JPH10181845A - ロボット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 構成が簡単であり、かつ精度良好にワークを
検出して搬送可能なロボット装置を提供すること。 【解決手段】 複数の受け渡し部に対して被処理物２１
を供給、搬出するためのロボット装置２０において、内
部に駆動源２４を有する装置本体２３と、駆動源２４に
よって駆動される駆動軸２７と、この駆動軸２７に一端
を連結された基端のアーム３０ａ、この基端のアーム３
０ａの他端に一端が回動自在に連結され他端に上記被処
理物２１を保持する保持部３２が形成された先端のアー
ム３０ｃからなり、駆動軸２７の回動によって先端のア
ーム３０ｃの一端に形成された保持部３２が伸縮するア
ーム体２９と、基端のアーム３０ａと一体的に設けられ
アーム体２９が収縮した状態において保持部３２に保持
された被処理物２１を検出するセンサ３７を具備したこ
とを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は被処理物を搬送する
ロボット装置に係わり、特に被処理物を搬送する場合に
この被処理物を搬入・搬出するロボット装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造装置や液晶製造装置
においては、被処理物として半導体ウエハや液晶用ガラ
ス基板（以下、これらを総称して基板という。）に回路
パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセ
スがある。これらのプロセスでは、上記基板の処理と洗
浄とが繰り返し行われる。

【０００３】上記基板を洗浄するためには、例えばこの
基板を回転テ−ブルに保持させて洗浄を行い、そしてこ
の基板の高速回転を行う、いわゆるスピン処理装置が用
いられている。通常、上記スピン処理装置は回転テ−ブ
ルを有し、この回転テーブル上に基板を保持し、回転テ
−ブルの上面側および下面側から上記基板に向けて洗浄
液を噴射することで、上記基板を洗浄するようにしてい
る。

【０００４】上記のようなスピン処理装置に基板を搬入
したり、又は洗浄の終了した基板を上記スピン処理装置
から搬出したりする場合に、ロボット装置が設けられて
いる。このロボット装置の構成を図８に示す。

【０００５】ロボット装置１は、例えば円筒形状に形成
された装置本体２の内部に駆動源３を有する。装置本体
２の下部はベース５などに固定されて設けられている。
この装置本体２の内部には、後述するアーム体８を回転
・上下・旋回駆動させるための機構が内蔵されている。
また駆動源３の上部には、カバー４がその上部を覆うよ
うに設けられている。

【０００６】上記装置本体２の内部の駆動源３とアーム
体８とは連結されている。そのためこの装置本体２内の
駆動源３と上下・旋回機構を作動させることによって、
上記アーム体８を回転駆動させるとともに上下駆動およ
び旋回駆動をも行える構成となっている。

【０００７】このアーム体８は、例えば第１のアーム９
ａ、第２のアーム９ｂ、第３のアーム９ｃが第１の関節
１０ａ、第２の関節１０ｂを介して回動自在に連結され
た構成となっている。また第３ののアーム９ｃの先端部
には、基板１１を保持する保持部１２が設けられてい
る。

【０００８】上記カバー４の側方には、４本の支柱１３
（２本のみ図示）が上記アーム体８よりも高く立設され
ており、このそれぞれの支柱１３に基板１１を検出する
ためのセンサ１４の受光部１４ａが取り付け部材１５ａ
を介して取り付けられている。また、これら４本の支柱
１３のうちの１本には、それぞれのセンサ１４の投光部
１４ｂが、上記基板１１の上方側に位置するように支持
部材１５ｂを側方に突出させて設けており、この突出し
た先端部分には上記センサ１４の投光部１４ｂを取り付
ける円盤体１５ｃが取り付けられている。

【０００９】この受光部１４ａと投光部１４ｂとでセン
サ１４が形成され、この間を光線が通過するようになっ
ている。すなわち、このセンサ１４は、この光線の光路
に基板１１が存在せずに光線が上記受光部１４ａで受光
された場合に、この光路上には基板１１が存在しないと
認識し、またこの光線の光路に基板１１が存在して光線
が上記受光部１４ａで受光されなかった場合には、この
光路上に基板１１が存在すると認識する。

【００１０】例えば、基板１１を基板収納カセットから
搬出する場合は、アーム体８を上記旋回駆動機構により
保持部１２の先端部が収納カセットと対向する位置まで
旋回する。続いて、アーム体８を上記上下駆動機構によ
り基板収納カセットの所定の段まで上昇・下降させ、次
いでアーム体８を回転駆動させ保持部１２を基板収納カ
セット内まで進入させ、基板１１を保持部１２で保持す
る。次に、アーム体８を上記回転方向と反対に回転駆動
させ、基板収納カセットから基板１１を保持した保持部
１２を基板１１とともに後退させ、基板１１を基板収納
カセットから搬出する。この時、基板１１が確実に取り
出せたことをセンサ１４によって確認する。

【００１１】また、スピン処理装置に基板１１を搬入す
るとき、またはこのスピン処理装置から基板１１を搬出
するときは、複数の受け渡し部を設け、これにより基板
１１の受け渡しを行っている。

【００１２】つまり、このような場合にも、上記センサ
１４は、上記アーム体８の保持部１２がそれぞれ所定の
位置で基板１１を保持しているかどうかを検出する。す
なわち上記センサ１４は、上記ロボット装置１が基板１
１の受け渡しを確実に行っているかどうかを検出するよ
うになっている。

【００１３】さらに、基板１１を洗浄処理する枚葉洗浄
装置内部などでは、純水や洗浄液などを常時基板１１の
上方側から噴射して、この基板１１を乾燥させずに搬送
させる搬送ラインも存在する。このような搬送ラインに
おいても、上記と同様な構成のロボット装置１によっ
て、基板１１の搬送を行うようになっている。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ところで上記ロボット
装置１は、以下に述べる問題点を有する。すなわち上記
センサ１４は、支柱１３に受光部１４ａ、円盤体１５ｃ
に投光部１４ｂを取り付けなければならないため、この
受光部１４ａ、投光部１４ｂ間の距離が大きく、よって
これらの光軸を調整するのが難しい。またこの光軸を調
整しても、上記受光部１４ａと上記投光部１４ｂとの距
離が大きく、そのため何らかの外的作用によってこの光
軸がずれたり、これら空間部に異物が侵入して光線を遮
蔽することがあり、この場合、再び光軸を調整したり、
アーム体８の保持部１２での基板１１の保持に、誤作動
を生じるなどの問題があった。

【００１５】またこれらのセンサ１４は、上記基板収納
カセットとの間で基板１１を搬入、搬出する場合や、あ
るいは上記スピン処理装置との間で基板１１を搬入、搬
出する場合に、この基板１１の保持が確実に行われてい
るかどうかを検出するものである。そのため、それぞれ
のセンサ１４が上記支柱１３や、上記円盤体１５ｃにそ
れぞれ個別に取り付けられ、このセンサ１４の個数が多
く必要となっている。よって上記光軸の調整に手数が掛
かるとともにこのコストも非常に掛かるものとなってい
る。

【００１６】さらに、このセンサ１４を取り付けるため
には、わざわざ支柱１３および円盤体１５ｃ等を設ける
必要があり、そのためこの支柱１３が、例えば上記基板
１１を他の装置へ搬送する際に邪魔になったり、あるい
は他の装置などを取り付ける場合にスペース的な制約の
原因となるなどの欠点があり、さらに見栄えが良くない
などの問題点をも有する。

【００１７】また、これらのセンサ１４に近接する位置
には、例えば基板１１を洗浄および乾燥処理するスピン
処理装置などが設けられることがあり、そのためにこの
基板１１に水滴などが付着しやすいものとなっている。
このセンサ１４の投光部１４ｂおよび受光部１４ａにこ
れらの水滴が付着すると光線が屈折し、この場合投光部
１４ｂおよび受光部１４ａの距離が大きいために光線の
ずれが大きくなり、よって受光精度が悪化する。

【００１８】さらに、基板１１に対して常時純水や洗浄
液を噴射している搬送ラインにおいては、上記センサ１
４に水滴が付着することが多く、そのためにこのような
搬送ラインにおいては、水滴の付着による誤認識がより
一層多く発生し、そのために受光精度が悪化してしまう
といった問題が生じている。

【００１９】本発明は上記の事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、構成が簡単であり、か
つ精度良好にワークを検出して搬送可能なロボット装置
を提供しようとするものである。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、複数の受け渡し部に対して
被処理物を供給、搬出するためのロボット装置におい
て、内部に駆動源を有する装置本体と、上記駆動源によ
って駆動される駆動軸と、この駆動軸に一端を連結され
た基端のアーム、この基端のアームの他端に一端が回動
自在に連結され他端に上記基板を保持する保持部が形成
された先端のアームからなり、上記駆動軸の回動によっ
て上記先端のアームの一端に形成された上記保持部が伸
縮するアーム体と、上記基端のアームと一体的に設けら
れ上記アーム体が収縮した状態において上記保持部に保
持された被処理物を検出するセンサを具備したことを特
徴としている。

【００２１】請求項２記載の発明は、上記センサは、上
記基端のアームに取付部材を介して一体に設けたことを
特徴とする請求項１記載のロボット装置である。請求項
３記載の発明は、上記センサは、上記基端のアームと一
体的に設けられた上記装置本体を覆うカバー体に設けた
ことを特徴とする請求項１記載のロボット装置である。

【００２２】請求項４記載の発明は、複数の受け渡し部
に対して被処理物を供給、搬出するためのロボット装置
において、装置本体と、上記装置本体に取り付けられた
ホルダと、上記ホルダに対向して設けられ、投光部と受
光部を有してこの間で被処理物を検出する光センサと、
上記ホルダに形成され、上記投光部の投光面と上記受光
部の受光面に向けて気体を噴射するノズル孔と、を具備
したことを特徴としている。

【００２３】請求項５記載の発明は、上記光センサの投
光部と受光部とは、鉛直方向から所定だけ傾斜して光の
投受光を行うことを特徴とする請求項４記載のロボット
装置である。

【００２４】請求項１および請求項２記載の発明による
と、上記センサを上記基端のアームと一体に設けたの
で、上記アーム体が旋回駆動および上下駆動しても上記
センサとの相対位置関係が変わらない。よって一つのセ
ンサで、上記アーム体が収縮したときに被処理物を確実
に検出することができる。

【００２５】請求項３記載の発明によると、上記基端の
アームと一体に設けられた装置本体を覆うカバーにより
装置本体へ処理液などが侵入するのを防止することがで
きる。

【００２６】請求項４記載の発明によると、上記装置本
体にホルダが取り付けられ、投光部と受光部を有してこ
の間で被処理物を検出する光センサがホルダに対向して
設けられ、上記ホルダに上記投光部の投光面と上記受光
部の受光面に向けて気体を噴射するノズル孔が形成され
たため、この投光面および受光面に気体を噴射すること
が可能となり、そのため投光面および受光面に付着した
水滴を吹き飛ばすことが可能となる。このため、水滴の
付着による光線の屈折を防止することが可能となり、受
光精度を向上させることが可能となる。

【００２７】請求項５記載の発明によると、上記光セン
サの投光部と受光部とは、鉛直方向から所定だけ傾斜し
て光の投受光を行うため、この投光部の投光面と受光部
の受光面が傾斜して水滴が付着し難くなり、また水滴が
付着しても気体の噴射により吹き飛ばすことが容易とな
る。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて、図１ないし図４を参照しながら説明する。上記ロ
ボット装置２０は、図２に示すように、ベース２２に装
置本体２３が固定されて設けられている。この装置本体
２３は、内部に後述する基端のアーム３０ａを回転駆動
させる駆動源２４を有しており、またこの駆動源２４と
ともに、装置本体２３内部にはこの駆動源２４を内蔵す
る円筒形状のハウジング２３ａを上下駆動させる上下駆
動機構２５と旋回駆動させる旋回駆動機構２６が設けら
れている。これら駆動源２４、上下駆動機構２５および
旋回駆動機構２６が円筒形状のハウジング２３ａで覆わ
れ、上記装置本体２３を構成している。

【００２９】上記装置本体２３の上部開口からは、上記
駆動源２４に直結されている駆動軸２７が上方に突出し
て設けられている。この駆動軸２７の上端には、装置本
体２３を覆うカバー体である覆い体２８が一体的に取り
付けられている。この覆い体２８は、上記装置本体２３
のハウジング２３ａよりも大きな外径を有して形成され
ており、またこの覆い体２８の外周端部には、下方に向
かって円筒形状のスカート部２８ａが突出して一体的に
設けられている。このスカート部２８ａと上記覆い体２
８により、上記装置本体２３の外周面上部が覆い隠され
る構成となっている。

【００３０】また上記装置本体２３を中心として、ハウ
ジング２３ａの外周部に、耐薬品性の優れた樹脂等で形
成された排水槽４０が設けられている。この排水槽４０
の内部には、上記覆い体２８の内周側に、上方へ向かっ
て円筒状のスカート部４１が立設されており、処理液が
上記装置本体２３へ侵入するのを防止している。また、
排水槽４０の底部には、一つまたは複数個の排水孔４２
が設けられており、排水槽４０内の底部に溜まった処理
液をこの排水孔４２から外部へ排出するようになってい
る。

【００３１】また上記覆い体２８の回転中心部である駆
動軸２７には、連動するように設けられたアーム体２９
が連結されている。すなわち上記駆動軸２７には、基端
のアーム３０ａが一体的に連結されており、そのため上
記駆動軸２７が回転駆動されると、この基端のアーム３
０ａも同じ角度だけ回転するようになっている。

【００３２】ここで図３を用いて、基端のアーム３０
ａ、中間のアーム３０ｂおよび先端のアーム３０ｃの関
連構成を説明する。図３の実線の示す状態では、アーム
体２９が収縮した位置（原点位置）、鎖線で示す状態は
アーム体２９が伸長した位置（基板の搬出・搬入位置）
を示す。

【００３３】Ｚ１〜Ｚ４はタイミングプーリで、歯数比
がＺ１：Ｚ２：Ｚ３：Ｚ４＝２：１：１：２となってお
り、プーリＺ１は、駆動源２４の上部に設けられている
アーム駆動軸２７ａに固定され、プーリＺ２は中間のア
ーム駆動軸２７ｂに固定され、プーリＺ３は基端のアー
ム３０ａに固定され、プーリＺ４はアーム駆動軸２７ｃ
に固定された構成となっている。

【００３４】また、アーム駆動軸２７ａは基端のアーム
３０ａに、アーム駆動軸２７ｂは中間のアーム３０ｂ
に、アーム駆動軸２７ｃは先端のアーム３０ｃに固定さ
れ、ベルト１はプーリＺ１とプーリＺ２、ベルト２はプ
ーリＺ３とプーリＺ４間に掛け渡されており、各軸間距
離は同一長さである。

【００３５】ここで、駆動源２４のモータ２４ｂを作動
させ、駆動軸２７を左回りにθ回すと、基端のアーム３
０ａは駆動軸２７に固定されている為に、プーリＺ２と
Ｚ３が左にθ回り、またベルト１によりプーリＺ２は、
基端のアーム３０ａに対してθの２倍の角度右に回るこ
とになる。

【００３６】同様に、ベルト２によりプーリＺ４が中間
のアーム３０ｂに対してθと同じ角度左に回ることにな
る。つまり、駆動源２４のモータ２４ｂを作動させ、ア
ーム駆動軸２７ａを回転させて基端のアーム３０ａを回
せば、先端のアーム３０ｃに取り付けられた保持部３２
が、常に同一方向を向き、往復運動をする構成となって
いる。またこのロボット装置２０の内部若しくは外部に
は、図示されない制御手段が設けられて上記駆動源２４
ｂおよび上下駆動機構２５、旋回駆動機構２６に接続さ
れている。

【００３７】上記先端のアーム３０ｃの先端部には、被
処理物としての基板２１を保持するための保持部３２が
設けられている。この保持部３２には、板状体３２ａの
所定位置に上記基板２１の外周端部を係止する一対の係
止部３３が設けられている。この係止部３３は、弧状に
形成された内径側が低い段差部３３ａを有するように形
成されており、そのためこの段差部３３ａに基板２１の
外周端部が係合してこの基板２１がずれないように設け
られている。

【００３８】このような保持部３２に基板２１が保持さ
れたかどうかを、センサ機構３４に設けられた、例えば
フォトセンサやファイバセンサ等のようなセンサ３７で
検出する。このセンサ機構３４は、上方に延伸した支柱
３５と、この支柱３５の上部に取り付けられた一対のブ
ラケット３６ａ，３６ｂとで、上記センサ３７を取り付
けるためのホルダを形成している。すなわち、上方側に
上部ブラケット３６ａ、および下方側に下部ブラケット
３６ｂが、上記支柱３５から回転中心側に突出するよう
に取り付けられている。また、上記支柱３５は、上記ス
カート部２８ａに例えばねじなどにより固定して支持さ
れている。

【００３９】ここで、上記ロボット装置２０は、例えば
枚葉洗浄装置などのような基板２１を乾燥させず、常に
純水や処理液を上方から噴射して搬送させる搬送ライン
に設けられることがある。この場合のロボット装置２０
の構成を以下に述べる。

【００４０】図２、図４に示すように、上記一対のブラ
ケット３６ａ，３６ｂは、下部ブラケット３６ｂの方が
回転中心側に突出して設けられている。この上部ブラケ
ット３６ａの先端には、上記基板２１を検出するための
センサ３７を形成する投光部３７ａが取り付けられてお
り、また上記下部ブラケット３６ｂの先端には同じくセ
ンサ３７を形成する受光部３７ｂが取り付けられてい
る。この投光部３７ａと受光部３７ｂとが対向すること
により、光線を投光、受光できる光路が形成されてい
る。

【００４１】この投光部３７ａと受光部３７ｂの間の光
路は、鉛直方向から所定だけ傾斜して設けられている。
すなわち、ブラケット３６ａ，３６ｂは先端部が上方に
向かってく字状に屈曲形成された屈曲部３８ａ，３８ｂ
となっており、この屈曲部３８ａ，３８ｂに上記投光部
３７ａおよび受光部３７ｂを取り付けるための取付孔３
９ａ，３９ｂが形成されている。この取付孔３９ａ，３
９ｂには、側方から直交するようにねじ孔４０ａ，４０
ｂが形成されており、上記上記投光部３７ａおよび受光
部３７ｂは、取付孔３９ａ，３９ｂに嵌め込まれてねじ
孔４０ａ，４０ｂにねじをねじ込むことにより固定され
る。そのため、上記投光部３７ａの投光面４１ａと、上
記受光部３７ｂの受光面４１ｂはそれぞれ水平面に形成
されておらず、この水平面から所定角度だけ傾斜して設
けられている。

【００４２】上記下部ブラケット３６ｂの内部には、例
えばＮ₂ などの気体を導通させる導通路４２が形成され
ている。この導通路４２は、上記支柱３５の側方に一端
部として形成された導入口４３から上記屈曲部３８ｂ近
傍まで、上記下部ブラケット３６ｂ内部に水平に形成さ
れている。この導入口４２ａには、継手管４４が連結さ
れており、この継手管４４に端部がＮ₂ の供給源に連結
された供給管４５が連結されている。このような供給管
４４、継手管４５を介して上記導通路４２に気体が供給
されるようになっている。

【００４３】上記導通路４２は、屈曲部３８ｂ近傍で上
方に向かいく字状に折れ曲がって形成されており、そし
て気体の噴射口４６から気体を上記受光面４１ｂに沿わ
せて噴射させるようになっている。そのため上記受光面
４１ｂに付着した水滴を良好に吹き飛ばすことが可能と
なっている。

【００４４】また、上記投光面４１ａに付着した水滴を
気体により吹き飛ばすために、上記導通路４２より分岐
した分岐路４２ａが上記下部ブラケット３６ｂ内部に形
成されている。この分岐路４２ａは、上記投光面４１ａ
の略鉛直方向下方の位置に、上下方向に向かって連通す
るように形成されている。このため、上記分岐路４２ａ
の噴射口４６ａから気体を噴射すれば、上記投光面４１
ａに付着した水滴を吹き飛ばすことが可能となってい
る。

【００４５】なお、上記投光面４１ａおよび受光面４１
ｂに付着した水滴を吹き飛ばす構成はこれに限られず、
例えば図５に示すように上部ブラケット３６ａ内部にも
気体の導通路４２ａを形成してもよい。この場合、例え
ば図５では、上記上部ブラケット３６ａの形状が、図４
に基づいて説明した上記下部ブラケット３６ｂと基板２
１を基準として対称な構成となっており、そのため上記
基板２１に対して上方から気体を噴射する構成となる。
そのため、基板２１の上方への浮き上がりを防止するこ
とが可能となる。また、図５においては、より一層基板
２１の浮き上がりを防止するために、噴射口４６から噴
射される気体が下方へ向かって噴射されるように形成さ
れている。

【００４６】ここで、図２、図４及び図５においては、
基板２１に対して常に純水や処理液を噴射して搬送させ
る搬送ラインについて述べたが、特に基板２１に対して
純水や処理液を上方から噴射させず、したがって上記投
光部３７ａおよび受光部３７ｂに水滴の付着がほとんど
生じない場合には、図６に示すように単に投光部３７ａ
および受光部３７ｂを上部ブラケット３６ａおよび下部
ブラケット３６ｂに保持させる構成でも構わない。

【００４７】また、この投光部３７ａと受光部３７ｂの
取り付け方は、これとは逆になるように取り付けても構
わない。このセンサ３７の投光部３７ａと受光部３７ｂ
とは、上記基板２１を保持する保持部３２が通過可能な
程度の間隔に抑えられて近接対向して設けられている。

【００４８】以上のような構成のロボット装置２０の作
用について、以下に説明する。例えば図示しない他の処
理部でブラシ洗浄された基板２１を、同じく図示しない
スピン処理装置に搬送するために、上記アーム体２９を
旋回駆動させて保持部３２を図１のＡの位置から伸長さ
せ、他の処理部に上記保持部３２を差し込み上記基板２
１をこの保持部３２に保持させる。

【００４９】そして、基板２１の上方から純水や処理液
を基板２１に対して噴射させるとともに、上記噴射口４
６，４６ａから投光面４１ａおよび受光面４１ｂに気流
が生じるように気体を噴射させる。

【００５０】この後に、Ａの位置に再び保持部３２（基
板２１）が位置するように上記駆動源２４のモータ２４
ｂを作動させて、上記アーム体２９を収縮させる。収縮
させたとき、Ａの位置では基板２１を検出するセンサ３
７がＵの位置にある。このセンサ３７で基板２１の保持
を検出する。この検出の終了後にアーム体２９を伸長さ
せずに上記旋回駆動機構２６を作動させ、上記アーム体
２９に保持されている基板２１をＢの位置まで旋回させ
る。この場合、上記駆動軸２７の回転と、上記覆い体２
８およびこの覆い体２８に取り付けられたアーム体２
９、センサ３７は同じ角度だけ回転され、そのため基板
２１の検出は、旋回中および旋回後でも行えるようにな
っている。

【００５１】Ｂの位置は、上述したスピン処理装置に基
板２１を搬入・搬出するために待機する場所であり、こ
のスピン処理装置に上記基板２１を搬入・搬出する前
に、Ｓの位置にある上記センサ３７を用いて再び基板２
１の保持を検出する。この検出終了後に、駆動源２４の
モータ２４ｂを回転作動させて上記アーム体２９を伸長
作動させ、上記保持部３２をスピン処理装置上のＤの位
置まで移動させて基板２１を載置する。この場合、上記
基端のアーム３０ａが、矢印Ｖに示す向きに回動させら
れるため、上記覆い体２８に取り付けられたセンサ３７
もこの覆い体２８の回転に伴って矢印Ｗに示す向きに回
転して、Ｔの位置まで移動する。

【００５２】他の処理装置で基板２１の所定の処理が終
了した場合には、再び駆動源２４のモータ２４ｂを回転
させて上記アーム体２９を作動させて上記他の処理装置
に載置された基板２１をＤの位置で保持し、そして上記
アーム体２９を収縮作動させて、Ｂの位置で上記基板２
１の保持をＳの位置のセンサ３７で検出させる。この検
出の終了後にアーム体２９を伸長させずに上記駆動旋回
機構２４を作動させ、上記アーム体２９に保持された基
板２１がＣの位置まで回転させられる。

【００５３】この位置で再び基板２１の保持をセンサ３
７が検出し、この検出終了後に上記アーム体２９が伸長
作動して、他の処理装置または外方側に設けられた基板
収納カセット等に基板２１を搬入、搬出する。

【００５４】このようなロボット装置２０の構成による
と、上記センサ３７は上記駆動軸２７に連動して一体的
に同じ角度だけ回転駆動されるように設けられているた
め、このセンサ３７は上記駆動軸２７が駆動されて基板
２１の位置が変化しても、上記センサ３７と上記基板２
１との相対的な位置関係が変化しない。そのため、基板
２１をアーム体２９が収縮した時に検出できる状態に調
整すれば、この基板２１の検出に必要なセンサ３７の個
数が一つでも、上記アーム体２９が収縮したときに常に
この基板２１を検出することができる。よってこのセン
サ３７の個数が削減でき、コストを削減することが可能
となっている。

【００５５】また、このセンサ３７の投光部３７ａと受
光部３７ｂとの距離が短いため、これらのセンサ３７間
の光軸の調整が容易となり、手間が掛からなくなってい
る。さらに上記構成では、基板２１のサイズが変化して
もこの基板２１の有無の検出が可能となり、そのため基
板２１のサイズ変化に伴うセンサ３７の調整の必要がな
くなる。

【００５６】また上記センサ３７の投光部３７ａと受光
部３７ｂの間の距離が短く、かつ上記噴射口４６より噴
射される気体によって上記投光面４１ａおよび受光面４
１ｂに付着した水滴が吹き飛ばすことが可能となり、そ
のため基板２１の誤認識を防止することが可能となり、
受光精度が向上する。

【００５７】さらに、上記投光部３７ａと受光部３７ｂ
とが鉛直方向から所定だけ傾斜して光の投受光を行うよ
うに形成されているため、この投光面４１ａおよび受光
面ｂも傾斜して水滴が付着し難くなり、そのために受光
精度を向上させることが可能となる。

【００５８】以上、本発明の一実施の形態について説明
したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となってい
る。以下それについて述べる。上記実施の形態では、図
４に示すように上部ブラケット３６ａおよび下部ブラケ
ット３６ｂが比較的長く設けられ、この内部に気体の導
通路４２が形成された構成となっているが、図７に示す
ように上部ブラケット３６ａおよび下部ブラケット３６
ｂの長さを短く形成してこの先端部に投光部３７ａおよ
び受光部３７ｂを取り付ける構成としても良い。この場
合、導通路４２ａ，４２は支持体３５の内部で上下方向
へそれぞれ分岐して形成されており、この上記投光面４
１ａおよび受光面４１ｂに対して気体を噴射して付着し
た水滴を良好に吹き飛ばすことが可能なように上記導通
路４２，４２ａの上下方向への分岐角度が設定されてい
る。

【００５９】また上記実施の形態では、ロボット装置２
０にセンサ機構３４が用いられた例について述べたが、
上記センサ機構３４はロボット装置以外にも適用するこ
とが可能である。

【００６０】さらに、上記実施の形態ではセンサ機構３
４は上記覆い体２８に固定して取り付けられたものとな
っているが、これに限られず、例えば基端のアーム３０
ａに支持部材を介して連結された構成、あるいはベース
２２に直接取り付けられる構成であっても構わない。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１および請
求項２記載の発明によると、上記センサを上記基端のア
ームと一体に設けたので、上記アーム体が旋回駆動およ
び上下駆動しても上記センサとの相対位置関係が変わら
ない。よって一つのセンサで、上記アーム体が収縮した
ときに被処理物を確実に検出することができる。

【００６２】請求項３記載の発明によると、上記基端の
アームと一体に設けられた装置本体を覆うカバーにより
装置本体へ処理液などが侵入するのを防止することがで
きる。

【００６３】請求項４記載の発明によると、上記装置本
体にホルダが取り付けられ、投光部と受光部を有してこ
の間で被処理物を検出する光センサがホルダに対向して
設けられ、上記ホルダに上記投光部の投光面と上記受光
部の受光面に向けて気体を噴射するノズル孔が形成され
たため、この投光面および受光面に気体を噴射すること
が可能となり、そのため投光面および受光面に付着した
水滴を吹き飛ばすことが可能となる。このため、水滴の
付着による光線の屈折を防止することが可能となり、受
光精度を向上させることが可能となる。

【００６４】請求項５記載の発明によると、上記光セン
サの投光部と受光部とは、鉛直方向から所定だけ傾斜し
て光の投受光を行うため、この投光部の投光面と受光部
の受光面に水滴が付着し難くなり、また水滴が付着して
も気体の噴射により吹き飛ばすことが容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係わるロボット装置の
構成を示す平面図。

【図２】同実施の形態に係わるロボット装置の構成を示
す側面図。

【図３】同実施の形態に係わるロボット装置のアーム体
の伸縮作動を示す図。

【図４】同実施の形態に係わるロボット装置のセンサお
よびホルダ部分を示す部分拡大図。

【図５】同実施の形態に係わるロボット装置のセンサお
よびホルダ部分の一変形例を示す部分拡大図。

【図６】同実施の形態に係わるロボット装置のセンサ機
構の一変形例の構成を示す側面図。

【図７】同実施の形態に係わるロボット装置のセンサ機
構の一変形例を示す部分拡大図。

【図８】従来のロボット装置の構成を示す側面図。

【符号の説明】

２０…ロボット装置 ２１…基板 ２３…装置本体 ２８…覆い体 ２９…アーム体 ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ…基端のアーム、中間のアー
ム、先端のアーム ３２…保持部 ３４…センサ機構 ３５…支柱 ３６ａ，３６ｂ…第１のブラケット、第２のブラケット ３７…センサ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の受け渡し部に対して被処理物を供
   給、搬出するためのロボット装置において、 内部に駆動源を有する装置本体と、 上記駆動源によって駆動される駆動軸と、 この駆動軸に一端を連結された基端のアーム、この基端
   のアームの他端に一端が回動自在に連結され他端に上記
   基板を保持する保持部が形成された先端のアームからな
   り、上記駆動軸の回動によって上記先端のアームの一端
   に形成された上記保持部が伸縮するアーム体と、 上記基端のアームと一体的に設けられ上記アーム体が収
   縮した状態において上記保持部に保持された被処理物を
   検出するセンサを具備したことを特徴とするロボット装
   置。
2. 【請求項２】 上記センサは、上記基端のアームに取付
   部材を介して一体に設けたことを特徴とする請求項１記
   載のロボット装置。
3. 【請求項３】 上記センサは、上記基端のアームと一体
   的に設けられた上記装置本体を覆うカバー体に設けたこ
   とを特徴とする請求項１記載のロボット装置。
4. 【請求項４】 複数の受け渡し部に対して被処理物を供
   給、搬出するためのロボット装置において、 装置本体と、 上記装置本体に取り付けられたホルダと、 上記ホルダに対向して設けられ、投光部と受光部を有し
   てこの間で被処理物を検出する光センサと、 上記ホルダに形成され、上記投光部の投光面と上記受光
   部の受光面に向けて気体を噴射するノズル孔と、 を具備したことを特徴とするロボット装置。
5. 【請求項５】 上記光センサの投光部と受光部とは、鉛
   直方向から所定だけ傾斜して光の投受光を行うことを特
   徴とする請求項４記載のロボット装置。