１の矢印Ａの方向に移動する。

【００２５】光学系２０は光源部２１、走査ミラー２
３、集束レンズ２５、集光レンズ２７を備えている。

【００２６】光源部２１は、半導体レーザのような強度
の強いレーザ光源であり、ウェーハ全体を走査する間、
連続して発光させる。

【００２７】走査ミラー２３は、演算制御部４１からの
信号により走査部に相当するモータ２６によって回転さ
れ、光源部２１からの光束を往復移動させる。

【００２８】集束レンズ２５は、対象物であるウェーハ
上に、光源からの光を集束してスポットＰを形成する。
このスポットＰは、走査ミラー２３の回転運動によりウ
ェーハ１上を直線走査され、走査線ＳＬが形成される。

【００２９】集光レンズ２７は、ウェーハ上の異物で散
乱された散乱光を光電変換器の受光面上に集光する。こ
の集光レンズ２７は、光源からの走査光がウェーハ表面
で正反射された正反射光が入射しない方向及び位置に配
置されている。

【００３０】次に、光学系による走査方法を説明する。

【００３１】図４は、ビームによって形成される走査線
と受光部が受光し、データとしてメモリーする部分との
関係を示す。判りやすいように走査線を疎に記載した。
実際には、ビームはウェーハ１の表面全体を密に走査す
る。

【００３２】走査が往復で等価になるように走査手段
は、三角波状の走査を行い、同期手段を介して、ビーム
がウェーハの中心線に達した所からの受光を有効にし、
データを取得する。対象物外から対象物の所定領域まで
の走査が行われている遷移エリア、すなわちこの実施例
ではビームがウェーハの外側からウェーハ中心線に達す
るまでのエリアからの受光は無効にする。このため、走
査前半の最初の部分でビームがエッジに当たって生じる
強い散乱光の影響は後半部分には及ばず、後半部分の検
査は正確に行われる。

【００３３】一方、走査後半の終り側でも、ビームがエ
ッジに当たり強い散乱光を生じるが、この位置から後は
ウェーハの外側に相当し検査の必要が無いので、同様の
理由で検査に支障はない。つまり、ビームが走査の終り
側で強い散乱光が生じて後述する光電変換器３１が正常
に動作しない間は、スポットＰが前記遷移エリアの一部
分を移動するため問題がないのである。このことは、検
査すべきウェーハの直ぐ外側に光束が当たって散乱光を
生じるような物体があっても検査には支障が無く、それ
ゆえ装置を作る上での制約を少なくすることにも役立
つ。

【００３４】受光部３０は光電変換器３１を備えてい
る。光電変換器３１は、走査光が照射された異物で散乱
した散乱光を受光し、その散乱光に応じた電気信号を出
力する。光電変換器としては、例えばフォトマルを利用
できる。

【００３５】光電変換器３１は、後述する同期信号に基
づいて往路走査中のウェーハ中央部から後半にかけての
受光信号、及び復路走査中のウェーハ中央部から後半の
受光信号を出力するように構成されている。光電変換器
のフォトマルへの印加電圧の具体例Ｖを図３に示す。

【００３６】信号処理部４０は制御演算処理部４１、記
憶部４２、基準信号発生器４３、表示部４４を備えてい
る。

【００３７】この実施例では、上述のように往復走査の
後半のみのデータだけを取り込むため、信号は一本の走
査線で走査したような順序では現れない。このため、ウ
ェーハの一端から他端までを示す時系列データとして扱
うためには、データの並べ替えなどの工夫を必要とす
る。

【００３８】すなわち、ｔ０−ｔ５の期間には散乱光デ
ータは現れず、ｔ５−ｔ１０の期間には位置Ｌ５から位
置Ｌ１０にかけての散乱光のデータが順に現れる。

【００３９】そして、ｔ１０からｔ１５までの期間には
散乱光データは現れず、ｔ１５−ｔ２０の期間には位置
Ｌ５から位置Ｌ２０にかけての散乱光のデータが順に現
れることになる。

【００４０】実際の走査線の間隔は狭いので、復路後半
のデータ順を逆にしてｔ２０からｔ１５までのデータに
ｔ５からｔ１０までの期間のデータをつなぎ合わせるこ
とであたかも、一本の走査線でウェーハを走査し散乱光
の信号（全体走査データ）を得たごとく扱うことができ
る。

【００４１】ここでは「データ読み出しの際に、メモリ
アドレスの指定を所定順序とする方式」による処理を図
５及び図６のフローチャートに従い説明する。

【００４２】図５は走査、記憶フローチャートである。

【００４３】Ｓｌ：走査回数ｎをｎ＝１とする。

【００４４】Ｓ２：番号ｉをｉ＝１とする。

【００４５】Ｓ３：前半走査の終了を判別する。

【００４６】Ｓ４：受光部からのデータをアドレスＡＤ
（ｉ）に記憶Ｓ５：後半走査の終了を判別する。

【００４７】Ｓ６：アドレス位置ｉ＝ｉ＋１としｉを１
増やす。Ｓ４に戻り後半走査のデータをメモリに記憶す
る。

【００４８】Ｓ７：全ての走査が終了したかを判別す
る。

【００４９】Ｓ８：全ての走査が終了していないとき
は、ｎ＝ｎ＋１とし、ｎを１増やしＳ２に戻る。

【００５０】図６は読み出しフローチャートである。

【００５１】Ｓｌ：走査回数ｎをｎ＝１とする。

【００５２】Ｓ２：番号ｉをｉ＝１とする。

【００５３】Ｓ３：アドレスＡＤ（１０ｎ−ｉ）のデー
タを読み出す。

【００５４】Ｓ４：アドレス位置ｉ＝ｉ＋１としｉを１
増やす。

【００５５】Ｓ５：番号ｉが５以下により前半走査か後
半走査かを判別する。５以下で、前半走査であればＳ３
に戻り、５を越えていて後半走査であればＳ６に進む。

【００５６】Ｓ６：アドレスＡＤ（１０ｎ＋ｉ）のデー
タを読み出す。

【００５７】Ｓ７：番号ｉが１０となったか判別する。
１０に満たないときはＳ３に戻り、１０となったときは
Ｓ８に進む。

【００５８】Ｓ８：読み出し終了か判別する。全ての読
み出しが終了していないときは、Ｓ９に進む。

【００５９】Ｓ９：走査回数ｎ＝ｎ＋１とし、ｎを１増
やしＳ２に戻る。

【００６０】この方式では、データ読み出しの際に、メ
モリアドレスの指定の順序を工夫することにより全体走
査データを形成することができる。

【００６１】データをメモリに記憶する際に、光電変換
器からの信号を時系列的にそのまま記憶する。この際、
走査の有効とされない往路走査の前半及び復路走査の前
半のデータは、記憶対象から除外する。するとメモリの
記憶容量を効率的に利用できる。

【００６２】但し、これらのデータを記憶しておいても
差し支えない。

【００６３】具体例を示すと、走査が開始されて、往路
走査の前半の期間（ｔ０≦ｔ＜ｔ５）はデータをメモリ
せずに、往路走査後半の期間（ｔ５≦ｔ＜ｔ１０）のデ
ータをメモリアドレスＡＤ１からＡＤ５へ順次記憶す
る。そして、復路走査の前半の期間（ｔ１０≦ｔ＜ｔ１
５）はデータをメモリせずに、復路走査後半の期間（ｔ
１５≦ｔ＜ｔ２０）のデータは、メモリアドレスＡＤ５
からＡＤ１０へ順次記憶する。

【００６４】データ読み出しの際には、復路走査後半の
データに相当するメモリアドレスであるＡＤ１０からＡ
Ｄ６のデータは、ＡＤ１０からアドレスが減る方向にＡ
Ｄ６まで順次読み出し、そして往路走査後半のデータに
相当するメモリアドレスであるＡＤ１からＡＤ５のデー
タは、ＡＤ１からアドレスが増える方向にＡＤ５まで順
次読み出す。

【００６５】以降は同様な処理を繰り返す。

【００６６】これにより、メモリアドレスまでに記憶さ
れたデータは、あたかも一本の走査線でウェーハを走査
し得られた散乱光の信号（全体走査データ）として扱え
る。

【００６７】以上説明した本発明の第１実施例では、光
源を出た光束を１次元に走査し、ウェーハを略直交する
方向に移動させる事でウェーハ全面を走査するようにな
っている。

【００６８】従来技術でも述べたように、光源部を全て
の走査期間の間、点灯させているとウェーハのエッジに
光束が当たり、その散乱光が受光器に入った際、受光部
が飽和してその後しばらく測定のできない範囲（図１０
の斜線部）が形成される。そこで、本発明者は鋭意研究
の結果、ウェーハのエッジでの散乱光による検査不能の
時間を過ぎた後でデータを取るようにし、これを反対方
向の走査でも行えばウェーハの上下の僅かな部分を除い
てほぼ全面のデータが取れることを見出し、本発明を完
成するに至ったのである。

【００６９】そして、前述の第１実施例では、データを
２重に取得する領域を最小限度にするために、光束がウ
ェーハの中心線に到達した時点から検査を始めるように
構成されている。

【００７０】次に、本発明の第２実施例を説明する。

【００７１】第２実施例は、第１実施例の信号処理部を
変形したものである。

【００７２】すなわち、ウェーハの一端から他端までを
示す時系列データとして扱うためのデータの並べ替えを
第１実施例とは別の方式として、「データ記憶の際に、
メモリアドレスの指定を所定順序とする方式」も採用で
きる。

【００７３】「データ記憶の際に、メモリアドレスの指
定を所定順序とする方式」を図７のフローチャートを参
照して説明する。これは、データをメモリに記憶する際
に、メモリアドレスの指定の順序を工夫することにより
全体走査データを形成することができる方式である。

【００７４】Ｓｌ：走査回数ｎをｎ＝１とする。

【００７５】Ｓ２：番号ｋ（走査位置又は走査時間ｔｉ
に対応する）をｋ＝１とする。

【００７６】Ｓ３：往路走査かを判別する。往路走査で
あれぼＳ４へ、復路走査であればＳ６へ進む。

【００７７】Ｓ４：後半走査かを判別する。後半走査で
なければ判別を繰り返す。後半走査であればＳ５へ進
む。

【００７８】Ｓ５：データをアドレスＡＤ（１０（ｎ−
１）＋ｋ）に記憶し、Ｓ８へ進む。

【００７９】Ｓ６：復路の後半走査かを判別する。

【００８０】Ｓ７：データをアドレスＡＤ（２０ｎ−
ｋ）に記憶し、Ｓ８へ進む。

【００８１】Ｓ８：ｋ＝ｋ＋１としｋを１増やす。

【００８２】Ｓ９：一走査の終了かを判別する。未終了
であればＳ３に戻る。

【００８３】Ｓ１０：全ての走査が終了したかを判別す
る。

【００８４】Ｓｌｌ：全ての走査が終了していないとき
は、ｎ＝ｎ＋１とし、ｎを１増やしＳ２に戻る。

【００８５】図８は、メモリに記憶されるデータとアド
レス番号を対象物上で示している。

【００８６】具体例を述べると、走査が開始されて、往
路走査の前半の期間（ｔ０≦ｔ＜ｔ５）ほデータをメモ
リせずに、往路走査後半の期間（ｔ５≦ｔ＜ｔ１０）の
データをメモリアドレスＡＤ６からＡＤ１０へ順次記憶
する。

【００８７】次に、復路走査の前半の期間（ｔ１０≦ｔ
＜ｔ１５）はデータをメモリせずに、復路走査後半（ｔ
１５≦ｔ＜ｔ２０）の期間のデータは、メモリアドレス
ＡＤ５からＡＤ１へ順次記憶する。

【００８８】この場合、復路走査後半の期間のデータ
は、メモリアドレスＡＤ５からＡＤ１ヘアドレスが減る
方向に順次記憶する。

【００８９】以降は同様な処理を繰り返す。

【００９０】これにより、メモリアドレスＡＤ１からＡ
Ｄ１０までに記憶されたデータは、あたかも一本の走査
線でウェーハを走査し得られた散乱光の信号（全体走査
データ）として扱える。

【００９１】この場合、メモリアドレスを順に読み出せ
ば、全体走査データを得ることができる。

【００９２】次に、第３実施例を説明する。

【００９３】この実施例では、対象物外から対象物への
走査が行われる遷移エリア以外の範囲、すなわちデータ
を検出する範囲だけ光源部を点灯し、遷移エリアでは光
源部を点灯しないように構成する。そして、同様に、信
号処理部が、走査手段による往復走査範囲中、対象物外
から対象物への走査が行われている遷移エリアを除いた
範囲の上記受光部の信号に基づき表面検査を行う構成に
なっている。

【００９４】具体的に述べると、遷移エリアを含む範囲
ｔｌからｔ５の範囲では光源部を消灯し、それ以外の範
囲で点灯するように、図３に示す信号と同様なタイミン
グの信号を制御演算回路から送って点滅制御を行う構成
にする。

【００９５】さらに、次のような変形例も可能である。

【００９６】光源部は、連続点灯したままで、図３に示
す信号と同様なタイミングで、シャッターなどで機械的
に光束を遮断することにより、同様な走査が可能とな
る。

【００９７】また、第１実施例では、往路走査の後半と
復路走査の後半でのデータをつなぎあわせて全面走査デ
ータを形成しているが、互いに重なりあう領域を設けて
データを受け取るように構成することもできる。

【００９８】この場合、重なり領域のデータを比較する
ことで、データの接続を確実にする事ができる。

【００９９】さらに、図９と図１０に示すように、ステ
ージ１２を回転移動するように移動部１０を構成するこ
ともできる。前述の実施例では、ウェーハの移動方向に
沿った中心線を前半・後半の境界としたが、ウェーハを
回転移動する場合には、ウェーハの中心点を前半・後半
（データ取捨）の境界とするのである。

【０１００】図９の回転方式では、往路・復路ともに後
半走査で得られた信号を記憶し、前述した方式と同様に
並べ変え処理をすることにより、連続した直径アドレス
として検査結果を扱うことができる。

【０１０１】図１０の回転方式では、往路の２重線領域
の走査で得られた信号を時系列的にアドレスの小さい順
に記憶し、読み出しの際にはアドレスの小さい順に順次
呼び出すことにより中心から周辺方向に走査したデータ
を得ることができる。図１０の方式は半径アドレス方式
であり、半径の長さを少し超える程度の往復走査を行え
ば十分である。

【０１０２】

【発明の効果】本発明の表面検査装置によれば、従来検
査できなかったウェーハのエッジに近い部分も確実に検
査できるようになり、異物の発生を見落としてしまう可
能性を減らす事が出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例の光学配置図。

【図２】第１実施例のブロック図。

【図３】光源駆動用信号の波形図。

【図４】第１実施例で信号処理部がデータとして記憶す
るデータを対象物の上で示した図。

【図５】第１実施例のデータ記憶のフローチャート。

【図６】第１実施例のデータ読み出しのフローチャー
ト。

【図７】第２実施例のデータ記憶のフローチャート。

【図８】第２実施例の信号処理部がデータとして記憶す
るデータを対象物の上で示した図。

【図９】移動部を回転移動させる方式の変形例を示す
図。

【図１０】移動部を回転移動させる別の方式の実施例を
示す図。

【図１１】従来のウェーハ表面検査装置の概略構成図。

【図１２】ウェーハをラスター走査した場合の検査不能
領域を示す図。

【符号の説明】

１０移動部１２ステージ２０光学系２１光源部２３走査ミラー２５集束レンズ２６モータ２７集光レンズ３０受光部３１光電変換機４０信号処理部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光源と、その光源からの光束で対象物を横切る方向に対象物表面
を走査する走査手段を備えた走査光学系と、該走査方向に対して所定角度の方向へ対象物を相対的に
移動するための移動部と、対象物表面からの散乱光を受光する光電変換器を備えた
受光部と、その受光部からの信号に基づき表面検査を行う信号処理
部とを有する表面検査装置において、前記走査手段は、走査光束を往復方向に走査するように
制御され、前記信号処理部は、走査手段による往復走査
範囲中、対象物外から対象物への走査が行われている遷
移エリアを除いた範囲での上記受光部の信号に基づき表
面検査を行うように構成されていることを特徴とする表
面検査装置。
【請求項２】前記信号処理部は、走査手段による往路
走査の後半での受光部の信号と、復路走査の後半での受
光部の信号とに基づき、表面検査を行うように構成され
ていることを特徴とする請求項１記載の表面検査装置。
【請求項３】前記信号処理部は、受光部の信号を記憶
する信号記憶部を含み、該信号記憶部は、走査手段の往
路走査の後半のデータを走査順に記憶し、復路走査の後
半のデータを走査順と逆の順序で記憶し、対象物を横切
るように走査した際と同様な順序で受光部の信号を読み
出されるように構成したことを特徴とする請求項２記載
の表面検査装置。
【請求項４】前記信号処理部は、受光部の信号を記憶
する信号記憶部を含み、該信号記憶部は、受光部からの
データを受け取った順に記憶し、データが読み出される
際には、走査手段の往路走査の後半のデータを走査順に
出力し、復路走査の後半のデータを走査順と逆の順序で
出力し、対象物を横切るように走査した際と同様な順序
で受光部のデータを出力するように構成したことを特徴
とする請求項２記載の表面検査装置。
【請求項５】前記光源部は、走査手段による往復走査
範囲中、対象物外から対象物への走査が行われている遷
移エリアを除いた範囲で点灯し、これ以外の遷移エリア
を含む範囲で消灯するように制御され、前記信号処理部が、走査手段による往復走査範囲中、対
象物外から対象物への走査が行われている遷移エリアを
除いた範囲での上記受光部の信号に基づき表面検査を行
うように構成されていることを特徴とする請求項１〜４
のいずれか１項に記載の表面検査装置。
【請求項６】光源と、その光源からの光束で対象物を横切る方向に対象物表面
を走査する走査手段を備えた走査光学系と、該走査方向に対して所定角度の方向へ対象物を相対的に
移動するための移動部と、対象物表面からの散乱光を受光する光電変換器を備えた
受光部と、その受光部からの信号に基づき表面検査を行う信号処理
部とを有する表面検査装置において、前記走査手段は、走査光束を往復方向に走査するように
制御され、前記信号処理部は、前記受光部からの信号の配列を変更
し、走査手段による往復走査範囲中、対象物外から対象
物への走査が行われている遷移エリアを含まない範囲で
の上記受光部の信号に基づき表面接査を行うように横成
されていることを特徴とする表面検査装置。