JPH10163700A

JPH10163700A - ハンドラ

Info

Publication number: JPH10163700A
Application number: JP8321576A
Authority: JP
Inventors: Masato Suzuki; 正登鈴木; Yasushi Ichizawa; 康史市沢; Shoichi Miyata; 尚一宮田; Fumiaki Ito; 文明伊藤
Original assignee: Yokogawa Precision Corp
Current assignee: Yokogawa Precision Corp
Priority date: 1996-12-02
Filing date: 1996-12-02
Publication date: 1998-06-19

Abstract

(57)【要約】【課題】コンタクトツールの交換に要する時間を短縮
でき、被検査ＩＣの１ピンあたりの押しつけ力を適正な
力に制御できるハンドラを実現する。【解決手段】（１）ロータリーヘッドを４つのヘッド
に分割し、４つのヘッドで、検査前の被検査ＩＣの受け
取り、検査、検査後の被検査ＩＣの受け渡し、コンタク
トツールの交換の作業を分担する構成にしたハンドラで
ある。（２）所定温度の環境下で被検査ＩＣを検査する場合
に、コンタクトツールを交換したいときは、現在ヘッド
に装着されているコンタクトツールを自動的にチャンバ
外に搬出し、プリヒータで予熱しておいたコンタクトツ
ールと交換する構成のハンドラである。（３）被検査ＩＣを検査部に押し付ける力はサーボモー
タによって与え、このサーボモータの出力トルクは被検
査ＩＣのピン数に応じたトルクリミット値に制限する構
成にしたハンドラである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣテスタで検査
を行う被検査ＩＣを搬送するハンドラに関するものであ
る。更に詳しくは、ハンドラのロータリーヘッド周辺の
改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５は従来におけるハンドラの構成例を
示した図である。図５で、１はハンドラの本体、２は検
査前の被検査ＩＣを格納したトレイ、３は検査後の被検
査ＩＣを格納したトレイ、４はトレイ２から検査前の被
検査ＩＣを取り出して搬送するローダ、５は検査後の被
検査ＩＣを搬送してトレイ３に入れるアンローダであ
る。６はロータリーヘッドで、円周方向に沿って１２０
°ずつ回転位置をずらして配列した３個のヘッド６１〜
６３を搭載している。６４はモータで、ヘッド６１〜６
３を一体に回転させる。モータ６４は、１２０°回転す
る毎に停止動作を行い、３回の停止動作で全てのヘッド
６１〜６３を３箇所の回転位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３に位置
決めする。

【０００３】図６はヘッド６１〜６３の構成図である。
図７ではヘッド６１を代表して示していて、ヘッド６
２，６３の同一の構成である。７はコンタクトツール
で、被検査ＩＣの種類に応じて異なる形状をなし、被検
査ＩＣ８をヘッド６１に保持する。コンタクトツール７
は、被検査ＩＣ８を収納する凹部７１と、被検査ＩＣ８
を検査部にガイドするガイド部材７２が設けられてい
る。コンタクトツール７は着脱可能にヘッド６１に装着
される。コンタクトツール７は、ヘッド６１を共通にし
て異なる形状の被検査ＩＣを保持するために設けられて
いる。被検査ＩＣ８は、例えば真空空気圧によりコンタ
クトツール７に吸着される。９は被検査ＩＣ８が収容さ
れて電気的接続がなされるソケット、１０はソケット９
が実装されたパフォーマンスボードである。パフォーマ
ンスボード１０はテストヘッド（図示せず）に接続され
ている。６５はヘッド６１に連結されたシャフト、６６
はシャフト６５が移動自在に嵌められた支持部材、６７
はシャフト６５に固定されたつば部、６８はヘッド６１
と支持部材６６との間に配置されたばねである。テスト
ヘッドから既知の検査信号を被検査ＩＣへ与え、被検査
ＩＣから得た信号をテストヘッドで解析し、解析結果か
ら被検査ＩＣの良否を判別する。ＩＣの検査項目が使用
目的や機能によってまちまちであるため、テストヘッド
と被検査ＩＣとの間にパフォーマンスボードを設け、こ
のパフォーマンスボードにＩＣに要求される検査機能を
備えた回路を搭載し、様々な検査項目に対応できるよう
にしている。

【０００４】図５へ戻り、１１は回転位置Ｐ１にあるヘ
ッドにローダ４１で搬入された被検査ＩＣを保持させる
アクチュエータ、１２は回転位置Ｐ２にあるヘッドに保
持された被検査ＩＣをテストヘッドＨに接続するアクチ
ュエータ、１３は回転位置Ｐ３にあるヘッドに保持され
た被検査ＩＣをアンローダ５に渡すアクチュエータであ
る。これらのアクチュエータ１１〜１３はヘッドの上方
にあり、位置が固定されている。ヘッドはモータ６４に
より回転させられ、回転位置Ｐ１にきたときにアクチュ
エータ１１により降下させられ、ローダ４１から被検査
ＩＣを受け取る。回転位置Ｐ２にきたときにアクチュエ
ータ１２により降下させられ、テストヘッドＨに接続さ
れる。回転位置Ｐ３にきたときにアクチュエータ１３に
より降下させられ、被検査ＩＣをアンローダ５に渡す。

【０００５】図６で、アクチュエータ１２は、支持部材
６６を昇降させる。被検査ＩＣ８がソケット９に接触し
た状態で支持部材６６を降下させると、ばね６８が圧縮
されて弾性力が発生する。この弾性力が被検査ＩＣ８の
検査部への押し付け力になる。

【０００６】しかし、図５及び図６のハンドラでは次の
問題点があった。ロータリーヘッド６は、ヘッド６１，６２，６３に３
分割されていて、３分割されたヘッドが、検査前の被検
査ＩＣの受け取り、テストヘッドへの接続、検査後の被
検査ＩＣの受け渡しの作業を分担していた。このため、
被検査ＩＣの種類が変わってコンタクトツール７を交換
したいときは、ロータリーヘッド６の回転を停止して作
業者が交換しなければならなかった。これにより、コン
タクトツールの交換に要する時間が長くなる。被検査ＩＣを高温、例えば１００°Ｃの環境下で試験
を行っている場合に、コンタクトツールを交換したいと
きがある。このときは、ヘッドに装着されたコンタクト
ツールが冷えるまで待ってから手作業でコンタクトツー
ルを取り外し、新たなコンタクトツールをヘッドに装着
し、１００°Ｃまで予熱した後に検査を再開する。この
ため、コンタクトツールを加熱した場合にツール交換に
要する時間が長くなる。被検査ＩＣをテストヘッドに押しつける力はばね６６
によって付与していた。このため、被検査ＩＣの１ピン
あたりの押しつけ力が正確に調整されないため、適正な
押しつけ力が与えられないことがある。押しつけ力が小
さすぎると接触不良が生じ、押しつけ力が大きすぎると
ピンが変形することがある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述した問題
点を解決するためになされたものであり、ロータリーヘ
ッドを４つのヘッドに分割し、コンタクトツールの交換
作業を行うヘッド位置を追加し、サーボモータで被検査
ＩＣをテストヘッドに押しつける力を制御することによ
って、コンタクトツールの交換に要する時間を短縮で
き、被検査ＩＣの１ピンあたりの押しつけ力を適正な力
に制御できるハンドラを実現することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は次のとおりの構
成になったハンドラである。（１）ＩＣテスタで検査を行う被検査ＩＣを搬送するハ
ンドラにおいて、円周方向に沿って９０°ずつ回転位置
をずらして配列した４個のヘッドを搭載し、これらのヘ
ッドを一体に回転させ、９０°回転する毎に停止動作を
行い、４回の停止動作で全てのヘッドを４箇所の回転位
置に位置決めするロータリーヘッドと、被検査ＩＣの種
類に応じて異なる形状をなし、被検査ＩＣを前記ヘッド
に装着するコンタクトツールと、第１の回転位置に検査
前の被検査ＩＣを搬入するロードシャトルと、第２の回
転位置から検査後の被検査ＩＣを搬出するアンロードシ
ャトルと、第３の回転位置で前記コンタクトツールを交
換するツールチェンジ機構と、第１の回転位置にあるヘ
ッドに前記ロードシャトルで搬入された被検査ＩＣを保
持させる第１のアクチュエータと、第２の回転位置にあ
るヘッドに保持された被検査ＩＣをアンロードシャトル
に渡す第２のアクチュエータと、第３の回転位置にある
ヘッドに保持されたコンタクトツールを前記ツールチェ
ンジ機構に交換させる第３のアクチュエータと、第４の
回転位置にあるヘッドに保持された被検査ＩＣを検査部
に接続する第４のアクチュエータと、を具備したことを
特徴とするハンドラ。（２）前記第４のアクチュエータは、出力トルクにより
被検査ＩＣを検査部に押し付けるサーボーモータと、こ
のサーボモータの出力トルクを制御する電流制御部と、
被検査ＩＣのピン数に応じたトルクリミット指令値を前
記電流制御部に与えてサーボモータの出力トルクを制限
し、被検査ＩＣを検査部に押し付ける力を制限するリミ
ット手段と、を具備したことを特徴とする（１）記載の
ハンドラ。（３）前記ツールチェンジ機構は、前記ロータリーヘッ
ドを収納するチャンバと、このチャンバ内を所定温度に
保温する保温手段と、交換により新たに用いるコンタク
トツールを前記所定温度に予熱しておくプリヒータと、
前記第３の回転位置にあるヘッドに装着されているコン
タクトツールを受け取ってチャンバ外に搬出し、前記プ
リヒータから新たなコンタクトツールを受け取ってチャ
ンバ内に搬入し、搬入したコンタクトツールを第３の回
転位置にあるヘッドに装着する交換手段と、を具備した
ことを特徴とする（１）記載のハンドラ。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明を説明
する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。
図１で図５及び図６と同一のものは同一符号を付ける。
図１において、２０はロータリーヘッドで、円周方向に
沿って９０°ずつ回転位置をずらして配列した４個のヘ
ッド２１〜２４を搭載している。２５はモータで、ヘッ
ド２１〜２４を一体に回転させる。モータ２５は、９０
°回転する毎に停止動作を行い、４回の停止動作で全て
のヘッド２１〜２４を４箇所の回転位置Ａ１，Ａ２，Ａ
３，Ａ４に位置決めする。２６はロータリーヘッド２０
を収納するチャンバ、２７はチャンバ２６内を所定温度
に保温する保温手段である。２８はコンタクトツールを
交換するツールチェンジ機構、２９は交換用のコンタク
トツールを予熱しておくプリヒータである。４１はトレ
イ２から被検査ＩＣをピックアップし、プリヒータ２９
へ搬送するローダ、４２はプリヒータ２９で加熱された
被検査ＩＣをピックアップし、ロードシャトル４３でロ
ータリーヘッド２０に搬送するローダである。３０は回
転位置Ａ１にあるヘッドにローダ４２で搬入された被検
査ＩＣを保持させるアクチュエータ、３１は回転位置Ａ
２にあるヘッドに保持された被検査ＩＣをテストヘッド
Ｈに接続するアクチュエータ、３２は回転位置Ａ３にあ
るヘッドに保持されたコンタクトツールをツールチェン
ジ機構２８に交換させるアクチュエータ、３３は回転位
置Ａ４にあるヘッドに保持された被検査ＩＣをアンロー
ダ５に渡すアクチュエータである。これらのアクチュエ
ータ３０〜３３はヘッドの上方にあり、位置が固定され
ている。ヘッドはモータ２５により回転させられ、回転
位置Ａ１にきたときにアクチュエータ３０により降下さ
せられ、ローダ４２から被検査ＩＣを受け取る。回転位
置Ａ２にきたときにアクチュエータ３１により降下させ
られ、テストヘッドＨに接続される。回転位置Ａ３にき
たときにアクチュエータ３２により降下させられ、ツー
ルチェンジ機構２８によりコンタクトツールが交換され
る。回転位置Ａ４にきたときにアクチュエータ３３によ
り降下させられ、被検査ＩＣをアンローダ５に渡す。５
１はアンローダ５により被検査ＩＣを載せて移動するア
ンロードシャトルである。

【００１０】図１のハンドラでは、ロータリーヘッドを
４つのヘッドに分割することによって、検査前の被検査
ＩＣの受け取り、検査、検査後の被検査ＩＣの受け渡し
に加えてコンタクトツールの交換も行っているため、コ
ンタクトツールを交換するときにわざわざロータリーヘ
ッドを停止する必要がなく、交換時間を短縮できる。

【００１１】図２はロータリーヘッド２０の具体的構成
例を示した図である。図２の（ａ）はロータリーヘッド
２０の上方から見た図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ部分の
断面図である。図２で、モータ２５及びアクチュエータ
３１，３３は位置固定されている。３４はヘッド支持部
材で、４つのヘッド２１〜２４を搭載し、モータ２５に
より回転させられる。３５はシャフトで、ヘッド２１〜
２４と連結され、ヘッド支持部材３４に対して上下方向
に移動自在に嵌められている。３６はシャフト３５に固
定されたつば部、３７はつば部３６とヘッド支持部材３
４の間に配置されている。アクチュエータ３１〜３３が
シャフト３５を押すと、ばね３７は圧縮されて弾性力を
発生する。

【００１２】このようなロータリーヘッド２０では、モ
ータ２５によりヘッド２１〜２４はヘッド支持部材３４
とともに一体に回転させられる。モータ２５は、９０°
回転する毎に停止動作を行い、４回の停止動作で全ての
４つのヘッド２１〜２４を４つのアクチュエータ３１〜
３３と対向する位置に停止され、検査前の被検査ＩＣの
受け取り、検査、コンタクトツールの交換、検査後の被
検査ＩＣの受け渡しが行われる。

【００１３】検査前の被検査ＩＣの受け取りは、アクチ
ュエータ３０がヘッドに装着されたコンタクトツール７
をロードシャトル４３の位置まで降下させ、空気圧等に
よりロードシャトル４３上の被検査ＩＣをコンタクトツ
ール７に吸着することによって行う。被検査ＩＣの検査
は、アクチュエータ３１がヘッドに装着されたコンタク
トツール７を降下させ、テストヘッドに接続することに
よって行う。コンタクトツールの交換は後述する。被検
査ＩＣの受け渡しは、アクチュエータ３３がヘッドに装
着されたコンタクトツール７をアンロードシャトル５１
の位置まで降下させ、被検査ＩＣの保持を解除し、アン
ロードシャトル５１上に被検査ＩＣを置くことによって
行う。

【００１４】図３はツールチェンジ機構２８の具体的構
成例を示した図である。図ではヘッド２３がアクチュエ
ータ３２と対向する位置にある状態を例示している。ヘ
ッド２３とコンタクトツール７はチャンバ２６内に収納
されている。チャンバ２６内は所定温度例えば１００°
Ｃに保たれている。これによって、高温環境下での検査
を行う。２６１はチャンバ２６に設けられたドア、２６
２はドア２６１を開閉するドア用アクチュエータであ
る。２３１は着脱操作部で、この部分を操作してコンタ
クトツール７をヘッド２３から着脱する。２８１は移動
してコンタクトツール７を搬送するツールシャトル、２
８２はツールシャトル２８１に固定されたベース部材、
２８３は着脱操作部２３１に操作してコンタクトツール
７の着脱を行う着脱手段である。着脱は空気圧を利用し
て行っても、機構の動作を利用して行ってもよい。

【００１５】このようなツールチェンジ機構ではコンタ
クトツール７の交換は次の手順で行う。ドア用アクチュ
エータ２６２はドア２６１を開ける。ツールシャトル２
８１はチャンバ２６の中に入り、ベース部材２８２をコ
ンタクトツール７の下に位置決めする。アクチュエータ
３２はシャフト３５を押し付け、ヘッド２３を降下す
る。着脱手段２８４が着脱操作部２３１に当たったとこ
ろで、着脱手段２８４は着脱操作部２３１に対して切り
離しの操作を行い、コンタクトツール７をヘッド２３か
ら切り離し、ベース部材２８２上に落とす。このとき、
コンタクトツール７はガイドピン２８３に沿って位置決
めされる。アクチュエータ３２はシャフト３５の押し付
けを解除する。このとき、ばね３７の復元力でヘッド２
３は持ち上げられる。ここで、ツールシャトル２８１を
チャンバ２６外へ戻す。チャンバ２６外で、ツールシャ
トル２８１上のコンタクトツール７をプリヒータで予熱
されたコンタクトツールに交換する。交換後のコンタク
トツール７を載せたツールシャトル２８１を再びチャン
バ２６内に入れ、シャフト３５の下に位置させる。シャ
フト３５を降下させ、ヘッド２３にコンタクトツール７
を装着する。装着は、例えば係合機構によって実現でき
る。アクチュエータ３２はシャフト３５の押し付けを解
除する。これにより、ばね３７の復元力によりコンタク
トツール７はヘッド２３とともに持ち上げられる。ツー
ルシャトル２８１をチャンバ２６外へ戻す。ドア２６１
を閉じる。ヘッド支持部材３４を９０°回転する。これ
によって、新たなヘッドがツールチェンジ機構の位置に
くる。上述した動作を４回繰り返し、４個のヘッドのコ
ンタクトツールを交換する。

【００１６】高温環境下で被検査ＩＣを検査する場合
に、検査する被検査ＩＣの種類を変えたいときはコンタ
クトツール７を交換しなければならない。このときは、
交換により新たに使うコンタクトツールをプリヒータ２
９で予熱しておく。そして、現在ヘッドに装着されてい
るコンタクトツールをツールシャトル２８１でチャンバ
外２６へ搬出し、プリヒータ２９で予熱しておいたコン
タクトツールと交換する。このため、ヘッドに装着して
いるコンタクトツールが冷えるまで待つ必要がなく、し
かも交換により新たに使うコンタクトツールが加熱され
るまで待つ必要がない。これによって、コンタクトツー
ルを加熱した場合でも短時間でツール交換を行うことが
できる。

【００１７】図４は被検査ＩＣをテストヘッドＨに接続
するアクチュエータ３１の構成例を示した図である。図
４で、３１１はサーボモータ、３１２はサーボモータ３
１１の出力軸に連結されたボールネジ、３１３はボール
ネジ３１２と螺合され、サーボモータ３１１の回転運動
を直進運動に変換するスライダである。スライダ３１３
が下降するとシャフト３５を押し付ける。３１４はサー
ボモータ３１１の回転を検出するエンコーダ、３１５は
サーボモータ３１１を制御するサーボドライバである。
サーボドライバ３１５で、３１６はエンコーダ３１４の
検出信号をもとにサーボモータ３１１の回転位置をフィ
ードバック制御する位置制御部、３１７はエンコーダ３
１４の検出信号を速度信号に変換する速度変換器で例え
ばＦ／Ｖ変換器である。３１８は速度変換器３１７の変
換信号をもとにサーボモータ３１１の回転速度をフィー
ドバック制御する速度制御部、３１９はサーボモータ３
１１のコイルに流れる電流を制御することによって出力
トルクを制御する電流制御部である。３２０は被検査Ｉ
Ｃのピン数に応じたトルクリミット指令値を電流制御部
３１９に与えてサーボモータ３１１の出力トルクを制限
するリミット手段である。

【００１８】サーボモータ３１１の回転によりスライダ
３１３が降下すると、シャフト３５がスライダ３１３に
押し付けられ、被検査ＩＣ８がソケット９に接触するま
でシャフト３５が降下させられる。このとき、リミット
手段３２０が電流制御部３１９に与えたトルクリミット
指令値により、サーボモータ３１１の出力トルクはトル
クリミット指令値を超えないように制限される。これに
よって、被検査ＩＣ８のソケット９への押し付け力が制
御される。被検査ＩＣのピン数に応じてトルクリミット
指令値が変わるため、１ピンあたりの押し付け力は最適
な値に制御される。ここで、サーボモータ３１１の出力
トルクをＴ、ボールネジ３１２のピッチをＰ、スライダ
３１３の押し付け力をＦとすると、押し付け力をＦは次
式で与えられる。Ｆ＝２πＴ／Ｐサーボモータ３１１の出力トルクＴを制御することによ
って、スライダ３１３の押し付け力Ｆを制御し、これに
よって被検査ＩＣの１ピンあたりの押し付け力が制御さ
れる。

【００１９】

【発明の効果】本発明によれば次の効果が得られる。ロータリーヘッドを４つのヘッドに分割し、検査前の
被検査ＩＣの受け取り、検査、検査後の被検査ＩＣの受
け渡しの作業に加えてコンタクトツールの交換の作業も
行っている。このため、被検査ＩＣの種類が変わってコ
ンタクトツールを交換したいときは、ロータリーヘッド
の回転を停止する必要がない。これによって、コンタク
トツールの交換に要する時間を短縮できる。高温環境下で被検査ＩＣを検査する場合に、コンタク
トツールを交換したいときは、現在ヘッドに装着されて
いるコンタクトツールを自動的にチャンバ外に搬出し、
プリヒータで予熱しておいたコンタクトツールと交換す
る。このため、交換するコンタクトツールが冷えるまで
待つ必要がなく、しかも交換により新たに使うコンタク
トツールが加熱されるまで待つ必要がない。これによっ
て、コンタクトツールを加熱した場合でも短時間でツー
ル交換を行うことができる。被検査ＩＣを検査部に押し付ける力はサーボモータに
よって与え、このサーボモータの出力トルクは被検査Ｉ
Ｃのピン数に応じたトルクリミット値に制限している。
これによって、被検査ＩＣの１ピンあたりの押しつけ力
を正確に制御できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。

【図２】図１の要部構成図である。

【図３】図１の要部構成図である。

【図４】図１の要部構成図である。

【図５】従来におけるハンドラの構成例を示した図であ
る。

【図６】図５の装置のヘッド部分の構成図である。

【符号の説明】

５アンローダ７コンタクトツール８被検査ＩＣ９ソケット１０パフォーマンスボード２０ロータリーヘッド２１〜２４ヘッド２５モータ２６チャンバ２７保温手段２８ツールチェンジ機構２９プリヒータ３０〜３３アクチュエータ３１１サーボモータ３１９電流制御部３２０リミット手段４１，４２ローダ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者伊藤文明長野県下伊那郡松川町元大島3176番地25 横河プレシジョン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＩＣテスタで検査を行う被検査ＩＣを搬
送するハンドラにおいて、円周方向に沿って９０°ずつ回転位置をずらして配列し
た４個のヘッドを搭載し、これらのヘッドを一体に回転
させ、９０°回転する毎に停止動作を行い、４回の停止
動作で全てのヘッドを４箇所の回転位置に位置決めする
ロータリーヘッドと、被検査ＩＣの種類に応じて異なる形状をなし、被検査Ｉ
Ｃを前記ヘッドに装着するコンタクトツールと、第１の回転位置に検査前の被検査ＩＣを搬入するロード
シャトルと、第２の回転位置から検査後の被検査ＩＣを搬出するアン
ロードシャトルと、第３の回転位置で前記コンタクトツールを交換するツー
ルチェンジ機構と、第１の回転位置にあるヘッドに前記ロードシャトルで搬
入された被検査ＩＣを保持させる第１のアクチュエータ
と、第２の回転位置にあるヘッドに保持された被検査ＩＣを
アンロードシャトルに渡す第２のアクチュエータと、第３の回転位置にあるヘッドに保持されたコンタクトツ
ールを前記ツールチェンジ機構に交換させる第３のアク
チュエータと、第４の回転位置にあるヘッドに保持された被検査ＩＣを
検査部に接続する第４のアクチュエータと、を具備した
ことを特徴とするハンドラ。
【請求項２】前記第４のアクチュエータは、出力トルクにより被検査ＩＣを検査部に押し付けるサー
ボーモータと、このサーボモータの出力トルクを制御する電流制御部
と、被検査ＩＣのピン数に応じたトルクリミット指令値を前
記電流制御部に与えてサーボモータの出力トルクを制限
し、被検査ＩＣを検査部に押し付ける力を制限するリミ
ット手段と、を具備したことを特徴とする請求項１記載のハンドラ。
【請求項３】前記ツールチェンジ機構は、前記ロータ
リーヘッドを収納するチャンバと、このチャンバ内を所定温度に保温する保温手段と、交換により新たに用いるコンタクトツールを前記所定温
度に予熱しておくプリヒータと、前記第３の回転位置にあるヘッドに装着されているコン
タクトツールを受け取ってチャンバ外に搬出し、前記プ
リヒータから新たなコンタクトツールを受け取ってチャ
ンバ内に搬入し、搬入したコンタクトツールを第３の回
転位置にあるヘッドに装着する交換手段と、を具備した
ことを特徴とする請求項１記載のハンドラ。