JPH10170213A - 膜厚測定装置 - Google Patents
膜厚測定装置Info
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- JPH10170213A JPH10170213A JP31832597A JP31832597A JPH10170213A JP H10170213 A JPH10170213 A JP H10170213A JP 31832597 A JP31832597 A JP 31832597A JP 31832597 A JP31832597 A JP 31832597A JP H10170213 A JPH10170213 A JP H10170213A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring
- housing
- film thickness
- measuring device
- probe
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
- G01B7/10—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
- G01B7/105—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance for measuring thickness of coating
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】凹部またはチューブの内面に形成された膜の膜
厚を容易に測定することができる測定装置を提供する。 【解決手段】 膜厚測定装置は、長く伸びた棒状のハウ
ジング１０を有している。ハウジング１０の一方端部に
は、測定結果を表示するための表示部１１が設けられて
いる。チューブ内面に形成された膜を測定する場合に
は、ハウジング１０の端部に設けた測定プローブ１７を
ほぼ９０°傾けてハウジング１０をチューブ２３内部に
挿入する。測定すべき膜に対して垂直に立っている測定
プローブ１７の底部に位置する測定ポール１９で測定す
べきチューブ内部の膜を測定することができ、測定結果
を表示部１１により読みとることができる。
厚を容易に測定することができる測定装置を提供する。 【解決手段】 膜厚測定装置は、長く伸びた棒状のハウ
ジング１０を有している。ハウジング１０の一方端部に
は、測定結果を表示するための表示部１１が設けられて
いる。チューブ内面に形成された膜を測定する場合に
は、ハウジング１０の端部に設けた測定プローブ１７を
ほぼ９０°傾けてハウジング１０をチューブ２３内部に
挿入する。測定すべき膜に対して垂直に立っている測定
プローブ１７の底部に位置する測定ポール１９で測定す
べきチューブ内部の膜を測定することができ、測定結果
を表示部１１により読みとることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、測定プローブを
用いて、磁気誘導法及び／又は渦電流法により膜厚を測
定するための膜厚測定装置に関し、この測定装置はハウ
ジングを有している。
用いて、磁気誘導法及び／又は渦電流法により膜厚を測
定するための膜厚測定装置に関し、この測定装置はハウ
ジングを有している。
【０００２】
【従来の技術】上記前者の方法若しくは後者の方法によ
る測定プローブまたは両方の方法を適用した従来の測定
プローブが、ドイツ特許公報ＤＥ−ＯＳ２４１００４
７、ＤＥ−Ａ−４２１０６８９、ＤＥ−Ｃ−３０１９５
４０、ＤＥ−Ａ−４３３３４１９及びＤＥ−Ａ−１９５
４３３６２に挙げられている。
る測定プローブまたは両方の方法を適用した従来の測定
プローブが、ドイツ特許公報ＤＥ−ＯＳ２４１００４
７、ＤＥ−Ａ−４２１０６８９、ＤＥ−Ｃ−３０１９５
４０、ＤＥ−Ａ−４３３３４１９及びＤＥ−Ａ−１９５
４３３６２に挙げられている。
【０００３】渦電流測定法は、非鉄金属または反磁性材
料からなる下地材あるいはベース上に形成された非伝導
性の膜の厚みを測定するのに適用される。この方法で
は、高周波コイルから測定プローブに高周波の交流が供
給され、測定ポールにおいて迅速に変化する磁界が生じ
る。電気伝導性のベース上に形成された非伝導性の膜の
厚みを測定する場合、渦電流が生じ、付随の磁界が測定
コイルに磁界が生じるのをはばむ。測定コイル上の反作
用は電気の測定信号を生じ、これが評価され、非伝導性
の膜の厚さが測定される。
料からなる下地材あるいはベース上に形成された非伝導
性の膜の厚みを測定するのに適用される。この方法で
は、高周波コイルから測定プローブに高周波の交流が供
給され、測定ポールにおいて迅速に変化する磁界が生じ
る。電気伝導性のベース上に形成された非伝導性の膜の
厚みを測定する場合、渦電流が生じ、付随の磁界が測定
コイルに磁界が生じるのをはばむ。測定コイル上の反作
用は電気の測定信号を生じ、これが評価され、非伝導性
の膜の厚さが測定される。
【０００４】一方、磁気伝導性の下地材またはベース上
に形成された非伝導性膜または伝導性の膜の厚みを測定
する場合には、磁気誘導法が適用される。この場合に
は、高周波コイルまたはその役割を演ずるものは必要が
ない。この場合には、測定される膜厚は磁束の分布と関
連している。永久磁石が生じるので、磁束の大きさが変
化し、ホール素子により磁束の大きさをとらえ、相応の
電気信号を得ることができ、膜厚を測定することができ
る。
に形成された非伝導性膜または伝導性の膜の厚みを測定
する場合には、磁気誘導法が適用される。この場合に
は、高周波コイルまたはその役割を演ずるものは必要が
ない。この場合には、測定される膜厚は磁束の分布と関
連している。永久磁石が生じるので、磁束の大きさが変
化し、ホール素子により磁束の大きさをとらえ、相応の
電気信号を得ることができ、膜厚を測定することができ
る。
【０００５】測定のために、ハウジングまたはホルダの
中に膜厚を測定するための測定ポールを有する測定プロ
ーブを収納し、測定結果を読みとることができるように
したもがある。さえぎるものがない表面上に形成された
膜を測定する場合には、何ら問題がない。
中に膜厚を測定するための測定ポールを有する測定プロ
ーブを収納し、測定結果を読みとることができるように
したもがある。さえぎるものがない表面上に形成された
膜を測定する場合には、何ら問題がない。
【０００６】これに対して、従来の測定装置では、凹所
またはチューブの内部に形成された膜の膜厚を測定する
ことはできない。特に、測定結果を見ようとしてもその
表示を全く見ることができない。
またはチューブの内部に形成された膜の膜厚を測定する
ことはできない。特に、測定結果を見ようとしてもその
表示を全く見ることができない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上述
のような問題を解決することであり、特に凹部またはチ
ューブの内面の膜の膜厚を問題なく測定することができ
るような測定装置を提供することである。
のような問題を解決することであり、特に凹部またはチ
ューブの内面の膜の膜厚を問題なく測定することができ
るような測定装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明では、測定装置の長く伸びているハウジング
の端部に測定プローブを揺動可能に設けている。本発明
によれば、測定プローブと長く伸びるハウジングとの間
の角度を最適の状態にすることができ、測定プローブを
測定すべき膜上に垂直に立てることができ、また、凹部
またはチューブの内面では、測定プローブをほぼ９０°
傾けることができる。つまり、本発明では、測定すべき
膜の状況に合わせて揺動角度を設定することができる。
に、本発明では、測定装置の長く伸びているハウジング
の端部に測定プローブを揺動可能に設けている。本発明
によれば、測定プローブと長く伸びるハウジングとの間
の角度を最適の状態にすることができ、測定プローブを
測定すべき膜上に垂直に立てることができ、また、凹部
またはチューブの内面では、測定プローブをほぼ９０°
傾けることができる。つまり、本発明では、測定すべき
膜の状況に合わせて揺動角度を設定することができる。
【０００９】測定プローブはハウジングの端部に揺動自
在に保持された揺動スリーブ内にバネを介して保持され
るようにし、測定プローブの測定ポールが揺動スリーブ
から突き出すようにすることが好ましい。このように構
成すれば、測定プローブ即ち測定ポールを測定すべき膜
に所定の付勢力で付勢することができる。
在に保持された揺動スリーブ内にバネを介して保持され
るようにし、測定プローブの測定ポールが揺動スリーブ
から突き出すようにすることが好ましい。このように構
成すれば、測定プローブ即ち測定ポールを測定すべき膜
に所定の付勢力で付勢することができる。
【００１０】測定プローブの揺動範囲は９０°ないし１
８０°であることが好ましい。このように構成すれば、
どのような場所においても測定が可能である。測定プロ
ーブまたは測定プローブを保持する揺動スリーブを揺動
自在に保持するために、ハウジングに、揺動のための長
溝を設け、測定プローブの測定ポールが揺動位置におい
て揺動のための溝から突き出していることが好ましい。
８０°であることが好ましい。このように構成すれば、
どのような場所においても測定が可能である。測定プロ
ーブまたは測定プローブを保持する揺動スリーブを揺動
自在に保持するために、ハウジングに、揺動のための長
溝を設け、測定プローブの測定ポールが揺動位置におい
て揺動のための溝から突き出していることが好ましい。
【００１１】このように構成すると、測定プローブを保
護状態で配置することができ、測定プローブつまり揺動
スリーブの揺動保持をコンパクトな構成で行うことがで
きる。ハウジングに対する測定プローブの任意の角度位
置が停止位置として設けられ、多数の角度位置でロック
することができることが好ましい。また、測定プローブ
が揺動範囲の任意の角度位置でロックすることができれ
ば有利である。
護状態で配置することができ、測定プローブつまり揺動
スリーブの揺動保持をコンパクトな構成で行うことがで
きる。ハウジングに対する測定プローブの任意の角度位
置が停止位置として設けられ、多数の角度位置でロック
することができることが好ましい。また、測定プローブ
が揺動範囲の任意の角度位置でロックすることができれ
ば有利である。
【００１２】長く伸びるハウジングは、ほぼ棒状であ
り、中間領域が手で把持することができる形状であるこ
とが好ましい。このように構成すれば、測定の際に測定
プローブを正確に測定対象物に当てることができる。測
定結果を迅速に読みとることができるように、ハウジン
グの端部に測定結果を表示するための表示部を設けるこ
とが好ましい。
り、中間領域が手で把持することができる形状であるこ
とが好ましい。このように構成すれば、測定の際に測定
プローブを正確に測定対象物に当てることができる。測
定結果を迅速に読みとることができるように、ハウジン
グの端部に測定結果を表示するための表示部を設けるこ
とが好ましい。
【００１３】測定プローブが揺動自在に設けられている
ため、表示部が読みとりやすく、また、適切な揺動角度
に傾けることにより、読みとりはいっそう容易である。
ハウジングに測定プローブの測定信号のための評価回路
を内蔵することが好ましい。ハウジングには、相異なる
測定方法を選択するためのスイッチを設けることが好ま
しい。この場合、測定装置には、相異なる測定方法を実
行するための測定手段が設けられる。さらに、測定装置
をオンオフするためのスイッチをハウジングに設けるこ
とが好ましい。
ため、表示部が読みとりやすく、また、適切な揺動角度
に傾けることにより、読みとりはいっそう容易である。
ハウジングに測定プローブの測定信号のための評価回路
を内蔵することが好ましい。ハウジングには、相異なる
測定方法を選択するためのスイッチを設けることが好ま
しい。この場合、測定装置には、相異なる測定方法を実
行するための測定手段が設けられる。さらに、測定装置
をオンオフするためのスイッチをハウジングに設けるこ
とが好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面に
基づいて説明する。図１、３及び４に示すように、本実
施例の測定装置は、長く伸びた棒状の、つまり、シリン
ダ形のハウジング１０を有している。ハウジング１０の
一方端部には、そのとき測定された参照番号１２で示す
測定結果を表示するための表示部１１が設けられてい
る。
基づいて説明する。図１、３及び４に示すように、本実
施例の測定装置は、長く伸びた棒状の、つまり、シリン
ダ形のハウジング１０を有している。ハウジング１０の
一方端部には、そのとき測定された参照番号１２で示す
測定結果を表示するための表示部１１が設けられてい
る。
【００１５】ハウジング１０の長く伸びる領域と向き合
って、表示部１１を備える形状の大きなハウジング端部
１３が配置され、ハウジング１０の中間の長く伸びる領
域とハウジング端部１３とは、一体化されるよう結合さ
れている。ハウジング１０の中間の長く伸びる領域の断
面は円形、楕円形あるいは四角形のどれでもよい。一
方、ハウジング端部１３は、ほぼ長方形である表示部１
１に対応して、長方形の外形を有する。
って、表示部１１を備える形状の大きなハウジング端部
１３が配置され、ハウジング１０の中間の長く伸びる領
域とハウジング端部１３とは、一体化されるよう結合さ
れている。ハウジング１０の中間の長く伸びる領域の断
面は円形、楕円形あるいは四角形のどれでもよい。一
方、ハウジング端部１３は、ほぼ長方形である表示部１
１に対応して、長方形の外形を有する。
【００１６】ハウジング１０の他方端部には、溝が設け
られ、この溝内に揺動スリーブ１４が揺動自在に設けら
れている。揺動スリーブ１４は、側壁１６に設けられた
固定の揺動軸１５に支持されている。揺動スリーブ１４
の揺動方向は、対向して位置している側壁により規定さ
れている。揺動スリーブ１４には、ポケット状の凹部が
設けられ、その中に測定プローブ１７が収容され、測定
プローブ１７とポケット状の凹部の底部との間には、バ
ネ１８が配設されている。測定プローブ１７は測定ポー
ル１９を有し、ポケット状の凹部から外に測定プローブ
１７の端部が突き出している。
られ、この溝内に揺動スリーブ１４が揺動自在に設けら
れている。揺動スリーブ１４は、側壁１６に設けられた
固定の揺動軸１５に支持されている。揺動スリーブ１４
の揺動方向は、対向して位置している側壁により規定さ
れている。揺動スリーブ１４には、ポケット状の凹部が
設けられ、その中に測定プローブ１７が収容され、測定
プローブ１７とポケット状の凹部の底部との間には、バ
ネ１８が配設されている。測定プローブ１７は測定ポー
ル１９を有し、ポケット状の凹部から外に測定プローブ
１７の端部が突き出している。
【００１７】測定プローブ１７及び測定ポール１９は、
膜厚の測定のために用いられ、たとえば、本願の冒頭で
述べた周知の技術で形成される。測定は周知の方法で行
なわれ、非鉄金属または反磁性材料からなる下地材また
はベース上の非伝導性の膜の厚さを渦電流を用いて測定
するか、または、磁気伝導性の下地材またはベース上の
非伝導性の膜あるいは導電性の膜の厚さを磁気誘導法で
測定する。
膜厚の測定のために用いられ、たとえば、本願の冒頭で
述べた周知の技術で形成される。測定は周知の方法で行
なわれ、非鉄金属または反磁性材料からなる下地材また
はベース上の非伝導性の膜の厚さを渦電流を用いて測定
するか、または、磁気伝導性の下地材またはベース上の
非伝導性の膜あるいは導電性の膜の厚さを磁気誘導法で
測定する。
【００１８】測定プローブ１７は２つの測定方法を行な
うために複合された測定プローブとして形成することが
できる。図示しないが、本願の冒頭で述べた技術に従っ
て、高周波の交流を測定プローブに供給することによ
り、測定ポールに急速に変化する磁界が生じるような渦
電流測定法のための測定プローブ１７を設ける。
うために複合された測定プローブとして形成することが
できる。図示しないが、本願の冒頭で述べた技術に従っ
て、高周波の交流を測定プローブに供給することによ
り、測定ポールに急速に変化する磁界が生じるような渦
電流測定法のための測定プローブ１７を設ける。
【００１９】磁気誘導法については、磁束を測定するた
めに、周知の方法で（これもまた図示されていないが）
永久磁石とホール素子とが用いられる。ホール素子の測
定信号のための周知の評価回路、高周波コイル及び高周
波ジェネレータもまた、ハウジング１０内に配置され、
周知の方法で製作される。
めに、周知の方法で（これもまた図示されていないが）
永久磁石とホール素子とが用いられる。ホール素子の測
定信号のための周知の評価回路、高周波コイル及び高周
波ジェネレータもまた、ハウジング１０内に配置され、
周知の方法で製作される。
【００２０】この評価回路は、測定結果を表示するため
の表示部１１と接続される。表示部１１に他のデータを
表示することができ、たとえば、測定装置の操作に必要
な電流源（バッテリまたはアキュムレータ）の充電状態
を表示することができる。電流源もまたハウジング１０
内に配設される。
の表示部１１と接続される。表示部１１に他のデータを
表示することができ、たとえば、測定装置の操作に必要
な電流源（バッテリまたはアキュムレータ）の充電状態
を表示することができる。電流源もまたハウジング１０
内に配設される。
【００２１】相異なる測定方法を切り替えるために、ハ
ウジング１０にはスイッチ２０が設けられる。測定方法
を自動的に切り替えるようにすることもできる。相異な
る膜が一部で重なっているとき、例として、導電性膜と
ラッカーの膜とがあるときには、手による切り替えは意
味がある。スイッチ２０は、測定装置のオンオフを切り
替えるための操作スイッチとして用いることができ、ま
た、追加の操作スイッチを設けてもよい。
ウジング１０にはスイッチ２０が設けられる。測定方法
を自動的に切り替えるようにすることもできる。相異な
る膜が一部で重なっているとき、例として、導電性膜と
ラッカーの膜とがあるときには、手による切り替えは意
味がある。スイッチ２０は、測定装置のオンオフを切り
替えるための操作スイッチとして用いることができ、ま
た、追加の操作スイッチを設けてもよい。
【００２２】図１は、測定装置を下地材としての水平な
ベース２１に垂直に配置した状態を示し、ベース２１上
を膜２２が覆っていて、その膜厚を測定する場合を示
す。測定ポール１９は、そのとき、膜２２に弾性的に接
している。図３において、ハウジング１０が揺動スリー
ブ１４に対して角度をもって配置され、表示部１１をよ
り良く読み取ることができる。
ベース２１に垂直に配置した状態を示し、ベース２１上
を膜２２が覆っていて、その膜厚を測定する場合を示
す。測定ポール１９は、そのとき、膜２２に弾性的に接
している。図３において、ハウジング１０が揺動スリー
ブ１４に対して角度をもって配置され、表示部１１をよ
り良く読み取ることができる。
【００２３】このような構成は意味があり、垂直に測定
することができない場合にも困難なく測定することがで
きる。ベース２１が他の角度位置、例えば、垂直あるい
は傾斜しているときでさえ、測定することができる。測
定プローブ１７とハウジング１０との間の角度を調節す
ることにより、表示部１１を良く読み取ることができ
る。
することができない場合にも困難なく測定することがで
きる。ベース２１が他の角度位置、例えば、垂直あるい
は傾斜しているときでさえ、測定することができる。測
定プローブ１７とハウジング１０との間の角度を調節す
ることにより、表示部１１を良く読み取ることができ
る。
【００２４】図４は測定プローブ１７がハウジング１０
に対し、ほぼ９０°傾いている状態を示し、測定すべき
膜上にハウジングを立てることができないため、ハウジ
ング１０をチューブ２３内部に挿入している。測定すべ
き膜に対して垂直に立っている測定プローブ１７の底部
に位置する測定ポール１９で測定すべきチューブ内部の
膜を測定することができる。
に対し、ほぼ９０°傾いている状態を示し、測定すべき
膜上にハウジングを立てることができないため、ハウジ
ング１０をチューブ２３内部に挿入している。測定すべ
き膜に対して垂直に立っている測定プローブ１７の底部
に位置する測定ポール１９で測定すべきチューブ内部の
膜を測定することができる。
【００２５】揺動スリーブ１４をハウジング１０に対し
て任意の角度でロックするために、停止位置として多数
の角度位置を設定し、任意の角度位置で動きをとめてそ
の位置でロックし、さらに力を加えて任意の角度位置に
設定することができる。そのための、固定手段として、
揺動スリーブ１４とハウジング１０との係合部に多数の
放射状の凹凸を設けてもよく、また、ボルトにより固定
するようにしてもよい。
て任意の角度でロックするために、停止位置として多数
の角度位置を設定し、任意の角度位置で動きをとめてそ
の位置でロックし、さらに力を加えて任意の角度位置に
設定することができる。そのための、固定手段として、
揺動スリーブ１４とハウジング１０との係合部に多数の
放射状の凹凸を設けてもよく、また、ボルトにより固定
するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】 測定すべき水平な被膜の直角方向から見た本
発明の一実施例の測定装置の側面図である。
発明の一実施例の測定装置の側面図である。
【図２】 本発明の一実施例の測定装置の表示部の平面
図である。
図である。
【図３】 図１に示す測定装置を少し傾けた状態を示す
図である。
図である。
【図４】 チューブの内壁に被覆された被膜の膜厚を測
定するために、図１に示す測定装置を大きく傾けた状態
を示す図である。
定するために、図１に示す測定装置を大きく傾けた状態
を示す図である。
１０…ハウジング １１…表示部 １３…ハウジング端部 １４…揺動スリーブ １７…測定プローブ １８…バネ １９…測定ポール ２０…スイッチ ２１…ベース ２２…膜
Claims (8)
- 【請求項１】 磁気誘導測定法及び／又は渦電流法を用
いて膜厚を測定するための膜厚測定装置であって、 該測定装置は長く伸びるハウジング（１０）を備え、該
ハウジングの端部に測定プローブ（１７）を揺動自在に
保持したことを特徴とする、膜厚測定装置。 - 【請求項２】 前記測定プローブ（１７）は、ハウジン
グ（１０）の端部に揺動自在に保持された揺動スリーブ
（１４）内に弾性的に保持され、測定プローブ（１７）
の少なくとも測定ポール（１９）が揺動スリーブ（１
４）から突き出していることを特徴とする請求項１記載
の膜厚測定装置。 - 【請求項３】 前記測定プローブ（１７）の揺動範囲が
９０°ないし１８０°であることを特徴とする請求項１
又は２記載の膜厚測定装置。 - 【請求項４】 前記ハウジング（１０）が、測定プロー
ブ（１７）又は測定プローブ（１７）を保持する揺動ス
リーブ（１４）を、揺動自在に保持するための揺動のた
めの溝を有し、測定プローブ（１７）の測定ポール（１
９）が揺動位置において揺動のための溝から突き出して
いることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記
載の膜厚測定装置。 - 【請求項５】 前記ハウジング（１０）に対する前記測
定プローブ（１７）の任意の角度位置が停止位置として
設けられていることを特徴とする請求項１ないし４のい
ずれかに記載の膜厚測定装置。 - 【請求項６】 前記測定プローブ（１７）が揺動範囲の
任意の角度位置でロックすることができることを特徴と
する請求項１ないし５のいずれかに記載の膜厚測定装
置。 - 【請求項７】 前記ハウジング（１０）がほぼ棒状であ
ることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載
の膜厚測定装置。 - 【請求項８】 前記ハウジング（１０）の中間領域が手
で把持することができる形状であることを特徴とする請
求項１ないし７のいずれかに記載の膜厚測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE296200441 | 1996-11-19 | ||
| DE29620044U DE29620044U1 (de) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | Schichtdicken-Meßgerät |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10170213A true JPH10170213A (ja) | 1998-06-26 |
Family
ID=8032110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31832597A Pending JPH10170213A (ja) | 1996-11-19 | 1997-11-19 | 膜厚測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10170213A (ja) |
| DE (1) | DE29620044U1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100415922B1 (ko) * | 1998-12-21 | 2004-06-18 | 주식회사 포스코 | 자기유도센서를이용한비자성물질코팅층두께검량방법 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102018211029A1 (de) * | 2017-12-20 | 2019-06-27 | Gerd Reime | Verfahren und Sensor zur Erkennung einer Bewegung eines metallischen Gegenstandes mit extrem geringem Stromverbrauch |
-
1996
- 1996-11-19 DE DE29620044U patent/DE29620044U1/de not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-11-19 JP JP31832597A patent/JPH10170213A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100415922B1 (ko) * | 1998-12-21 | 2004-06-18 | 주식회사 포스코 | 자기유도센서를이용한비자성물질코팅층두께검량방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE29620044U1 (de) | 1997-01-09 |
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