JPH10164443A - 固体撮像素子カメラ - Google Patents
固体撮像素子カメラInfo
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- JPH10164443A JPH10164443A JP8334617A JP33461796A JPH10164443A JP H10164443 A JPH10164443 A JP H10164443A JP 8334617 A JP8334617 A JP 8334617A JP 33461796 A JP33461796 A JP 33461796A JP H10164443 A JPH10164443 A JP H10164443A
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Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 40
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 37
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/40—Extracting pixel data from image sensors by controlling scanning circuits, e.g. by modifying the number of pixels sampled or to be sampled
- H04N25/46—Extracting pixel data from image sensors by controlling scanning circuits, e.g. by modifying the number of pixels sampled or to be sampled by combining or binning pixels
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
- H04N25/73—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors using interline transfer [IT]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 １つの固体撮像素子を使用して並列的に２フ
ィールド時間での高解像度の信号読出しと１フィールド
時間での高速読出しとを可能にする。 【解決手段】 固体撮像素子カメラにおいて、２次元的
に配列された画素群からの信号を順次第１の水平転送レ
ジスタに、さらに該第１の水平転送レジスタを介して第
２の水平転送レジスタに転送し、該第１および第２の水
平転送レジスタから２つのフィールドの映像信号をそれ
ぞれ２つの映像出力端子２，３を介して並列的に出力す
る撮像素子１の前記２つの映像出力端子２，３から外部
に出力された映像信号を互いに加算する加算回路６と、
該加算回路６により加算された映像信号に所定の信号処
理を施して出力する信号処理回路８を設ける。さらに、
前記撮像素子１の２つの映像出力端子の一方からの信号
に所定の信号処理を施して出力する第２の信号処理回路
７を設けることができる。
ィールド時間での高解像度の信号読出しと１フィールド
時間での高速読出しとを可能にする。 【解決手段】 固体撮像素子カメラにおいて、２次元的
に配列された画素群からの信号を順次第１の水平転送レ
ジスタに、さらに該第１の水平転送レジスタを介して第
２の水平転送レジスタに転送し、該第１および第２の水
平転送レジスタから２つのフィールドの映像信号をそれ
ぞれ２つの映像出力端子２，３を介して並列的に出力す
る撮像素子１の前記２つの映像出力端子２，３から外部
に出力された映像信号を互いに加算する加算回路６と、
該加算回路６により加算された映像信号に所定の信号処
理を施して出力する信号処理回路８を設ける。さらに、
前記撮像素子１の２つの映像出力端子の一方からの信号
に所定の信号処理を施して出力する第２の信号処理回路
７を設けることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子カメ
ラに関し、特に２フィールド時間での独立した画素読出
しと１フィールド時間での全画素情報の読出しとを同時
に行うことができる効率的な固体撮像素子カメラに関す
る。
ラに関し、特に２フィールド時間での独立した画素読出
しと１フィールド時間での全画素情報の読出しとを同時
に行うことができる効率的な固体撮像素子カメラに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、単一の転送出力端子を有する固体
撮像素子では、各フォトセンサに対応させて、固体撮像
素子が撮像した全画素信号の読出しを独立して行うこと
ができる。この場合、全画素信号の読出しに２フィール
ド時間を要していた。
撮像素子では、各フォトセンサに対応させて、固体撮像
素子が撮像した全画素信号の読出しを独立して行うこと
ができる。この場合、全画素信号の読出しに２フィール
ド時間を要していた。
【０００３】例えば、図５は、従来の固体撮像素子によ
って撮像された画素信号の転送動作を説明する図であ
り、撮像された全画素信号は、図５（ａ）に示す第１フ
ィールドに対応するフォトセンサ（例えば淡く塗りつぶ
されて示されるフォトセンサＦＳ１）によって撮像され
た画素信号群と図５（ｂ）に示す第２フィールドに対応
するフォトセンサ（例えば黒く塗りつぶされて示される
フォトセンサＦＳ２）によって撮像された画素信号群と
に時間的に分離されて単一の転送出力端子から転送出力
される。すなわち、第１フィールドの画素信号群は第１
フィールド時間に転送され、第２フィールドの画素信号
群は第２フィールド時間に転送されるので、全画素信号
の転送には、２フィールド時間を要していた。
って撮像された画素信号の転送動作を説明する図であ
り、撮像された全画素信号は、図５（ａ）に示す第１フ
ィールドに対応するフォトセンサ（例えば淡く塗りつぶ
されて示されるフォトセンサＦＳ１）によって撮像され
た画素信号群と図５（ｂ）に示す第２フィールドに対応
するフォトセンサ（例えば黒く塗りつぶされて示される
フォトセンサＦＳ２）によって撮像された画素信号群と
に時間的に分離されて単一の転送出力端子から転送出力
される。すなわち、第１フィールドの画素信号群は第１
フィールド時間に転送され、第２フィールドの画素信号
群は第２フィールド時間に転送されるので、全画素信号
の転送には、２フィールド時間を要していた。
【０００４】一方、撮像された全画素信号の情報を１フ
ィールド時間で読み出す固体撮像素子では、フォトセン
サによって撮像された信号を転送部分であるＣＣＤ内部
で加算し、この加算した画素信号を転送出力するように
していた。
ィールド時間で読み出す固体撮像素子では、フォトセン
サによって撮像された信号を転送部分であるＣＣＤ内部
で加算し、この加算した画素信号を転送出力するように
していた。
【０００５】例えば、図４は、１フィールド時間で全画
素信号を転送出力する従来の固体撮像素子の転送動作を
示す図であり、図４に示す固体撮像素子は、図５に示す
固体撮像素子と同様に、各フォトセンサが第１フィール
ドのフォトセンサと第２フィールドのフォトセンサとに
予め対応している。ここで、図４に示す固体撮像素子で
は、図４（ａ）に示すように第１フィールド時間に、第
１フィールドに対応するフォトセンサからの画像信号と
第２フィールドに対応するフォトセンサからの画素信号
とを垂直転送ＣＣＤ４１内で加算し、この加算した２ラ
イン分の画素信号を転送し、図示しない水平転送ＣＣＤ
によって水平転送出力するようにし、図４（ｂ）に示す
ように第２フィールド時間でも、第１フィールドに対応
するフォトセンサからの画素信号と第２フィールドに対
応するフォトセンサからの画素信号とを垂直転送ＣＣＤ
４１内で加算し、この加算した２ライン分の画素信号を
転送し、図示しない水平転送ＣＣＤによって水平転送出
力するようにしているので、第１フィールド時間でも、
第２フィールド時間でも、固体撮像素子が撮像した全画
素信号を１フィールド時間で転送出力することができ
る。
素信号を転送出力する従来の固体撮像素子の転送動作を
示す図であり、図４に示す固体撮像素子は、図５に示す
固体撮像素子と同様に、各フォトセンサが第１フィール
ドのフォトセンサと第２フィールドのフォトセンサとに
予め対応している。ここで、図４に示す固体撮像素子で
は、図４（ａ）に示すように第１フィールド時間に、第
１フィールドに対応するフォトセンサからの画像信号と
第２フィールドに対応するフォトセンサからの画素信号
とを垂直転送ＣＣＤ４１内で加算し、この加算した２ラ
イン分の画素信号を転送し、図示しない水平転送ＣＣＤ
によって水平転送出力するようにし、図４（ｂ）に示す
ように第２フィールド時間でも、第１フィールドに対応
するフォトセンサからの画素信号と第２フィールドに対
応するフォトセンサからの画素信号とを垂直転送ＣＣＤ
４１内で加算し、この加算した２ライン分の画素信号を
転送し、図示しない水平転送ＣＣＤによって水平転送出
力するようにしているので、第１フィールド時間でも、
第２フィールド時間でも、固体撮像素子が撮像した全画
素信号を１フィールド時間で転送出力することができ
る。
【０００６】但し、この場合、１フィールド時間で転送
出力される全画素信号は、各フォトセンサに対応したも
のとはなっておらず、全画素信号を独立して読み出すも
のではない。
出力される全画素信号は、各フォトセンサに対応したも
のとはなっておらず、全画素信号を独立して読み出すも
のではない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た２フィールド時間に独立した全画素信号を読み出すこ
とができる従来の固体撮像素子と、１フィールド時間に
全記画素信号の情報を読み出すことができる従来の固体
撮像素子とは、固体撮像素子そのものの構成が全く異な
るものであることから、固体撮像素子の汎用性がなく、
１つの固体撮像素子によって、上述した２フィールド時
間における独立した全画素信号の読出しと１フィールド
時間における全画素信号の情報の読出しとを同時に行う
ことはできず、効率的でないという問題点があった。
た２フィールド時間に独立した全画素信号を読み出すこ
とができる従来の固体撮像素子と、１フィールド時間に
全記画素信号の情報を読み出すことができる従来の固体
撮像素子とは、固体撮像素子そのものの構成が全く異な
るものであることから、固体撮像素子の汎用性がなく、
１つの固体撮像素子によって、上述した２フィールド時
間における独立した全画素信号の読出しと１フィールド
時間における全画素信号の情報の読出しとを同時に行う
ことはできず、効率的でないという問題点があった。
【０００８】そこで、本発明は、かかる問題点を除去
し、汎用性のある固体撮像素子カメラを提供するととも
に、１つの固体撮像素子によって２フィールド時間にお
ける独立した全画素信号の読出し信号と１フィールド時
間における全画素信号の情報の読出し信号とを同時に出
力することができる固体撮像素子カメラを提供すること
を目的とする。
し、汎用性のある固体撮像素子カメラを提供するととも
に、１つの固体撮像素子によって２フィールド時間にお
ける独立した全画素信号の読出し信号と１フィールド時
間における全画素信号の情報の読出し信号とを同時に出
力することができる固体撮像素子カメラを提供すること
を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の第１の態様に係わる固体撮像素子カメラ
は、行および列方向に２次元的に配列された画素群によ
って被写体からの画像光を撮像し、該撮像によって得ら
れた画素信号群を行ごとに順次第１の水平転送レジスタ
に、さらに該第１の水平転送レジスタを介して第２の水
平転送レジスタに転送し、該第１および第２の水平転送
レジスタから２つのフィールドの映像信号をそれぞれ２
つの映像出力端子を介して並列的に出力する撮像素子
と、前記撮像素子の２つの映像出力端子から外部に出力
された映像信号を互いに加算する加算回路と、前記加算
回路により加算された映像信号に所定の信号処理を施し
て出力する信号処理回路とを備えて構成される。
め、本発明の第１の態様に係わる固体撮像素子カメラ
は、行および列方向に２次元的に配列された画素群によ
って被写体からの画像光を撮像し、該撮像によって得ら
れた画素信号群を行ごとに順次第１の水平転送レジスタ
に、さらに該第１の水平転送レジスタを介して第２の水
平転送レジスタに転送し、該第１および第２の水平転送
レジスタから２つのフィールドの映像信号をそれぞれ２
つの映像出力端子を介して並列的に出力する撮像素子
と、前記撮像素子の２つの映像出力端子から外部に出力
された映像信号を互いに加算する加算回路と、前記加算
回路により加算された映像信号に所定の信号処理を施し
て出力する信号処理回路とを備えて構成される。
【００１０】このような構成により、固体撮像素子自体
の構成をそのままにして、２つの映像出力端子から出力
される映像信号を外部で加算し、通常の半分の時間で全
画素の映像情報を読出すことができる。したがって、高
速度で映像信号を得ることが必要な場合には好都合であ
り、例えば固体撮像素子カメラを使用して位置制御を行
なう場合などには応答速度を速め高性能の制御を行なう
ことができる。また、前記２つの映像出力端子の内の一
方から得られた映像信号を例えばインタレース走査方式
のモニタテレビジョンなどで表示することにより被写体
の画像を高い分解能で表示することができ、前述のよう
な位置制御を高速度で行ないながら制御状態を適切に監
視することができる。
の構成をそのままにして、２つの映像出力端子から出力
される映像信号を外部で加算し、通常の半分の時間で全
画素の映像情報を読出すことができる。したがって、高
速度で映像信号を得ることが必要な場合には好都合であ
り、例えば固体撮像素子カメラを使用して位置制御を行
なう場合などには応答速度を速め高性能の制御を行なう
ことができる。また、前記２つの映像出力端子の内の一
方から得られた映像信号を例えばインタレース走査方式
のモニタテレビジョンなどで表示することにより被写体
の画像を高い分解能で表示することができ、前述のよう
な位置制御を高速度で行ないながら制御状態を適切に監
視することができる。
【００１１】この場合、前記２つの映像出力端子から外
部に出力される映像信号はそれぞれ第１フィールド、例
えば奇数フィールド、および第２フィールド、例えば偶
数フィールド、の映像信号、または逆に第２フィールド
および第１フィールドの映像信号が並列的に出力され
る。したがって、前記加算回路から出力される信号は１
フィールド時間にて全画素の情報を含む信号として読み
出され、前記２つの映像出力端子のそれぞれから出力さ
れる映像信号の２倍の早さで全画素の情報を含む信号が
得られる。
部に出力される映像信号はそれぞれ第１フィールド、例
えば奇数フィールド、および第２フィールド、例えば偶
数フィールド、の映像信号、または逆に第２フィールド
および第１フィールドの映像信号が並列的に出力され
る。したがって、前記加算回路から出力される信号は１
フィールド時間にて全画素の情報を含む信号として読み
出され、前記２つの映像出力端子のそれぞれから出力さ
れる映像信号の２倍の早さで全画素の情報を含む信号が
得られる。
【００１２】本発明の第２の態様に係わる固体撮像素子
カメラは、行および列方向に２次元的に配列された画素
群によって被写体からの画像光を撮像し、該撮像によっ
て得られた画素信号群を行ごとに順次第１の水平転送レ
ジスタに、さらに該第１の水平転送レジスタを介して第
２の水平転送レジスタに転送し、該第１および第２の水
平転送レジスタから２つのフィールドの映像信号をそれ
ぞれ２つの映像出力端子を介して並列的に出力する撮像
素子と、前記撮像素子の２つの映像出力端子から外部に
出力された映像信号を互いに加算する加算回路と前記加
算回路により加算された映像信号に所定の信号処理を施
して出力する第１の信号処理回路と前記第１または第２
の映像出力端子からの信号に所定の信号処理を施して出
力する第２の信号処理回路とを備えて構成される。
カメラは、行および列方向に２次元的に配列された画素
群によって被写体からの画像光を撮像し、該撮像によっ
て得られた画素信号群を行ごとに順次第１の水平転送レ
ジスタに、さらに該第１の水平転送レジスタを介して第
２の水平転送レジスタに転送し、該第１および第２の水
平転送レジスタから２つのフィールドの映像信号をそれ
ぞれ２つの映像出力端子を介して並列的に出力する撮像
素子と、前記撮像素子の２つの映像出力端子から外部に
出力された映像信号を互いに加算する加算回路と前記加
算回路により加算された映像信号に所定の信号処理を施
して出力する第１の信号処理回路と前記第１または第２
の映像出力端子からの信号に所定の信号処理を施して出
力する第２の信号処理回路とを備えて構成される。
【００１３】この場合は、前述のように前記加算回路お
よび第１の信号処理回路によって２つのフィールドの映
像信号を加算した映像信号が高速度で出力される。さら
に、前記第２の信号処理回路からは第１および第２のフ
ィールドの映像信号が順次直列的に出力され、高解像度
の映像信号が得られる。したがって、このような構成に
より高速度で映像情報を得ることができると共に高い解
像度の映像情報をも同時に得ることが可能になる。
よび第１の信号処理回路によって２つのフィールドの映
像信号を加算した映像信号が高速度で出力される。さら
に、前記第２の信号処理回路からは第１および第２のフ
ィールドの映像信号が順次直列的に出力され、高解像度
の映像信号が得られる。したがって、このような構成に
より高速度で映像情報を得ることができると共に高い解
像度の映像情報をも同時に得ることが可能になる。
【００１４】また、この場合も、前記加算回路から出力
される信号は前記２つの映像出力端子から出力される第
１および第２のフィールドの映像信号を加算したもので
あるから、１フィールド時間にて全画素の情報を含む信
号として読出すことができ、短時間で全画素の情報を含
む信号が読出される。
される信号は前記２つの映像出力端子から出力される第
１および第２のフィールドの映像信号を加算したもので
あるから、１フィールド時間にて全画素の情報を含む信
号として読出すことができ、短時間で全画素の情報を含
む信号が読出される。
【００１５】さらに、前記第２の信号処理回路からは第
１および第２のフィールドの映像信号が交互に出力さ
れ、２フィールドで全画素の信号が出力される。この場
合は、全画素の映像情報が２フィールドで高い解像度を
備えて出力される。
１および第２のフィールドの映像信号が交互に出力さ
れ、２フィールドで全画素の信号が出力される。この場
合は、全画素の映像情報が２フィールドで高い解像度を
備えて出力される。
【００１６】したがって、前記第１の信号処理回路から
出力される映像信号は例えば被制御物体の位置検出に使
用され、かつ前記第２の信号処理回路から出力される映
像信号は例えば撮像画像の表示に使用することができ
る。これによって、短時間で被制御物体の位置検出を行
なうことができ高速度の位置制御を行なうことができる
と共に、被制御物体の画像を同時に高い解像度で表示し
その制御位置を的確に監視することが可能になる。
出力される映像信号は例えば被制御物体の位置検出に使
用され、かつ前記第２の信号処理回路から出力される映
像信号は例えば撮像画像の表示に使用することができ
る。これによって、短時間で被制御物体の位置検出を行
なうことができ高速度の位置制御を行なうことができる
と共に、被制御物体の画像を同時に高い解像度で表示し
その制御位置を的確に監視することが可能になる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態に係わる固体撮像素子カメラについて説明する。
施形態に係わる固体撮像素子カメラについて説明する。
【００１８】図１は、本発明の一実施形態に係わる固体
撮像素子カメラの概略の構成を示す。図１に示される固
体撮像素子カメラは、例えば２次元に移動可能なテーブ
ル１４上に載置されたウェハ等の処理対象物１２上のマ
ークｍの近傍を撮像するＣＣＤ撮像素子１を有し、この
ＣＣＤ撮像素子１は、撮像した画素信号を出力する第１
出力端子２及び第２出力端子３の２つの出力端子を有す
る。
撮像素子カメラの概略の構成を示す。図１に示される固
体撮像素子カメラは、例えば２次元に移動可能なテーブ
ル１４上に載置されたウェハ等の処理対象物１２上のマ
ークｍの近傍を撮像するＣＣＤ撮像素子１を有し、この
ＣＣＤ撮像素子１は、撮像した画素信号を出力する第１
出力端子２及び第２出力端子３の２つの出力端子を有す
る。
【００１９】第１出力端子２から出力される画素信号
は、バッファアンプ４を介して増幅され、第１映像信号
Ｓ１として第１信号処理部７に入力される。また、第１
映像信号Ｓ１は、接続点Ｔ１を介してバッファアンプ１
０に入力され、このバッファアンプ１０によって増幅さ
れた信号は、加算器６に入力される。
は、バッファアンプ４を介して増幅され、第１映像信号
Ｓ１として第１信号処理部７に入力される。また、第１
映像信号Ｓ１は、接続点Ｔ１を介してバッファアンプ１
０に入力され、このバッファアンプ１０によって増幅さ
れた信号は、加算器６に入力される。
【００２０】一方、第２出力端子３から出力される画素
信号は、バッファアンプ５を介して増幅され、第２映像
信号Ｓ２として加算器６に入力される。
信号は、バッファアンプ５を介して増幅され、第２映像
信号Ｓ２として加算器６に入力される。
【００２１】加算器６は、バッファアンプ４，１０を介
して入力された第１映像信号Ｓ１とバッファアンプ５を
介して入力された第２映像信号Ｓ２とを加算し、この加
算された加算信号Ｓ３を第２信号処理部８に入力する。
して入力された第１映像信号Ｓ１とバッファアンプ５を
介して入力された第２映像信号Ｓ２とを加算し、この加
算された加算信号Ｓ３を第２信号処理部８に入力する。
【００２２】第１信号処理部７は、Ａ／Ｄ変換部７ａ、
モニタ信号生成部７ｂ、及びＤ／Ａ変換部７ｃを有し、
Ａ／Ｄ変換部７ａは、接続点Ｔ１を介して入力される第
１映像信号Ｓ１をアナログ／ディジタル変換し、モニタ
信号生成部７ｂは、このアナログ／ディジタル変換され
たディジタル信号をもとに、アナログモニタ９に適する
ディジタルのモニタ信号を生成し、Ｄ／Ａ変換部７ｃ
は、このディジタルのモニタ信号をアナログのモニタ信
号Ｓ４に変換して、アナログモニタ９に所定のタイミン
グで出力する。
モニタ信号生成部７ｂ、及びＤ／Ａ変換部７ｃを有し、
Ａ／Ｄ変換部７ａは、接続点Ｔ１を介して入力される第
１映像信号Ｓ１をアナログ／ディジタル変換し、モニタ
信号生成部７ｂは、このアナログ／ディジタル変換され
たディジタル信号をもとに、アナログモニタ９に適する
ディジタルのモニタ信号を生成し、Ｄ／Ａ変換部７ｃ
は、このディジタルのモニタ信号をアナログのモニタ信
号Ｓ４に変換して、アナログモニタ９に所定のタイミン
グで出力する。
【００２３】第２信号処理部８は、Ａ／Ｄ変換部８ａ、
画像処理部８ｂ、差分検出部８ｃ、及び駆動信号出力部
８ｄを有し、Ａ／Ｄ変換部８ａは、入力された加算信号
Ｓ３をアナログ／ディジタル変換し、画像処理部８ｂ
は、ディジタル変換された画素信号をもとに、所定の画
像処理を施し、差分検出部８ｃは、この所定の画像処理
が施された画像信号を所定のパターン、例えば「＋」パ
ターンの画像信号とのマッチング処理等を行って、ＣＣ
Ｄ撮像素子１と処理対象物１２上のマークｍとの位置ズ
レを差分として検出し、駆動信号出力部８ｄは、この検
出された差分をなくす制御信号としての駆動信号Ｓ５を
駆動系１３にフィードバック出力する。
画像処理部８ｂ、差分検出部８ｃ、及び駆動信号出力部
８ｄを有し、Ａ／Ｄ変換部８ａは、入力された加算信号
Ｓ３をアナログ／ディジタル変換し、画像処理部８ｂ
は、ディジタル変換された画素信号をもとに、所定の画
像処理を施し、差分検出部８ｃは、この所定の画像処理
が施された画像信号を所定のパターン、例えば「＋」パ
ターンの画像信号とのマッチング処理等を行って、ＣＣ
Ｄ撮像素子１と処理対象物１２上のマークｍとの位置ズ
レを差分として検出し、駆動信号出力部８ｄは、この検
出された差分をなくす制御信号としての駆動信号Ｓ５を
駆動系１３にフィードバック出力する。
【００２４】駆動系１３は、入力される駆動信号Ｓ５を
もとに、テーブルの２次元移動を行う。
もとに、テーブルの２次元移動を行う。
【００２５】これにより、１つのＣＣＤ撮像素子１のみ
によって、ＣＣＤ撮像素子１を有する処理装置１１の絶
対的位置に対するテーブル１４上の処理対象物１２の位
置合わせを高速度で行なうことができるとともに、アナ
ログモニタ９からは、ＣＣＤ撮像素子１が撮像する画像
を高解像度でモニタすることができる。
によって、ＣＣＤ撮像素子１を有する処理装置１１の絶
対的位置に対するテーブル１４上の処理対象物１２の位
置合わせを高速度で行なうことができるとともに、アナ
ログモニタ９からは、ＣＣＤ撮像素子１が撮像する画像
を高解像度でモニタすることができる。
【００２６】図２を参照して、ＣＣＤ撮像素子１の詳細
な構成及び転送処理について説明する。ここで、図２
（ａ）は、奇数フィールドに対応した転送処理を示し、
図２（ｂ）は、偶数フィールドに対応した転送処理を示
す。
な構成及び転送処理について説明する。ここで、図２
（ａ）は、奇数フィールドに対応した転送処理を示し、
図２（ｂ）は、偶数フィールドに対応した転送処理を示
す。
【００２７】図２（ａ）において、正方形で示すフォト
センサ２１，２２を含むフォトセンサは、所定時間、画
像光を受光し、受光により蓄積された電荷を所定のタイ
ミングで一斉に垂直転送ＣＣＤ２３ａ〜２３ｄに出力す
る。ここで、フォトセンサ２１を含め、淡く塗りつぶさ
れた正方形は、奇数フィールドのフォトセンサであり、
フォトセンサ２２を含め、黒く塗りつぶされた正方形
は、偶数フィールドのフォトセンサである。また、画素
信号ｅ１は、フォトセンサ２１から出力された奇数フィ
ールドの蓄積電荷であり、画素信号ｅ２は、フォトセン
サ２２から出力された偶数フィールドの蓄積電荷であ
る。したがって、フォトセンサ及びこのフォトセンサか
ら出力される画素信号は、奇数フィールドのラインと偶
数フィールドのラインとして、交互に存在することにな
る。
センサ２１，２２を含むフォトセンサは、所定時間、画
像光を受光し、受光により蓄積された電荷を所定のタイ
ミングで一斉に垂直転送ＣＣＤ２３ａ〜２３ｄに出力す
る。ここで、フォトセンサ２１を含め、淡く塗りつぶさ
れた正方形は、奇数フィールドのフォトセンサであり、
フォトセンサ２２を含め、黒く塗りつぶされた正方形
は、偶数フィールドのフォトセンサである。また、画素
信号ｅ１は、フォトセンサ２１から出力された奇数フィ
ールドの蓄積電荷であり、画素信号ｅ２は、フォトセン
サ２２から出力された偶数フィールドの蓄積電荷であ
る。したがって、フォトセンサ及びこのフォトセンサか
ら出力される画素信号は、奇数フィールドのラインと偶
数フィールドのラインとして、交互に存在することにな
る。
【００２８】垂直転送ＣＣＤ２３ａ〜２３ｄに出力され
た画素信号は、垂直転送されて、水平転送ＣＣＤ２４
ａ，２４ｂに出力される。図２（ａ）は、奇数フィール
ド時における転送状態を示しており、この場合、水平転
送ＣＣＤ２４ａには、奇数フィールドに対応する画素信
号が垂直転送入力され、この入力された画素信号を高速
に水平転送出力する。一方、水平転送ＣＣＤ２４ｂに
は、水平転送ＣＣＤ２４ａを介して、偶数フィールドに
対応する画素信号が垂直転送入力され、この入力された
画素信号を高速に水平転送出力する。
た画素信号は、垂直転送されて、水平転送ＣＣＤ２４
ａ，２４ｂに出力される。図２（ａ）は、奇数フィール
ド時における転送状態を示しており、この場合、水平転
送ＣＣＤ２４ａには、奇数フィールドに対応する画素信
号が垂直転送入力され、この入力された画素信号を高速
に水平転送出力する。一方、水平転送ＣＣＤ２４ｂに
は、水平転送ＣＣＤ２４ａを介して、偶数フィールドに
対応する画素信号が垂直転送入力され、この入力された
画素信号を高速に水平転送出力する。
【００２９】この水平転送ＣＣＤ２４ａ，２４ｂは、２
ライン分の垂直転送が行われた時に水平転送を行う。例
えば、画素信号群ｅ１１〜ｅ１４は、最初の垂直転送に
同期して１ライン垂直転送されて水平転送ＣＣＤ２４ａ
に入力され、画素信号群ｅ２１〜ｅ２４も、同時に垂直
転送前の画素信号群ｅ１１〜ｅ１４のラインに転送され
る。この状態においては、水平転送は行われず、次の垂
直転送に同期して画素信号群ｅ１１〜ｅ１４は、１ライ
ンさらに垂直転送され、水平転送ＣＣＤ２４ａから水平
転送ＣＣＤ２４ｂに転送され、画素信号群ｅ２１〜ｅ２
４も１ラインさらに垂直転送され、水平転送ＣＣＤ２４
ａに転送される。そして、この時に水平転送ＣＣＤ２４
ａ内の画素信号群ｅ２１〜ｅ２４と水平転送ＣＣＤ２４
ｂ内の画素信号群ｅ１１〜ｅ１４とが水平転送される。
この水平転送が終了したのちに、次の垂直同期で上述し
たように、垂直転送順が第３番目のラインの画素信号群
が水平転送ＣＣＤ２４ｂに転送され、垂直転送順が第４
番目のラインの画素信号群が水平転送ＣＣＤ２４ａに転
送される。このようにして、２ライン分の垂直転送が終
了する度に、２ライン分の水平転送が行われる。そし
て、全画素信号の水平転送が終了した時点で、奇数フィ
ールドに対応した転送処理が終了する。
ライン分の垂直転送が行われた時に水平転送を行う。例
えば、画素信号群ｅ１１〜ｅ１４は、最初の垂直転送に
同期して１ライン垂直転送されて水平転送ＣＣＤ２４ａ
に入力され、画素信号群ｅ２１〜ｅ２４も、同時に垂直
転送前の画素信号群ｅ１１〜ｅ１４のラインに転送され
る。この状態においては、水平転送は行われず、次の垂
直転送に同期して画素信号群ｅ１１〜ｅ１４は、１ライ
ンさらに垂直転送され、水平転送ＣＣＤ２４ａから水平
転送ＣＣＤ２４ｂに転送され、画素信号群ｅ２１〜ｅ２
４も１ラインさらに垂直転送され、水平転送ＣＣＤ２４
ａに転送される。そして、この時に水平転送ＣＣＤ２４
ａ内の画素信号群ｅ２１〜ｅ２４と水平転送ＣＣＤ２４
ｂ内の画素信号群ｅ１１〜ｅ１４とが水平転送される。
この水平転送が終了したのちに、次の垂直同期で上述し
たように、垂直転送順が第３番目のラインの画素信号群
が水平転送ＣＣＤ２４ｂに転送され、垂直転送順が第４
番目のラインの画素信号群が水平転送ＣＣＤ２４ａに転
送される。このようにして、２ライン分の垂直転送が終
了する度に、２ライン分の水平転送が行われる。そし
て、全画素信号の水平転送が終了した時点で、奇数フィ
ールドに対応した転送処理が終了する。
【００３０】なお、水平転送ＣＣＤ２４ａから出力され
た画素信号は、バッファアンプ４を介して増幅された第
１映像信号Ｓ１として出力される。また、水平転送ＣＣ
Ｄ２４ｂから出力された画素信号は、バッファアンプ５
を介して増幅された第２映像信号Ｓ２として出力され
る。
た画素信号は、バッファアンプ４を介して増幅された第
１映像信号Ｓ１として出力される。また、水平転送ＣＣ
Ｄ２４ｂから出力された画素信号は、バッファアンプ５
を介して増幅された第２映像信号Ｓ２として出力され
る。
【００３１】一方、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示す奇
数フィールドに対応した転送処理の後に行われる、偶数
フィールドに対応した転送処理を示す図である。
数フィールドに対応した転送処理の後に行われる、偶数
フィールドに対応した転送処理を示す図である。
【００３２】図２（ｂ）における偶数フィールドに対応
した転送処理の概要は、偶数フィールドの画素信号を水
平転送ＣＣＤ２４ａから転送出力し、奇数フィールドの
画素信号を水平転送ＣＣＤ２４ｂから転送出力する。し
たがって、図２（ｂ）では、図２（ａ）に示す水平転送
ＣＣＤ２４ａ，２４ｂによって転送される画素信号が入
れ換えられることになる。
した転送処理の概要は、偶数フィールドの画素信号を水
平転送ＣＣＤ２４ａから転送出力し、奇数フィールドの
画素信号を水平転送ＣＣＤ２４ｂから転送出力する。し
たがって、図２（ｂ）では、図２（ａ）に示す水平転送
ＣＣＤ２４ａ，２４ｂによって転送される画素信号が入
れ換えられることになる。
【００３３】例えば、図２（ｂ）において、垂直転送順
が第１番目のラインである画素信号群ｅ１１〜ｅ１４
は、最初の垂直転送に同期して１ライン垂直転送されて
水平転送ＣＣＤ２４ａに入力され、この１ラインの垂直
転送後に画素信号群ｅ１１〜ｅ１４は水平転送出力され
る。そして、垂直転送順が第２番目のラインである画素
信号群ｅ２１〜ｅ２４と、第３番目のラインである画素
信号群ｅ３１〜ｅ３４とは、次の２ライン分の垂直転送
に同期して順次垂直転送され、それぞれ水平転送ＣＣＤ
２４ｂ，２４ａに転送され、この転送された画素信号群
ｅ２１〜ｅ２４，ｅ３１〜ｅ３４は、水平転送出力され
る。
が第１番目のラインである画素信号群ｅ１１〜ｅ１４
は、最初の垂直転送に同期して１ライン垂直転送されて
水平転送ＣＣＤ２４ａに入力され、この１ラインの垂直
転送後に画素信号群ｅ１１〜ｅ１４は水平転送出力され
る。そして、垂直転送順が第２番目のラインである画素
信号群ｅ２１〜ｅ２４と、第３番目のラインである画素
信号群ｅ３１〜ｅ３４とは、次の２ライン分の垂直転送
に同期して順次垂直転送され、それぞれ水平転送ＣＣＤ
２４ｂ，２４ａに転送され、この転送された画素信号群
ｅ２１〜ｅ２４，ｅ３１〜ｅ３４は、水平転送出力され
る。
【００３４】以後、図２（ａ），（ｂ）に示した転送処
理は、全画素信号の転送毎、交互に繰り返されることに
なる。
理は、全画素信号の転送毎、交互に繰り返されることに
なる。
【００３５】図３は、このようにしてＣＣＤ撮像素子か
ら出力された第１映像信号Ｓ１、第２映像信号Ｓ２、及
び加算信号Ｓ３の出力タイムチャートである。
ら出力された第１映像信号Ｓ１、第２映像信号Ｓ２、及
び加算信号Ｓ３の出力タイムチャートである。
【００３６】図３において、第１映像信号Ｓ１は、水平
転送ＣＣＤ２４ａから交互に出力される奇数フィールド
と偶数フィールドとからなり、第２映像信号Ｓ２は、水
平転送ＣＣＤ２４ｂから交互に出力される偶数フィール
ドと奇数フィールドとからなる。ここで、第１映像信号
Ｓ１が奇数フィールドの画素信号であるとき、第２映像
信号Ｓ２は偶数フィールドの画素信号であり、逆に第１
映像信号Ｓ１が偶数フィールドの画素信号であるとき、
第２映像信号Ｓ２は奇数フィールドの画素信号である。
転送ＣＣＤ２４ａから交互に出力される奇数フィールド
と偶数フィールドとからなり、第２映像信号Ｓ２は、水
平転送ＣＣＤ２４ｂから交互に出力される偶数フィール
ドと奇数フィールドとからなる。ここで、第１映像信号
Ｓ１が奇数フィールドの画素信号であるとき、第２映像
信号Ｓ２は偶数フィールドの画素信号であり、逆に第１
映像信号Ｓ１が偶数フィールドの画素信号であるとき、
第２映像信号Ｓ２は奇数フィールドの画素信号である。
【００３７】加算信号Ｓ３は、各フィールド時間毎に、
加算器６によって第１映像信号Ｓ１と第２映像信号Ｓ２
とを加算することによって得られる。
加算器６によって第１映像信号Ｓ１と第２映像信号Ｓ２
とを加算することによって得られる。
【００３８】従って、アナログモニタ９は、第１信号処
理部７が第１映像信号Ｓ１を信号処理したモニタ信号Ｓ
４をもとに、１フレーム時間を１／３０秒とし、この１
フレームを構成する奇数及び偶数フィールドの各フィー
ルド時間を１／６０秒とする、インターレース方式の画
像出力ができる。この場合、アナログモニタ９の画素
は、ＣＣＤ撮像素子の各フォトセンサに対応し、各フォ
トセンサの画素毎に独立した通常の解像度が得られる。
理部７が第１映像信号Ｓ１を信号処理したモニタ信号Ｓ
４をもとに、１フレーム時間を１／３０秒とし、この１
フレームを構成する奇数及び偶数フィールドの各フィー
ルド時間を１／６０秒とする、インターレース方式の画
像出力ができる。この場合、アナログモニタ９の画素
は、ＣＣＤ撮像素子の各フォトセンサに対応し、各フォ
トセンサの画素毎に独立した通常の解像度が得られる。
【００３９】一方、第２信号処理部８では、第２映像信
号Ｓ２が入力されるが、この第２映像信号Ｓ２は、各フ
ィールド毎に全画像信号の情報に対応した信号であるた
め、１フィールド時間毎に信号処理できるので、高速処
理が可能となる。
号Ｓ２が入力されるが、この第２映像信号Ｓ２は、各フ
ィールド毎に全画像信号の情報に対応した信号であるた
め、１フィールド時間毎に信号処理できるので、高速処
理が可能となる。
【００４０】なお、上述した実施の形態では、アナログ
モニタ９によるモニタ出力のための第１信号処理部７と
駆動信号Ｓ５生成のための第２信号処理部８との双方を
設けた構成としたが、これに限らず、第１信号処理部７
およびアナログモニタ９を削除した構成も可能である。
モニタ９によるモニタ出力のための第１信号処理部７と
駆動信号Ｓ５生成のための第２信号処理部８との双方を
設けた構成としたが、これに限らず、第１信号処理部７
およびアナログモニタ９を削除した構成も可能である。
【００４１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、２つの
映像出力端子を持つ撮像素子の出力を、外部に設けた加
算回路によって加算した後信号処理して出力するように
したから、全画素の情報を含む映像信号を短時間で読出
すことができ、固体撮像素子自体の構成をそのままにし
て、必要な映像信号を高速度で得ることができる。した
がって、例えば位置制御などのために被制御物体の位置
検出を行なう場合に使用して好適であり、高速度の位置
制御が可能になる。
映像出力端子を持つ撮像素子の出力を、外部に設けた加
算回路によって加算した後信号処理して出力するように
したから、全画素の情報を含む映像信号を短時間で読出
すことができ、固体撮像素子自体の構成をそのままにし
て、必要な映像信号を高速度で得ることができる。した
がって、例えば位置制御などのために被制御物体の位置
検出を行なう場合に使用して好適であり、高速度の位置
制御が可能になる。
【００４２】さらに、上記撮像素子の２つの映像出力端
子の出力を外部の加算回路で加算して出力する他に、前
記撮像素子の２つの映像出力端子のうちの１つからの出
力を信号処理して取り出すよう構成することにより、高
い解像度の映像信号をも同時に得ることができるように
なる。したがって、高速度で出力される映像信号と高い
解像度を有する映像信号を同時に得ることが可能にな
る。したがって、前述の位置制御の際に、高速度の位置
制御を行なうことができると共に、被制御物体の制御状
態を高い分解能で監視することが可能になる。
子の出力を外部の加算回路で加算して出力する他に、前
記撮像素子の２つの映像出力端子のうちの１つからの出
力を信号処理して取り出すよう構成することにより、高
い解像度の映像信号をも同時に得ることができるように
なる。したがって、高速度で出力される映像信号と高い
解像度を有する映像信号を同時に得ることが可能にな
る。したがって、前述の位置制御の際に、高速度の位置
制御を行なうことができると共に、被制御物体の制御状
態を高い分解能で監視することが可能になる。
【図１】本発明の一実施形態にかかわる固体撮像素子カ
メラの概略の構成を示すブロック図である。
メラの概略の構成を示すブロック図である。
【図２】図１の固体撮像素子カメラに使用されている撮
像素子の詳細な構成および電荷の転送の様子を示す説明
図である。
像素子の詳細な構成および電荷の転送の様子を示す説明
図である。
【図３】図１の固体撮像素子カメラにおける各映像信号
の出力状態を示す説明的タイムチャートである。
の出力状態を示す説明的タイムチャートである。
【図４】１フィールド時間で全画素信号を転送出力する
従来の固体撮像素子の転送動作を示す説明図である。
従来の固体撮像素子の転送動作を示す説明図である。
【図５】２フィールド時間で全画素信号を転送出力する
従来の固体撮像素子の転送動作を示す説明図である。
従来の固体撮像素子の転送動作を示す説明図である。
１ ＣＣＤ撮像素子 ２ 第１出力端子 ３ 第２出力端子 ４，５，１０ バッファアンプ ６ 加算器 ７ 第１信号処理部 ８ 第２信号処理部 ７ａ，８ａ Ａ／Ｄ変換部 ７ｂ モニタ信号生成部 ７ｃ Ｄ／Ａ変換部 ８ｂ 画像処理部 ８ｃ 差分検出部 ８ｄ 駆動信号出力部 ９ アナログモニタ １１ 処理装置 １２ 処理対象物 １３ 駆動系 １４ テーブル
Claims (6)
- 【請求項１】 行および列方向に２次元的に配列された
画素群によって被写体からの画像光を撮像し、該撮像に
よって得られた画素信号群を行ごとに順次第１の水平転
送レジスタに、さらに該第１の水平転送レジスタを介し
て第２の水平転送レジスタに転送し、該第１および第２
の水平転送レジスタから２つのフィールドの映像信号を
それぞれ２つの映像出力端子を介して並列的に出力する
撮像素子と、 前記撮像素子の２つの映像出力端子から外部に出力され
た映像信号を互いに加算する加算回路と、 前記加算回路により加算された映像信号に所定の信号処
理を施して出力する信号処理回路と、 を具備することを特徴とする固体撮像素子カメラ。 - 【請求項２】 前記加算回路から出力される信号は１フ
ィールド時間にて全画素の情報を含む信号として読み出
されることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子
カメラ。 - 【請求項３】 行および列方向に２次元的に配列された
画素群によって被写体からの画像光を撮像し、該撮像に
よって得られた画素信号群を行ごとに順次第１の水平転
送レジスタに、さらに該第１の水平転送レジスタを介し
て第２の水平転送レジスタに転送し、該第１および第２
の水平転送レジスタから２つのフィールドの映像信号を
それぞれ２つの映像出力端子を介して並列的に出力する
撮像素子と、 前記撮像素子の２つの映像出力端子から外部に出力され
た映像信号を互いに加算する加算回路と、 前記加算回路により加算された映像信号に所定の信号処
理を施して出力する第１の信号処理回路と、 前記第１または第２の映像出力端子からの信号に所定の
信号処理を施して出力する第２の信号処理回路と、 を具備することを特徴とする固体撮像素子カメラ。 - 【請求項４】 前記加算回路から出力される信号は１フ
ィールド時間にて全画素の情報を含む信号として読み出
されることを特徴とする請求項３に記載の固体撮像素子
カメラ。 - 【請求項５】 前記第２の信号処理回路からは第１およ
び第２のフィールドの映像信号が交互に出力され２フィ
ールドで全画素の信号が出力されることを特徴とする請
求項３に記載の固体撮像素子カメラ。 - 【請求項６】 前記第１の信号処理回路から出力される
映像信号は被写体の位置検出に使用され、かつ前記第２
の信号処理回路から出力される映像信号は撮像画像の表
示に使用されることを特徴とする請求項３〜５のいずれ
か１項に記載の固体撮像素子カメラ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8334617A JPH10164443A (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 固体撮像素子カメラ |
| US10/011,706 US20020041333A1 (en) | 1996-11-29 | 2001-12-11 | Solid state imaging camera with an imaging element having a two picture signal field output |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8334617A JPH10164443A (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 固体撮像素子カメラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10164443A true JPH10164443A (ja) | 1998-06-19 |
Family
ID=18279389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8334617A Abandoned JPH10164443A (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 固体撮像素子カメラ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20020041333A1 (ja) |
| JP (1) | JPH10164443A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7701498B2 (en) * | 2002-12-20 | 2010-04-20 | Panasonic Corporation | Solid-state image pickup device, drive method therefor and camera |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4794648A (en) * | 1982-10-25 | 1988-12-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Mask aligner with a wafer position detecting device |
| US4928137A (en) * | 1983-12-24 | 1990-05-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Image sensing apparatus having a low-resolution monitor means for reducing the amount of information in an image signal, and switching means for reducing power consumption in various operating modes |
| US5815199A (en) * | 1991-01-31 | 1998-09-29 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Interphone with television |
| JP3003302B2 (ja) * | 1991-07-17 | 2000-01-24 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子の信号処理回路及び信号処理方法 |
| US5635984A (en) * | 1991-12-11 | 1997-06-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Multi-picture control circuit and method for electronic still camera |
| DE4496504B3 (de) * | 1993-09-02 | 2011-12-29 | Sony Corp. | Festkörper-Bildaufnahmevorrichtung |
| GB9323978D0 (en) * | 1993-11-22 | 1994-01-12 | Dek Printing Machines Ltd | Alignment systems |
| US5523786A (en) * | 1993-12-22 | 1996-06-04 | Eastman Kodak Company | Color sequential camera in which chrominance components are captured at a lower temporal rate than luminance components |
| US5696835A (en) * | 1994-01-21 | 1997-12-09 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for aligning and measuring misregistration |
| JP3156503B2 (ja) * | 1994-05-27 | 2001-04-16 | 松下電器産業株式会社 | 固体撮像装置の駆動方法及び固体撮像装置の信号処理回路 |
| EP0853856B1 (en) * | 1995-10-02 | 2004-12-22 | KLA-Tencor Corporation | Alignment correction prior to image sampling in inspection systems |
| SG54995A1 (en) * | 1996-01-31 | 1998-12-21 | Texas Instr Singapore Pet Ltd | Method and apparatus for aligning the position of die on a wafer table |
| GB2310716A (en) * | 1996-02-28 | 1997-09-03 | Daewoo Electronics Co Ltd | Recognition of a fiducial mark on a printed circuit board |
| JP3428829B2 (ja) * | 1996-08-27 | 2003-07-22 | キヤノン株式会社 | 位置合わせ方法及びそれを用いた投影露光装置 |
| US5926215A (en) * | 1996-10-17 | 1999-07-20 | Eastman Kodak Company | Fast readout of a color image sensor |
-
1996
- 1996-11-29 JP JP8334617A patent/JPH10164443A/ja not_active Abandoned
-
2001
- 2001-12-11 US US10/011,706 patent/US20020041333A1/en not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20020041333A1 (en) | 2002-04-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20040120 |