JPH10156558A - レーザマーキング装置 - Google Patents
レーザマーキング装置Info
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- JPH10156558A JPH10156558A JP8315826A JP31582696A JPH10156558A JP H10156558 A JPH10156558 A JP H10156558A JP 8315826 A JP8315826 A JP 8315826A JP 31582696 A JP31582696 A JP 31582696A JP H10156558 A JPH10156558 A JP H10156558A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザヘッドと、固体レーザ発振器の励起用
放電ランプに電力を供給する直流電源装置との電気的接
続が容易に達成され、励起用放電ランプの点灯時に発生
する電磁波ノイズが小さいレーザマーキング装置を提供
すること。 【解決手段】 筐体11と、この筐体11内に収納された、
励起用放電ランプ22を有する固体レーザ発振器20とを具
えたレーザヘッド10を有してなり、レーザヘッド10の筐
体11内には、固体レーザ発振器20の励起用放電ランプ22
を点灯させるためのスタータ回路36およびブースタ回路
35が収納されており、スタータ回路36、ブースタ回路35
および固体レーザ発振器20の励起用放電ランプ22に電力
を供給する直流電源回路50が、レーザヘッド10と独立し
て設けられている。
放電ランプに電力を供給する直流電源装置との電気的接
続が容易に達成され、励起用放電ランプの点灯時に発生
する電磁波ノイズが小さいレーザマーキング装置を提供
すること。 【解決手段】 筐体11と、この筐体11内に収納された、
励起用放電ランプ22を有する固体レーザ発振器20とを具
えたレーザヘッド10を有してなり、レーザヘッド10の筐
体11内には、固体レーザ発振器20の励起用放電ランプ22
を点灯させるためのスタータ回路36およびブースタ回路
35が収納されており、スタータ回路36、ブースタ回路35
および固体レーザ発振器20の励起用放電ランプ22に電力
を供給する直流電源回路50が、レーザヘッド10と独立し
て設けられている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体レーザによる
レーザ光を照射してマーキングするレーザマーキング装
置に関する。
レーザ光を照射してマーキングするレーザマーキング装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】レーザによるマーキングは、高速処理が
可能で、マーキングミスが少なく、しかも運転コストも
低いことから、近年において、従来のインクによる捺印
や機械による刻印に代わって盛んに行われ始めている。
可能で、マーキングミスが少なく、しかも運転コストも
低いことから、近年において、従来のインクによる捺印
や機械による刻印に代わって盛んに行われ始めている。
【0003】かかるレーザによるマーキングを行うため
のレーザマーキング装置としては、固体レーザ発振器を
有するレーザヘッドと、このレーザヘッドからのレーザ
光を走査するためのスキャナ機構とを具えてなるものが
知られている。
のレーザマーキング装置としては、固体レーザ発振器を
有するレーザヘッドと、このレーザヘッドからのレーザ
光を走査するためのスキャナ機構とを具えてなるものが
知られている。
【0004】図3は、従来のレーザマーキング装置の一
例における構成を模式的に示す説明図である。この図に
おいて、70はレーザヘッドであって、その筐体71内
には、固体レーザ発振器72が収納されている。この固
体レーザ発振器72は、例えばNd3+:YAG(イット
リウム−アルミニウム−ガーネット)よりなる柱状の固
体ロッド73と、固体ロッド73に並行して配置され
た、例えばクリプトンアークランプよりなる励起用放電
ランプ74と、固体ロッド73および励起用放電ランプ
74を取り囲むよう配置された楕円筒状の集光器75
と、固体ロッド73の両側に配置された反射側ミラー7
6および出射側ミラー77よりなる共振器と、固体ロッ
ド73と出射側ミラー77との間に配置された、シャッ
タ78およびQ−スイッチ79と、出射側ミラー77の
出射側に配置されたビームエクスパンダ80とにより構
成されている。固体レーザ発振器72における集光器7
5は、筐体71の外部に設けられた冷却装置81に接続
されている。
例における構成を模式的に示す説明図である。この図に
おいて、70はレーザヘッドであって、その筐体71内
には、固体レーザ発振器72が収納されている。この固
体レーザ発振器72は、例えばNd3+:YAG(イット
リウム−アルミニウム−ガーネット)よりなる柱状の固
体ロッド73と、固体ロッド73に並行して配置され
た、例えばクリプトンアークランプよりなる励起用放電
ランプ74と、固体ロッド73および励起用放電ランプ
74を取り囲むよう配置された楕円筒状の集光器75
と、固体ロッド73の両側に配置された反射側ミラー7
6および出射側ミラー77よりなる共振器と、固体ロッ
ド73と出射側ミラー77との間に配置された、シャッ
タ78およびQ−スイッチ79と、出射側ミラー77の
出射側に配置されたビームエクスパンダ80とにより構
成されている。固体レーザ発振器72における集光器7
5は、筐体71の外部に設けられた冷却装置81に接続
されている。
【0005】また、レーザヘッド70の筐体71内に
は、後述する第1のガルバノメータスキャナ86および
第2のガルバノメータスキャナ87を制御するためのガ
ルバノメータスキャナ制御部82と、このガルバノメー
タスキャナ制御部82に電力を供給するためのスキャナ
制御部用直流電源回路83とが収納されており、このス
キャナ制御部用直流電源回路83は交流電源(図示省
略)に接続されている。
は、後述する第1のガルバノメータスキャナ86および
第2のガルバノメータスキャナ87を制御するためのガ
ルバノメータスキャナ制御部82と、このガルバノメー
タスキャナ制御部82に電力を供給するためのスキャナ
制御部用直流電源回路83とが収納されており、このス
キャナ制御部用直流電源回路83は交流電源(図示省
略)に接続されている。
【0006】85はスキャナ機構であって、レーザヘッ
ド70からのレーザ光を、マーキングすべき対象物Wに
対して一方向(以下、「X方向」ともいう。)に沿って
走査する第1のガルバノメータスキャナ86と、レーザ
ヘッド70からのレーザ光を、前記一方向と垂直な他方
向(以下、「Y方向」ともいう。)に沿って走査する第
2のガルバノメータスキャナ87と、集光用f−θレン
ズ88とを有する。
ド70からのレーザ光を、マーキングすべき対象物Wに
対して一方向(以下、「X方向」ともいう。)に沿って
走査する第1のガルバノメータスキャナ86と、レーザ
ヘッド70からのレーザ光を、前記一方向と垂直な他方
向(以下、「Y方向」ともいう。)に沿って走査する第
2のガルバノメータスキャナ87と、集光用f−θレン
ズ88とを有する。
【0007】90は、固体レーザ発振器72における励
起用放電ランプ74に電力を供給して点灯させるための
直流電源装置であり、レーザヘッド70と独立して配置
されている。この直流電源装置90は、交流電源に接続
された直流電源回路91と、この直流電源回路91の正
側端子に接続されたブースタ回路92と、このブースタ
回路92に接続されたスタータ回路93とを有する。直
流電源回路91の負側端子およびスタータ回路93は、
レーザヘッド70の固体レーザ発振器72における励起
用放電ランプ74に電気的に接続されており、励起用放
電ランプ74を点灯させるときには、直流電源回路91
から励起用放電ランプ74のランプ電極に直流電力が供
給されると共に、スタータ回路93により、当該励起用
放電ランプ74のランプ電極に例えば20〜30kVの
高電圧パルスが数マイクロ秒間重畳される。
起用放電ランプ74に電力を供給して点灯させるための
直流電源装置であり、レーザヘッド70と独立して配置
されている。この直流電源装置90は、交流電源に接続
された直流電源回路91と、この直流電源回路91の正
側端子に接続されたブースタ回路92と、このブースタ
回路92に接続されたスタータ回路93とを有する。直
流電源回路91の負側端子およびスタータ回路93は、
レーザヘッド70の固体レーザ発振器72における励起
用放電ランプ74に電気的に接続されており、励起用放
電ランプ74を点灯させるときには、直流電源回路91
から励起用放電ランプ74のランプ電極に直流電力が供
給されると共に、スタータ回路93により、当該励起用
放電ランプ74のランプ電極に例えば20〜30kVの
高電圧パルスが数マイクロ秒間重畳される。
【0008】以上において、直流電源装置90にブース
タ回路92を設ける理由は、以下のとおりである。例え
ばクリプトンアークランプを点灯させるためには、単に
スタータ回路93により高電圧パルスを重畳するだけで
は、その後の点灯状態を維持することができず、点灯初
期(絶縁破壊初期)において、点灯中に要する電圧(例
えば150V)より非常に高い電圧(例えば2〜3k
V)を必要とする。そして、このような高い電圧を当該
ランプに効率よく供給するために、ブースタ回路92が
設けられる。
タ回路92を設ける理由は、以下のとおりである。例え
ばクリプトンアークランプを点灯させるためには、単に
スタータ回路93により高電圧パルスを重畳するだけで
は、その後の点灯状態を維持することができず、点灯初
期(絶縁破壊初期)において、点灯中に要する電圧(例
えば150V)より非常に高い電圧(例えば2〜3k
V)を必要とする。そして、このような高い電圧を当該
ランプに効率よく供給するために、ブースタ回路92が
設けられる。
【0009】上記のようなレーザマーキング装置におい
ては、直流電源装置90により、固体レーザ発振器72
の励起用放電ランプ74が点灯されると、当該励起用放
電ランプ74からの光は、集光器75により固体ロッド
73に集中して照射され、これにより、固体ロッド73
中に含まれる金属イオンが励起され、その結果、固体ロ
ッド73から特定の波長の光が放出される。そして、固
体ロッド73から放出された光は、反射側ミラー76お
よび出射側ミラー77により共振され、出射側ミラー7
7からレーザ光が発振され、このレーザ光は、ビームエ
クスパンダ80を介して、当該レーザヘッド70からス
キャナ機構85に導入される。そして、レーザ光は、第
1のガルバノメータスキャナ86および第2のガルバノ
メータスキャナ87によって走査されながら対象物Wに
照射され、これにより、対象物Wがマーキングされる。
ては、直流電源装置90により、固体レーザ発振器72
の励起用放電ランプ74が点灯されると、当該励起用放
電ランプ74からの光は、集光器75により固体ロッド
73に集中して照射され、これにより、固体ロッド73
中に含まれる金属イオンが励起され、その結果、固体ロ
ッド73から特定の波長の光が放出される。そして、固
体ロッド73から放出された光は、反射側ミラー76お
よび出射側ミラー77により共振され、出射側ミラー7
7からレーザ光が発振され、このレーザ光は、ビームエ
クスパンダ80を介して、当該レーザヘッド70からス
キャナ機構85に導入される。そして、レーザ光は、第
1のガルバノメータスキャナ86および第2のガルバノ
メータスキャナ87によって走査されながら対象物Wに
照射され、これにより、対象物Wがマーキングされる。
【0010】しかしながら、上記のレーザマーキング装
置においては、以下のような問題がある。 (1)レーザヘッド70の固体レーザ発振器72におけ
る励起用放電ランプ74と、直流電源装置90のスター
タ回路93との電気的接続は、例えば筐体71に設けら
れたコネクターよりなる接続部を介して行われる。一
方、励起用放電ランプ74の点灯時には、ブースタ回路
92およびスタータ回路93により、励起用放電ランプ
74に高い電圧の電力が供給されるため、直流電源装置
90とレーザヘッド70とを接続するためのケーブルと
して、耐高電圧性のものを用いる必要があり、接続部に
おける絶縁性を確保した状態で、直流電源装置90とレ
ーザヘッド70との電気的接続を行うためには、高価で
大型の耐高電圧性の接続コネクタを用いる必要があるの
で、接続部の構成が複雑となり、しかも、製造コストが
高くなる。
置においては、以下のような問題がある。 (1)レーザヘッド70の固体レーザ発振器72におけ
る励起用放電ランプ74と、直流電源装置90のスター
タ回路93との電気的接続は、例えば筐体71に設けら
れたコネクターよりなる接続部を介して行われる。一
方、励起用放電ランプ74の点灯時には、ブースタ回路
92およびスタータ回路93により、励起用放電ランプ
74に高い電圧の電力が供給されるため、直流電源装置
90とレーザヘッド70とを接続するためのケーブルと
して、耐高電圧性のものを用いる必要があり、接続部に
おける絶縁性を確保した状態で、直流電源装置90とレ
ーザヘッド70との電気的接続を行うためには、高価で
大型の耐高電圧性の接続コネクタを用いる必要があるの
で、接続部の構成が複雑となり、しかも、製造コストが
高くなる。
【0011】(2)レーザヘッド70を、直流電源装置
90から離れた位置に配置する場合には、当然のことな
がら、直流電源装置90とレーザヘッド70と接続する
ためのケーブルは相当に長いものとなるため、励起用放
電ランプ74の点灯時に高電圧の電力が流れることによ
り、当該ケーブルから相当に大きい電磁波ノイズが発生
する。従って、電磁波ノイズの外部への放射を防止する
ためには、耐高電圧性のケーブルを電気的にシールドさ
れた電線管内に配置することが必要となるため、レーザ
ヘッドと直流電源装置との接続作業が煩雑となり、ま
た、コストも高くなる。
90から離れた位置に配置する場合には、当然のことな
がら、直流電源装置90とレーザヘッド70と接続する
ためのケーブルは相当に長いものとなるため、励起用放
電ランプ74の点灯時に高電圧の電力が流れることによ
り、当該ケーブルから相当に大きい電磁波ノイズが発生
する。従って、電磁波ノイズの外部への放射を防止する
ためには、耐高電圧性のケーブルを電気的にシールドさ
れた電線管内に配置することが必要となるため、レーザ
ヘッドと直流電源装置との接続作業が煩雑となり、ま
た、コストも高くなる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な事情に基づいてなされたものであって、その目的は、
レーザヘッドと、固体レーザ発振器の励起用放電ランプ
に電力を供給するための直流電源装置との電気的接続を
容易に達成することができ、励起用放電ランプの点灯時
に発生する電磁波ノイズが小さいレーザマーキング装置
を提供することにある。
な事情に基づいてなされたものであって、その目的は、
レーザヘッドと、固体レーザ発振器の励起用放電ランプ
に電力を供給するための直流電源装置との電気的接続を
容易に達成することができ、励起用放電ランプの点灯時
に発生する電磁波ノイズが小さいレーザマーキング装置
を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザマーキン
グ装置は、筐体と、この筐体内に収納された、励起用放
電ランプを有する固体レーザ発振器とを具えたレーザヘ
ッドを有してなるレーザマーキング装置において、前記
レーザヘッドの筐体内には、当該固体レーザ発振器の励
起用放電ランプを点灯させるためのスタータ回路および
ブースタ回路が収納されており、前記スタータ回路、前
記ブースタ回路および前記固体レーザ発振器の励起用放
電ランプに電力を供給する直流電源回路が、前記レーザ
ヘッドと独立して設けられていることを特徴とする。
グ装置は、筐体と、この筐体内に収納された、励起用放
電ランプを有する固体レーザ発振器とを具えたレーザヘ
ッドを有してなるレーザマーキング装置において、前記
レーザヘッドの筐体内には、当該固体レーザ発振器の励
起用放電ランプを点灯させるためのスタータ回路および
ブースタ回路が収納されており、前記スタータ回路、前
記ブースタ回路および前記固体レーザ発振器の励起用放
電ランプに電力を供給する直流電源回路が、前記レーザ
ヘッドと独立して設けられていることを特徴とする。
【0014】本発明のレーザマーキング装置において
は、前記レーザヘッドからのレーザ光を走査するガルバ
ノメータスキャナを有してなるスキャナ機構と、このス
キャナ機構のガルバノメータスキャナを制御するガルバ
ノメータスキャナ制御部とが設けられる場合には、前記
スキャナ機構は、前記レーザヘッドと独立して配置さ
れ、前記ガルバノメータスキャナ制御部は、前記レーザ
ヘッドの筐体内に収納されていることが好ましい。
は、前記レーザヘッドからのレーザ光を走査するガルバ
ノメータスキャナを有してなるスキャナ機構と、このス
キャナ機構のガルバノメータスキャナを制御するガルバ
ノメータスキャナ制御部とが設けられる場合には、前記
スキャナ機構は、前記レーザヘッドと独立して配置さ
れ、前記ガルバノメータスキャナ制御部は、前記レーザ
ヘッドの筐体内に収納されていることが好ましい。
【0015】また、本発明のレーザマーキング装置にお
いては、前記レーザヘッドの筐体内には、鉄板によって
仕切られることにより、互いに重なり合う複数の収納領
域が形成されており、これらの複数の収納領域のうち、
一の収納領域には、固体レーザ発振器、スタータ回路お
よびブースタ回路が収納され、他の収納領域には、ガル
バノメータスキャナ制御部が収納されていることが好ま
しい。
いては、前記レーザヘッドの筐体内には、鉄板によって
仕切られることにより、互いに重なり合う複数の収納領
域が形成されており、これらの複数の収納領域のうち、
一の収納領域には、固体レーザ発振器、スタータ回路お
よびブースタ回路が収納され、他の収納領域には、ガル
バノメータスキャナ制御部が収納されていることが好ま
しい。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明のレーザマーキング
装置を詳細に説明する。図1は、本発明のレーザマーキ
ング装置の一例における構成を模式的に示す説明図であ
る。この図において、10はレーザヘッドであって、そ
の筐体11内には、固体レーザ発振器20が収納されて
いる。
装置を詳細に説明する。図1は、本発明のレーザマーキ
ング装置の一例における構成を模式的に示す説明図であ
る。この図において、10はレーザヘッドであって、そ
の筐体11内には、固体レーザ発振器20が収納されて
いる。
【0017】具体的に説明すると、図2(イ)に示すよ
うに、レーザヘッド10の筐体11内には、それぞれ鉄
板12,13によって仕切られることにより、第1収納
領域R1、第2収納領域R2および第3収納領域R3
が、下からこの順で互いに重なり合う状態で形成されて
おり、第1収納領域R1と第2収納領域R2とを仕切る
鉄板12は、筐体11の底部から垂直に伸びる複数の支
柱14により支持され、第2収納領域R2と第3収納領
域R3とを仕切る鉄板13は、鉄板12の上面から垂直
に伸びる複数の支柱15により支持されている。そし
て、当該筐体11内における第1収納領域R1に、固体
レーザ発振器20が収納されている。
うに、レーザヘッド10の筐体11内には、それぞれ鉄
板12,13によって仕切られることにより、第1収納
領域R1、第2収納領域R2および第3収納領域R3
が、下からこの順で互いに重なり合う状態で形成されて
おり、第1収納領域R1と第2収納領域R2とを仕切る
鉄板12は、筐体11の底部から垂直に伸びる複数の支
柱14により支持され、第2収納領域R2と第3収納領
域R3とを仕切る鉄板13は、鉄板12の上面から垂直
に伸びる複数の支柱15により支持されている。そし
て、当該筐体11内における第1収納領域R1に、固体
レーザ発振器20が収納されている。
【0018】固体レーザ発振器20は、例えばNd3+:
YAG(イットリウム−アルミニウム−ガーネット)よ
りなるレーザ発振媒体である柱状の固体ロッド21と、
固体ロッド21に並行して配置された、例えばクリプト
ンアークランプよりなる励起用放電ランプ22と、固体
ロッド21および励起用放電ランプ22を取り囲むよう
配置された楕円筒状の集光器23と、固体ロッド21の
両側に配置され、それぞれミラーホルダー26,27に
より保持された反射側ミラー24および出射側ミラー2
5よりなる共振器と、固体ロッド21と出射側ミラー2
5との間に配置された、シャッタ28およびQ−スイッ
チ29と、出射側ミラー25の出射側に配置されたビー
ムエクスパンダ30とにより構成されている。固体レー
ザ発振器20における集光器23には、筐体11の外部
に設けられた冷却装置31が接続されている。
YAG(イットリウム−アルミニウム−ガーネット)よ
りなるレーザ発振媒体である柱状の固体ロッド21と、
固体ロッド21に並行して配置された、例えばクリプト
ンアークランプよりなる励起用放電ランプ22と、固体
ロッド21および励起用放電ランプ22を取り囲むよう
配置された楕円筒状の集光器23と、固体ロッド21の
両側に配置され、それぞれミラーホルダー26,27に
より保持された反射側ミラー24および出射側ミラー2
5よりなる共振器と、固体ロッド21と出射側ミラー2
5との間に配置された、シャッタ28およびQ−スイッ
チ29と、出射側ミラー25の出射側に配置されたビー
ムエクスパンダ30とにより構成されている。固体レー
ザ発振器20における集光器23には、筐体11の外部
に設けられた冷却装置31が接続されている。
【0019】また、図2(ロ)にも示すように、レーザ
ヘッド10の筐体11内における第1収納領域R1に
は、固体レーザ発振器20の励起用放電ランプ22を点
灯させるためのブースタ回路35およびスタータ回路3
6が収納されており、ブースタ回路35は、耐高電圧性
ケーブル37によりスタータ回路36に接続され、スタ
ータ回路36は、耐高電圧性ケーブル38により励起用
放電ランプ22に接続されている。
ヘッド10の筐体11内における第1収納領域R1に
は、固体レーザ発振器20の励起用放電ランプ22を点
灯させるためのブースタ回路35およびスタータ回路3
6が収納されており、ブースタ回路35は、耐高電圧性
ケーブル37によりスタータ回路36に接続され、スタ
ータ回路36は、耐高電圧性ケーブル38により励起用
放電ランプ22に接続されている。
【0020】レーザヘッド10の筐体11内における第
3の収納領域R3には、後述する第1のガルバノメータ
スキャナ41および第2のガルバノメータスキャナ42
を制御するためのガルバノメータスキャナ制御部16が
収納されている。
3の収納領域R3には、後述する第1のガルバノメータ
スキャナ41および第2のガルバノメータスキャナ42
を制御するためのガルバノメータスキャナ制御部16が
収納されている。
【0021】レーザヘッド10の筐体11内における第
2の収納領域R2には、交流電源(図示省略)に接続さ
れた、ガルバノメータスキャナ制御部16に電力を供給
するためのスキャナ制御部用直流電源回路17と、後述
する第1のガルバノメータスキャナ41および第2のガ
ルバノメータスキャナ42を駆動するための電源回路1
8と、インタフェース(図示省略)およびインタロック
(図示省略)を制御するための制御機構19とが収納さ
れている。
2の収納領域R2には、交流電源(図示省略)に接続さ
れた、ガルバノメータスキャナ制御部16に電力を供給
するためのスキャナ制御部用直流電源回路17と、後述
する第1のガルバノメータスキャナ41および第2のガ
ルバノメータスキャナ42を駆動するための電源回路1
8と、インタフェース(図示省略)およびインタロック
(図示省略)を制御するための制御機構19とが収納さ
れている。
【0022】40はスキャナ機構であって、レーザヘッ
ド10からのレーザ光を、マーキングすべき対象物Wに
対して一方向(以下、「X方向」ともいう。)に沿って
走査する第1のガルバノメータスキャナ41と、レーザ
ヘッド10からのレーザ光を、前記一方向と垂直な他方
向(以下、「Y方向」ともいう。)に沿って走査する第
2のガルバノメータスキャナ42と、集光用f−θレン
ズ43とを有する。
ド10からのレーザ光を、マーキングすべき対象物Wに
対して一方向(以下、「X方向」ともいう。)に沿って
走査する第1のガルバノメータスキャナ41と、レーザ
ヘッド10からのレーザ光を、前記一方向と垂直な他方
向(以下、「Y方向」ともいう。)に沿って走査する第
2のガルバノメータスキャナ42と、集光用f−θレン
ズ43とを有する。
【0023】50は、固体レーザ発振器20における励
起用放電ランプ22に電力を供給して点灯させるための
直流電源装置であり、レーザヘッド10と独立して配置
されている。この直流電源装置50は、交流電源に接続
された直流電源回路51を有し、この直流電源回路51
の正側端子および負側端子は、例えば筐体11に設けら
れたコネクターよりなる接続部(図示省略)を介して、
それぞれブースタ回路30および励起用放電ランプ22
に電気的に接続されている。
起用放電ランプ22に電力を供給して点灯させるための
直流電源装置であり、レーザヘッド10と独立して配置
されている。この直流電源装置50は、交流電源に接続
された直流電源回路51を有し、この直流電源回路51
の正側端子および負側端子は、例えば筐体11に設けら
れたコネクターよりなる接続部(図示省略)を介して、
それぞれブースタ回路30および励起用放電ランプ22
に電気的に接続されている。
【0024】上記のレーザマーキング装置においては、
直流電源装置50の直流電源回路51、ブースタ回路3
5およびスタータ回路36により、固体レーザ発振器2
0の励起用放電ランプ22が点灯されると、当該励起用
放電ランプ22からの光は、集光器23により固体ロッ
ド21に集中して照射され、これにより、固体ロッド2
1中に含まれる金属イオンが励起され、その結果、固体
ロッド21から特定の波長の光が放出される。そして、
固体ロッド21から放出された光は、反射側ミラー24
および出射側ミラー25により共振され、出射側ミラー
25からレーザ光が発振され、このレーザ光は、ビーム
エクスパンダ30を介して、当該レーザヘッド10から
スキャナ機構40に導入される。そして、レーザ光は、
第1のガルバノメータスキャナ41および第2のガルバ
ノメータスキャナ42によってX方向およびY方向に走
査されながら対象物Wに照射され、これにより、対象物
Wがマーキングされる。
直流電源装置50の直流電源回路51、ブースタ回路3
5およびスタータ回路36により、固体レーザ発振器2
0の励起用放電ランプ22が点灯されると、当該励起用
放電ランプ22からの光は、集光器23により固体ロッ
ド21に集中して照射され、これにより、固体ロッド2
1中に含まれる金属イオンが励起され、その結果、固体
ロッド21から特定の波長の光が放出される。そして、
固体ロッド21から放出された光は、反射側ミラー24
および出射側ミラー25により共振され、出射側ミラー
25からレーザ光が発振され、このレーザ光は、ビーム
エクスパンダ30を介して、当該レーザヘッド10から
スキャナ機構40に導入される。そして、レーザ光は、
第1のガルバノメータスキャナ41および第2のガルバ
ノメータスキャナ42によってX方向およびY方向に走
査されながら対象物Wに照射され、これにより、対象物
Wがマーキングされる。
【0025】上記のレーザマーキング装置によれば、レ
ーザヘッド10の筐体内に、固体レーザ発振器20の励
起用放電ランプ22を点灯させるためのブースタ回路3
5およびスタータ回路36が収納されているため、直流
電源装置50からレーザヘッド10に高電圧の電力が供
給されることがない。従って、レーザヘッド10と直流
電源装置50とを接続するためのケーブルとして、耐高
電圧性のものを用いる必要がなく、そのため、接続部を
構成するコネクターとして、例えば耐電圧が600V程
度の小型のものを用いることができるので、接続部にお
ける絶縁性を十分に確保した状態でレーザヘッド10と
直流電源装置50との電気的接続を容易に達成すること
ができる。また、スタータ回路36と励起用放電ランプ
22とを接続するための耐高電圧性ケーブル38とし
て、相当に短いものを用いることができ、しかも、耐高
電圧性ケーブル38はレーザヘッド10の筐体11内に
設けられているので、励起用ランプ22の点灯時に発生
する電磁波ノイズを小さくすることができると共に、例
えばノイズ吸収用のバイパスコンデンサを設けることな
どの簡単な手段により、電磁波ノイズが外部に放出され
ることを防止することができる。
ーザヘッド10の筐体内に、固体レーザ発振器20の励
起用放電ランプ22を点灯させるためのブースタ回路3
5およびスタータ回路36が収納されているため、直流
電源装置50からレーザヘッド10に高電圧の電力が供
給されることがない。従って、レーザヘッド10と直流
電源装置50とを接続するためのケーブルとして、耐高
電圧性のものを用いる必要がなく、そのため、接続部を
構成するコネクターとして、例えば耐電圧が600V程
度の小型のものを用いることができるので、接続部にお
ける絶縁性を十分に確保した状態でレーザヘッド10と
直流電源装置50との電気的接続を容易に達成すること
ができる。また、スタータ回路36と励起用放電ランプ
22とを接続するための耐高電圧性ケーブル38とし
て、相当に短いものを用いることができ、しかも、耐高
電圧性ケーブル38はレーザヘッド10の筐体11内に
設けられているので、励起用ランプ22の点灯時に発生
する電磁波ノイズを小さくすることができると共に、例
えばノイズ吸収用のバイパスコンデンサを設けることな
どの簡単な手段により、電磁波ノイズが外部に放出され
ることを防止することができる。
【0026】また、レーザヘッド10の筐体11内に
は、それぞれ耐電磁波ノイズ性の高い鉄板12,13に
よって仕切られた、第1収納領域R1、第2収納領域R
2および第3収納領域R3が形成されており、しかも、
固体レーザ発振器20、ブースタ回路35およびスター
タ回路36が第1収納領域R1に収納されていると共
に、ガルバノメータスキャナ制御部16が第3収納領域
に収納されているため、励起用放電ランプ22の点灯時
に発生する電磁波ノイズによってガルバノメータスキャ
ナ制御部16が誤作動することを回避することができ
る。また、第1収納領域R1、第2収納領域R2および
第3収納領域R3は、互いに重なり合うよう形成されて
いるため、レーザヘッド10の筐体11内にブースタ回
路35およびスタータ回路36を収納しても、当該レー
ザヘッド10の専有面積を小さくすることができる。
は、それぞれ耐電磁波ノイズ性の高い鉄板12,13に
よって仕切られた、第1収納領域R1、第2収納領域R
2および第3収納領域R3が形成されており、しかも、
固体レーザ発振器20、ブースタ回路35およびスター
タ回路36が第1収納領域R1に収納されていると共
に、ガルバノメータスキャナ制御部16が第3収納領域
に収納されているため、励起用放電ランプ22の点灯時
に発生する電磁波ノイズによってガルバノメータスキャ
ナ制御部16が誤作動することを回避することができ
る。また、第1収納領域R1、第2収納領域R2および
第3収納領域R3は、互いに重なり合うよう形成されて
いるため、レーザヘッド10の筐体11内にブースタ回
路35およびスタータ回路36を収納しても、当該レー
ザヘッド10の専有面積を小さくすることができる。
【0027】本発明においては、レーザヘッドの筐体内
に、励起用放電ランプを点灯させるためのブースタ回路
およびスタータ回路が収納されていればよく、その他の
具体的構成については、上記のレーザマーキング装置に
限定されるものではない。
に、励起用放電ランプを点灯させるためのブースタ回路
およびスタータ回路が収納されていればよく、その他の
具体的構成については、上記のレーザマーキング装置に
限定されるものではない。
【0028】
【発明の効果】請求項1乃至請求項3に記載のレーザマ
ーキング装置によれば、レーザヘッドの筐体内に、固体
レーザ発振器の励起用放電ランプを点灯させるためのブ
ースタ回路およびスタータ回路が収納されているため、
直流電源装置からレーザヘッドに高電圧の電力が供給さ
れることがない。従って、レーザヘッドと直流電源装置
とを接続するためのケーブルとして、耐高電圧性のもの
を用いる必要がなく、そのため、接続部を構成するコネ
クターとして、耐電圧性の小さい小型のものを用いるこ
とができるので、接続部における絶縁性を十分に確保し
た状態で、レーザヘッドと直流電源装置との電気的接続
を容易に達成することができる。また、スタータ回路と
励起用放電ランプとを接続するための耐高電圧性ケーブ
ルとして、相当に短いものを用いることができ、しか
も、当該耐高電圧性ケーブルはレーザヘッドの筐体内に
設けられることとなるので、励起用ランプの点灯時に発
生する電磁波ノイズを小さくすることができると共に、
例えばノイズ吸収用のバイパスコンデンサを設けること
などの簡単な手段により、電磁波ノイズの発生を防止す
ることができる。
ーキング装置によれば、レーザヘッドの筐体内に、固体
レーザ発振器の励起用放電ランプを点灯させるためのブ
ースタ回路およびスタータ回路が収納されているため、
直流電源装置からレーザヘッドに高電圧の電力が供給さ
れることがない。従って、レーザヘッドと直流電源装置
とを接続するためのケーブルとして、耐高電圧性のもの
を用いる必要がなく、そのため、接続部を構成するコネ
クターとして、耐電圧性の小さい小型のものを用いるこ
とができるので、接続部における絶縁性を十分に確保し
た状態で、レーザヘッドと直流電源装置との電気的接続
を容易に達成することができる。また、スタータ回路と
励起用放電ランプとを接続するための耐高電圧性ケーブ
ルとして、相当に短いものを用いることができ、しか
も、当該耐高電圧性ケーブルはレーザヘッドの筐体内に
設けられることとなるので、励起用ランプの点灯時に発
生する電磁波ノイズを小さくすることができると共に、
例えばノイズ吸収用のバイパスコンデンサを設けること
などの簡単な手段により、電磁波ノイズの発生を防止す
ることができる。
【0029】請求項3に記載のレーザマーキング装置に
よれば、レーザヘッドの筐体内には、それぞれ耐電磁波
ノイズ性の高い鉄板によって仕切られた複数の収納領域
が形成されており、固体レーザ発振器、ブースタ回路お
よびスタータ回路と、ガルバノメータスキャナ制御部と
が異なる収納領域に収納されているため、励起用放電ラ
ンプの点灯時に発生する電磁波ノイズによってガルバノ
メータスキャナ制御部が誤作動することを回避すること
ができる。また、各収納領域は互いに重なり合う状態で
形成されているため、レーザヘッド内にブースタ回路お
よびスタータ回路を収納しても、当該レーザヘッドの専
有面積を小さくすることができる。
よれば、レーザヘッドの筐体内には、それぞれ耐電磁波
ノイズ性の高い鉄板によって仕切られた複数の収納領域
が形成されており、固体レーザ発振器、ブースタ回路お
よびスタータ回路と、ガルバノメータスキャナ制御部と
が異なる収納領域に収納されているため、励起用放電ラ
ンプの点灯時に発生する電磁波ノイズによってガルバノ
メータスキャナ制御部が誤作動することを回避すること
ができる。また、各収納領域は互いに重なり合う状態で
形成されているため、レーザヘッド内にブースタ回路お
よびスタータ回路を収納しても、当該レーザヘッドの専
有面積を小さくすることができる。
【図1】本発明のレーザマーキング装置の一例における
構成を模式的に示す説明図である。
構成を模式的に示す説明図である。
【図2】レーザヘッドの筐体内における構成を示す説明
図であり、(イ)はレーザヘッド全体の側面図、(ロ)
は、第1収納領域における平面図である。
図であり、(イ)はレーザヘッド全体の側面図、(ロ)
は、第1収納領域における平面図である。
【図3】従来のレーザマーキング装置の一例における構
成を模式的に示す説明図である。
成を模式的に示す説明図である。
10 レーザヘッド 11 筐体 12,13 鉄板 14,15 支柱 16 ガルバノメータスキャナ制御部 17 スキャナ制御部用直流電源回路 18 電源回路 19 制御機構 20 固体レーザ発振器 21 固体ロッド 22 励起用放電ランプ 23 集光器 24 反射側ミラー 25 出射側ミラー 26,27 ミラーホルダー 28 シャッター 29 Q−スイッチ 30 ビームエクスパンダ 31 冷却装置 35 ブースタ回路 36 スタータ回路 37,38 耐高電圧性ケーブル 40 スキャナ機構 41 第1のガルバノメータスキャナ 42 第2のガルバノメータスキャナ 43 集光用f−θレンズ 50 直流電源装置 51 直流電源回路 70 レーザヘッド 71 筐体 72 固体レーザ発振器 73 固体ロッド 74 励起用放電ランプ 75 集光器 76 反射側ミラー 77 出射側ミラー 78 シャッター 79 Q−スイッチ 80 ビームエクスパンダ 81 冷却装置 82 ガルバノメータスキャナ制御部 83 スキャナ制御部用直流電源回路 85 スキャナ機構 86 第1のガルバノメータスキャナ 87 第2のガルバノメータスキャナ 88 集光用f−θレンズ 90 直流電源装置 91 直流電源回路 92 ブースタ回路 93 スタータ回路 R1 第1収納領域 R2 第2収納領域 R3 第3収納領域 W 対象物
Claims (3)
- 【請求項1】 筐体と、この筐体内に収納された、励起
用放電ランプを有する固体レーザ発振器とを具えたレー
ザヘッドを有してなるレーザマーキング装置において、 前記レーザヘッドの筐体内には、当該固体レーザ発振器
の励起用放電ランプを点灯させるためのスタータ回路お
よびブースタ回路が収納されており、 前記スタータ回路、前記ブースタ回路および前記固体レ
ーザ発振器の励起用放電ランプに電力を供給する直流電
源回路が、前記レーザヘッドと独立して設けられている
ことを特徴とするレーザマーキング装置。 - 【請求項2】 レーザヘッドからのレーザ光を走査する
ガルバノメータスキャナを有してなるスキャナ機構と、
このスキャナ機構のガルバノメータスキャナを制御する
ガルバノメータスキャナ制御部とが設けられ、 前記スキャナ機構は、前記レーザヘッドと独立して配置
され、前記ガルバノメータスキャナ制御部は、前記レー
ザヘッドの筐体内に収納されていることを特徴とする請
求項1に記載のレーザマーキング装置。 - 【請求項3】 レーザヘッドの筐体内には、鉄板によっ
て仕切られることにより、互いに重なり合う複数の収納
領域が形成されており、 これらの複数の収納領域のうち、一の収納領域には、固
体レーザ発振器、スタータ回路およびブースタ回路が収
納され、他の収納領域には、ガルバノメータスキャナ制
御部が収納されていることを特徴とする請求項2に記載
のレーザマーキング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8315826A JPH10156558A (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | レーザマーキング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8315826A JPH10156558A (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | レーザマーキング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10156558A true JPH10156558A (ja) | 1998-06-16 |
Family
ID=18070037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8315826A Withdrawn JPH10156558A (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | レーザマーキング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10156558A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7852899B2 (en) | 2001-05-03 | 2010-12-14 | Cymer, Inc. | Timing control for two-chamber gas discharge laser system |
-
1996
- 1996-11-27 JP JP8315826A patent/JPH10156558A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7852899B2 (en) | 2001-05-03 | 2010-12-14 | Cymer, Inc. | Timing control for two-chamber gas discharge laser system |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040203 |