JPH11214773A - 固体レーザ発振器及びレーザマーキング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フィルタ筒の両端面に弾接する封止リングが
励起光の照射により劣化することを防止し、冷却水の漏
れ出しを伴うことなく長期の運転が行えるようにする。 【解決手段】 レーザロッド１及び励起ランプ２の挿通
孔3a，3bを備え、その外側に拡散反射層30が形成された
フィルタ筒３の端面と、このフィルタ筒３を支持するエ
ンドキャップ５との間を、夫々に弾接するＯリング６に
より封止する構成において、Ｏリング６に弾接するフィ
ルタ筒３の端面に反射層７を形成し、この反射層７によ
り、励起ランプ２が発する励起光を反射してＯリング６
への照射を防ぎ、この照射によるＯリング６の劣化を防
止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＹＡＧレーザ等の
固体レーザ発振器、及びこれを用いたレーザマーキング
装置に関し、更に詳しくは、これらにおいて誘導放出光
の発生源として用いられるレーザチャンバの構造に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】各種の物品の表面にレーザビームを照射
し、文字、図形等のパターンをマーキングするレーザマ
ーキング装置は、消えることのないパターンを形成し得
ることから、近年におけるＰＬ法（製造物責任法）の施
行に伴って注目を浴びる存在となっており、特に、ＹＡ
Ｇ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）レーザ
に代表される固体レーザを利用したレーザマーキング装
置は、高いレーザ出力が得られると共に、小スポットへ
の集光が容易であり、金属、樹脂、セラミックス等、対
象物品の素材を選ばず、非接触下にて微細なパターンを
形成し得るマーキング装置として、各種の産業分野にお
いて広く用いられるようになっている。

【０００３】固体レーザによるレーザマーキングは、レ
ーザ発振器が発する固体レーザのビームを、走査光学系
の動作により適宜に走査しつつ対象物品の表面に照射し
て行われる。ＹＡＧレーザの発振器は、適量のＮｄ（ネ
オジウム）が添加されたＹＡＧの棒状結晶体である活性
物質のロッド（レーザロッド）と棒状をなす励起ランプ
とを内蔵するレーザチャンバと、該レーザチャンバから
後述の如く放射される誘導放出光の光路に沿って所定の
距離を隔てて対向配置された出力ミラー及び反射ミラー
とを備え、これらのミラー間に、アパーチャ（モードセ
レクタ）、Ｑスイッチ、レーザシャッタ等の必要部品を
配した構成となっている。

【０００４】反射ミラーは、実質的な全反射が可能なミ
ラーであり、また出力ミラーは、照射光の一部を透過さ
せ得る反射率を有するミラーであって、レーザチャンバ
から発せられる誘導放出光は、出力ミラーと反射ミラー
との間での多重反射の間に増幅されてレーザビームとな
り、出力ミラーを透過して、走査光学系を内蔵する走査
ヘッドに出射される。

【０００５】アパーチャは、レーザロッドの口径よりも
小さい開口を誘導放出光の光路の中心に合わせて配され
た遮蔽板であり、不要なモードの発振を抑えるモード選
別作用をなす。このモード選別は、マーキングの品質向
上を図るために必要である。またＱスイッチは、出力ミ
ラーと反射ミラーとの間を往復する誘導放出光の光路を
短周期にて通断し、共振器としてのメリット数（Ｑ値）
を高めて、高速でレーザビームのオンオフを制御する動
作をなす。

【０００６】以上の如き固体レーザ発振器において、誘
導放出光の発生源となるレーザチャンバは、クリプトン
・アークランプ等を用いてなる前記励起ランプが発する
高強度の励起光を前記レーザロッドに効率良く照射する
ことにより、該レーザロッドの両端から誘導放出光を放
射させる動作をなすものであり、図４に示す如く構成さ
れている。

【０００７】図において１はレーザロッド、２は励起ラ
ンプであり、これらは、フィルタ筒３に形成された各別
の挿通孔3a，3bに挿通され、該フィルタ筒３と共に、基
台４上に横架支持されている。

【０００８】図５は、図４のＶ−Ｖ線によるフィルタ筒
３の横断面図である。図示の如くフィルタ筒３は、長円
形断面を有する石英ガラス製の筒体であり、レーザロッ
ド１の吸収波長域の光を透過させる光フィルタとしての
作用をなす。前記挿通孔3a，3bは、フィルタ筒３の断面
の２か所の中心位置に、フィルタ筒３を長手方向に貫通
する貫通孔として互いに平行をなして形成されている。
これらの挿通孔3a，3bに夫々挿通されるレーザロッド１
及び励起ランプ２は、後述する支持により、挿通孔3a，
3bの内側に適宜の隙間を有して同軸的に位置決めされて
いる。

【０００９】フィルタ筒３の外側は、所定の厚さの拡散
反射層30により覆われている。この拡散反射層30は、フ
ィルタ筒３の外側に、これよりもやや大寸の拘束チュー
ブ31を配置し、両者間に形成された環状の隙間に、高い
光反射率を有する硫酸バリウム（ＢａＳＯ₄ ）の粉体を
詰め込み、フィルタ筒３の長手方向の両端部を接着剤に
より固めて形成されている。

【００１０】前記基台４の上面には、フィルタ筒３の支
持部材としての一対のエンドキャップ５，５が所定長離
隔して立設されている。これらのエンドキャップ５，５
は、夫々との対向面にフィルタ筒３の断面に対応する凹
所5a，5a（図６参照）を有しており、フィルタ筒３は、
夫々の両端部をこれらの凹所5a，5aに嵌め込み、エンド
キャップ５，５間に挾持される態様に基台４の上面と略
平行をなして支持されている。

【００１１】また前記レーザロッド１及び励起ランプ２
は、フィルタ筒３の両側への突出部をエンドキャップ
５，５の対応位置に形成された各別の支持孔に挿通さ
せ、夫々の端部をエンドキャップ５，５の外側に突出さ
せた状態に支持されており、励起ランプ２は、エンドキ
ャップ５，５からの突出端に接続された図示しない給電
ソケットからの給電により点灯、発光するようになして
ある。

【００１２】以上の如く生じる励起ランプ２の発光は、
フィルタ筒３を透過する光が拡散反射層30に達し、これ
により拡散反射されてレーザロッド１に効率良く照射さ
れることとなり、該レーザロッド１は、エンドキャップ
５，５の外側への突出端から誘導放出光を放射し、この
誘導放出光が前述した出力ミラーと反射ミラーとの間で
の多重反射によりレーザビームとなって出射される。

【００１３】このような動作をなすレーザチャンバ10に
おいては、励起ランプ２が発する励起光がレーザロッド
１から放射される誘導放出光に変換される際の変換効率
は高々数％程度に過ぎず、前記励起ランプ２の点灯に
は、数ｋｗにも及ぶ多大の電力を要し、この点灯に伴う
発熱量が大きいことから、レーザロッド１及び励起ラン
プ２を、これらを収納する前記フィルタ筒３と共に、外
部から連続供給される冷却水により水冷する水冷構造が
採用されている。

【００１４】図４に示す如く、フィルタ筒３の両側を支
持するエンドキャップ５，５の内側は空洞となってお
り、これらは、基台４の対応位置に形成された給水路4
0、及び排水路41と夫々連通され、フィルタ筒３の端面
との間に介装されたＯリング６と、レーザロッド１及び
励起ランプ２の支持孔に夫々巻着されたＯリングとによ
り液密に封止して、冷却水の導入室50及び導出室51を構
成している。

【００１５】図６は、前記Ｏリング６の装着位置近傍の
拡大図である。図示の如くＯリング６は、フィルタ筒３
の嵌め込みのためにエンドキャップ５に設けた凹所5aに
装着され、該凹所5aの底面とフィルタ筒３の端面とに弾
接せしめられている。このＯリング６は、図５中に破線
により示す如く、前記レーザロッド１及び励起ランプ２
の挿通孔3a，3bの開口部の外側に位置し、これらを一括
して封止する構成となっている。

【００１６】レーザチャンバ10の冷却水は、前記基台４
の側面に接続された図示しない給水ホースから前記給水
路40に供給され、図４中に矢符にて示す如く、この給水
路40と連通する前記導入室50に導入される。該導入室50
内への挿通孔3a，3bの開口部は、図５に示す如く、夫々
に挿通されたレーザロッド１及び励起ランプ２の外側に
環状の隙間を有しており、導入室50に導入された冷却水
は、夫々の環状隙間に流入し、高速度の乱流として他方
のエンドキャップ５に向けて流れ、この間に、レーザロ
ッド１及び励起ランプ２を外側から、またフィルタ筒３
を内側から効率良く冷却する。

【００１７】他方のエンドキャップ５に形成された導出
室51と連通する排水路41には、図示しない排水ホースが
接続されており、挿通孔3a，3bを通流する冷却水は、導
出室51及び排水路41を経て排水ホースに排出される。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、以上の如く
構成されたレーザチャンバ10を備える固体レーザ発振器
においては、その運転中に、フィルタ筒３の両端面に弾
接するＯリング６，６が早期に光と熱とによって劣化
し、該Ｏリング６，６の装着位置から冷却水が漏れ出す
という不具合があった。

【００１９】冷却水の漏れ出しが生じた場合、レーザチ
ャンバ10の周辺機器に漏電等の事故を招来する虞れがあ
る上、フィルタ筒３の外側の拡散反射層30を構成する硫
酸バリウムの粉体に冷却水が吸収されて、これの内部で
蒸発することにより、石英ガラス製のフィルタ筒３、及
びこれの内部のレーザロッド１及び励起ランプ２が破損
する虞れさえあり、この漏れ出しの原因となる前記Ｏリ
ング６，６の劣化を防止することが重要な課題となって
いる。

【００２０】Ｏリング６，６は、前述した如く、フィル
タ筒３の端面に弾接しており、該フィルタ筒３は、運転
中に励起ランプ２の発熱により加熱される。そこで、こ
れらのＯリング６，６として、耐熱性に優れた材料を使
用することにより劣化を軽減し得るものと考えられる。
しかしながらこのようにした場合においても、実際に得
られる劣化防止効果は小さく、冷却水の漏れ出しを有効
に防止することはできなかった。また、Ｏリング６，６
に代えて、Ｘリング、Ｖリング等の他の形式の封止リン
グを用いた場合においても同様であった。

【００２１】このように従来においては、フィルタ筒３
の両端部を封止する封止リング（Ｏリング６，６）の劣
化を防ぎ得ず、冷却水の漏れ出しに伴う前述した不都合
を未然に解消するために前記Ｏリング６，６の頻繁な交
換を強いられる結果、長期に亘って安定した運転をなし
得ないという問題があった。

【００２２】本発明者は、フィルタ筒３の両端面に弾接
するＯリング６，６の劣化原因を明らかにすべく調査を
行った。この結果、Ｏリング６，６の劣化は、フィルタ
筒３から伝わる熱によるものだけではなく、図６中に矢
符により示す如く、励起ランプ２から発せられ、拡散反
射層30に反射されてフィルタ筒３を透過し、Ｏリング
６，６に照射される高強度の励起光そのものの作用が大
きく、Ｏリング６，６の劣化が生じることを知見した。

【００２３】本発明は斯かる事情に鑑みてなされたもの
であり、フィルタ筒の両端面に弾接する封止リングが励
起光の照射により劣化することを有効に防止し、冷却水
の漏れ出しを伴うことなく長期の運転が可能となる固体
レーザ発振器、及びこれを用いたレーザマーキング装置
を提供することを目的とする。

【００２４】

【課題を解決するための手段】本発明の第１発明に係る
固体レーザ発振器は、レーザロッド及び励起ランプの挿
通孔とこれらの外側を囲む拡散反射層とを備えるフィル
タ筒と、該フィルタ筒の両端部を、夫々の側への前記レ
ーザロッド及び励起ランプの突出部と共に支持する支持
部材と、該支持部材と前記フィルタ筒との対向面に弾接
し、該フィルタ筒の端面を封止する封止リングとを備
え、フィルタ筒を透過した励起ランプの発光を拡散反射
層により反射してレーザロッドに照射し、誘導放出光を
放射させる一方、これに伴う前記レーザロッド、励起ラ
ンプ及びフィルタ筒の発熱を、前記封止リングによる封
止下にて前記挿通孔に導入される冷却水により冷却する
構成としたレーザチャンバを備える固体レーザ発振器に
おいて、前記フィルタ筒の端面と封止リングとの間に両
者の弾接部を含めて形成してあり、前記フィルタ筒の透
過光を反射して、前記封止リングへの照射を緩和する反
射層を具備することを特徴とする。

【００２５】本発明においては、封止リングとこれに弾
接するフィルタ筒の端面との間に、両者の弾接部を含め
て反射層を形成し、この反射層により劣化の原因となる
励起光を反射して封止リングの劣化を防止する。またこ
の反射層は、フィルタ筒から封止リングへの伝熱を防ぐ
放熱板としての作用をなし、熱の作用により封止リング
の劣化を防止する。

【００２６】また第２発明に係る固体レーザ発振器は、
前記反射層がフィルタ筒の端面に金箔を貼着して形成し
てあることを特徴とする。

【００２７】また第３発明に係る固体レーザ発振器は、
前記反射層が封止リングの外面に金箔を貼着して形成し
てあることを特徴とする。

【００２８】これらの発明においては、フィルタ筒の端
面又は封止リングの外面に金箔を貼着することにより、
励起光を良好に反射する反射層を容易に形成する。

【００２９】また第４発明に係る固体レーザ発振器は、
前記反射層がフィルタ筒の端面への金蒸着により形成し
てあることを特徴とする。

【００３０】また第５発明に係る固体レーザ発振器は、
前記反射層が封止リングの外面への金蒸着により形成し
てあることを特徴とする。

【００３１】これらの発明においては、フィルタ筒の端
面又は封止リングの外面に金を蒸着することにより、励
起光を良好に反射する反射層を確実に形成する。

【００３２】また本発明に係るレーザマーキング装置
は、第１〜第５発明の固体レーザ発振器をマーキング用
のレーザビームの発生源として備えることを特徴とす
る。

【００３３】本発明においては、冷却水の漏れ出しを防
止し得るレーザチャンバを備えることにより、封止リン
グの頻繁な交換を強いることなく長期に亘る安定した運
転を可能とする。

【００３４】

【発明の実施の形態】以下本発明をその実施の形態を示
す図面に基づいて詳述する。図１は、本発明に係る固体
レーザ発振器を備えたレーザマーキング装置の全体構成
を示す正面図である。

【００３５】図示の如く本発明に係る固体レーザ発振器
は、箱形をなす支持ケース11の内部にレーザチャンバ10
を備えてなる。該レーザチャンバ10の構成は、図４に示
すそれと同様であり、支持ケース11の底板に固定された
基台４と、該基台４の上面に立設された一対のエンドキ
ャップ５，５と、これらのエンドキャップ５，５間に横
架支持されたフィルタ筒３と、該フィルタ筒３内に収納
されたレーザロッド１及び励起ランプ２とを備えてな
る。

【００３６】レーザロッド１及び励起ランプ２は、夫々
の両端部をエンドキャップ５，５の外側に突出させてお
り、励起ランプ２の突出端には、図示しない給電用のソ
ケットが接続され、この励起ランプ２の発光を照射され
たレーザロッド１の両端部から、図中に一点鎖線にて示
す如く、その軸心上に誘導放出光が放射されるようにな
してある。

【００３７】レーザチャンバ10の一側には、同側への前
記誘導放出光の光路上に、アパーチャＡと出力ミラーＭ
₁ とがこの順に並設されている。またレーザチャンバ10
の他側の誘導放出光の光路は、同側に適長離隔して配さ
れたミラーホルダ13内部の一対のミラー14，15により、
上位置にて逆向きに折り返されており、この折り返し光
路上には、Ｑスイッチ16と反射ミラーＭ₂ とがこの順に
並設されている。

【００３８】出力ミラーＭ₁ は、一部の光の透過が可能
な反射率を有するミラーであり、レーザチャンバ10が放
出する誘導放出光の光路にその鏡面の中心を正対せしめ
て取り付けてある。アパーチャＡは、誘導放出光を放射
するレーザロッド１の口径に対応する小径の開口を有す
る遮蔽板であり、該開口の中心を前記誘導放出光の光路
に合わせて取り付けてある。

【００３９】反射ミラーＭ₂ は、実質的な全反射が可能
なミラーであり、その鏡面の中心を前記折り返し光路に
正対せしめて取り付けてある。このように配置された反
射ミラーＭ₂ は、折り返し光路を含めた誘導放出光の光
路上において、前記出力ミラーＭ₁ と所定の距離を隔て
て対向することになり、レーザチャンバ10から発せられ
る誘導放出光は、出力ミラーＭ₁ と反射ミラーＭ₂ との
間での多重反射の間に増幅されてレーザ光となり、出力
ミラーＭ₁ を透過して送り出される。

【００４０】このとき、前記アパーチャＡは、不要なモ
ードの発振を抑え送出されるレーザビームのモードを適
正化するモード選別作用をなす。またＱスイッチ16は、
出力ミラーＭ₁ と反射ミラーＭ₂ との間での共振器とし
てのメリット数（Ｑ値）を高め、励起原子の反転分布を
発生させ、高出力のレーザパルスを取り出す作用をなす
ものであり、反射ミラーＭ₂ と同様、前記折り返し光路
上に正しく位置決めして取り付けられている。

【００４１】このように構成された固体レーザ発振器
は、図１に示す如く、レーザビームの送り出し側となる
支持ケース11の端壁の外面に走査光学系を内蔵する走査
ヘッドＨを取り付け、レーザマーキング装置を構成して
いる。このように構成されたレーザマーキング装置にお
いては、固体レーザ発振器から前述の如く送出されるレ
ーザビームを、前記走査ヘッドＨに導入し、該走査ヘッ
ドＨに内蔵された光学系の動作により走査して、該走査
ヘッドＨの一部（図１においては下部）に取り付けた集
光レンズＬを経て対象物に照射せしめ、前記走査軌跡に
応じた文字、図形等のパターンのマーキングを行わせる
ことができる。

【００４２】さて、以上の如く構成された本発明に係る
固体レーザ発振器及びレーザマーキング装置において、
本発明の特徴は、誘導放出光の発生源となるレーザチャ
ンバ10の構成にある。

【００４３】本発明のレーザチャンバ10は、前記図４に
示す如く、その外側を拡散反射層30により覆われた石英
ガラス製のフィルタ筒３と、該フィルタ筒３に貫通形成
された挿通孔3a，3bに夫々挿通されたレーザロッド１及
び励起ランプ２とを、基台４上に適長離隔して取り付け
た一対のエンドキャップ５，５間に、レーザロッド１と
励起ランプ２とが互いに平行をなすように横架支持した
構成となっている。

【００４４】一方のエンドキャップ５の内側には、基台
４に形成された給水路40に連通する冷却水の導入室50
が、他方のエンドキャップ５の内側には、基台４に形成
された排水路41に連通する冷却水の導出室51が夫々形成
されており、レーザロッド１及び励起ランプ２とこれら
を収納するフィルタ筒３とは、給水路40を経て導入室50
に導入され、導出室51及び排水路41を経て排出される冷
却水が、レーザロッド１及び励起ランプ２とこれらの挿
通孔3a，3bとの環状空間を高速度にて流れることにより
水冷される構成となっている。

【００４５】以上の構成は、従来のレーザチャンバ10と
同様であり、本発明の特徴は、冷却水の導入室50又は導
出室51の液密状態を保つべく、フィルタ筒３とエンドキ
ャップ５との間に構成された封止部の構成にある。

【００４６】図２は、この封止部近傍の拡大断面図であ
る。図中の5aは、フィルタ筒３の端部を嵌め込むべくエ
ンドキャップ５に形成された凹所であり、導入室50又は
導出室51の封止は、前記凹所5aに装着され、該凹所5aの
底面とフィルタ筒３の端面とに弾接せしめられたＯリン
グ６により行われている。このＯリング６は、前記図５
中に破線により示す如く、レーザロッド１及び励起ラン
プ２の挿通孔3a，3bの開口部の外側を巡る態様に配置さ
れ、これらの開口部の外側を一括して封止するようにな
してある。

【００４７】そして本発明においては、以上の如き封止
作用をなすＯリング６が弾接するフィルタ筒３の端面
に、金（Ａｕ）製の反射層７が形成されている。この反
射層７は、少なくともＯリング６の弾接周上に沿って適
宜の幅を有して形成してあればよいが、図５に示す如き
断面形状をなすフィルタ筒３の端面全体に形成するのが
望ましい。また反射層７は、μｍ単位の厚さを有する薄
肉の層であればよく、フィルタ筒３の端面への金箔の貼
着、又は前記端面への金蒸着により形成することがで
き、前者によれば、反射層７を容易に形成することがで
き、また後者によれば、前記端面に強固に被着された反
射層７を形成することができる。

【００４８】レーザチャンバ10は、前述の如く、励起ラ
ンプ２が発する励起光をフィルタ筒３のフィルタ効果に
より選別し、励起波長近辺の光を拡散反射層30に拡散反
射させてレーザロッド１に照射せしめ、該レーザロッド
１から誘導放出光を放射せしめる動作をなすものであ
り、このとき発生する熱を吸収すべく前記冷却水による
水冷が行われる。

【００４９】このとき、励起ランプ２から発せられる励
起光は、図２中に矢符により示す如く、拡散反射層30に
拡散反射されてフィルタ筒３の端面を封止するＯリング
６に照射されようとするが、本発明においては、フィル
タ筒３の端面とＯリング６との間に前述の如く形成され
た反射層７が介在しており、該反射層７がフィルタ筒３
の端面に向かう光を反射する結果、Ｏリング６に照射さ
れる励起光の強度が大幅に軽減され、この励起光の作用
により生じていたＯリング６の劣化を防ぐことができ
る。

【００５０】このような作用をなす反射層７は、第１
に、高効率にて光を反射する物質である必要がある。第
２には、高強度の励起光の照射に曝される環境下にて酸
化等の変質を生じず、良好な反射率を保ち得る安定した
物質であること、第３には、レーザロッド１、励起ラン
プ２及びフィルタ筒３の冷却水として純水を使用するこ
とから、イオンを発生しない物質であること、第４に
は、励起ランプ２による加熱に耐える物質であることが
必要である。これらの条件を全て満たし得る物質とし
て、金（Ａｕ）が用いられている。

【００５１】また金は、高い熱伝導率を有することか
ら、前記反射層７は、フィルタ筒３からＯリング６への
伝熱を放熱する放熱板としての作用もなし、Ｏリング６
の過熱を緩和し、これによるＯリング６の劣化を併せて
防止することができる。

【００５２】図３は、本発明の他の実施例を示すフィル
タ筒３の端部の封止部近傍の拡大断面図である。この実
施の形態においては、フィルタ筒３の端面とエンドキャ
ップ５に形成された凹所5aとに弾接するＯリング６の外
面に全周に亘って反射層７が形成されている。この反射
層７は、前述の如く金（Ａｕ）製であり、Ｏリング６の
外面への金箔の貼着、又はＯリング６の外面への金蒸着
により形成することができる。また反射層７の形成範囲
は、Ｏリング６の全周に亘る必要はなく、少なくともフ
ィルタ筒３の端面への弾接部が含まれておればよい。

【００５３】このように形成された反射層７は、励起ラ
ンプ２が発する励起光を反射し、この励起光の作用によ
るＯリング６の劣化を防ぐ作用をなし、また、フィルタ
筒３からＯリング６への伝熱を放熱する放熱板として、
過熱によるＯリング６の劣化を防ぐ作用を併せて行う。

【００５４】なお以上の実施の形態においては、フィル
タ筒３の端部を封止する封止リングとしてＯリング６を
用いた場合について述べたが、Ｘリング、Ｖリング等の
他の形式の封止リングを用いてもよいことは言うまでも
ない。

【００５５】

【発明の効果】以上詳述した如く本発明に係る固体レー
ザ発振器においては、レーザロッド及び励起ランプが挿
通されたフィルタ筒の端面と、この端面に弾接する封止
リングとの間に、両者の弾接部を含めて反射層を形成し
たから、励起ランプが発する高強度の励起光が前記反射
層により反射され、この励起光の作用による封止リング
の劣化を抑制することができ、冷却水の漏れ出しを確実
に防止して、この漏れ出しに伴う不都合を未然に解消す
ることができる。

【００５６】またフィルタ筒の端面、又は封止リングの
外面への金箔の貼着により反射層を形成したから、励起
光を良好に反射する反射層を容易に形成することがで
き、励起光の作用による封止リングの劣化を容易に防止
することが可能となる。

【００５７】またフィルタ筒の端面又は封止リングの外
面への金蒸着により反射層を形成したから、励起光を良
好に反射する反射層を強固な被着状態下にて形成でき、
励起光の作用による封止リングの劣化を確実に防止する
ことが可能となる。

【００５８】また本発明に係るレーザマーキング装置に
おいては、冷却水の漏れ出しを効果的に防止し得るレー
ザチャンバを備えたから、封止リングの頻繁な交換作業
を強いることなく長期に亘って安定した運転を行わせる
ことができる等、本発明は優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る固体レーザ発振器を備えたレーザ
マーキング装置の全体構成を示す正面図である。

【図２】フィルタ筒の端部の封止部近傍の拡大断面図で
ある。

【図３】本発明の他の実施の形態を示すフィルタ筒の端
部の封止部近傍の拡大断面図である。

【図４】レーザチャンバの断面図である。

【図５】図４のＶ−Ｖ線によるフィルタ筒３の横断面図
である。

【図６】従来のレーザチャンバにおけるフィルタ筒の端
部の封止部近傍の拡大断面図である。

【符号の説明】

１ レーザロッド ２ 励起ランプ ３ フィルタ筒 3a 挿通孔 3b 挿通孔 ４ 基台 ５ エンドキャップ 5a 凹所 ６ Ｏリング ７ 反射層 10 レーザチャンバ 30 拡散反射層

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザロッド及び励起ランプの挿通孔と
   これらの外側を囲む拡散反射層とを備えるフィルタ筒
   と、該フィルタ筒の両端部を、夫々の側への前記レーザ
   ロッド及び励起ランプの突出部と共に支持する支持部材
   と、該支持部材と前記フィルタ筒との対向面に弾接し、
   該フィルタ筒の端面を封止する封止リングとを備え、フ
   ィルタ筒を透過した励起ランプの発光を拡散反射層によ
   り反射してレーザロッドに照射し、誘導放出光を放射さ
   せる一方、これに伴う前記レーザロッド、励起ランプ及
   びフィルタ筒の発熱を、前記封止リングによる封止下に
   て前記挿通孔に導入される冷却水により冷却する構成と
   したレーザチャンバを備える固体レーザ発振器におい
   て、前記フィルタ筒の端面と封止リングとの間に両者の
   弾接部を含めて形成してあり、前記フィルタ筒の透過光
   を反射して、前記封止リングへの照射を緩和する反射層
   を具備することを特徴とする固体レーザ発振器。
2. 【請求項２】 前記反射層は、前記フィルタ筒の端面に
   金箔を貼着して形成してある請求項１記載の固体レーザ
   発振器。
3. 【請求項３】 前記反射層は、前記封止リングの外面に
   金箔を貼着して形成してある請求項１記載の固体レーザ
   発振器。
4. 【請求項４】 前記反射層は、前記フィルタ筒の端面へ
   の金蒸着により形成してある請求項１記載の固体レーザ
   発振器。
5. 【請求項５】 前記反射層は、前記封止リングの外面へ
   の金蒸着により形成してある請求項１記載の固体レーザ
   発振器。
6. 【請求項６】 請求項１乃至請求項５のいずれかに記載
   の固体レーザ発振器をマーキング用のレーザビームの発
   生源として備えるレーザマーキング装置。