SU991330A1 - Способ измерени переходного сопротивлени - Google Patents

Description

(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕХОДНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ

Изобретение относитс  к способам измерени  параметров пленочных схем, а именно к измерению переходного сог противлени  между двум  пленочными контактирующими сло ми.

Известен способ измерени  контактных сопротивлений с помощью трех зондов , два из которых установлены неподвижно и подсоединены к источнику тока, а третий передвигаетс  между ними и служит дл  измерени  распределени  падени  напр жени  между неподвижными зондами, по которому графически определ ют переходное сопротивление контакта 1.

Недостатками известного способа  вл етс  сложность, так как требует-, с  специальное устройство дл  перемещени  зонда, и невысока  точность измерений переходного сопротивлени , обусловленна  тем, что измерени  включают падение напр жени  как на переходе , так и на участках проводника.

Наиболее близок по технической сущности и достигаемому результату способ измерени  переходного сопротивлени  между двум  пленочными контактирующими сло ми, согласно которо иу используют четыре зонда, два из

которых .- дл  подачи тока, а два других - дл  измерени  напр жени  2.

Недостатком этого способа  вл етс  невысока  .точность измерений, св занна  с тем, что измер етс  не только падение напр жени  на переходном .слое между пленочными проводниками, . но и падение напр жени  на участках самих проводников между зондами. Кро10 ме того, расчет переходного сопротивлени  по полученным результатной измерений трудоемок.

,Цель изобретени  - повышение точ15 ности измерени  переходного сопротив лени .

Поставленна  цель достигаетс  тем, что, согласно способу измерени  пе20 реходного сопротивлени  между двум  пленочными контактирующими сло ми,основанному на измерении тока и напр жени  о контактирующих слоев, выполн ют провод щие дорожки из материала контактирующих слоев за одно целое

25

с ними и расположенные преимущественно под углом 90 или 180° друг к другу и с них производ т измерение напр жени .

На чертеже показана схема дл  из30 мерени  переходного сопротивлени 

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Способ измерения переходного сопротивления между двумя пленочными контактирующими слоями, основанный на измерении тока и напряжения с контактирующих слоев, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения переходного сопротивления,' выполняют проводящие дорожки из материала контактирующих слоев за одно целое с ними и расположенные преимущественно под углом 90 или 180° друг к другу и с них производят измерение напряжения.