JPH10184940A - 間欠開放弁 - Google Patents

間欠開放弁

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JPH10184940A
JPH10184940A JP35468596A JP35468596A JPH10184940A JP H10184940 A JPH10184940 A JP H10184940A JP 35468596 A JP35468596 A JP 35468596A JP 35468596 A JP35468596 A JP 35468596A JP H10184940 A JPH10184940 A JP H10184940A
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JP
Japan
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fluid passage
pressure air
positive pressure
speed
rotating disk
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Application number
JP35468596A
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English (en)
Inventor
Koji Morita
浩司 森田
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 エアー等の流体を間欠的に供給する間欠開放
弁であって、高速動作が可能であると共に耐久性に優れ
た間欠開放弁を提供することを課題とする。 【解決手段】 流体通路6、7が形成されたブロック体
2と、該ブロック体にその流体通路を遮るように介挿さ
れた回転円板3と、回転円板を回転させる駆動源4とか
ら成り、回転円板には上記流体通路を横切る部位に連通
孔8a、8bが形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は新規な間欠開放弁に
関する。詳しくは、エアー等の流体を間欠的に供給する
間欠開放弁であって、高速動作が可能であると共に耐久
性に優れた間欠開放弁を提供する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】流体を間欠的に供給して動作する装置が
ある。
【0003】例えば、バルクカセットと称されるチップ
部品供給装置がそれである。
【0004】バルクカセットはチップ部品をプリント基
板に装着する高速チップ部品装着装置における部品供給
装置に使用され、チップ部品の供給を受けてそれをプリ
ント基板に装着する高速チップ部品装着装置に対してチ
ップ部品の供給をする都度正圧エアーの供給を受け、該
正圧エアーによってチップ部品を所定の部品供給部に供
給するようになっている。
【0005】そのため、バルクカセットにはその部品供
給部にチップ部品を提供するタイミングに合わせて正圧
エアーを供給する必要がある。
【0006】そこで、従来にあっては、正圧エアー供給
源とバルクカセットの正圧エアー供給口との間の正圧エ
アー経路内に電磁弁を介挿し、所定のタイミングに合わ
せて電磁弁を開放してバルクカセットに間欠的に正圧エ
アーを供給するようにしていた。
【0007】電磁弁は、電圧を印加することにより作動
するので、高速チップ部品装着装置の動作をコントロー
ルする制御装置から動作タイミングに合わせて電圧を印
加することにより必要なタイミングで必要な正圧エアー
をバルクカセットに供給することができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、電磁弁は内
部に摩擦する箇所が存在するため、劣化させずに半永久
的に使用することは不可能である。そして、電磁弁の長
時間の使用による劣化は、動作に応答遅れを生じさせ易
く、該応答遅れにより正圧エアーの供給が不安定とな
り、確実なチップ部品の供給が損なわれ、高速チップ部
品装着装置全体の稼働率を低下させる原因となる。
【0009】また、高速チップ部品装着装置が高速化す
るうちで、単位時間当りの電磁弁の動作頻度が増加し、
このため、電磁弁の寿命が短命化する傾向にある。
【0010】そこで、本発明は、エアー等の流体を間欠
的に供給する間欠開放弁であって、高速動作が可能であ
ると共に耐久性に優れた間欠開放弁を提供することを課
題とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明間欠開放弁は、上
記した課題を解決するために、流体通路が形成されたブ
ロック体と、該ブロック体にその流体通路を遮るように
介挿された回転円板と、回転円板を回転させる駆動源と
から成り、回転円板には上記流体通路を横切る部位に連
通孔が形成されているものである。
【0012】従って、本発明間欠開放弁にあっては、高
速動作が可能であると共に摩擦箇所が少なく、耐久性に
優れている。
【0013】
【発明の実施の形態】以下に、本発明間欠開放弁の実施
の形態を図示した実施例に従って詳細に説明する。
【0014】間欠開放弁1は、その主体を為すブロック
体2と、回転円板3と、回転円板3を回転駆動するAC
サーボモータ4とから成る。
【0015】ブロック体2は適当な剛体ブロック、例え
ば、金属ブロックから成り、側面に開口したスリット5
を有する。そして、該スリット5の上方(説明の便宜上
図1における上方を上方、下方を下方として説明す
る。)にブロック体2の上面とスリット5の上面との間
に貫設された供給側流体通路6が、また、スリット5の
下方にブロック体2の下面とスリット5の下面との間に
貫設された排出側流体通路7が形成され、供給側流体通
路6の下端と排出側流体通路7の上端とは上下で対向し
た状態とされている。
【0016】回転円板3はその中心がACサーボモータ
4の回転軸4aに固定され、その一部が上記ブロック体
2のスリット5内に位置するように配置されている。そ
して、回転円板3のスリット5内に位置する部分には連
通孔8a、8bが形成されている。
【0017】連通孔8a、8bは同一の円周上に位置し
ており、そして、回転円板3の回転によって上記供給側
流体通路6と排出側流体通路7との間を通過するように
なっている。そして、図示した実施例では、図2で良く
分かるように、連通孔8aは原点Sから150゜から1
80゜の角度範囲に、また、連通孔8bは原点Sから3
20゜から340゜の角度範囲に形成されている。
【0018】スリット5内において回転円板3とブロッ
ク体2との間に介挿されるようにシール材9がブロック
体2に固着されている。これによって、回転円板3とブ
ロック体2との間からエアー漏れが生じることの無いよ
うにされている。尚、シール材9にはそれぞれ供給側流
体通路6、排出側流体通路7に連通した開口9a、9b
が形成されている。
【0019】しかして、上記間欠開放弁1は次のように
動作する。
【0020】例えば、供給側流体通路6を正圧エアーの
供給源に接続して、供給側流体通路6に正圧エアーが供
給されている状態としておく。回転円板3の原点Sがシ
ール材9の開口9a、9bに対向している状態では正圧
エアーは回転円板3によって遮断されており、排出側流
体通路7には正圧エアーの圧力は生じない。
【0021】そして、ACサーボモータ4が駆動されて
回転円板3が図2に矢印で示す方向に回転すると、その
連通孔8a、8bが開口9a、9bと対向している間
(図3参照)正圧エアーが供給側流体通路6から排出側
流体通路7へと流れ、排出側流体通路7に正圧エアーの
圧力が生じる(図4参照)。
【0022】次に、本発明にかかる間欠開放弁1の具体
的使用例をバルクカセットへの使用を例にして説明す
る。
【0023】先ず、バルクカセットとそれが使用される
高速チップ部品装着機の概要を説明する。
【0024】プリント基板にチップ部品を実装する高速
チップ部品装着機10はそのほぼ中央部にバルク化され
た、即ち、荷造りされていない状態のチップ部品をプリ
ント基板に装着する部品供給装置11を備えている。
【0025】部品供給装置11には移動ベース12が備
えられ、該移動ベース12には多数のバルクカセット1
3、13、・・・が移動ベース12の移動方向に配列さ
れている。
【0026】バルクカセット13は既知のものであり、
その前端部の図示しない係合部が移動ベース12の前端
部に係合されると共にその後端部に設けられたクランプ
爪14がクランプレバー15の操作によって移動ベース
12の後端部に係合されて、移動ベース12に取り付け
られる。
【0027】部品収容部16は透明な薄いケース体とし
て形成され、その前端部に図示しない開口部が設けら
れ、該開口部は図示しないシャッターにより開閉される
ようになっている。そして、部品収容部16内にはチッ
プ部品17、17、・・・が多数収容されている。
【0028】上記部品収容部16は上記バルクカセット
13の部品収容部装着部18に取り付けられ、そして、
シャッターがスライドされて開口部が開口される。この
ようにして、部品収容部16がバルクカセット13にセ
ッティングされる。
【0029】正圧エアー供給口19がバルクカセット1
3の上端面前寄りの位置に開口されており、該正圧エア
ー供給口19からバルクカセット13の内部に向かって
延びるエアー供給路20が形成されている(図8参
照)。そして、エアー供給路20の先端は2つに分岐さ
れ、その一方は部品一時保管部21の部品入口部22側
へ向かって開口した部品かくはん用ノズル23に接続さ
れ、他方は部品移送路24に部品入口部22の反対側に
向かって開口した部品移送用ノズル25に接続されてい
る。
【0030】しかして、部品収容部16からのチップ部
品17、17、・・・の取出は、以下のようにして為さ
れる。
【0031】部品収容部16のシャッターがスライドさ
れて開口部が開口されると、部品収容部16内に収納さ
れていたチップ部品17、17、・・・がバルクカセッ
ト13内に設けられた部品一時保管部21に供給され、
該チップ部品17、17、・・・の先端部が自重により
部品入口部22に達する。
【0032】次に、バルクカセット13に設けられたフ
ィードレバー26が図示しない押圧レバーにより押圧さ
れると共に、後述する正圧エアー供給装置から正圧エア
ーが正圧エアー供給口19に供給され、該正圧エアーは
エアー供給路20を通って上記2つのノズル、即ち、部
品かくはん用ノズル23及び部品移送用ノズル25から
噴射される。
【0033】部品かくはん用ノズル23から噴射された
正圧エアーによって部品入口部22付近に固まっていた
チップ部品17、17、・・・が吹き上げられ、そし
て、自重によって部品入口部22付近に落下し、そのう
ちの一つが部品入口部22から部品移送路24内に落下
していく。部品移送路24内に落下したチップ部品17
は部品移送用ノズル25から噴射された正圧エアーによ
って部品供給部27まで送られる。
【0034】部品供給部27に送られたチップ部品17
は吸着ノズル28により吸着され、そして、再度フィー
ドレバー26が押圧されると共に正圧エアー供給装置か
ら正圧エアーが正圧エアー供給口19に供給され、次の
チップ部品17が部品供給部27に送られる。そして、
このような一連の動作が間欠的に為される。
【0035】そして、上述したようにバルクカセット1
3に間欠的に正圧エアーを供給する正圧エアー供給装置
に上記した間欠開放弁1が使用される。
【0036】図9は正圧エアー供給装置29を概略的に
示すものである。
【0037】正圧エアー供給ブロック30が設けられ、
該正圧エアー供給ブロック30を介して正圧エアーがバ
ルクカセット13の正圧エアー供給口19に供給され
る。そして、高速チップ部品装着機10に設けられた正
圧エアー供給源31と正圧エアー供給ブロック30とが
エアー経路32によって結ばれ、該エアー経路32中に
上記間欠開放弁1が介挿される。そして、間欠開放弁1
のACサーボモータ4は高速チップ部品装着機10の全
体の制御を司る中央演算装置(CPU)33によってそ
の動作を制御されるようになっている。尚、間欠開放弁
1の供給側流体通路6と正圧エアー供給源31との間の
エアー経路32には圧力調整弁34が設けられ、間欠開
放弁1に供給される正圧エアーの圧力を一定の値に保つ
ようになっている。
【0038】しかして、上記正圧エアー供給装置29に
あっては、間欠開放弁1のACサーボモータ4がCPU
33の指令に基づいて駆動され、それによって回転円板
3が1回転する間に回転円板3に設けられた連通孔8
a、8bが順次に間隔をあけて供給側流体通路6と排出
側流体通路7との間に位置し、その間に正圧エアーが正
圧エアー供給ブロック30を介してバルクカセット13
の正圧エアー供給口19に供給される。
【0039】次に、正圧エアーをバルクカセット13に
供給するタイミングの制御について、高速チップ部品装
着装置10の動作との関連で説明する。
【0040】図10は高速チップ部品装着装置10の吸
着ノズル28の周辺を上方から見たものである。また、
図11は高速チップ部品装着装置10の本体上部の内部
を斜視したものである。更に、図12は高速チップ部品
装着装置10の吸着部を斜視したものである。更にま
た、図13は高速チップ部品装着装置10の装着部を斜
視したものである。これらの他、高速チップ部品装着装
置10には、吸着ノズル28をチップ部品17のプリン
ト基板35への装着方向に回動させる機構、該回動した
吸着ノズル28をそれ自身の回動原点に復帰させる機構
等、多くの機構を有するが、本発明に係る間欠開放弁1
とは直接の関連がないので図示及び説明を省略する。
【0041】先ず、図10を参照して高速チップ部品装
着装置10のロータリーヘッド36について説明する。
【0042】高速チップ部品装着装置10はその中央部
にロータリーヘッド36を有している。該ロータリーヘ
ッド36は上方から見て時計回り方向にのみ回転可能で
あり、その周縁部に複数の吸着ノズル28、28、・・
・を有する吸着ノズルユニット37、37、・・・を周
方向に等間隔に10個有している。そして、該ロータリ
ーヘッド36は円周を10分割した10個のステーショ
ン位置38、38、・・・を有する。
【0043】吸着ステーション38aに位置している吸
着ノズルユニット37に付属する吸着ノズル28がバル
クカセット13により供給された(上記部品供給部27
に位置された)チップ部品17を吸着すると、ロータリ
ーヘッド36が時計回り方向に回転して、チップ部品1
7を保持した吸着ノズルユニット37は認識ステーショ
ン38bへと移動する。
【0044】認識ステーション38bにおいては、吸着
ノズル28が吸着しているチップ部品17の視覚認識が
行われ、該視覚認識が終了すると、ロータリーヘッド3
6が更に時計回り方向に回転して、視覚認識が終了した
チップ部品17を保持した吸着ノズルユニット37は装
着ステーション38cへと向かう。
【0045】そして、装着ステーション38cにおいて
は、吸着ノズル28に吸着されているチップ部品17が
プリント基板35に装着される。
【0046】次に、図11を参照して高速チップ部品装
着装置10の駆動部について説明する。
【0047】高速チップ部品装着装置10はその駆動部
分を全て動作させる動力源であるメインモータ39を有
する。該メインモータ39は既知のサーボモータであ
り、該メインモータ39の出力軸39aとウォーム減速
機40の入力軸40aとに駆動ベルト41が架け渡され
ている。ウォーム減速機40の出力軸40bと後側カム
軸42とに駆動ベルト43が架け渡されている。また、
ウォーム減速機40の出力軸40bはカップリング44
を介してインデックスユニット45の入力動力として使
用され、更に、前側カム軸46との間に駆動ベルト47
が架け渡されている。
【0048】このような構成により、メインモータ39
がある一定回転数回転すると、後側カム軸42及び前側
カム軸46が共に1回転し、インデックスユニット45
の出力軸が360゜を10分割した角度、即ち、36゜
だけ回転するようになっている。
【0049】そして、インデックスユニット45の出力
軸が上記角度(36゜)回転する間に、間欠開放弁1の
回転円板3が1回転するように、ACサーボモータ4が
CPU33によって制御される。
【0050】尚、メインモータ39の単位時間当りの回
転数と間欠開放弁1のACサーボモータ4の単位時間当
りの回転数とは一致しない。何故ならば、メインモータ
39はウォーム減速機40を介してインデックスユニッ
ト45に接続されており、従って、ACサーボモータ4
の単位時間当りの回転数よりメインモータ39の単位時
間当りの回転数の方が大きくなっている。
【0051】上記ウォーム減速機40の補助入力軸40
cには手動回転ノブ48が接続されており、メインモー
タ39の電源が切断された場合、即ち、サーボが切断さ
れた状態のとき、ウォーム減速機40を手動回転ノブ4
8を操作して手動にて回転させることにより、前側カム
軸46、後側カム軸42及びインデックスユニット45
の出力軸を回転させることができるようになっている。
【0052】また、後側カム軸42には補助ブレーキ4
9が伝達ベルト50を介して接続されており、メインモ
ータ39の減速に関し補助的な働きをしている。
【0053】上記インデックスユニット45の下部に
は、吸着ノズル28、28、・・・が付属したロータリ
ーヘッド36が垂設されている。該インデックスユニッ
ト45は入力軸が一定速度で回転していても、その出力
軸は間欠的に、且つ、一定角度、即ち、360゜を10
分割した角度(36゜)だけ回転する構成となってい
る。つまり、カップリング44を介して伝達される動力
は一定速度で回転しているが、インデックスユニット4
5の出力軸は間欠的に、且つ、36゜だけ回転し、これ
によってロータリーヘッド36が間欠的に36゜づつ回
転されることになる。
【0054】上記後側カム軸42及び前側カム軸46に
は、吸着カム板51、装着カム板52等多数のカム板5
3、53、・・・が設けられている。
【0055】次に、図12によって高速チップ部品装着
装置10の吸着部について説明する。
【0056】後側カム軸42に設けられた吸着カム板5
1には吸着カム受リンク54が図示しないカムフォロア
ー及びスプリングを介して圧接されている。そして、該
吸着カム受リンク54がリンク機構を介してフィードタ
イロッド55を上下方向に移動させ、該フィードタイロ
ッド55に付属するフィードブロック56を上下方向に
移動させる。また、後側カム軸42の回転によってエア
ー供給ブロック取着軸57を介して正圧エアー供給ブロ
ック30が上下方向に移動されるようになっている。
【0057】フィードタイロッド55には補助フィード
モータ58が付設され、後側カム軸42を回転させずに
フィードブロック56を動作させることができるように
なっている。
【0058】次に、図13によって高速チップ部品装着
装置10の装着部について説明する。
【0059】前側カム軸46に設けられた装着カム板5
2には図示しないカムフォロアー及びスプリングを介し
て装着カム受リンク59が圧接している。該装着カム受
リンク59がリンク機構を介して装着タイロッド60を
上下方向に移動させ、これによって、ロータリーヘッド
36に付属する吸着ノズル28が上下方向に移動され
る。
【0060】上述したように、高速チップ部品装着装置
10の駆動部分を全て動作させる動力源であるメインモ
ータ39がCPU33により制御され、そして、該CP
U33によって正圧エアー供給装置29に設けられた間
欠開放弁1のACサーボモータ4も制御され、これによ
って、高速チップ部品装着装置10の動作中における必
要なタイミングにおいて正圧エアーがバルクカセット1
3に供給されることになる。
【0061】そして、本発明にかかる上記間欠開放弁1
は高速チップ部品装着装置10の高速化に対応すること
ができる。即ち、高速チップ部品装着装置10が高速化
するということは、単位時間当りにプリント基板に装着
するチップ部品の点数が増加すると言うことであり、バ
ルクカセット13がそれだけ多くの点数のチップ部品を
供給する必要がある。単位時間当りのチップ部品の供給
点数が増加すれば、それだけ頻繁に正圧エアーをバルク
カセット13に供給する必要があり、従来の電磁弁では
磨耗箇所があり、寿命が短くなってしまうが、上記間欠
開放弁1には磨耗箇所が無く、耐久性に優れ、しかも、
正圧エアーの供給に関し高速追従性に優れ、高速チップ
部品装着装置10の高速化に対応することができる。
【0062】尚、上記間欠開放弁1において、回転円板
3に形成した連通孔8a、8bの位置を、それぞれ、原
点Sから150゜から180゜の角度範囲と320゜か
ら340゜の角度範囲としたが、これらの形成位置は任
意に変更することができる。また、その幅を変更するこ
とにより、同じ圧力の正圧エアーを供給されながら正圧
エアーの吐出量を変更することもできる。
【0063】また、上記実施例では、回転円板3に形成
する連通孔の数を2個としたが、回転円板3に形成され
る連通孔の数は任意であり、その使用目的により選択す
れば良いものである。
【0064】
【発明の効果】以上に記載したところから明らかなよう
に、本発明間欠開放弁は、流体通路が形成されたブロッ
ク体と、該ブロック体にその流体通路を遮るように介挿
された回転円板と、回転円板を回転させる駆動源とから
成り、回転円板には上記流体通路を横切る部位に連通孔
が形成されていることを特徴とする。
【0065】従って、本発明間欠開放弁にあっては、高
速動作が可能であると共に摩擦箇所が少なく、耐久性に
優れている。
【0066】また、請求項2に記載された発明にあって
は、ブロック体には上記流体通路を流体供給側と流体排
出側とに分けるスリットが形成され、回転円板は該スリ
ット内に位置され、回転円板とブロック体のスリット形
成面との間にはシール材が介在されているので、ブロッ
ク体と回転円板との間の気密性が良好である。
【0067】更に、請求項3及び請求項4に記載された
発明にあっては、回転円板を回転させる駆動源がサーボ
モータであるので、制御がし易く、複雑な機構の中に組
込んで使用することが可能である。
【0068】尚、上記実施例において示した各部の具体
的な形状及び構造は、何れも本発明を実施するに当たっ
ての具体化のほんの一例を示したものにすぎず、これら
によって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されること
があってはならないものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】図2乃至図4と共に本発明間欠開放弁の実施の
一例を示すものであり、本図は断面図である。
【図2】回転円板の拡大平面図である。
【図3】動作タイミングを示すタイムチャート図であ
る。
【図4】図3の動作タイミングに対応した供給正圧エア
ーの圧力を示すタイムチャート図である。
【図5】高速チップ部品装着装置の概要を示す斜視図で
ある。
【図6】高速チップ部品装着装置の部品供給装置の概要
を示す側面図である。
【図7】バルクカセットの概要を示す斜視図である。
【図8】バルクカセットの概要を示す断面図である。
【図9】正圧エアー供給装置の概要を示す図である。
【図10】高速チップ部品装着装置の吸着ノズルの周辺
を示す概略平面図である。
【図11】高速チップ部品装着装置の内部機構の概要を
示す斜視図である。
【図12】高速チップ部品装着装置の吸着部の概要を示
す斜視図である。
【図13】高速チップ部品装着装置の装着部の概要を示
す斜視図である。
【符号の説明】
1…間欠開放弁、2…ブロック体、3…回転円板、4…
ACサーボモータ(駆動源)、5…スリット、6…供給
側流体通路(流体通路)、7…排出側流体通路(流体通
路)、8a、8b…連通孔、9…シール材

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 流体通路が形成されたブロック体と、 該ブロック体にその流体通路を遮るように介挿された回
    転円板と、 回転円板を回転させる駆動源とから成り、 回転円板には上記流体通路を横切る部位に連通孔が形成
    されていることを特徴とする間欠開放弁。
  2. 【請求項2】 ブロック体には上記流体通路を流体供給
    側と流体排出側とに分けるスリットが形成され、 回転円板は該スリット内に位置され、 回転円板とブロック体のスリット形成面との間にはシー
    ル材が介在されていることを特徴とする請求項1に記載
    の間欠開放弁。
  3. 【請求項3】 上記駆動源がサーボモータであることを
    特徴とする請求項1に記載の間欠開放弁。
  4. 【請求項4】 上記駆動源がサーボモータであることを
    特徴とする請求項2に記載の間欠開放弁。
JP35468596A 1996-12-20 1996-12-20 間欠開放弁 Pending JPH10184940A (ja)

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JP (1) JPH10184940A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016076649A (ja) * 2014-10-08 2016-05-12 東京エレクトロン株式会社 ガス供給機構及び半導体製造装置

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JP2016076649A (ja) * 2014-10-08 2016-05-12 東京エレクトロン株式会社 ガス供給機構及び半導体製造装置

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