JPH10189520A - 電力表示メ−タ付き超音波洗浄装置 - Google Patents
電力表示メ−タ付き超音波洗浄装置Info
- Publication number
- JPH10189520A JPH10189520A JP34369696A JP34369696A JPH10189520A JP H10189520 A JPH10189520 A JP H10189520A JP 34369696 A JP34369696 A JP 34369696A JP 34369696 A JP34369696 A JP 34369696A JP H10189520 A JPH10189520 A JP H10189520A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- vibrator
- meter
- ultrasonic
- power
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動子に供給する電源として、非連続な高周
波電圧を供給するようにした場合でも正確に電力を表示
することができる電力表示メ−タ付き超音波洗浄装置を
提供すること。 【解決手段】 洗浄液が供給される装置本体11と、この
装置本体に設けられた振動板に取り付けられた振動子24
と、この振動子と電気的に接続されこの振動子を駆動し
て超音波振動させる超音波発振器31と、この超音波発振
器と上記振動子との間に設けられ、この振動子と上記超
音波発振器とのインピ−ダンスマッチング回路33と、こ
の振動子に入射される電圧を計測する入射電圧計測手段
44と、この入射電圧計測手段で計測された入射電圧を２
乗する２乗回路51と、この２乗回路51で２乗された電圧
を表示するメ−タ53とを具備したことを特徴とする。
波電圧を供給するようにした場合でも正確に電力を表示
することができる電力表示メ−タ付き超音波洗浄装置を
提供すること。 【解決手段】 洗浄液が供給される装置本体11と、この
装置本体に設けられた振動板に取り付けられた振動子24
と、この振動子と電気的に接続されこの振動子を駆動し
て超音波振動させる超音波発振器31と、この超音波発振
器と上記振動子との間に設けられ、この振動子と上記超
音波発振器とのインピ−ダンスマッチング回路33と、こ
の振動子に入射される電圧を計測する入射電圧計測手段
44と、この入射電圧計測手段で計測された入射電圧を２
乗する２乗回路51と、この２乗回路51で２乗された電圧
を表示するメ−タ53とを具備したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は被洗浄物を洗浄する
洗浄液に超音波振動を付与するために用いられる電力表
示メ−タ付き超音波洗浄装置に関する。
洗浄液に超音波振動を付与するために用いられる電力表
示メ−タ付き超音波洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば液晶製造装置や半導体製造装置
においては、液晶用ガラス基板や半導体ウエハなどの被
洗浄物を高い清浄度で洗浄することが要求される工程が
ある。上記被洗浄物を洗浄する方式としては、洗浄液中
に複数枚の被洗浄物を浸漬するデイップ方式や被洗浄物
に向けて洗浄液を噴射して一枚づつ洗浄する枚葉方式が
あり、最近では高い清浄度が得られるとともに、コスト
的に有利な枚葉方式が採用されることが多くなってきて
いる。
においては、液晶用ガラス基板や半導体ウエハなどの被
洗浄物を高い清浄度で洗浄することが要求される工程が
ある。上記被洗浄物を洗浄する方式としては、洗浄液中
に複数枚の被洗浄物を浸漬するデイップ方式や被洗浄物
に向けて洗浄液を噴射して一枚づつ洗浄する枚葉方式が
あり、最近では高い清浄度が得られるとともに、コスト
的に有利な枚葉方式が採用されることが多くなってきて
いる。
【０００３】枚葉方式の１つとして被洗浄物に噴射され
る洗浄液に超音波振動を付与し、その振動作用によって
上記被洗浄物から微粒子を効率よく除去するようにした
洗浄方式が実用化されている。
る洗浄液に超音波振動を付与し、その振動作用によって
上記被洗浄物から微粒子を効率よく除去するようにした
洗浄方式が実用化されている。
【０００４】洗浄液に付与する振動は、従来は20〜50ｋ
Ｈｚ程度の超音波であったが、最近では600 〜2000ｋＨ
ｚ程度の極超音波帯域の音波を付与する超音波洗浄装置
が開発されている。
Ｈｚ程度の超音波であったが、最近では600 〜2000ｋＨ
ｚ程度の極超音波帯域の音波を付与する超音波洗浄装置
が開発されている。
【０００５】ところで、上記超音波洗浄装置は装置本体
を有し、この装置本体には振動子が取り付けられた振動
板が設けられている。上記振動子には超音波発振器が接
続される。この超音波発振器は所定の周波数の電力を出
力し、その電力を上記振動子に印加する。それによっ
て、上記振動子が超音波振動するから、その超音波振動
に上記振動板が連動し、この振動板によって洗浄液に超
音波振動が付与されるようになっている。
を有し、この装置本体には振動子が取り付けられた振動
板が設けられている。上記振動子には超音波発振器が接
続される。この超音波発振器は所定の周波数の電力を出
力し、その電力を上記振動子に印加する。それによっ
て、上記振動子が超音波振動するから、その超音波振動
に上記振動板が連動し、この振動板によって洗浄液に超
音波振動が付与されるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記振動子
に供給する電源として、連続した高周波電圧が用いられ
ている。このように連続した高周波電圧が振動子に供給
する電源として用いられている場合において、その供給
される電力は次のようにして計測されていた。つまり、
振動子に入力される進行電圧Ｖｆを図４に示すようＶＳ
ＷＲ（voltage standingwave ratio ）検出器で計測
し、この進行電圧Ｖｆを入射電力としてメ−タに表示し
ていた。
に供給する電源として、連続した高周波電圧が用いられ
ている。このように連続した高周波電圧が振動子に供給
する電源として用いられている場合において、その供給
される電力は次のようにして計測されていた。つまり、
振動子に入力される進行電圧Ｖｆを図４に示すようＶＳ
ＷＲ（voltage standingwave ratio ）検出器で計測
し、この進行電圧Ｖｆを入射電力としてメ−タに表示し
ていた。
【０００７】ここで、電力＝Ｖf 2 ／Ｒであるため、こ
のＶf でメ−タを振らすと、目盛りは不等間隔となると
いう問題があった。
のＶf でメ−タを振らすと、目盛りは不等間隔となると
いう問題があった。
【０００８】また、上記振動子に供給する電源として、
非連続な高周波電圧を供給するようにした場合にも、Ｃ
Ｍカップラ−で計測した進行電圧を入射電力としてメ−
タに表示するようにした場合には、図５に示すようにメ
−タの目盛りが非線形となってしまうという問題があっ
た。
非連続な高周波電圧を供給するようにした場合にも、Ｃ
Ｍカップラ−で計測した進行電圧を入射電力としてメ−
タに表示するようにした場合には、図５に示すようにメ
−タの目盛りが非線形となってしまうという問題があっ
た。
【０００９】これは、電圧Ｖf の平均をとってから２乗
するためである。つまり、電力Ｐave は Ｐave ＝数１ として表される。
するためである。つまり、電力Ｐave は Ｐave ＝数１ として表される。
【００１０】
【数１】
【００１１】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、その目的は振動子に供給する電源として、非連続な
高周波電圧を供給するようにした場合でも正確に電力を
表示することができる電力表示メ−タ付き超音波洗浄装
置を提供することにある。
で、その目的は振動子に供給する電源として、非連続な
高周波電圧を供給するようにした場合でも正確に電力を
表示することができる電力表示メ−タ付き超音波洗浄装
置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１に係わる電力表
示メ−タ付き超音波洗浄装置は、洗浄液に超音波振動を
付与して被洗浄物を洗浄するための超音波洗浄装置にお
いて、洗浄液が供給される装置本体と、この装置本体に
設けられた振動板に取り付けられた振動子と、この振動
子と電気的に接続されこの振動子を駆動して超音波振動
させる超音波発振器と、この超音波発振器と上記振動子
との間に設けられ、この振動子と上記超音波発振器との
インピ−ダンスマッチング回路と、この振動子に入射さ
れる電圧を計測する入射電圧計測手段と、この入射電圧
計測手段で計測された入射電圧を２乗平均する２乗平均
手段と、この２乗平均手段で２乗された電圧を表示する
メ−タとを具備したことを特徴とする。
示メ−タ付き超音波洗浄装置は、洗浄液に超音波振動を
付与して被洗浄物を洗浄するための超音波洗浄装置にお
いて、洗浄液が供給される装置本体と、この装置本体に
設けられた振動板に取り付けられた振動子と、この振動
子と電気的に接続されこの振動子を駆動して超音波振動
させる超音波発振器と、この超音波発振器と上記振動子
との間に設けられ、この振動子と上記超音波発振器との
インピ−ダンスマッチング回路と、この振動子に入射さ
れる電圧を計測する入射電圧計測手段と、この入射電圧
計測手段で計測された入射電圧を２乗平均する２乗平均
手段と、この２乗平均手段で２乗された電圧を表示する
メ−タとを具備したことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の一実
施の形態について説明する。図２に示すこの発明の超音
波洗浄装置は装置本体１１を有する。この装置本体１１
は上面が開放した凹部１２が長手方向に沿って形成され
た上部材１３と、この上部材１３の下面に第１のシ−ル
材１４を介して液密に接合固定された下部材１５とによ
って細長い角柱状に形成されている。
施の形態について説明する。図２に示すこの発明の超音
波洗浄装置は装置本体１１を有する。この装置本体１１
は上面が開放した凹部１２が長手方向に沿って形成され
た上部材１３と、この上部材１３の下面に第１のシ−ル
材１４を介して液密に接合固定された下部材１５とによ
って細長い角柱状に形成されている。
【００１４】上記上部材１３の下部壁の幅方向中央部分
には長手方向に沿って嵌合孔１６が穿設され、上記下部
材１５の上面の幅方向中央部分には上記嵌合孔１６に嵌
合する凸部１７が形成されている。
には長手方向に沿って嵌合孔１６が穿設され、上記下部
材１５の上面の幅方向中央部分には上記嵌合孔１６に嵌
合する凸部１７が形成されている。
【００１５】上記下部材１５の凸部１７が形成された幅
方向中央部分には、一端を上面に開口させ、他端を下面
に開口させた空間部１８が長手方向に沿って形成されて
いる。この空間部１８の断面形状は、一端（上端）から
他端（下端）にゆくにつれて幅寸法が小さくなるテ−パ
状をなしていて、その下端開口は狭幅なノズル口１９と
なっている。
方向中央部分には、一端を上面に開口させ、他端を下面
に開口させた空間部１８が長手方向に沿って形成されて
いる。この空間部１８の断面形状は、一端（上端）から
他端（下端）にゆくにつれて幅寸法が小さくなるテ−パ
状をなしていて、その下端開口は狭幅なノズル口１９と
なっている。
【００１６】上記空間部１８の開口した上端はタンタ
ル、チタンあるいはそれらの合金などによって矩形板状
に形成された振動板２１によって液密に閉塞されてい
る。つまり、この振動板２１は、その下面周辺部が所定
の厚さを有する枠状の第２のシ−ル材２２を介して上記
上部材１３の凹部１２の内底面に接合されている。
ル、チタンあるいはそれらの合金などによって矩形板状
に形成された振動板２１によって液密に閉塞されてい
る。つまり、この振動板２１は、その下面周辺部が所定
の厚さを有する枠状の第２のシ−ル材２２を介して上記
上部材１３の凹部１２の内底面に接合されている。
【００１７】上記振動板２１の上面には同じく枠状の押
え板２３が接合され、上記上部材１３にねじ２０によっ
て固定されている。それによって、上記空間部１８の上
端開口は液密に閉塞されている。
え板２３が接合され、上記上部材１３にねじ２０によっ
て固定されている。それによって、上記空間部１８の上
端開口は液密に閉塞されている。
【００１８】上記振動板２１の上面の幅方向中央部分、
つまり上記空間部１８と対応する部位には振動子２４が
上記振動板２１の長手方向に沿って取着されている。上
記振動板２１の上方には給電板２５が上記押え板２３に
保持部材２６を介して取り付けられている。この給電板
２５には上記振動子２４と弾性的に接触した板ばね状の
接触子２７が設けられている。
つまり上記空間部１８と対応する部位には振動子２４が
上記振動板２１の長手方向に沿って取着されている。上
記振動板２１の上方には給電板２５が上記押え板２３に
保持部材２６を介して取り付けられている。この給電板
２５には上記振動子２４と弾性的に接触した板ばね状の
接触子２７が設けられている。
【００１９】上記給電板２５にはコイル２８が一端（下
端）を電気的に接続して設けられている。このコイル２
８の他端（上端側）には電極２９がスライド自在かつ任
意のスライド位置で固定可能に設けられている。
端）を電気的に接続して設けられている。このコイル２
８の他端（上端側）には電極２９がスライド自在かつ任
意のスライド位置で固定可能に設けられている。
【００２０】上記振動子２４の他方の電極は振動板２１
を介して押え板２３に導通し、この押え板２３には上記
同軸ケ−ブル３０の第２のケ−ブル３０ｂの一端が接続
されている。これらケ−ブル３０ａ、３０ｂの他端は上
記振動子２４を駆動して超音波振動させる超音波発振器
３１に接続されている。また、装置本体１１には、第１
のケ−ブル３０ａと第２のケ−ブル３０ｂとの間に接続
された可変コンデサン３２が設けられ、図１に示すよう
に上記振動子２４を超音波振動させるためのマッチング
回路３３を形成している。つまり、マッチング回路３３
と超音波発振器３１とは同軸ケ−ブル３０によって接続
されている。
を介して押え板２３に導通し、この押え板２３には上記
同軸ケ−ブル３０の第２のケ−ブル３０ｂの一端が接続
されている。これらケ−ブル３０ａ、３０ｂの他端は上
記振動子２４を駆動して超音波振動させる超音波発振器
３１に接続されている。また、装置本体１１には、第１
のケ−ブル３０ａと第２のケ−ブル３０ｂとの間に接続
された可変コンデサン３２が設けられ、図１に示すよう
に上記振動子２４を超音波振動させるためのマッチング
回路３３を形成している。つまり、マッチング回路３３
と超音波発振器３１とは同軸ケ−ブル３０によって接続
されている。
【００２１】したがって、上記電極２９をスライドさせ
て上記マッチング回路３３におけるコイル２８のインダ
クタンスを調整したり、可変コンデンサ３２のリアクタ
ンスを調整することで、超音波発振器３１と振動子２４
とのインピ−ダンスマッチングをとることができるよう
になっている。
て上記マッチング回路３３におけるコイル２８のインダ
クタンスを調整したり、可変コンデンサ３２のリアクタ
ンスを調整することで、超音波発振器３１と振動子２４
とのインピ−ダンスマッチングをとることができるよう
になっている。
【００２２】上記装置本体１１の下部材１５には、上記
空間部１８の幅方向両側に位置する一対の供給路３４が
長手方向に貫通して形成されている。この供給路３４の
両端には図示しない供給源が同じく図示しないチュ−ブ
を介して接続され、純水や薬液などの洗浄液を供給する
ようになっている。
空間部１８の幅方向両側に位置する一対の供給路３４が
長手方向に貫通して形成されている。この供給路３４の
両端には図示しない供給源が同じく図示しないチュ−ブ
を介して接続され、純水や薬液などの洗浄液を供給する
ようになっている。
【００２３】一対の供給路３４にはそれぞれ複数の噴出
路３５（１つだけ図示）が一端を連通させて設けられて
いる。つまり、噴出路３５は上記装置本体１１の上部材
１３と下部材１５との接合する部分に形成されていて、
他端を上記上部材１３の凹部１２の内底面の上記振動板
２１によって覆われた部分、つまり上記空間部１８の上
端側に連通するよう開口させている。上記噴出路３５は
上記空間部１８の幅方向一側と他側において、装置本体
１の長手方向に沿って所定間隔で複数形成されている。
路３５（１つだけ図示）が一端を連通させて設けられて
いる。つまり、噴出路３５は上記装置本体１１の上部材
１３と下部材１５との接合する部分に形成されていて、
他端を上記上部材１３の凹部１２の内底面の上記振動板
２１によって覆われた部分、つまり上記空間部１８の上
端側に連通するよう開口させている。上記噴出路３５は
上記空間部１８の幅方向一側と他側において、装置本体
１の長手方向に沿って所定間隔で複数形成されている。
【００２４】上記超音波発振器３１は図１に示すように
周波数シセサイザ４１を有する。この周波数シンセサイ
ザ４１からは所定の周波数の電力が出力されるようにな
っていて、その周波数はＣＰＵ４２によって制御され
る。この実施形態では、上記周波数シンセサイザ４１か
らの周波数は、第１の周波数である1590ｋＨｚ、第２の
周波数である1600ｋＨｚ、第３の周波数である1610ｋＨ
ｚに変換制御されるようになっている。すなわち、上記
ＣＰＵ４２は上記周波数シンセサイザ４１から出力され
る電力の周波数を所定時間ごとに上記第１乃至第３の周
波数に順次変換するようになっている。
周波数シセサイザ４１を有する。この周波数シンセサイ
ザ４１からは所定の周波数の電力が出力されるようにな
っていて、その周波数はＣＰＵ４２によって制御され
る。この実施形態では、上記周波数シンセサイザ４１か
らの周波数は、第１の周波数である1590ｋＨｚ、第２の
周波数である1600ｋＨｚ、第３の周波数である1610ｋＨ
ｚに変換制御されるようになっている。すなわち、上記
ＣＰＵ４２は上記周波数シンセサイザ４１から出力され
る電力の周波数を所定時間ごとに上記第１乃至第３の周
波数に順次変換するようになっている。
【００２５】上記周波数シンセサイザ４１から出力され
た所定周波数の電力は、高周波パワ−アンプ４３で増幅
され、抵抗５０Ωの同軸ケ−ブル３０の電圧、電流をモ
ニタするＣＭカップラ−（通過形電力計）４４で出力が
モニタ−されて上記マッチング回路３３へ出力される。
た所定周波数の電力は、高周波パワ−アンプ４３で増幅
され、抵抗５０Ωの同軸ケ−ブル３０の電圧、電流をモ
ニタするＣＭカップラ−（通過形電力計）４４で出力が
モニタ−されて上記マッチング回路３３へ出力される。
【００２６】ところで、ＣＭカップラ−４４から出力さ
れる進行電圧Ｖｆは２乗回路５１に出力される。この２
乗回路５１において、進行電圧Ｖｆが２乗される。つま
り、Ｖｆ2 が演算される。この２乗回路５１の出力側に
は、ロ−パスフィルタ５２を介してメ−タ５３が接続さ
れている。このメ−タ５３には、振動子２４に供給され
る電力が表示される。
れる進行電圧Ｖｆは２乗回路５１に出力される。この２
乗回路５１において、進行電圧Ｖｆが２乗される。つま
り、Ｖｆ2 が演算される。この２乗回路５１の出力側に
は、ロ−パスフィルタ５２を介してメ−タ５３が接続さ
れている。このメ−タ５３には、振動子２４に供給され
る電力が表示される。
【００２７】上記ＣＭカップラ−４４は以下のような原
理によって上記超音波発振器３１と振動子２４とのマッ
チングをチェックできる。つまり、測定された電圧をＣ
分圧で同位相で分圧Ｖv とする。相互誘導Ｍ結合で２次
回路ショ−ト条件、つまりカレントトランスで十分低い
抵抗に２次電流を流すことにより、電流と同位相の電圧
Ｖi を作る。そして、マッチングをチェックする場合に
は、Ｖv −Ｖi が０になったかどうかによって判定す
る。つまり、Ｖ／Ｉ＝５０Ωで位相が一致していること
がマッチングしているということになる。
理によって上記超音波発振器３１と振動子２４とのマッ
チングをチェックできる。つまり、測定された電圧をＣ
分圧で同位相で分圧Ｖv とする。相互誘導Ｍ結合で２次
回路ショ−ト条件、つまりカレントトランスで十分低い
抵抗に２次電流を流すことにより、電流と同位相の電圧
Ｖi を作る。そして、マッチングをチェックする場合に
は、Ｖv −Ｖi が０になったかどうかによって判定す
る。つまり、Ｖ／Ｉ＝５０Ωで位相が一致していること
がマッチングしているということになる。
【００２８】つぎに、上記構成の超音波洗浄装置を使用
する場合について説明する。まず、上記構成の超音波洗
浄装置を実際に使用するに先立って振動子２４を効率よ
く振動させるために、超音波発振器３１と振動子２４と
のインピ−ダンスマッチングをとる。すなわち、超音波
発振器３１を作動させ、振動子２４を超音波発振させる
とともに、そのときに上記超音波発振器３１と振動子２
４とのインピ−ダンスマッチングがとれているか否やか
をＣＭカップラ−４４によって測定する。
する場合について説明する。まず、上記構成の超音波洗
浄装置を実際に使用するに先立って振動子２４を効率よ
く振動させるために、超音波発振器３１と振動子２４と
のインピ−ダンスマッチングをとる。すなわち、超音波
発振器３１を作動させ、振動子２４を超音波発振させる
とともに、そのときに上記超音波発振器３１と振動子２
４とのインピ−ダンスマッチングがとれているか否やか
をＣＭカップラ−４４によって測定する。
【００２９】マッチングが取れていない場合には、コイ
ル２８の巻線に設けられた電極２９をその巻線に沿って
スライドさせてマッチング回路３３におけるインダクタ
ンスを調整するとともに、可変コンデンサ３２を調整し
て同じくマッチング回路３３におけるリアクタンスを調
整し、上記超音波発振器３１と振動子２４とのインピ−
ダンスをマッチングさせる。
ル２８の巻線に設けられた電極２９をその巻線に沿って
スライドさせてマッチング回路３３におけるインダクタ
ンスを調整するとともに、可変コンデンサ３２を調整し
て同じくマッチング回路３３におけるリアクタンスを調
整し、上記超音波発振器３１と振動子２４とのインピ−
ダンスをマッチングさせる。
【００３０】ところで、ＣＭカップラ−４４で測定され
た進行電圧Ｖｆはアナログ演算回路としての２乗回路５
１に入力される。この２乗回路５１の出力はロ−パスフ
ィルタ５２を介して平均がとられた後、メ−タ５３に出
力される。つまり、ＣＭカップラ−４４で測定された進
行電圧Ｖｆの２乗平均により、メ−タ５３が駆動され
る。
た進行電圧Ｖｆはアナログ演算回路としての２乗回路５
１に入力される。この２乗回路５１の出力はロ−パスフ
ィルタ５２を介して平均がとられた後、メ−タ５３に出
力される。つまり、ＣＭカップラ−４４で測定された進
行電圧Ｖｆの２乗平均により、メ−タ５３が駆動され
る。
【００３１】このように、進行電圧Ｖｆの２乗平均によ
りメ−タ５３が駆動されるので、図３に示すように、メ
−タ５３の目盛りは、均等に割り付けることができる。
つまり、電圧を瞬間瞬間で２乗してから平均するので、 電力Ｐave ＝数２ となり、電力のディメンジョンとなるなるため、リニア
な目盛りとなる。
りメ−タ５３が駆動されるので、図３に示すように、メ
−タ５３の目盛りは、均等に割り付けることができる。
つまり、電圧を瞬間瞬間で２乗してから平均するので、 電力Ｐave ＝数２ となり、電力のディメンジョンとなるなるため、リニア
な目盛りとなる。
【００３２】
【数２】
【００３３】つまり、進行電圧Ｖｆの２乗平均によりメ
−タ５３を駆動するようにしたので、振動子２４に供給
される高周波電圧が不連続なものであっても、メ−タ５
３に入力される信号はリニアになるので、メ−タ５３の
目盛りを均等に割り付けることができる。
−タ５３を駆動するようにしたので、振動子２４に供給
される高周波電圧が不連続なものであっても、メ−タ５
３に入力される信号はリニアになるので、メ−タ５３の
目盛りを均等に割り付けることができる。
【００３４】
【発明の効果】請求項１及び請求項２記載の発明によれ
ば、超音波を発生する振動子に入力する高周波電圧が不
連続であっても、高周波電圧の２乗平均をとってメ−タ
を駆動するようにしたので、メ−タの目盛りをリニアに
割り付けることができる。
ば、超音波を発生する振動子に入力する高周波電圧が不
連続であっても、高周波電圧の２乗平均をとってメ−タ
を駆動するようにしたので、メ−タの目盛りをリニアに
割り付けることができる。
【図１】本発明の一実施の形態に係わる超音波洗浄装置
に用いられる電気回路図。
に用いられる電気回路図。
【図２】同実施の形態に係わる超音波洗浄装置の概略構
成図。
成図。
【図３】同実施の形態に係わるメ−タの目盛りを示す
図。
図。
【図４】ＶＳＷＲ検出器を示す図。
【図５】従来の電力計の目盛りを示す図。
装置本体、２１…振動板、２４…振動子、２８…コイ
ル、４１…周波数シンセサイザ、５１…２乗回路、５２
…ロ−パスフィルタ、５３…メ−タ。
ル、４１…周波数シンセサイザ、５１…２乗回路、５２
…ロ−パスフィルタ、５３…メ−タ。
Claims (2)
- 【請求項１】 洗浄液に超音波振動を付与して被洗浄物
を洗浄するための超音波洗浄装置において、 洗浄液が供給される装置本体と、 この装置本体に設けられた振動板に取り付けられた振動
子と、 この振動子と電気的に接続されこの振動子を駆動して超
音波振動させる超音波発振器と、 この超音波発振器と上記振動子との間に設けられ、この
振動子と上記超音波発振器とのインピ−ダンスマッチン
グ回路と、 この振動子に入射される電圧を計測する入射電圧計測手
段と、 この入射電圧計測手段で計測された入射電圧を２乗平均
する２乗平均手段と、 この２乗平均手段で２乗平均された電圧を表示するメ−
タとを具備したことを特徴とする電力表示メ−タ付き超
音波洗浄装置。 - 【請求項２】 上記２乗平均手段は、入力される不連続
電圧を２乗する２乗回路と、この２乗回路の出力を平均
するロ−パスフィルタとを具備したことを特徴とする請
求項１記載の電力表示メ−タ付き超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34369696A JPH10189520A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 電力表示メ−タ付き超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34369696A JPH10189520A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 電力表示メ−タ付き超音波洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10189520A true JPH10189520A (ja) | 1998-07-21 |
Family
ID=18363554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34369696A Pending JPH10189520A (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 電力表示メ−タ付き超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10189520A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6954021B2 (en) * | 2002-07-12 | 2005-10-11 | Applied Materials, Inc. | Matching circuit for megasonic transducer device |
-
1996
- 1996-12-24 JP JP34369696A patent/JPH10189520A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6954021B2 (en) * | 2002-07-12 | 2005-10-11 | Applied Materials, Inc. | Matching circuit for megasonic transducer device |
| US7190103B2 (en) | 2002-07-12 | 2007-03-13 | Applied Materials, Inc. | Matching circuit for megasonic transducer device |
| US7586235B2 (en) | 2002-07-12 | 2009-09-08 | Applied Materials, Inc. | Matching circuit for megasonic transducer device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3343775B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPS6353422A (ja) | ガスの質量流量を測定するための方法および装置 | |
| JPS5940141A (ja) | 氷等の付着の検出装置 | |
| JPH10189520A (ja) | 電力表示メ−タ付き超音波洗浄装置 | |
| JP4990439B2 (ja) | 超音波発振装置及び超音波発振方法、洗浄装置及び洗浄方法 | |
| JPH10180204A (ja) | 超音波洗浄装置及び駆動方法 | |
| JPH10180203A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPH10180202A (ja) | 超音波洗浄装置及び振動子の劣化検知方法 | |
| JP3974678B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2008256519A (ja) | 多点水晶温度測定装置 | |
| JP2002243607A (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
| JP3810518B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| US8033169B2 (en) | Device and method for qualitative determination of the cavitation energy of ultrasound in containers | |
| JPH0618577A (ja) | 水晶振動子のｑ値測定装置 | |
| JP3725195B2 (ja) | Ｑｃｍ用水晶基板及びｑｃｍ用水晶基板の重量変化測定方法 | |
| JP2893391B2 (ja) | プラズマパラメータ測定装置 | |
| JP3942420B2 (ja) | 音圧モニタ | |
| JP2001246319A (ja) | 超音波発振装置及び超音波発振方法 | |
| JP3352423B2 (ja) | 水晶振動子測定装置 | |
| JP5356148B2 (ja) | プローバー装置及び検査方法 | |
| JP2791257B2 (ja) | 超音波洗浄の評価方法およびその装置 | |
| KR20190024310A (ko) | 미소 부피 액체용 점성 측정 장치 및 방법 | |
| JP2002170812A (ja) | プラズマエッチングの終点検出方法および装置、並びにプラズマエッチング装置 | |
| Xiong et al. | 5.4 MHz dog-bone oscillating AFM probe with thermal actuation and piezoresistive detection | |
| JP2001246338A (ja) | 超音波処理方法及びその装置 |