JPH10162732A - Manufacture of exposure lens - Google Patents

Manufacture of exposure lens

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Publication number
JPH10162732A
JPH10162732A JP31818796A JP31818796A JPH10162732A JP H10162732 A JPH10162732 A JP H10162732A JP 31818796 A JP31818796 A JP 31818796A JP 31818796 A JP31818796 A JP 31818796A JP H10162732 A JPH10162732 A JP H10162732A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exposure lens
lens
exposure
panel
cleaning
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP31818796A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazumitsu Odawara
一光 小田原
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Publication of JPH10162732A publication Critical patent/JPH10162732A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a exposure lens capable of effectively remove wax on a lens face and manufacturing a light exposure lens having a high-precision lens face. SOLUTION: In this method, a exposure lens is fixed to a die by a fixer and molded in a specified shape (drilling process S1), a light exposure lens molded by this drilling process S1 is polished (polishing process 82), the exposure lens after the drilling process S1 and the polishing process S2 is rinsed (rinsing process S3), and this rinsing process is a process for performing ultrasonic rinsing with a water solution of a releasing agent that is a main component of an anion-based critical surface activator as a rinsing liquid.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー陰極線管の
蛍光面を作製する際に用いられる露光レンズの作製方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an exposure lens used for manufacturing a fluorescent screen of a color cathode ray tube.

【0002】[0002]

【従来の技術】陰極線管は、電子銃から出射される電子
ビームが、色選別機構を透過してパネルの内面に形成さ
れた蛍光面を照射することで、蛍光面が発光し、パネル
に映像が映し出されるものである。
2. Description of the Related Art In a cathode ray tube, an electron beam emitted from an electron gun passes through a color selection mechanism and irradiates a fluorescent screen formed on the inner surface of the panel, so that the fluorescent screen emits light and an image is displayed on the panel. Is projected.

【0003】そして、陰極線管の蛍光面は、パネルの内
面に塗布された赤、緑、青の蛍光体スラリーがストライ
プ状に露光され、これらがパネルの内面に形成されたカ
ーボンストライプを挟んで隣り合うように、パネルの内
面に焼き付けられることにより形成される。
The phosphor screen of the cathode ray tube is exposed to stripes of red, green, and blue phosphor slurries applied to the inner surface of the panel, and these are adjacent to each other across a carbon stripe formed on the inner surface of the panel. It is formed by baking on the inner surface of the panel to fit.

【0004】この陰極線管の蛍光面の形成は、露光装置
を用いて行われる。露光装置は紫外線照射ランプを備
え、この紫外線照射ランプから出射される紫外線を露光
レンズを通して露光対象物に照射させ、露光するもので
ある。
The formation of the fluorescent screen of the cathode ray tube is performed using an exposure apparatus. The exposure apparatus includes an ultraviolet irradiation lamp, and irradiates the object to be exposed with ultraviolet light emitted from the ultraviolet irradiation lamp through an exposure lens to perform exposure.

【0005】陰極線管の蛍光面を形成するには、先ず内
面に赤、緑、青のいずれかの色の蛍光体スラリーを塗布
したパネルに複数列のスリットを有する色選別機構を取
り付け、この色選別機構が取り付けられたパネルを露光
装置にセットする。そして、紫外線照射ランプから出射
される紫外線を、露光レンズを通してパネルに照射させ
る。このとき、パネルには色選別機構が取り付けられて
いるので、紫外線は色選別機構のスリットを透過してパ
ネルの内面にストライプ状に照射される。そして、パネ
ルの内面に塗布された蛍光体スラリーがストライプ状に
焼き付けられ、赤、緑、青のいずれかの色の蛍光体スト
ライプが形成される。
In order to form a fluorescent screen of a cathode ray tube, first, a color selecting mechanism having a plurality of rows of slits is attached to a panel coated with a phosphor slurry of any one of red, green, and blue on its inner surface. The panel to which the sorting mechanism is attached is set in the exposure apparatus. Then, the panel is irradiated with ultraviolet light emitted from the ultraviolet irradiation lamp through an exposure lens. At this time, since the color selection mechanism is attached to the panel, the ultraviolet light passes through the slit of the color selection mechanism and is irradiated in stripes on the inner surface of the panel. Then, the phosphor slurry applied to the inner surface of the panel is baked in a stripe shape, and a phosphor stripe of any of red, green and blue is formed.

【0006】パネルの内面に塗布する蛍光体スラリーの
色を変え、同様の工程を繰り返すことにより、パネルの
内面に赤、緑、青の3色の蛍光体ストライプが形成され
る。そして、以上の3色の蛍光体ストライプを形成する
際に、露光装置の露光レンズをそれぞれ変更することに
より、紫外線の照射位置がずらされ、予めパネルの内面
に形成されたカーボンストライプを挟んで隣り合うよう
に、赤、緑、青の3色の蛍光体ストライプが形成され
る。
[0006] By changing the color of the phosphor slurry applied to the inner surface of the panel and repeating the same process, phosphor stripes of three colors of red, green and blue are formed on the inner surface of the panel. When forming the phosphor stripes of the above three colors, the irradiation positions of the ultraviolet rays are shifted by changing the exposure lenses of the exposure device, and the adjacent stripes are sandwiched by the carbon stripes formed in advance on the inner surface of the panel. The phosphor stripes of three colors of red, green and blue are formed so as to match.

【0007】ところで、蛍光面を作製する際に用いられ
る露光レンズは、以下のように作製される。即ち、先
ず、素材となるガラス等を3次曲面を有する金型に固定
する。このとき、固定剤としてパラフィンを主成分とす
るワックスが使用される。金型に固定された露光レンズ
は、平面切削盤により所定のレンズ形状に切削加工され
る。次に、切削加工された露光レンズは、3軸加工研磨
機により、表面が鏡面となるまで研磨加工される。
[0007] An exposure lens used for producing a phosphor screen is produced as follows. That is, first, glass or the like as a material is fixed to a mold having a cubic curved surface. At this time, a wax containing paraffin as a main component is used as a fixing agent. The exposure lens fixed to the mold is cut into a predetermined lens shape by a plane cutting machine. Next, the cut exposure lens is polished by a triaxial polishing machine until the surface becomes a mirror surface.

【0008】研磨加工された露光レンズは、金型から取
り外され、固定剤として使用されたワックスがウエスで
拭きあげられ、所望の露光レンズが完成する。
The polished exposure lens is removed from the mold, and the wax used as a fixing agent is wiped off with a rag to complete the desired exposure lens.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、固定剤
として使用される上記ワックスは、ウエスで拭きあげる
だけでは完全に除去できない場合がある。そして、露光
レンズは、レンズ面にワックスが残ってしまうと、入射
した光の屈折率が変わってしまい、適切な露光が行えな
い。
However, the above wax used as a fixing agent may not be completely removed only by wiping with a rag. If wax remains on the lens surface of the exposure lens, the refractive index of the incident light changes, and proper exposure cannot be performed.

【0010】そこで本発明は、レンズ面のワックスを有
効に除去し、高精度なレンズ面を有する露光レンズを作
製することができる露光レンズの作製方法を提供するこ
とを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing an exposure lens capable of effectively removing wax on a lens surface and manufacturing an exposure lens having a highly accurate lens surface.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明に係る露光レンズ
の作製方法は、上記目的を達成するために、露光レンズ
を固定剤により金型に固定し、所定の形状に成形する切
削工程と、この切削工程により成形された露光レンズを
研磨する研磨工程と、切削工程及び研磨工程の後に露光
レンズを洗浄する洗浄工程とを有し、この洗浄工程は、
アニオン系界面活性剤を主成分とする剥離剤の水溶液を
洗浄液として超音波洗浄を行う工程としている。
In order to achieve the above object, a method of manufacturing an exposure lens according to the present invention includes: a cutting step of fixing an exposure lens to a mold with a fixing agent and forming the exposure lens into a predetermined shape; A polishing step of polishing the exposure lens formed by the cutting step, and a cleaning step of cleaning the exposure lens after the cutting step and the polishing step, this cleaning step,
Ultrasonic cleaning is performed using an aqueous solution of a release agent containing an anionic surfactant as a main component as a cleaning liquid.

【0012】この露光レンズの作製方法によれば、切削
工程及び研磨工程において用いられた固定剤が、洗浄工
程において、露光レンズのレンズ面から剥離されるの
で、高精度なレンズ面を有する露光レンズを作製するこ
とができる。
According to this method of manufacturing an exposure lens, the fixing agent used in the cutting step and the polishing step is separated from the lens surface of the exposure lens in the cleaning step, so that the exposure lens having a highly accurate lens surface Can be produced.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0014】陰極線管は、電子銃から出射される電子ビ
ームが、色選別機構を透過してパネルの内面に作製され
た蛍光面を照射することで、蛍光面が発光し、パネルに
映像が映し出されるものである。
In the cathode ray tube, an electron beam emitted from an electron gun passes through a color selection mechanism and irradiates a fluorescent screen formed on the inner surface of the panel, so that the fluorescent screen emits light and an image is displayed on the panel. It is what is done.

【0015】そして、陰極線管の蛍光面は、パネルの内
面に塗布された赤、緑、青の蛍光体スラリーがストライ
プ状に露光され、これらがパネルの内面に形成されたカ
ーボンストライプを挟んで隣り合うように、パネルの内
面に焼き付けられることにより作製される。
The fluorescent screen of the cathode ray tube is exposed to red, green, and blue phosphor slurries applied to the inner surface of the panel in a stripe shape, and these are adjacent to each other across a carbon stripe formed on the inner surface of the panel. It is made by baking on the inner surface of the panel to fit.

【0016】この陰極線管の蛍光面の作製は、例えば図
1に示すような露光装置1を用いて行われる。この露光
装置1は、パネル2を位置決め載置するフレーム3と、
パネル2の内面2aに紫外線を照射する紫外線ランプ4
と、紫外線ランプ4から照射される紫外線の照射位置を
決定する為の露光レンズ5とにより構成される。そし
て、この露光レンズ5は、紫外線の照射位置の決定を適
切に行う為に、複数枚のレンズ5a,5b,5c,5d
を組み合わせて構成される。なお、本明細書において
は、これら複数枚のレンズ5a,5b,5c,5dを露
光レンズ5と総称することとする。
The production of the fluorescent screen of the cathode ray tube is performed using, for example, an exposure apparatus 1 as shown in FIG. The exposure apparatus 1 includes a frame 3 on which a panel 2 is positioned and mounted;
An ultraviolet lamp 4 for irradiating the inner surface 2a of the panel 2 with ultraviolet light
And an exposure lens 5 for determining the irradiation position of the ultraviolet light emitted from the ultraviolet lamp 4. The exposure lens 5 includes a plurality of lenses 5a, 5b, 5c, and 5d in order to appropriately determine the irradiation position of the ultraviolet light.
Are configured in combination. In the present specification, the plurality of lenses 5a, 5b, 5c, and 5d are collectively referred to as an exposure lens 5.

【0017】この露光装置1を用いて蛍光面を作製する
には、先ず、内面2aにフォトレジストが塗布されたパ
ネル2の内面2a側に、複数列のスリット6aを有する
色選別機構6を取り付ける。そして、色選別機構6が取
り付けられたパネル2を、その内面2aが紫外線ランプ
4側を向くように、露光装置1のフレーム3上に位置決
め載置する。
In order to form a fluorescent screen using this exposure apparatus 1, first, a color selection mechanism 6 having a plurality of rows of slits 6a is mounted on the inner surface 2a side of the panel 2 having the inner surface 2a coated with a photoresist. . Then, the panel 2 to which the color selection mechanism 6 is attached is positioned and mounted on the frame 3 of the exposure apparatus 1 such that the inner surface 2a faces the ultraviolet lamp 4 side.

【0018】そして、紫外線ランプ4から紫外線を点灯
させ、パネル2の内面2aに塗布されたフォトレジスト
の露光を行う。紫外線ランプ4から出射する紫外線は、
露光レンズ5により照射位置が決定され、色選別機構6
のスリット6aを透過することにより、所定の位置のフ
ォトレジストをストライプ状に照射し、パネル2の内面
2aに焼き付ける。
Then, ultraviolet rays are turned on from an ultraviolet lamp 4 to expose the photoresist applied to the inner surface 2a of the panel 2. The ultraviolet light emitted from the ultraviolet lamp 4 is
The irradiation position is determined by the exposure lens 5, and the color selection mechanism 6
Through the slit 6a, the photoresist at a predetermined position is irradiated in a stripe shape, and is baked on the inner surface 2a of the panel 2.

【0019】そして、露光レンズ5を変更して紫外線の
照射位置をずらし、同様の工程を3回繰り返すことによ
り、後に蛍光体ストライプが形成される位置に、フォト
レジストストライプが形成される。
By changing the exposure lens 5 to shift the irradiation position of the ultraviolet rays and repeating the same process three times, a photoresist stripe is formed at a position where a phosphor stripe is to be formed later.

【0020】次にフォトレジストストライプが形成され
たパネル2の内面2aの全面にカーボンスラリーを均一
に塗布する。そして、このカーボンスラリーを反転現像
することによって、パネル2の内面2aにカーボンスト
ライプCSが形成される。
Next, a carbon slurry is uniformly applied to the entire inner surface 2a of the panel 2 on which the photoresist stripe is formed. Then, the carbon slurry is formed on the inner surface 2a of the panel 2 by reversal development of the carbon slurry.

【0021】次に、内面2aにカーボンストライプが形
成されたパネル2の内面2aに、赤、緑、青のいずれか
の色の蛍光体スラリーを塗布し、パネル2の内面2a側
に色選別機構6を取り付ける。そして、色選別機構6が
取り付けられたパネル2を、露光装置1のフレーム3上
に位置決め載置する。
Next, a phosphor slurry of any of red, green and blue colors is applied to the inner surface 2a of the panel 2 having the carbon stripe formed on the inner surface 2a, and a color selection mechanism is applied to the inner surface 2a side of the panel 2. 6 is attached. Then, the panel 2 to which the color selection mechanism 6 is attached is positioned and mounted on the frame 3 of the exposure apparatus 1.

【0022】そして、紫外線ランプ4から紫外線を点灯
させ、パネル2の内面2aに塗布された蛍光体スラリー
の露光を行う。紫外線ランプ4から出射する紫外線は、
露光レンズ5により照射位置が決定され、色選別機構6
のスリット6aを透過することにより、所定の位置の蛍
光体スラリーをストライプ状に照射し、パネル2の内面
2aに焼き付ける。
Then, ultraviolet light is turned on from the ultraviolet lamp 4 to expose the phosphor slurry applied to the inner surface 2a of the panel 2 to light. The ultraviolet light emitted from the ultraviolet lamp 4 is
The irradiation position is determined by the exposure lens 5, and the color selection mechanism 6
Through the slit 6a, the phosphor slurry at a predetermined position is irradiated in a stripe shape, and is baked on the inner surface 2a of the panel 2.

【0023】そして、パネル2の内面2aに塗布する蛍
光体スラリーの色を変え、露光レンズ5を変更して紫外
線の照射位置をずらし、同様の工程を3回繰り返すこと
により、フォトレジストストライプを挟んで隣り合うよ
うに、赤、緑、青の蛍光体ストライプが形成され、パネ
ル2の内面2aに蛍光面が作製される。
The color of the phosphor slurry applied to the inner surface 2a of the panel 2 is changed, the exposure lens 5 is changed to shift the irradiation position of the ultraviolet light, and the same process is repeated three times to sandwich the photoresist stripe. Then, red, green, and blue phosphor stripes are formed adjacent to each other, and a phosphor screen is formed on the inner surface 2a of the panel 2.

【0024】以上説明したように、蛍光面を構成するカ
ーボンストライプ及び赤、緑、青の蛍光体ストライプが
形成される位置は、露光装置1の露光レンズ5によって
決定される。したがって、露光レンズ5は、高精度のレ
ンズ面を有することが要求される。
As described above, the positions where the carbon stripes and the red, green, and blue phosphor stripes forming the phosphor screen are formed are determined by the exposure lens 5 of the exposure apparatus 1. Therefore, the exposure lens 5 is required to have a highly accurate lens surface.

【0025】この露光レンズ5は、例えば図2に示すよ
うな工程を経て作製される。即ち、先ず、露光レンズ切
削工程S1において、素材となるガラス等が3次曲面を
有する金型に固定される。このとき、固定剤として、例
えばパラフィンを主成分とするワックス等が使用され
る。金型に固定された露光レンズ5は、図示しない平面
切削盤により所定のレンズ形状となるように荒削りされ
る。
The exposure lens 5 is manufactured through a process as shown in FIG. 2, for example. That is, first, in the exposure lens cutting step S1, glass or the like as a material is fixed to a mold having a cubic curved surface. At this time, for example, wax containing paraffin as a main component is used as the fixing agent. The exposure lens 5 fixed to the mold is roughly cut by a plane cutting machine (not shown) so as to have a predetermined lens shape.

【0026】次に、切削加工された露光レンズ5は、露
光レンズ研磨工程S2において、図示しない3軸加工研
磨機により、表面が鏡面となるまで研磨加工される。研
磨加工された露光レンズ5は、金型から取り外され、固
定剤として使用されたワックス等がウエスで拭きあげら
れる。
Next, in the exposure lens polishing step S2, the cut exposure lens 5 is polished by a three-axis processing polisher (not shown) until the surface becomes a mirror surface. The polished exposure lens 5 is removed from the mold, and wax or the like used as a fixing agent is wiped off with a waste cloth.

【0027】次に、研磨加工された露光レンズ5は、露
光レンズ洗浄工程S3において、例えば図3に示すよう
な超音波洗浄装置7により超音波洗浄され、レンズ面に
残った固定剤が除去される。
Next, in the exposure lens cleaning step S3, the polished exposure lens 5 is ultrasonically cleaned by, for example, an ultrasonic cleaning device 7 as shown in FIG. 3 to remove the fixing agent remaining on the lens surface. You.

【0028】超音波洗浄装置7は、超音波発生機8と、
この超音波発生機8により発せられた電気的振動を機械
的振動に変換する振動子9と、洗浄液10が満たされる
液槽11とを有している。
The ultrasonic cleaning device 7 includes an ultrasonic generator 8,
It has a vibrator 9 for converting electric vibration generated by the ultrasonic generator 8 into mechanical vibration, and a liquid tank 11 filled with a cleaning liquid 10.

【0029】そして、洗浄液10としては、アニオン系
界面活性剤を主成分とする剥離剤の水溶液が用いられ
る。本例においては、剥離剤として、ポリーズ ユシロ
ン ピックモア(ユシロ化学工業株式会社製)を用いた
例について説明する。なお、剥離剤は、これに限定され
るものではなく、アニオン系界面活性剤を主成分とする
剥離剤であれば、他のものを用いても構わない。
As the cleaning liquid 10, an aqueous solution of a release agent containing an anionic surfactant as a main component is used. In this example, an example in which Poles Yushilon Pickmore (produced by Yushiro Chemical Industry Co., Ltd.) is used as a release agent will be described. The release agent is not limited to this, and any other release agent may be used as long as the release agent has an anionic surfactant as a main component.

【0030】この剥離剤の成分は、以下のようになって
いる。
The components of the release agent are as follows.

【0031】 ・アニオン系界面活性剤 ・アルコール系溶剤 ・アミン系溶剤 ・水質軟化剤 ・染料 ・水 そして、この剥離剤の性状は、以下のようになってい
る。
-Anionic surfactant-Alcohol solvent-Amine solvent-Water softener-Dye-Water And the properties of this release agent are as follows.

【0032】 この剥離剤が、例えば、剥離剤:水=1:15の割合で
水溶され、洗浄液10が作製される。なお、剥離剤と水
の割合は、1:15に限定されるものではなく、ワック
ス等の固定剤を有効に除去できる範囲で変更することが
できるが、剥離剤と水の割合を1:15とすることによ
り、良好な剥離製が発揮されることが確認されている。
[0032] This release agent is dissolved in water at a ratio of, for example, release agent: water = 1: 15, and the cleaning liquid 10 is prepared. Note that the ratio of the release agent to water is not limited to 1:15, and can be changed as long as a fixing agent such as wax can be effectively removed. , It has been confirmed that good peeling is exhibited.

【0033】研磨加工された露光レンズ5は、アタッチ
メント12に支持された状態で、洗浄液10が満たされ
た液槽11内に入れられる。この超音波洗浄装置7は、
超音波発生機8が20〜100kHZ 程度の電気的振動
を発し、この電気的振動を受けて振動子9が振動する。
そして、液槽11内に満たされている洗浄液10は、振
動子9が振動することによって液槽11内に入れられた
露光レンズ5と擦れ合い、露光レンズ5のレンズ面の固
定剤が剥離する。
The polished exposure lens 5 is placed in a liquid tank 11 filled with a cleaning liquid 10 while being supported by an attachment 12. This ultrasonic cleaning device 7
Ultrasonic generator 8 emits an electrical vibration of about 20~100kH Z, vibrator 9 receives the electric vibration to vibrate.
The cleaning liquid 10 filled in the liquid tank 11 rubs against the exposure lens 5 placed in the liquid tank 11 by vibrating the vibrator 9, and the fixing agent on the lens surface of the exposure lens 5 is peeled off. .

【0034】レンズ面の固定剤が剥離した露光レンズ5
は、超音波洗浄装置7の液槽11内から取り出され、水
洗いされて、高精度のレンズ面を有する露光レンズ5と
なる。
Exposure lens 5 from which the fixing agent on the lens surface has peeled off
Is taken out of the liquid tank 11 of the ultrasonic cleaning device 7 and washed with water to form the exposure lens 5 having a highly accurate lens surface.

【0035】この露光レンズの作製方法により作製され
た露光レンズ5は、ワックス等の固定剤が、露光レンズ
洗浄工程S3において有効に除去されるので、高精度の
レンズ面を有し、入射した紫外線を適切に屈折させるこ
とができる。する露光レンズ5を作製することができ
る。
The exposure lens 5 manufactured by this method of manufacturing an exposure lens has a highly accurate lens surface because the fixing agent such as wax is effectively removed in the exposure lens cleaning step S3. Can be appropriately refracted. Exposure lens 5 can be manufactured.

【0036】[0036]

【発明の効果】本発明に係る露光レンズの作製方法は、
露光レンズ切削工程及び露光レンズ研磨工程において使
用した固定剤が、露光レンズ洗浄工程において有効に除
去されるので、高精度のレンズ面を有する露光レンズを
作製することができる。
The method of manufacturing an exposure lens according to the present invention comprises:
Since the fixing agent used in the exposure lens cutting step and the exposure lens polishing step is effectively removed in the exposure lens cleaning step, an exposure lens having a highly accurate lens surface can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】露光装置の模式的断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view of an exposure apparatus.

【図2】本発明に係る露光レンズ作製方法の工程説明図
である。
FIG. 2 is a process explanatory view of an exposure lens manufacturing method according to the present invention.

【図3】超音波洗浄装置の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the ultrasonic cleaning device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 露光装置、2 パネル、4 紫外線ランプ、5 露
光レンズ、7 超音波洗浄装置、10 洗浄液、S1
露光レンズ切削工程、S2 露光レンズ研磨工程、S3
露光レンズ洗浄工程
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Exposure apparatus, 2 panels, 4 ultraviolet lamps, 5 exposure lenses, 7 ultrasonic cleaning apparatus, 10 cleaning liquid, S1
Exposure lens cutting process, S2 Exposure lens polishing process, S3
Exposure lens cleaning process

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 露光レンズを固定剤により金型に固定
し、所定の形状に成形する切削工程と、 上記切削工程により成形された露光レンズを研磨する研
磨工程と、 上記切削工程及び研磨工程の後に露光レンズを洗浄する
洗浄工程とを有し、 上記洗浄工程は、アニオン系界面活性剤を主成分とする
剥離剤の水溶液を洗浄液として超音波洗浄を行う工程で
あることを特徴とする露光レンズの作製方法。
1. A cutting step of fixing an exposure lens to a mold with a fixing agent and forming the exposure lens into a predetermined shape; a polishing step of polishing the exposure lens formed by the cutting step; A cleaning step of cleaning the exposure lens later, wherein the cleaning step is a step of performing ultrasonic cleaning using an aqueous solution of a release agent containing an anionic surfactant as a main component as a cleaning liquid. Method of manufacturing.
【請求項2】 上記固定剤は、パラフィンを主成分とす
るワックスであることを特徴とする請求項1記載の露光
レンズの作製方法。
2. The method according to claim 1, wherein said fixing agent is a wax containing paraffin as a main component.
【請求項3】 上記洗浄液は、剥離剤と水が1:15の
割合であることを特徴とする請求項1記載の露光レンズ
の作製方法。
3. The method of manufacturing an exposure lens according to claim 1, wherein the cleaning liquid has a release agent and water in a ratio of 1:15.
JP31818796A 1996-11-28 1996-11-28 Manufacture of exposure lens Withdrawn JPH10162732A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008114360A (en) * 2006-11-07 2008-05-22 Dong Gu Enterprise Co Ltd Rotary type automatic polishing device of glass lens

Cited By (1)

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JP2008114360A (en) * 2006-11-07 2008-05-22 Dong Gu Enterprise Co Ltd Rotary type automatic polishing device of glass lens

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