JPH10180199A

JPH10180199A - 被洗浄物の洗浄方法

Info

Publication number: JPH10180199A
Application number: JP35909796A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Shirasawa; 武白沢; Junji Kondo; 純二近藤
Original assignee: Kao Corp
Current assignee: Kao Corp
Priority date: 1996-12-26
Filing date: 1996-12-26
Publication date: 1998-07-07
Anticipated expiration: 2016-12-26
Also published as: JP2995394B2

Abstract

(57)【要約】【課題】洗浄の際にはフロンや塩素系有機溶剤を必要と
せず、また板状材が束ねられた被洗浄物をばらさずにそ
のままの状態で、該被洗浄物から汚れを効率よく除去し
うる方法を提供すること。【解決手段】間隙を設けて板状面がたがいに隣接するよ
うに配置された複数枚の板状材からなる被洗浄物を洗浄
する方法であって、前記被洗浄物を水性洗浄液中に浸漬
し、ノズルから噴射された水性洗浄液が、たがいに隣接
する板状面の全面と接触するように、前記ノズルから板
状材間の間隙に水性洗浄液を噴射させることを特徴とす
る被洗浄物の洗浄方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被洗浄物の洗浄方
法に関する。さらに詳しくは、スライスしたウェハ、リ
ードフレーム等の電子部品、機械部品類等の被洗浄物の
洗浄に好適に使用しうる被洗浄物の洗浄方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】板状面が間隙を設けてたがいに隣接する
ように配置された複数枚の板状材からなる被洗浄物とし
ては、シリコーン、ガリウム・砒素、ガリウム・燐等の
半導体・結晶材料をはじめ、水晶、石英、ガラス等の電
子部品関連材料をスライスして得られたウェハーの板状
材束、金属板をスタンピングすることによって得られた
部品が積載され、板金表面に付着した加工油の表面張力
によって密着し、数μｍ〜数十μｍの間隙を有する部品
の板状材束等がある。

【０００３】これらの被洗浄物を使用するに際しては、
一般に、板状材の間隙に付着した汚れ等を取り除き、板
状材同士が密着することを避けるために板状材同士を剥
離させ、また加工時の取扱い性を向上させるために、前
記被洗浄物を洗浄している。

【０００４】前記被洗浄物は、従来、フロンＲ−１１３
に代表されるフロンや、１、１、１−トリクロロエタン
に代表される塩素系有機溶剤を用い、超音波によって洗
浄されている。

【０００５】しかしながら、大気環境保全面から、フロ
ンや塩素系有機溶剤は、その使用が規制されるようにな
ったため、これらと代替可能な洗浄剤による洗浄技術の
開発が急務とされている。

【０００６】そこで、フロンや塩素系有機溶剤を使用し
ないで、被洗浄物を洗浄することができる方法として、
板状材が束ねられたブロック状の被洗浄物を粗洗浄した
のち、該板状材をばらして単枚とし、精密に洗浄し、洗
浄後に再び集束してブロック状に束ねるという方法が提
案されている。

【０００７】しかしながら、前記方法には、板状材が束
ねられたブロック状の被洗浄物をばらした後、再度束ね
るといった煩雑な操作を必要とするのみならず、洗浄の
際には大がかりなスペースを要するという欠点がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来技
術に鑑みてなされたものであり、洗浄の際にはフロンや
塩素系有機溶剤を必要とせず、また板状材が束ねられた
被洗浄物をばらさずにそのままの状態で、該被洗浄物か
ら汚れを効率よく除去しうる方法を提供することを目的
とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、間隙を
設けて板状面がたがいに隣接するように配置された複数
枚の板状材からなる被洗浄物を洗浄する方法であって、
前記被洗浄物を水性洗浄液中に浸漬し、ノズルから噴射
された水性洗浄液が、たがいに隣接する板状面の全面と
接触するように、前記ノズルから板状材間の間隙に水性
洗浄液を噴射させることを特徴とする被洗浄物の洗浄方
法に関する。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の被洗浄物の洗浄方法は、
前記したように、間隙を設けて板状面がたがいに隣接す
るように配置された複数枚の板状材からなる被洗浄物を
洗浄する方法であって、前記被洗浄物を水性洗浄液中に
浸漬し、ノズルから噴射された水性洗浄液が、たがいに
隣接する板状面の全面と接触するように、前記ノズルか
ら板状材間の間隙に水性洗浄液を噴射させることを特徴
とする。

【００１１】本発明の洗浄方法に適用しうる被洗浄物と
しては、間隙を設けて板状面がたがいに隣接するように
配置された複数枚の板状材からなるものが用いられる。

【００１２】前記被洗浄物の具体例としては、例えば、
加工油が付着し、束ねられた金属板、平板を得るために
柱状物をスライスした基板、油性汚れが付着した平板を
均一に治具に整列した部品等があげられる。前記加工油
が付着し、束ねられた金属板の例としては、スタンピン
グ等の加工処理後に金属板を束ねた際に、その表面に付
着した油性汚れの表面張力でこれら金属板が密着した金
属板ブロックがあげられる。また、平板を得るために柱
状物をスライスした基板の例としては、シリコーン、ガ
リウム・砒素、ガリウム・燐等の半導体・結晶材料、水
晶、石英、ガラス、圧電材料等の電子部品関連材料、フ
ェライト、サマリウム・コバルト等の磁性材料、磁気ヘ
ッド等の磁気材料、セラミック等の無機材料の柱状物、
インゴットを内周刃式やバンドソー式の切断装置等でス
ライスした板状物やウェハ等があげられる。また、油性
汚れの付着した平板を均一に治具に整列した部品として
は、ギャップ中に液晶が付着した液晶パネルを治具中に
水平配置したもの等があげられる。本発明の洗浄方法
は、これらの中でも特にスライスしたシリコーンのウェ
ハおよびスタンピング後のリードフレームに対して、卓
越した洗浄性を呈する。

【００１３】前記板状材の形状としては、例えば、円盤
形、角盤形、不定形盤形等があげられるが、本発明はか
かる形状のみに限定されるものではない。

【００１４】前記板状材の大きさおよび厚さについても
特に限定がないが、通常、大きさは２０〜５００ｍｍ程
度、また厚さは０．１〜３０ｍｍ程度である。

【００１５】前記板状材同士の間隙は、特に限定がない
が、通常、５〜５０００μｍ、なかんづく、１０〜５０
０μｍ程度であることが、本発明の洗浄方法によって優
れた洗浄効果を発現させる観点から好ましい。

【００１６】前記間隙に介在する汚れとしては、例えば
油性汚れを含むもの等があげられるが、本発明はかかる
被洗浄物の種類に特に限定がない。前記油性汚れとして
は、特に限定がないが、例えば、水性洗浄液で洗浄した
際に溶解または乳化するような性状を有する油性汚れで
あることが好適である。前記油性汚れとしては、例え
ば、切削油、圧延油、グリース、液晶、フラックス、ワ
ックス等があげられる。これらの油性汚れの中には固形
分が含まれている場合であっても、本発明の洗浄方法
は、優れた洗浄効果を発現する。

【００１７】本発明の洗浄方法に用いられる水性洗浄液
は、水を含有したものである。したがって、前記水性洗
浄液は、例えばテルペン系溶剤、炭化水素系溶剤、アル
コール系溶剤等を含有した溶剤系洗浄液のように引火の
おそれがないので、安全性にすぐれ、また火災の防止設
備等を必要としないという利点がある。

【００１８】前記水性洗浄液の形態には特に限定がな
く、かかる形態としては、例えば、均一な水溶液、乳化
液、懸濁液等の分散液などがあげられる。

【００１９】前記水性洗浄液の代表例としては、水と界
面活性剤とを含有した水性洗浄液があげられる。

【００２０】前記水と界面活性剤を含有した水性洗浄液
の中では、リードフレームやシリコーンウェハに水性洗
浄液を適用する場合には、炭化水素、ポリアルキレンオ
キサイド、非イオン性界面活性剤および水を特定の比率
で混合して得られた水性洗浄液を用いることが好まし
い。

【００２１】前記炭化水素の代表例としては、例えば、
炭素数が１０〜１８であるものがあげられる。かかる炭
化水素の具体例としては、例えば、デカン、ドデカン、
テトラデカン、ヘキサデカン、オクタデカン、デセン、
ドデセン、テトラデセン、ヘキサデセン、オクタデセン
等の直鎖または分岐鎖を有する不飽和の炭化水素；ノニ
ルベンゼン、ドデシルベンゼン等のアルキルベンゼン；
メチルナフタレン、ジメチルナフタレン等のナフタレン
化合物；シクロデカン、シクロドデセン等のシクロ系化
合物等があげられる。これらの炭化水素のなかでは、炭
素数が１２〜１８である直鎖または分岐鎖を有する飽和
または不飽和の炭化水素が好ましく、特に洗浄性、取扱
い性等を考慮すると、オレフィン系炭化水素が好まし
い。

【００２２】前記水性洗浄液において、炭化水素の含有
量は、洗浄性および濯ぎ性の点から、２．５〜６５重量
％、好ましくは３〜６０重量％であることが望ましい。

【００２３】前記ポリアルキレンオキサイドの代表例と
しては、例えば、一般式（Ｉ）：Ｒ¹−Ｏ−（Ｃ_kＨ_2kＯ）_j−Ｈ（Ｉ）（式中、Ｒ¹は炭素数１〜８の炭化水素基、ｋは２また
は３、ｊは１〜３の整数を示す）で表わされるポリアル
キレンオキサイド、一般式（II）：Ｒ²−Ｏ−（Ｃ_mＨ_2mＯ）_n−Ｒ³ （II）（式中、Ｒ²およびＲ³はそれぞれ独立して炭素数１〜
８の炭化水素基、ｍは２または３、ｎは１〜３の整数を
示す）で表わされるポリアルキレンオキサイド等があげ
られる。

【００２４】前記一般式（Ｉ）で表わされるポリアルキ
レンオキサイドにおいて、Ｒ¹は炭化水素が１〜８の炭
化水素基である。前記炭素数は、あまりにも多くなる
と、水に対する溶解性が低下し、また粘度が高くなりす
ぎるようになるので、炭素数が８以下、好ましくは３〜
６であることが望ましい。

【００２５】前記Ｒ¹の具体例としては、例えば、メチ
ル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、アリル
基、ブチル基、イソブチル基、ヘキシル基、２−エチル
ヘキシル基、オクチル基、フェニル基、ベンジル基等が
あげられる。

【００２６】前記ｊは、１〜３の整数を示す。ｊが３を
越える場合、粘度が上昇し、作業性が低下することがあ
る。

【００２７】前記水性洗浄液における一般式（Ｉ）で表
わされるポリアルキレンオキサイドの含有量は、洗浄
性、濯ぎ性および板状材同士の剥離性の点から、１．５
〜４５重量％、好ましくは３〜４０重量％であることが
望ましい。

【００２８】前記一般式（II）で表わされるポリアルキ
レンオキサイドにおいて、Ｒ²およびＲ³はそれぞれ炭
素数１〜８の炭化水素基である。前記炭素数は、あまり
にも多くなると、水に対する溶解性が低下し、また粘度
が高くなりすぎるようになるので、１〜４であることが
好ましい。

【００２９】前記Ｒ²およびＲ³の具体例としては、例
えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル
基、アリル基、ブチル基、イソブチル基、ヘキシル基、
２−エチルヘキシル基、オクチル基、フェニル基、ベン
ジル基等があげられる。

【００３０】前記ｎは、１〜３の整数を示す。ｎが３を
越える場合、粘度が上昇し、作業性が低下することがあ
る。

【００３１】前記水性洗浄液における一般式（II）で表
わされるポリアルキレンオキサイドの含有量は、洗浄
性、濯ぎ性および板状材同士の剥離性の点から、０．５
〜１５重量％、好ましくは１〜１０重量％であることが
望ましい。

【００３２】前記非イオン性界面活性剤の代表例として
は、例えば、平均ＨＬＢが４〜１８のものが好ましい。
かかる非イオン界面活性剤の具体例としては、例えば、
ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ソルビタンモノ
アルキルエステル、ポリオキシエチレンソルビタンモノ
アルキルエステル、ポリオキシエチレンソルビタントリ
アルキルエステル等があげられる。

【００３３】前記水性洗浄液において、非イオン界面活
性剤の含有量は、洗浄性および濯ぎ性の点から、０．５
〜３０重量％、好ましくは１〜２５重量％であることが
望ましい。

【００３４】前記水としては、特に限定がないが、通
常、水道水、イオン交換水、純水等があげられる。

【００３５】前記水性洗浄液において、水の含有量は、
洗浄操作中における発火等の危険性が生じないようにす
る等の点から、３〜９５重量％、好ましくは７〜９３．
５重量％であることが望ましい。

【００３６】前記水性洗浄液には、必要に応じて、例え
ば、ビルダー、キレート化剤、防錆剤、消泡剤、各種ア
ルカリ物質等を適宜配合してもよい。

【００３７】本発明においては、まず、前記被洗浄物を
水性洗浄液中に浸漬する。

【００３８】前記被洗浄物を水性洗浄液中に浸漬する際
には、前記被洗浄物を水性洗浄液中に完全に浸漬させる
ことが洗浄効果を高めるうえで好ましい。

【００３９】前記被洗浄物を水性洗浄液中に浸漬したの
ちには、ノズルから噴射された水性洗浄液が被洗浄物を
構成している板状材の板状面の全面と接触するように、
前記ノズルから板状材間の間隙に水性洗浄液を噴射させ
る。

【００４０】このとき、被洗浄物を水性洗浄液中に保持
し、該水性洗浄液中で、ノズルから水性洗浄液を被洗浄
物に高圧で噴射させる液中噴流法が好ましい。かかる液
中噴流法を採用した場合には、板状材間の間隙に強制的
に水性洗浄液が送り込まれ、汚れを洗い出す効果に優れ
ると同時に、隣接する板状材間の間隔が水性洗浄液の噴
射圧力によって押し広げられ、板状材間に存在する汚れ
の除去が促進されるので好ましい。

【００４１】前記ノズルの種類には、特に限定がない。
かかるノズルとしては、例えば、噴射パターンが扇形、
充円錐形、空円錐形、充角錐形、空角錐形、直射形等の
形状であるノズル等があげられる。ここで、噴射パター
ンとは、ノズルから噴射された水性洗浄液のノズル方向
に対して垂直方向の噴射領域の断面形状をいう。

【００４２】前記ノズルのなかでは、気中で水性洗浄液
を噴射させた時に、図１（Ａ）に示されるように、その
長軸ａが直線状である扇形の噴射パターン１を形成する
ものや、図１（Ｂ）に示されるように、その長軸ａが弧
状の曲線状である扇形の噴射パターン１を形成するもの
が好ましい。このような扇形の噴射パターン１を呈する
ノズルは、充円錐形や空円錐形の噴射パターンと対比し
て、ノズルから噴射される水性洗浄液の噴射速度が同じ
である場合、被洗浄物の表面に及ぼす物理的洗浄力が高
くなり、洗浄効果の向上を図ることができるという利点
がある。図１（Ａ）〜（Ｂ）に示された噴射パターンを
呈するノズルのなかでは、短軸ａと長軸ｂとの比（ａ／
ｂ）は、５／１〜５００／１であることが好ましい。

【００４３】前記噴射パターンが扇形であるノズルを用
いる場合、図２に示されるように、噴射パターンの長軸
ａが、被洗浄物を構成している板状材３、４の間隙に対
して垂直となるように、ノズル２を配置することが好ま
しい。このようにノズル２を配置した場合には、板状材
３、４間で水性洗浄液が流動しやすいので、板状材３、
４間の汚れ５に対して優れた洗浄効果を発現させること
ができるという利点がある。

【００４４】なお、前記ノズルを用いて水性洗浄液中
で、水性洗浄液を噴射させた場合には、その水性洗浄液
の抵抗により、気中に噴射させた場合のような明瞭な噴
射パターンが形成されない。

【００４５】また、図３に示されるように、水性洗浄液
は、ノズル２から噴射角θをもって噴射される。かかる
噴射角θは、噴射パターン１が扇状形、楕円形等を呈す
る場合には、噴射パターン１の長軸方向における角度を
いう。

【００４６】前記噴射角θは、噴射パターン１が扇形、
充円錐形、空円錐形、充角錐形または空角錐形である場
合には、水性洗浄液の噴射時の圧力にもよるが、被洗浄
物の単位面積あたりに付与される水性洗浄液による物理
的応力が大きくなりすぎて被洗浄物が破損するおそれを
なくし、また被洗浄物を構成している板状材の板状面の
全面に水性洗浄液を接触させるのに多数のノズルが必要
とならないようにするために、５度以上とすることが好
ましく、また、被洗浄物に噴射される水性洗浄液の物理
的洗浄力が低下しないようにして洗浄効果を高めるため
に、２０度以下であることが好ましい。

【００４７】なお、本発明においては、ノズルから噴射
される水性洗浄液の噴射角θが２０度以下である領域が
たがいに隣接する板状面の全面と接触するように複数の
ノズルを配置することが好ましい。

【００４８】ノズル孔のオリフィス径は、特に限定がな
いが、通常、被洗浄物に噴射される水性洗浄液量を洗浄
に適した量とし、また操作圧力が高圧化しないようにす
るために０．５ｍｍ以上、なかんづく１ｍｍ以上とする
ことが好ましく、また大量の水性洗浄液を噴射させるた
めの大がかりな給液装置を必要としないようにするため
に１０ｍｍ以下、なかんづく５ｍｍ以下であることが好
ましい。なお、ノズル孔の形状が楕円形等の真円を有し
ない場合には、長軸と短軸との相乗平均値をオリフィス
径とする。

【００４９】水性洗浄液をノズルから噴射させる際のノ
ズルからの噴射速度は、板状材間の間隙に水性洗浄液を
効果的に送り込み、洗浄性を高めるために、５ｍ／秒以
上、好ましくは２０ｍ／秒以上であることが望ましい。
なお、かかる噴射速度の上限値は、被洗浄物の破損を防
止する観点から、１００ｍ／秒以下であることが好まし
い。

【００５０】前記ノズルに水性洗浄液を送給する装置の
代表的なものとしては、ポンプがあげられる。かかるポ
ンプとしては、例えば渦巻きポンプ、ギヤポンプ、ピス
トンポンプ、プランジャーポンプ、ダイヤフラムポンプ
等があげられる。

【００５１】前記ノズルから被洗浄物までの距離（最短
距離）は、水性洗浄液が被洗浄物を構成している板状材
の先端部に当たる程度であればよく、特に限定がない。
前記ノズルから被洗浄物までの距離とノズルの噴射孔の
オリフィス径との比（ノズルから被洗浄物までの距離／
ノズルオリフィス径）の値は、被洗浄物を構成している
板状材同士の間隙に水性洗浄液を十分な量で供給するこ
とができるようにするために、５０以下であることが好
ましく、特に１０以下であることが好ましい。

【００５２】被洗浄物を洗浄する際に用いられるノズル
の本数は、本発明の被洗浄物の洗浄方法の態様によって
異なる。前記ノズルを複数本用いる場合には、前記ノズ
ルの本数は、通常、間隙を設けてたがいに隣接するよう
に配置された板状面の全面に水性洗浄液が接触すること
ができる本数であればよい。また、前記ノズルを複数本
用いる場合には、洗浄液を供給する配管の長手方向に所
定の間隔で、前記板状面の全面に水性洗浄液が接触する
ように設置することが好ましい。

【００５３】ノズルから噴射された水性洗浄液が、たが
いに隣接する板状材の板状面の全面と接触するように、
ノズルから板状材間の間隙に水性洗浄液を噴射させる方
法としては、例えば、（Ａ）ノズルから噴射された水性
洗浄液が、前記たがいに隣接する板状面の全面と接触す
るように、ノズルまたは被洗浄物を移動させる方法、
（Ｂ）水性洗浄液が、たがいに隣接する板状面の全面と
接触するように、複数のノズルを用いて該ノズルから水
性洗浄液を噴射させる方法等があげられるが、本発明は
かかる方法のみに限定されるものではない。

【００５４】前記（Ａ）ノズルまたは被洗浄物を移動さ
せる方法としては、例えば、図４に示されるように、被
洗浄物６およびノズル２が洗浄槽７内の水性洗浄液８中
に浸漬された状態で、矢印Ａに示されるように、被洗浄
物６またはノズル２を上下方向に移動させる方法等があ
げられる。なお、ノズル２を矢印Ａに示されるように、
上下方向に移動させる場合には、例えば、かご、クラン
プ等の洗浄治具で被洗浄物６を保持して移動させればよ
い。

【００５５】また、前記（Ｂ）複数のノズルを用いて該
ノズルから水性洗浄液を噴射させる方法としては、例え
ば、、図５に示されるように、被洗浄物６および複数の
ノズル２が洗浄槽７内の水性洗浄液８中に浸漬された状
態で、被洗浄物６を移動させずに、複数のノズル２から
水性洗浄液を噴射させて被洗浄物６を構成している板状
材の板状面の全面に接触させる方法等があげられる。

【００５６】なお、本発明においては、板状材間の間隙
に水性洗浄液をノズルから噴射させた後、該板状材間の
間隙にノズルから圧縮空気を噴射させる操作を１回以上
行なうことが、洗浄性を向上させる点で好ましい。かか
る操作は、具体的には、例えば、板状材間の間隙に水性
洗浄液をノズルから噴射させた後、被洗浄物を水性洗浄
液から取り出し、板状材間の間隙に圧縮空気を噴射させ
た後、再度、水性洗浄液中に浸漬させることによって行
なうことができる。

【００５７】圧縮空気は、高圧ボンベやコンプレッサー
等の高圧装置から供給することができる。かかる圧縮空
気の圧力は、特に限定がないが、板状材同士の間隙に存
在する水性洗浄液の交換を十分に行なうことにより洗浄
効率を高めるために、通常、１ｋｇｆ／ｃｍ²以上であ
ることが好ましく、また被洗浄物に破損等が発生しない
ようにし、また高圧に対応するための設備が大型化しな
いようにするために、通常、２０ｋｇｆ／ｃｍ²以下で
あることが好ましく、１０ｋｇｆ／ｃｍ²以下であるこ
とがより好ましい。

【００５８】圧縮空気を被洗浄物に噴射させるためのノ
ズルとしては、特に限定がなく、種々のものを用いるこ
とができる。かかるノズルから噴射された噴射パターン
としては、例えば、扇形、充円錐形、空円錐形、充角錐
形、空角錐形、直射形、扇形等があげられる。前記噴射
ノズルを設ける位置は、特に限定がないが、ノズルから
噴射される領域が被洗浄物を構成している板状材間の間
隙に十分に圧縮空気が入り込む位置であることが好まし
い。

【００５９】前記板状材間の間隙に水性洗浄液をノズル
から噴射させた後、該板状材間の間隙にノズルから圧縮
空気を噴射させる操作は、１回行なうだけでも十分に洗
浄効果が発現されるが、かかる操作を繰り返し行なうこ
とが洗浄効果を高めるうえで好ましい。通常、かかる操
作は、２〜１０回程度繰り返すことが好ましい。

【００６０】なお、本発明においては、被洗浄物を洗浄
した後には、被洗浄物の表面に存在している水性洗浄
液、水性洗浄液中に溶解または分散された汚れ等を濯ぎ
水により濯ぎ落とすことが好ましい。

【００６１】このように、濯ぎを行なう場合には、例え
ば、シャワー法、浸漬法、揺動法、液中シャワー法等の
公知の方法を採用することができる。

【００６２】また、濯ぎを行なう場合には、濯ぎ水とし
て、例えば、水道水、イオン交換水、純水等を用いるこ
とができる。

【００６３】かくして本発明の被洗浄物の洗浄方法によ
れば、洗浄の際にはフロンや塩素系有機溶剤を必要とせ
ず、また板状材が束ねられた被洗浄物をばらさずにその
ままの状態で、該被洗浄物から汚れを効率よく除去する
ことができる。

【００６４】

【実施例】次に、本発明を実施例に基づいてさらに詳細
に説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定される
ものではない。

【００６５】実施例１被洗浄物の洗浄の際に、図４に示される洗浄槽７（４０
０ｍｍ×４００ｍｍ×４００ｍｍ）を用いた。

【００６６】洗浄槽７内に、たがいに対向し、被洗浄物
６までの最短距離が９ｃｍとなるように充円錐形ノズル
（セオノズル（株）製、商品名：ＴＫ−７９９、オリフ
ィス径：３ｍｍ）２を２個を配設し、該洗浄槽７内に、
６０℃の水性洗浄液（花王（株）製、商品名：クリンス
ルーＬＣ−８４１、水分量：１０重量％）８を注入し、
そのなかにスタンピングにより、油性汚れが付着したニ
ッケル合金製リードフレーム（９５ｍｍ×４０ｍｍ×
０．１ｍｍ厚、初期残油量：２４．３ｍｇ／枚）が５０
枚束なった被洗浄物（リードフレーム間の間隙：２０μ
ｍ）６を浸漬し、各ノズル２から１０ｍ／秒の噴射速度
で６０℃の水性洗浄液（花王（株）製、商品名：クリン
スルーＬＣ−８４１、水分量：１０重量％）を噴射させ
ながら、被洗浄物６を２ｃｍ／分の速度で矢印Ａに示さ
れるように上下方向に１００ｍｍの距離を移動させて被
洗浄物６の洗浄を１０分間行なったのち、洗浄槽７内の
水性洗浄液８を市水に置き換えた。

【００６７】次に、被洗浄物６を構成している板状材間
の間隙に、ノズル２から１０ｍ／秒の噴射速度で市水を
噴射させることにより、被洗浄物６の濯ぎを１０分間行
なうという濯ぎ操作を２回繰り返したのち、洗浄槽７か
ら被洗浄物６を取り出し、熱風乾燥を１２０℃で３０分
間行なった。

【００６８】次に、被洗浄物の洗浄性として、剥離率お
よび残油量を以下の方法にしたがって調べた。その結果
を表１および表３に示す。

【００６９】（剥離率）前記被洗浄物を乾燥させた後、
力を加えずに被洗浄物の板状材を１枚ずつ持つことがで
きたときに「剥離した」と判断し、式：剥離率（％）＝〔剥離した板状材の数／全板状材の数〕
×１００にしたがって求める。

【００７０】（残油量）被洗浄物の表面に残留している
油性汚れを四塩化炭素で抽出した後、油分測定装置（Ｈ
ＯＲＩＢＡ（株）、商品名：ＯＣＭＡ−２２０）で残油
量を測定する。

【００７１】比較例１超音波洗浄機（シャープ（株）製、商品名：ＵＴ−２０
４）内に水性洗浄液として６０℃のエタンを入れたの
ち、実施例１で用いたのと同じ被洗浄物をそのなかに浸
漬し、超音波による洗浄を１０分間行なった。次に、該
超音波洗浄機内のエタンを濯ぎ液として６０℃のエタン
に置き換え、該被洗浄物の濯ぎを１０分間行ない、次い
でさらに同じ濯ぎ操作を２回繰り返したのち、熱風乾燥
を１２０℃の条件で３０分間行なった。

【００７２】次に、該洗浄機から被洗浄物６を取り出
し、熱風乾燥を１２０℃の条件で３０分間行なった後、
被洗浄物の洗浄性として、剥離率および残油量を実施例
１と同様にして調べた。その結果を表１に示す。

【００７３】比較例２比較例１において、エタンのかわりに水性洗浄液（花王
（株）製、商品名：クリンスルーＬＣ−８４１、水分
量：１０重量％）を用い、濯ぎ液としてエタンのかわり
に市水を用いたほかは、比較例１と同様にして洗浄、濯
ぎおよび乾燥を行なった。

【００７４】次に、該洗浄機から被洗浄物６を取り出
し、熱風乾燥を１２０℃の条件で３０分間行なった後、
被洗浄物の洗浄性として、剥離率および残油量を実施例
１と同様にして調べた。その結果を表１に示す。

【００７５】

【表１】

【００７６】表１に示された結果から、実施例１の被洗
浄物の洗浄方法は、リードフレームを移動させながら、
洗浄、濯ぎ、乾燥を行なうという操作が採られているの
で、従来の比較例１〜２における超音波洗浄による洗浄
方法よりも優れた洗浄効果が発現されることがわかる。

【００７７】実施例２被洗浄物の洗浄の際に、実施例１と同様に、図４に示さ
れる洗浄槽７を用いた。

【００７８】洗浄槽７内に、たがいに対向し、被洗浄物
６までの最短距離が９ｃｍとなるように充円錐形ノズル
（スプレーイングシステムス・ジャパン（株）製、商品
名：ＧＧ１、オリフィス径：０．８９ｍｍ）２を２個を
配設し、該洗浄槽７内に、６０℃の水性洗浄液（第一工
業製薬（株）製、商品名：ＤＫビークリアＣＷ−５５２
０の２０重量％水溶液、水分量：８０重量％）５を注入
し、そのなかに、スタンピングされたステンレス鋼板か
らなる基板（１４８ｍｍ×３９ｍｍ×０．４ｍｍ厚、初
期残油量：１２５ｍｇ／枚）が５０枚束なった被洗浄物
（基板間距離：２７μｍ）６を浸漬し、各ノズル２から
２５ｍ／秒の噴射速度で６０℃の水性洗浄液（第一工業
製薬（株）製、商品名：ＤＫビークリアＣＷ−５５２０
の２０重量％水溶液、水分量：８０重量％）を噴射させ
ながら、被洗浄物６を２ｃｍ／５分の速度で上下方向に
１５０ｍｍの距離で移動させて被洗浄物６の洗浄を４０
分間行なったのち、洗浄槽７内の水性洗浄液を市水に置
き換えた。

【００７９】次に、被洗浄物６を構成している板状材間
の間隙に、ノズル２から１０ｍ／秒の噴射速度で市水を
噴射させて前記と同様にノズル２を移動させながら被洗
浄物６の濯ぎを１０分間行なうという濯ぎ操作を３回繰
り返したのち、該洗浄槽７から被洗浄物６を取り出し、
熱風乾燥を１２０℃の条件で４０分間行なった。

【００８０】次に、被洗浄物の洗浄性として、剥離率お
よび残油量を実施例１と同様にして調べた。その結果を
表２に示す。

【００８１】実施例３被洗浄物の洗浄の際に、図５に示される洗浄槽７（４０
０ｍｍ×４００ｍｍ×４００ｍｍ）を用いた。

【００８２】洗浄槽７内に、たがいに対向し、被洗浄物
６までの距離が９ｃｍとなるように充円錐形ノズル（ス
プレーイングシステムス・ジャパン（株）製、商品名：
ＧＧ１、オリフィス径：０．８９ｍｍ）２を５ｃｍの等
間隔で４個を均等配置し、該洗浄槽７内に５０℃の水性
洗浄液（第一工業製薬（株）製、商品名：ＤＫビークリ
アＣＷ−５５２０の２０重量％水溶液、水分量：８０重
量％）を注入したのち、そのなかに実施例２で用いたも
のと同種の被洗浄物を浸漬させた。

【００８３】次に、各ノズル２から２５ｍ／秒の噴射速
度で５０℃の水性洗浄液（第一工業製薬（株）製、商品
名：ＤＫビークリアＣＷ−５５２０の２０重量％水溶
液、水分量：８０重量％）を噴射することにより、被洗
浄物６の洗浄を４０分間行なった。そののち、水性洗浄
液を市水に置き換え、被洗浄物を構成している板状材間
の間隙に各ノズル２から２５ｍ／秒の噴射速度で市水を
噴射させて被洗浄物２の濯ぎを４０分間行なう濯ぎ操作
を４回繰り返したのち、熱風乾燥を１２０℃で４０分間
行なった。

【００８４】次に、被洗浄物の洗浄性として、剥離率お
よび残油量を実施例１と同様にして調べた。その結果を
表２に示す。

【００８５】実施例４実施例３において、ノズル（噴射角：１７．９度）を
１．５ｃｍの等間隔で１０個を均等に配置したほかは実
施例３と同様にして、洗浄、濯ぎ、乾燥を行なった。

【００８６】次に、被洗浄物の洗浄性として、剥離率お
よび残油量を実施例１と同様にして調べた。その結果を
表２に示す。

【００８７】

【表２】

【００８８】表２に示した結果から、実施例２の被洗浄
物を移動させる方法および実施例３〜４の複数のノズル
を用いて該ノズルから水性洗浄液を噴射させる方法のい
ずれの方法においても、優れた洗浄効果が発現されるこ
とがわかる。

【００８９】また、実施例４の方法の結果から、ノズル
の噴射角度が２０度以内となるようにノズルを配設する
ことにより、洗浄性を向上させることができることがわ
かる。

【００９０】実施例５実施例１において、充円錐形ノズルを扇形ノズル（セオ
ノズル（株）製、商品名：ＴＫ−７９９、オリフィス
径：３ｍｍ）２に変更し、ノズル２から噴射される水性
洗浄液の噴射パターンの長軸が被洗浄物を構成している
板状材間の間隙と垂直かつ対向するように配設したほか
は、実施例１と同様にして洗浄、濯ぎ、乾燥を行なっ
た。

【００９１】次に、被洗浄物の洗浄性として、剥離率お
よび残油量を実施例１と同様にして調べた。その結果を
表３に示す。

【００９２】実施例６被洗浄物の洗浄の際に、図６に示される洗浄槽７（４０
０ｍｍ×４００ｍｍ×４００ｍｍ）を用いた。ワイヤソ
ーでスライスされた直径が８インチ（約２０３．２ｍ
ｍ）のシリコーンウェハ（１ｍｍ厚、初期残油量：２．
４ｇ／枚）が２００枚束なった被洗浄物（板状材間の間
隙：２５０μｍ）６を洗浄槽７内に支持体９で懸下し、
被洗浄物６を構成している板状材間の間隙に、被洗浄物
６までの距離を５ｃｍに設定して充円錐形ノズル（セオ
ノズル（株）製、商品名：ＴＫ−１５、オリフィス径：
４ｍｍ）２から１５ｍ／秒の噴射速度で６０℃の水性洗
浄液（（花王（株）製、商品名：クリンスルーＫＳ−１
０００、水分量：１０重量％）を噴射させ、被洗浄物６
を速度２ｃｍ／分で、紙面前後方向に移動させながら、
被洗浄物６の洗浄を１０分間行なった。

【００９３】次に、洗浄槽７内の水性洗浄液８を市水に
置き換え、被洗浄物６を構成している板状材間の間隙
に、ノズル２から１５ｍ／秒の噴射速度で市水を噴射
し、被洗浄物６の濯ぎを１０分間行なう濯ぎ操作を２回
行なったのち、熱風乾燥を８０℃で３０分間行なった。

【００９４】次に、被洗浄物の洗浄性として、剥離率お
よび残油量を実施例１と同様にして調べた。その結果を
表３に示す。

【００９５】実施例７実施例６において、充円錐形ノズルを扇形ノズル（セオ
ノズル（株）製、商品名：ＴＫ−７９９、オリフィス
径：３ｍｍ）２に変更し、ノズル２から噴射された噴射
パターンの長軸が被洗浄物６を構成している板状材間の
間隙と平行となるように配設したほかは、実施例６と同
様にして洗浄、濯ぎ、乾燥を行なった。

【００９６】次に、被洗浄物の洗浄性として、剥離率お
よび残油量を実施例１と同様にして調べた。その結果を
表３に示す。

【００９７】実施例８実施例５において、ノズル２から噴射させる水性洗浄液
の噴射速度を２ｍ／秒、５ｍ／秒または５０ｍ／秒に変
更した以外は、実施例５と同じ条件で、洗浄、濯ぎ、乾
燥を行なった。

【００９８】次に、被洗浄物の洗浄性として、剥離率お
よび残油量を実施例１と同様にして調べた。その結果を
表３に示す。

【００９９】実施例９実施例５において、ノズルから被洗浄物までの距離を２
ｃｍまたは２０ｃｍに変更した以外は、実施例５と同じ
条件で、洗浄、濯ぎ、乾燥を行なった。

【０１００】次に、被洗浄物の洗浄性として、剥離率お
よび残油量を実施例１と同様にして調べた。その結果を
表３に示す。

【０１０１】実施例１０実施例６において、洗浄を行なっている途中に、被洗浄
物６を水性洗浄液８から取り出し、加圧ボンベから３ｋ
ｇｆ／ｃｍ²の圧力で被洗浄物６を構成している板状材
の間隙に圧縮空気を１分間噴射し、再び水性洗浄液８に
該被洗浄物６を浸漬する操作を２回行なった後、実施例
１０と同様にして洗浄、濯ぎ、乾燥を行なった。

【０１０２】次に、被洗浄物の洗浄性として、剥離率お
よび残油量を実施例１と同様にして調べた。その結果を
表３に示す。

【０１０３】

【表３】

【０１０４】表３に示された結果から明らかなように、
実施例１と実施例５とを対比して、リードフレームを被
洗浄物とし、ノズルの噴射パターンが充円錐形よりも扇
形であるほうが、残油量が少なく、洗浄性に優れること
がわかる。

【０１０５】また、実施例５および実施例８の結果か
ら、ノズルから水性洗浄液を噴射させる速度を高くする
ことにより、洗浄効果を向上させることができることが
わかる。

【０１０６】また、実施例５および実施例９の結果か
ら、ノズルと被洗浄物との間の距離を短くすることによ
り、洗浄効果を向上させることができることがわかる。

【０１０７】また、実施例１０では、洗浄の途中で被洗
浄物を取り出し、被洗浄物を構成している板状材間の間
隙に圧縮空気を噴射させるという操作が採られているの
で、洗浄性が実施例５と対比してより一層向上している
ことがわかる。

【０１０８】また、実施例６と実施例７とを対比した結
果から、シリコーンウェハを被洗浄物とし、ノズルから
噴射される水性洗浄液が該シリコーンウェハ間の板状面
の全面と接触するように、該シリコーンウェハを移動さ
せながら洗浄する際において、ノズルの噴射パターンを
充円錐形から扇形に変更することにより、洗浄効果がよ
り一層向上することがわかる。

【０１０９】

【発明の効果】本発明の被洗浄物の洗浄方法によれば、
洗浄の際にはフロンや塩素系有機溶剤を必要とせず、ま
た板状材が束ねられた被洗浄物をばらさずにそのままの
状態で、該被洗浄物から汚れを効率よく除去しうるとい
う効果が奏される。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に用いられるノズルの噴射パタ
ーンの一実施態様を示す概略説明図である。

【図２】図２は、本発明に用いられるノズルから水性洗
浄液を噴射させたときの噴射状態の一実施態様を示す概
略説明図である。

【図３】図３は、本発明に用いられるノズルから水性洗
浄液を噴射させたときの噴射状態の一実施態様を示す概
略説明図である。

【図４】図４は、本発明の洗浄方法の一実施態様を示す
概略説明図である。

【図５】図５は、本発明の洗浄方法の一実施態様を示す
概略説明図である。

【図６】図６は、本発明の実施例６における洗浄方法の
実施態様を示す概略説明図である。

【符号の説明】

１噴射パターン２ノズル３板状材４板状材５汚れ６被洗浄物７洗浄槽８水性洗浄液９支持体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】間隙を設けて板状面がたがいに隣接する
ように配置された複数枚の板状材からなる被洗浄物を洗
浄する方法であって、前記被洗浄物を水性洗浄液中に浸
漬し、ノズルから噴射された水性洗浄液が、たがいに隣
接する板状面の全面と接触するように、前記ノズルから
板状材間の間隙に水性洗浄液を噴射させることを特徴と
する被洗浄物の洗浄方法。
【請求項２】ノズルから噴射された水性洗浄液が、た
がいに隣接する板状面の全面と接触するように、ノズル
または被洗浄物を移動させる請求項１記載の被洗浄物の
洗浄方法。
【請求項３】水性洗浄液が、たがいに隣接する板状面
の全面と接触するように、複数のノズルを用い、該ノズ
ルから水性洗浄液を噴射させる請求項１記載の被洗浄物
の洗浄方法。
【請求項４】ノズルから噴射される水性洗浄液の噴射
角が２０度以下である領域がたがいに隣接する板状面の
全面と接触するように複数のノズルを配置する請求項３
記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項５】噴射パターンが扇形であるノズルを用い
る請求項１〜４いずれか記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項６】水性洗浄液を噴射させる際のノズルから
の噴射速度を５ｍ／秒以上とする請求項１〜５いずれか
記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項７】ノズルから被洗浄物までの距離とノズル
の噴射孔のオリフィス径との比（ノズルから被洗浄物ま
での距離／ノズルの噴射孔のオリフィス径）の値が５０
以下である請求項１〜６いずれか記載の被洗浄物の洗浄
方法。
【請求項８】板状材がリードフレームまたはスライス
された基板である請求項１〜７いずれか記載の被洗浄物
の洗浄方法。
【請求項９】板状材間の間隙に水性洗浄液をノズルか
ら噴射させた後、該板状材間の間隙にノズルから圧縮空
気を噴射させる操作を１回以上行なう請求項１〜８いず
れか記載の被洗浄物の洗浄方法。