KR890002674A - 저항률의 측정방법 및 그 장치 - Google Patents

저항률의 측정방법 및 그 장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

저항률의 측정방법 및 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 실시예의 4탐침법에 의한 구형 시료의 저항 측면을 나타낸 도면. 제2도는 종래예의 2단자 법에 의한 표면 저항의 측정을 나타낸 도면. 제10도는 원형 시료의 W 평면에의 사상을 나타낸 도면. 제11도는 원형 시료에 있어서 팀침의 접점의 경상점을 나타낸 도면.

Claims (16)

  1. 4탐침법에서, 시료의 표면 저항이나 체적고유 저항을 측정하는 저항율의 측정 방법으로서, 전기 시료의 형상 정보를 입력하는 공정과, 전기 형상 정보와 전기 시료상에 있어서의 측정위치 정보를 기초로 전기시료의 저항 보정계수를 산출하는 공정과, 4탐침법에서 측정된 저항치에 전기 저항 보정계수를 승산하여 전기 시료의 표면저항 또는 체적고유 저항을 산출하는 공정을 포함함을 특징으로 하는 저항율의 측정방법.
  2. 제1항에 있어, 전기형상 정보는 전기시료가 구형인지 원형인지를 지정하는 형 정보와 전기시료의 치수 및 두께정보를 포함함을 특징으로 하는 저항율의 측정방법.
  3. 측정 대상물의 형상 정보를 입력하는 입력수단과, 전기 측정 대상물에서의 측정 위치를 지정하는 지정수단과, 전기 형상 정보와 전기 측정위치 정보를 기초로 보정계수를 산출하는 산출수단과, 측정시, 직선상으로 배치된 4본의 전극을 갖는 4탐침 프로우브를 전기 측정 대상물을 표면에 접촉시켰을때, 전기 4본의 전극의 외축의 2본의 전극에 소정 전류를 통전하고, 전기 4본의 전극의 내측의 2본의 전극간에 생기는 전위차를 검출하는 수단과, 전기 소정 전류의 전류치와, 전기 전위차로부터 저항치를 산출하는 수단과, 전기 저항치에 전기 보정계수를 승산하여 전기측정 대상물의 표면 저항 또는 체적 고유 저항을 산출하는 수단과, 전기 보정계수 또는 전기 표면저항 또는 체적고유 저항을 표시출력하는 출력수단을 갖는것을 특징으로 하는 저항율 측정장치.
  4. 제 3항에 있어, 전기 4본의 전극의 외측의 2본의 전극에 통전하는 전류치를 제한하는 수단을 또한 포함함을 특징으로 하는 저항율 측정장치.
  5. 제 3항에 있어, 전기 형상정보는 전기 측정 대상율이 구형인지 원형인지를 지정하는 형 정보와 전기시료의 치수 및 두께 정보를 포함함을 특징으로 하는 저항율 측정장치.
  6. 제 3항에 있어, 전기 지정수단은 전기측정 대상물을 소정위치에 유지하고, 전기 4탐침 프로우브를 전기 측정 대상물상에서, 이동 가능하게 지지하는 지지수단과, 이 지지수단에 의하여 지지된 전기 프로우브의 전기 측정 대상물에 대한 위치정보를 전기산출 수단에 출력하는 수단을 포함함을 특징으로 하는 저항율 측정장치.
  7. 제 3항에 있어, 전기 지정수단은 전기 측정 대상물에 있어서의 4탐침 프로우브의 위치를 입력하는 입력수단과, 전기측정 대상물을 소정위치에 유지하고, 전기 4탐침 프로우브를 전기 측정 대상물 상에서 이동 가능하게 지지하는 지지수단과, 이 지지수단을 구동하여, 전기 입력 수단에 의하여 지지된 측정 위치에 전기 4탐침 프로우브를 이동하는 수단을 갖는것을 특징으로 하는 저항율 측정장치.
  8. 제 3항에 있어, 전기 4탐침 프로우브는 일측에 측정 대상물이 수납되는 요부가 형성된 절연체로써된 기대와 전기요부와 상보적으로 감합되도록 형성된 철부를 일측에 갖는 가대와, 이 가대와 전기 기대가 합체되어서, 전기요부와 철보가 서로 감합된 상태에서, 전기측정 대상물의 표면에 접촉하는 전기 기대에 형성된 4본의 접촉탐침을 포함함을 특징으로 하는 저항율 측정장치.
  9. 제 8항에 있어, 전기 4본의 접촉 탐침은 전기 철부내에 압입 가능하며 장착됨과 동시에 부세부재에 의하여, 전기 철부 표면으로 부터 전기측정 대상물측에 부세되어 있음을 특징으로 하는 저항율 측정장치.
  10. 4탐침을 피측정체에 접촉시켜서, 그 저항율을 측정하는 저항율 측정장치로서, 전기 피측정체에 소정 전류를 통전하는 2본의 통전용 탐침과, 전기 소정 전류에 의하여 발생하는 전기피측정체의 표면 전위를 계측하는 전압측정용 탐침을 갖고, 전기통전용 탐침과, 전기전압 측정용 탐침이 동일 직선상에 존재하지 않고, 그리고 전기 통전용 탐침의 어느 일방과, 전기 전압측정용 탐침의 각각이 등거리로 배치되어 있지 않은 측정용 프로우브와, 전기 피측정체상에서의 측정위치를 지정하는 지정수단과, 이 측정용 프로우브의 탐침 배치 형상과 전기 피측정체의 형상 정보 및 전기 지정수단에 의하여 지정된 측정위치 정보를 기초로 전기 피측정체의 보정계수를 산출하는 산출수단과, 전기 소정 전류의 전류치와, 전기 표면전위를 기초로 전기피측정체의 저항치를 산출하는 수단과, 전기 저항치에, 전기 보정계수를 승산하여, 전기 피측정체의 표면 저항 또는 체적 고유 저항을 산출하는 수단을 갖는것을 특징으로 하는 저항율 측정장치.
  11. 제10항에 있어, 전기 형상 정보는 전기 피측정체의 치수 및 두께정보를 포함함을 특징으로 하는 저항 측정장치.
  12. 제10항에 있어, 전기 4본의 전극중 전류를 인가시키는 2본의 전극에의 통전전류치를 제한하는 수단을 또한 포함함을 특징으로 하는 저항율 측정장치.
  13. 제 10항 있어, 전기 지정수단은 전기 피측정체를 소정위치에 유지하고, 전기 4탐침 프로우브를 전기 피측정체상에서 이동 가능하며 지지하는 지지수단과, 이 지지수단에 의하여 지지된 전기 프로우브의 전기 피측정체에 대한 위치 정보를 전기산출 수단에 출력하는 수단을 포함함을 특징으로 하는 저항율 측정장치.
  14. 제10항에 있어, 전기 지정수단은 전기 피측정체상에 있어서의 4탐침 프로우브의 위치를 입력하는 입력수단과, 전기 피측정체를 소정위치에 유지하고, 전기 4탐침 프로우브를 전기 피측정체상에서 이동가능하게 지지하는 지지수단과, 이 지지수단을 구동하여, 전기 입력수단에 의하여, 지지된 측정위치에 전기 4탐침 프로우브를 이동하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 저항율 측정장치.
  15. 제10항에 있어, 전기 측정용 프로우브는 일측에 피측정체가 수납되는 요부가 형성된 절연체로써된 기대와 전기요부와 상보적으로 감합하도록 형성된 철부를 일측에 갖는 가대와 이 가대와 전기 가대가 합체되어서 전기 요부가 철부가 서로 감합된 상태에서 전기 피측정체의 표면에 접촉하는 전기 기대에 형성된 4본의 접촉 탐침을 포함함을 특징으로 하는 저항율 측정장치.
  16. 제15항에 있어, 전기 4본의 접촉탐침은 전기 철부내에 압입 가능하게 장착됨과 동시에 부세부재에 의하여, 전기 철부 표면으로부터 전기 피측정체에 부세되어 있음을 특징으로 하는 저항율 측정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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