JPH10170315A - 並列型フルイディック流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大流量の流量計の開発にあたって、その開発
に要する多くの費用、時間等を削減することのできる並
列型フルイディック流量計を提供することにある。 【解決手段】 上流側合流流路４１から分岐して各フル
イディック流量測定手段Ｆに接続される上流側分岐流路
４２を、それぞれ等しい寸法及び形状に構成するととも
に、各フルイディック流量測定手段Ｆから下流側合流流
路４４に接続される下流側分岐流路４３を、それぞれ等
しい形状に構成してなり、前記上流側分岐流路４２のそ
れぞれには、各上流側分岐流路４２をそれぞれ開閉する
開閉弁（ソレノイドバルブ）５が設けられていることを
特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ノズル流路から
噴出する噴出流体の流れに周期的な流体振動が生じ、こ
の周期的な流体振動の周波数と噴出流体の流量あるいは
流速との間に比例関係が存在することに基づいて、流体
の流量を検出するフルイディック流量計に関するもので
あり、特に小流量から大流量までの広範囲の流量の測定
が可能な並列型フルイディック流量計に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】通常のフルイディック流量計としては、
例えば図４に示すようなフルイディック流量計Ｆが知ら
れている。このフルイディック流量計Ｆは、ハウジング
１と、このハウジング１内に設けられた一対のノズル部
材２、ターゲット３及び圧力取出し口４とを備えてい
る。

【０００３】ハウジング１は、直方体状の空間を形成す
べく凹状に形成された溝１ａを有しており、この溝１ａ
が流入口１ｂ及び流出口１ｃを介して他の流路に接続さ
れる構造である。ノズル部材２は、左右対称の一対のも
ので構成されており、溝１ａの下流側の部分を占めるよ
うに設けられている。このため、ハウジング１内には、
ノズル部材２の上流側に流入空間１ｄが構成された状態
になっている。また、各ノズル部材２は、上部が平行に
近接してノズル流路２１を構成するとともに、このノズ
ル流路２１の下流側に流量を検出するための測定空間２
２を構成する。この測定空間２２は、ノズル流路２１か
ら左右対称に円弧状に広がる壁面２２ａ、２２ｂを有し
ている。

【０００４】ターゲット３は、測定空間２２内にあっ
て、ノズル流路２１の延長線上に設けられている。ま
た、圧力取出し口４は、測定空間２２内におけるノズル
流路２１の近傍にあって、同ノズル流路２１の延長線に
対して左右対称の位置にあり、ノズル流路２１からの噴
出流体の流れの流体振動を圧力によって検出する方式で
ある。

【０００５】なお、ハウジング１は、溝１ａの上面側が
図示しないカバーによって、密閉されるようになってい
る。したがって、流入口１ｂに流入した流体は、流入空
間１ｄ、ノズル流路２１及び測定空間２２を通って流出
口１ｃから流出する。

【０００６】上記のように構成されたフルイディック流
量計Ｆにおいては、ノズル流路２１から流出する噴出流
体の流れが周期的に流体振動する。すなわち、ある時点
では噴出流体がターゲット３の一方の壁面３ａに沿って
流れ、一部は測定空間２２の一方の壁面２２ａに沿って
上昇しノズル流路２１の出口部へ戻り、他は流出口１ｃ
を通って流出する。また、ある時点では、同噴出流体が
ターゲット３の他方の壁面３ｂに沿ってあたかも吸寄せ
られるように流れる。このような噴出流体の流体振動が
測定空間２２内において周期的に発生する。

【０００７】そして、噴出流体が振動する周波数と、同
噴出流体の流量あるいは流速との間には比例関係が成立
することから、噴出流体の静圧を圧力取出し口４を通
し、圧力センサ（図示せず）で検出することにより、流
体振動周波数を求め、流体の流量を測定することができ
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記フルイ
ディック流量計Ｆにおいては、ノズル流路２１の断面積
によって、検出すべき流体の最大流量が自ずから決まっ
てくる。このため、より大流量の流量計を開発するに
は、まず検出すべき最大流量に対応する測定空間２２の
深さ及びノズル流路２１の断面積を設定し、これに伴い
ノズル流路２１の長さや、ターゲット３の位置及び形
状、あるいは圧力取出し口４の位置及び形状等を新たに
設計し直すとともに、種々の実験を繰り返し行なう必要
がある。したがって、例えばより大流量の流量計を開発
するにあたっては、多くの費用、時間等を要するという
問題があった。

【０００９】この発明は上述した問題を解消するために
なされたもので、その目的は、大流量の流量計の開発に
あたって、その開発に要する多くの費用、時間等を削減
することのできる並列型フルイディック流量計を提供す
ることにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明は、ノズル流路の出口部におい
て生じる流体振動に基づいて流量を検出するフルイディ
ック流量測定手段を複数並列に接続した並列型フルイデ
ィック流量計であって、上流側合流流路から分岐して各
フルイディック流量測定手段に接続される上流側分岐流
路を、それぞれ等しい形状に構成するとともに、各フル
イディック流量測定手段から下流側合流流路に接続され
る下流側分岐流路を、それぞれ等しい形状に構成してな
り、前記上流側分岐流路のそれぞれには、各上流側分岐
流路をそれぞれ開閉する開閉弁が設けられていることを
特徴としている。

【００１１】請求項２に係る発明は、請求項１に係る発
明において、各上流側分岐流路には、開閉弁とフルイデ
ィック流量測定手段との間に、流体の流れを整流する整
流手段が設けられていることを特徴としている。

【００１２】請求項３に係る発明は、請求項１又は請求
項２に係る発明において、各下流側分岐流路には、流体
の流れを整流する整流手段が設けられていることを特徴
としている。

【００１３】請求項４に係る発明は、請求項１、請求項
２又は請求項３に係る発明において、上流側合流流路に
は流入する流体の流れを整流する整流手段が設けられて
いることを特徴とする。

【００１４】請求項５に係る発明は、請求項１、請求項
２、請求項３又は請求項４に係る発明において、複数の
フルイディック流量測定手段のうち少なくとも１つを本
物のフルイディック流量測定手段で構成し、他を偽物の
ダミーフルイディック流量測定手段で構成してなり、こ
のダミーフルイディック流量測定手段は、本物のフルイ
ディック流量測定手段の圧力損失と同一の圧力損失が生
じるように構成されていることを特徴としている。

【００１５】請求項６に係る発明は、請求項１、請求項
２、請求項３、請求項４又は請求項５に係る発明におい
て、フルイディック流量測定手段は２つであり、上流側
分岐流路及び下流側分岐流路は前記２つのフルイディッ
ク流量測定手段にそれぞれ接続されてなり、開閉弁のう
ち一方は、開状態に固定された偽物のダミー開閉弁であ
り、このダミー開閉弁は、他の本物の開閉弁が開状態の
ときの圧力損失と同一の圧力損失が生じるように構成さ
れていることを特徴としている。

【００１６】そして、請求項１に係る発明においては、
上流側分岐流路をそれぞれ等しい形状のもので構成する
とともに、下流側分岐流路もそれぞれ等しい形状のもの
で構成しているから、各上流側分岐流路からフルイディ
ック流量測定手段を通って下流側分岐流路を流れる流体
の圧力損失が、それぞれの流路間においてばらつきの少
ない状態になる。したがって、各フルイディック流量測
定手段を流れる流量の差が小さくなるので、各フルイデ
ィック流量測定手段間の測定のばらつきが小さくなる。

【００１７】そして、開閉弁によって流体を通すフルイ
ディック流量測定手段を選択することができるから、小
流量から大流量までを正確に測定することができる。す
なわち、例えば２つのフルイディック流量測定手段を並
列に設けたものであれば、通常の２倍の流量測定が可能
になるとともに、小流量時の計測精度も高度に保持する
ことができる。しかも、大流量のフルイディック流量測
定手段を新たに開発する必要がないため、その開発に要
する多くの費用、時間等を削減することができる。

【００１８】請求項２に係る発明においては、各上流側
分岐流路における開閉弁とフルイディック流量測定手段
との間に整流手段を設けているから、各フルイディック
流量測定手段における流体振動を安定させることができ
るとともに、均等に流量を各フルイディック流量測定手
段に分配することができる。したがって、それぞれのフ
ルイディック流量測定手段において正確に流量を測定す
ることができるとともに、各フルイディック流量測定手
段間の測定のばらつきを極めて小さくすることができ
る。

【００１９】特に、開閉弁において流体の流れが乱れや
すいので、この乱れを整流手段で除去することができる
点で意義がある。また、各整流手段によって、各フルイ
ディック流量測定手段に入る直前の流体の圧力が一定化
されるので、各フルイディック流量測定手段を流れる流
体の流量の差が極めて少なくなる。したがって、各フル
イディック流量測定手段間の測定のばらつきが極めて小
さくなる。

【００２０】請求項３に係る発明においては、各下流側
分岐流路に整流手段を設けているから、各フルイディッ
ク流量測定手段より下流側の流動状態の乱れがフルイデ
ィック流量測定手段の流体振動に悪影響を与えるのを防
止することができる。したがって、それぞれのフルイデ
ィック流量測定手段において正確に流量を測定すること
ができるとともに、各フルイディック流量測定手段間の
測定のばらつきを極めて小さくすることができる。

【００２１】また、各整流手段によって、各フルイディ
ック流量測定手段の出口側の流体の圧力が一定化される
ので、各フルイディック流量測定手段を流れる流体の流
量がより一定化された状態になる。したがって、各フル
イディック流量測定手段間の測定のばらつきが極めて少
なくなる。

【００２２】請求項４に係る発明においては、上流側合
流流路に整流手段が設けられているため、流入する流体
の流れを整流することができ、特に圧力変動や渦の発生
時に有効となる。したがって、各フルイディック流量測
定手段における計測精度を向上させることができる。

【００２３】請求項５に係る発明においては、本物のフ
ルイディック流量測定手段を少なくとも１つにして、他
をダミーフルイディック流量測定手段で構成しているか
ら、コストの低減を図ることができる。そして、ダミー
フルイディック流量測定手段の圧力損失が本物のフルイ
ディック流量測定手段の圧力損失と等しいため、ダミー
フルイディック流量測定手段を流れる流量と、本物のフ
ルイディック流量測定手段を流れる流量との差が極めて
小さい。

【００２４】したがって、本物のフルイディック流量測
定手段で流量を測定すれば、開閉弁が開状態にあるダミ
ーフルイディック流量測定手段の個数から、全流量を計
算によって正確に求めることができる。

【００２５】請求項６に係る発明においては、フルイデ
ィック流量測定手段を２つに限定した場合であるが、一
方の開閉弁を本物で構成し、他方の開閉弁をダミー開閉
弁で構成しているから、コストの低減を図ることができ
る。そして、ダミー開閉弁の圧力損失が本物の開閉弁の
圧力損失と等しくなっているから、本物の開閉弁を開状
態にした場合には、本物の開閉弁からフルイディック流
量測定手段を流れる流量と、ダミー開閉弁からフルイデ
ィック流量測定手段を流れる流量との差が極めて小さく
なる。

【００２６】また、本物の開閉弁を閉状態にした場合に
は、ダミー開閉弁を通して一方のフルイディック流量測
定手段のみに流体を供給することができる。なお、本物
の開閉弁側には、ダミーフルイディック流量測定手段を
接続することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を実
施例に基づいて図面を参照して説明する。なお、図１は
第１実施例、図２は第２実施例、図３は第３実施例を示
している。

【００２８】まず、図１を参照してこの発明の第１実施
例を説明する。ただし、図４に示す従来例の構成要素と
共通する要素には同一の符号を付しその説明を簡略化す
る。図１には、フルイディック流量測定手段Ｆを２つ用
いた並列型フルイディック流量計を示している。各フル
イディック流量測定手段Ｆは、図４に示すフルイディッ
ク流量計Ｆと同一のもので構成されている。

【００２９】図１において、符号４１は上流側合流流路
であり、この上流側合流流路４１から２つの上流側分岐
流路４２が分岐されており、各上流側分岐流路４２の下
流側の端部がフルイディック流量測定手段Ｆの流入口１
ｂに接続されている。各上流側分岐流路４２は、それぞ
れ寸法及び形状の等しいもので構成されるため、流路の
内径、流路の曲り角度、流路の長さ、上流側合流流路４
１との接続形状等がすべて等しい。これらの各上流側分
岐流路４２には、上流側合流流路４１から等しい位置に
ソレノイドバルブ（開閉弁）５が設けられている。これ
らの各ソレノイドバルブ５は、それぞれ形状が等しく、
かつ圧力損失が等しいもので構成されている。

【００３０】一方、各フルイディック流量測定手段Ｆの
流出口１ｃには下流側分岐流路４３が接続され、これら
の各下流側分岐流路４３は下流側合流流路４４に接続さ
れている。各下流側分岐流路４３も、それぞれ形状の等
しいもので構成されており、流路の内径、流路の曲り角
度、流路の長さ、下流側合流流路４４との接続形状等が
すべて等しく形成されている。

【００３１】そして、各上流側分岐流路４２、フルイデ
ィック流量測定手段Ｆ及び下流側分岐流路４３によっ
て、第１の流路４Ａ及び第２の流路４Ｂが構成されてお
り、これらの第１の流路４Ａ及び第２の流路４Ｂは、上
流側合流流路４１及び下流側合流流路４４の中心線に対
して左右対称に形成されている。

【００３２】上記のように構成された並列型フルイディ
ック流量計においては、２つの上流側分岐流路４２及び
２つの下流側分岐流路４３をそれぞれ等しい形状のもの
で構成しているから、第１の流路４Ａを通る流体の圧力
損失と、第２の流路４Ｂを通る流体の圧力損失との差が
極めて少ないものとなる。したがって、各フルイディッ
ク流量測定手段Ｆを流れる流量の差が極めて少なくなる
ので、各フルイディック流量測定手段Ｆ間の測定のばら
つきが極めて小さくなる。

【００３３】また、ソレノイドバルブ５によって流体を
通すフルイディック流量測定手段Ｆを選択することがで
きるから、小流量から大流量までの流量を正確に測定す
ることができる。すなわち、１つのフルイディック流量
測定手段Ｆを用いて小流量を正確に測定することができ
るとともに、２つのフルイディック流量測定手段Ｆを用
いて、２倍の流量、すなわち大流量を正確に測定するこ
とができる。しかも、フルイディック流量測定手段Ｆを
新たに開発する必要がないから、その開発に要する多く
の費用、時間等を削減することができる。

【００３４】なお、流量の積算、瞬時流量、表示の変換
及びコントローラの制御等の切換えは、ディップスイッ
チ等によって必要時に行う。

【００３５】次に、この発明の第２実施例を図２を参照
して説明する。ただし、図１に示す第１実施例の構成要
素と同一の要素には同一の符号を付し、その説明を省略
する。この第２実施例が第１実施例と異なる点は、第１
の整流手段６を設けている点である。

【００３６】すなわち、第１の整流手段６は、各上流側
分岐流路４２におけるソレノイドバルブ５とフルイディ
ック流量測定手段Ｆとの間に設けられている。各第１の
整流手段６は、ハニカムによって構成されたものであ
り、各フルイディック流量測定手段Ｆの流入口１ｂから
それぞれ等しい位置に設置されている。

【００３７】上記のように構成された並列型フルイディ
ック流量計においては、各上流側分岐流路４２の同一位
置に第１の整流手段６を設けているから、各フルイディ
ック流量測定手段Ｆにおける流体振動を安定させること
ができる。したがって、それぞれのフルイディック流量
測定手段Ｆにおいて正確に流量を測定することができる
とともに、各フルイディック流量測定手段Ｆ間の測定の
ばらつきを極めて小さくすることができる。特に、上流
側に発生する圧力変動や渦及びソレノイドバルブ５によ
って流体の流れが乱れるので、圧力変動、渦を防止した
り流れの乱れを第１の整流手段６でとることができる点
で意義がある。また、各第１の整流手段６によって、各
フルイディック流量測定手段Ｆへ入る直前の流体の圧力
が一定化されるので、各フルイディック流量測定手段Ｆ
を通る流量の差がより少なくなる。したがって、各フル
イディック流量測定手段Ｆ間の測定のばらつきをさらに
低減することができる。

【００３８】次に、この発明の第３実施例を図３を参照
して説明する。ただし、図２に示す第２実施例の構成要
素と同一の要素には同一の符号を付し、その説明を省略
する。この第３実施例が第２実施例と異なる点は、第２
の整流手段７を設けている点である。

【００３９】すなわち、第２の整流手段７は、各下流側
分岐流路４３内で各フルイディック流量測定手段Ｆの流
出口１ｃから等しい位置に設けられている。各第２の整
流手段７は、第１の整流手段６と同様にハニカムによっ
て構成されている。

【００４０】上記のように構成された並列型フルイディ
ック流量計においては、各下流側分岐流路４３に第２の
整流手段７を設けているため、各フルイディック流量測
定手段Ｆの下流側の流れの乱れが、同フルイディック流
量測定手段Ｆにおける流体振動に悪影響を及ぼすのを防
止することができる。したがって、それぞれのフルイデ
ィック流量測定手段Ｆにおいて正確に流量を測定するこ
とができるとともに、各フルイディック流量測定手段Ｆ
間の測定のばらつきを極めて小さくすることができる。
また、各第２の整流手段７によって、各フルイディック
流量測定手段Ｆの出口側の流体の圧力が一定化されるの
で、各フルイディック流量測定手段Ｆを通る流量の差が
より少なくなる。したがって、各フルイディック流量測
定手段Ｆ間の測定のばらつきをさらに低減することがで
きる。

【００４１】また、この実施例においては、上流側合流
流路４１及び下流側合流流路４４にも、それぞれ整流手
段８、９が設けられているため、フルイディック流量測
定手段Ｆの上流側及び下流側の流れをさらに整流して、
測定精度の向上を図る構成となっている。これらの整流
手段８、９もハニカムによって形成されている。

【００４２】なお、上記各実施例においては、２つのフ
ルイディック流量測定手段Ｆを本物のもので構成した
が、一方のフルイディック流量測定手段Ｆについては、
測定能力のない偽物、すなわちダミーフルイディック流
量測定手段で構成してもよい。ただし、ダミーフルイデ
ィック流量測定手段は、本物のフルイディック流量測定
手段Ｆと圧力損失及び流路の形状が同一となるように構
成する必要がある。

【００４３】そして、このように構成した場合において
は、一方をダミーフルイディック流量測定手段で構成し
ているから、コストの低減を図ることができる。しか
も、ダミーフルイディック流量測定手段の圧力損失が本
物のフルイディック流量測定手段Ｆの圧力損失と等しく
なっているから、ダミーフルイディック流量測定手段を
流れる流量と、本物のフルイディック流量測定手段Ｆを
流れる流量との差が極めて小さくなる。したがって、本
物のフルイディック流量測定手段Ｆで流量を測定すれ
ば、ダミーフルイディック流量測定手段を通る流量を推
定することができ、よって全流量を簡単かつ正確に求め
ることができる。

【００４４】また、上記各実施例においては、フルイデ
ィック流量測定手段Ｆを２つ設けた例を示したが、さら
に多くのフルイディック流量測定手段Ｆを設け、これら
のフルイディック流量測定手段Ｆを形状の等しい上流側
分岐流路４２及び下流側分岐流路４３で接続するように
構成してもよい。そして、この場合には、複数のフルイ
ディック流量測定手段（Ｆ）のうち少なくとも１つを本
物のフルイディック流量測定手段（Ｆ）で構成し、他を
ダミーフルイディック流量測定手段で構成してもよい。

【００４５】さらに、上記各実施例においては、２つの
ソレノイドバルブ５を共に本物のもので構成したが、ソ
レノイドバルブ５のうち一方は、開状態に固定されたダ
ミーバルブで構成してもよい。ただし、このダミーバル
ブは、本物のソレノイドバルブ５が開状態のときの圧力
損失と同一の圧力損失が生じるように構成する必要があ
る。

【００４６】このように構成した場合には、一方を偽物
のダミーバルブで構成しているから、コストの低減を図
ることができる。そして、ダミーバルブは本物のソレノ
イドバルブ５の圧力損失と等しく構成されているから、
本物のソレノイドバルブ５からフルイディック流量測定
手段Ｆを流れる流量と、ダミーソレノイドバルブからフ
ルイディック流量測定手段Ｆを流れる流量との差が上記
各実施例と比べても大きくなることがない。また、本物
のソレノイドバルブ５を閉状態にした場合には、ダミー
ソレノイドバルブを通して一方のフルイディック流量測
定手段Ｆのみに流体を供給することができる。なお、本
物のソレノイドバルブ５には、ダミーフルイディック流
量測定手段を接続するように構成することもできる。

【００４７】

【発明の効果】請求項１に係る発明においては、上流側
分岐流路をそれぞれ等しい形状及び寸法で構成するとと
もに、下流側分岐流路もそれぞれ等しい形状及び寸法で
構成しているから、各上流側分岐流路からフルイディッ
ク流量測定手段を通って下流側分岐流路を流れる流体の
圧力損失が、それぞれの流路においてばらつきの少ない
状態になる。したがって、各フルイディック流量測定手
段を流れる流量の差が小さくなるので、各フルイディッ
ク流量測定手段間の測定のばらつきが小さくなる。

【００４８】そして、開閉弁によって流体を通すフルイ
ディック流量測定手段を選択することができるから、小
流量から大流量までを正確に測定することができる。す
なわち、例えば２つのフルイディック流量測定手段を並
列に設けたものであれば、通常の２倍の流量測定が可能
になるとともに、小流量時の計測精度も高度に保持する
ことができる。しかも、大流量のフルイディック流量測
定手段を新たに開発するわけではないから、その開発に
要する多くの費用、時間等を削減することができる。

【００４９】請求項２に係る発明においては、各上流側
分岐流路における開閉弁とフルイディック流量測定手段
との間に整流手段を設置してあるため、各フルイディッ
ク流量測定手段における流体振動を安定させることがで
きる。したがって、それぞれのフルイディック流量測定
手段において正確に流量を測定することができるととも
に、各フルイディック流量測定手段間の測定のばらつき
を極めて小さくすることができる。

【００５０】特に、圧力変動や開閉弁において流体の流
れが乱れやすいので、圧力変動を吸収したり、流れの乱
れを整流手段でとることができる点で意義がある。ま
た、各整流手段によって、各フルイディック流量測定手
段の入る直前の流体の圧力が一定化されるので、各フル
イディック流量測定手段を流れる流体の流量の差が極め
て少なくなる。したがって、各フルイディック流量測定
手段間の測定のばらつきが極めて小さくなる。

【００５１】請求項３に係る発明においては、各下流側
分岐流路に整流手段を設けているから、各フルイディッ
ク流量測定手段の下流側の流動状態の乱れがフルイディ
ック流量測定手段の流体振動に悪影響を与えるのを防止
することができる。したがって、それぞれのフルイディ
ック流量測定手段において正確に流量を測定することが
できるとともに、各フルイディック流量測定手段間の測
定のばらつきを極めて小さくすることができる。

【００５２】また、各整流手段によって、各フルイディ
ック流量測定手段の出口側の流体の圧力が一定化される
ので、各フルイディック流量測定手段を流れる流体の流
量がより一定化された状態になる。したがって、各フル
イディック流量測定手段間の測定のばらつきが極めて少
なくなる。

【００５３】請求項４に係る発明においては、上流側合
流流路に整流手段が設けられているため、流入するガス
の流れを整流することができ、圧力変動や渦の発生時に
有効となる。よって、フルイディック流量測定手段にお
いて正確に流量を測定することができる。

【００５４】請求項５に係る発明においては、本物のフ
ルイディック流量測定手段を少なくとも１つにして、他
をダミーフルイディック流量測定手段で構成しているた
め、コストの低減を図ることができる。そして、ダミー
フルイディック流量測定手段の圧力損失が本物のフルイ
ディック流量測定手段の圧力損失と等しくなっているか
ら、ダミーフルイディック流量測定手段を流れる流量
と、本物のフルイディック流量測定手段を流れる流量と
の差が極めて小さくなる。

【００５５】したがって、本物のフルイディック流量測
定手段で流量を測定すれば、開閉弁が開状態にあるダミ
ーフルイディック流量測定手段の個数から、全流量を計
算によって正確に求めることができる。

【００５６】請求項６に係る発明においては、フルイデ
ィック流量測定手段を２つに限定した場合であるが、一
方の開閉弁を本物で構成し、他方の開閉弁をダミー開閉
弁で構成しているから、コストの低減を図ることができ
る。そして、ダミー開閉弁の圧力損失が本物の開閉弁の
圧力損失と等しくなっているから、本物の開閉弁を開状
態にした場合には、本物の開閉弁からフルイディック流
量測定手段を流れる流量と、ダミー開閉弁からフルイデ
ィック流量測定手段を流れる流量との差が極めて小さく
なる。

【００５７】また、本物の開閉弁を閉状態にした場合に
は、ダミー開閉弁を通して一方のフルイディック流量測
定手段のみに流体を供給することができる。なお、本物
の開閉弁側には、ダミーフルイディック流量測定手段を
接続することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例として示した並列型フル
イディック流量計の説明図。

【図２】この発明の第２実施例として示した並列型フル
イディック流量計の説明図。

【図３】この発明の第３実施例として示した並列型フル
イディック流量計の説明図。

【図４】従来例として示したフルイディック流量計の平
面図。

【符号の説明】

５ 開閉弁（ソレノイドバルブ） ６ 整流手段（第１の整流手段） ７ 整流手段（第２の整流手段） ２１ ノズル流路 ４１ 上流側合流流路 ４２ 上流側分岐流路 ４３ 下流側分岐流路 ４４ 下流側合流流路 Ｆ フルイディック流量測定手段

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズル流路の出口部において生じる流体
   振動に基づいて流量を検出するフルイディック流量測定
   手段を複数並列に接続した並列型フルイディック流量計
   であって、 上流側合流流路から分岐して各フルイディック流量測定
   手段に接続される上流側分岐流路を、それぞれ等しい形
   状に構成するとともに、各フルイディック流量測定手段
   から下流側合流流路に接続される下流側分岐流路を、そ
   れぞれ等しい形状に構成してなり、 前記上流側分岐流路のそれぞれには、各上流側分岐流路
   をそれぞれ開閉する開閉弁が設けられていることを特徴
   とする並列型フルイディック流量計。
2. 【請求項２】 各上流側分岐流路には、開閉弁とフルイ
   ディック流量測定手段との間に、流体の流れを整流する
   整流手段が設けられていることを特徴とする請求項１記
   載の並列型フルイディック流量計。
3. 【請求項３】 各下流側分岐流路には、流体の流れを整
   流する整流手段が設けられていることを特徴とする請求
   項１又は請求項２記載の並列型フルイディック流量計。
4. 【請求項４】 上流側合流流路には、流入する流体の流
   れを整流する整流手段が設けられていることを特徴とす
   る請求項１、請求項２又は請求項３記載の並列型フルイ
   ディック流量計。
5. 【請求項５】 複数のフルイディック流量測定手段のう
   ち少なくとも１つを本物のフルイディック流量測定手段
   で構成し、他を偽物のダミーフルイディック流量測定手
   段で構成してなり、このダミーフルイディック流量測定
   手段は、本物のフルイディック流量測定手段の圧力損失
   と同一の圧力損失が生じるように構成されていることを
   特徴とする請求項１、請求項２、請求項３又は請求項４
   記載の並列型フルイディック流量計。
6. 【請求項６】 フルイディック流量測定手段は２つであ
   り、上流側分岐流路及び下流側分岐流路は前記２つのフ
   ルイディック流量測定手段にそれぞれ接続されてなり、
   開閉弁のうち一方は、開状態に固定された偽物のダミー
   開閉弁であり、このダミー開閉弁は、他の本物の開閉弁
   が開状態のときの圧力損失と同一の圧力損失が生じるよ
   うに構成されていることを特徴とする請求項１、請求項
   ２、請求項３、請求項４又は請求項５記載の並列型フル
   イディック流量計。