JPH10153739A - 顕微鏡 - Google Patents

顕微鏡

Info

Publication number
JPH10153739A
JPH10153739A JP8327550A JP32755096A JPH10153739A JP H10153739 A JPH10153739 A JP H10153739A JP 8327550 A JP8327550 A JP 8327550A JP 32755096 A JP32755096 A JP 32755096A JP H10153739 A JPH10153739 A JP H10153739A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stage
temperature
sheet
graphite
conductive material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP8327550A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Kawahito
敬 川人
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP8327550A priority Critical patent/JPH10153739A/ja
Publication of JPH10153739A publication Critical patent/JPH10153739A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ステージ表面の温度ムラをなくし、安定した
試料の観察を行うことができるようにするとともに、複
数の試料の連続観察を同じ温度環境の下で行うことがで
きるようにする。 【解決手段】 ステージ10の表面の所定部分領域を加
熱するための電気式発熱体11を備える顕微鏡1におい
て、ステージ10を、所定部分領域の熱を速かに伝達で
きる高熱伝導材料からなる層を形成したグラファイトシ
ート13で被覆した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、観察したい試料
の環境温度を一定に保つために試料を載置するステージ
を加熱するステージ加熱装置を備える顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の顕微鏡のステージの内部には保
温用の発熱体として電気抵抗を利用したヒータが設けら
れ、ステージの表面には温度センサが配置されている。
【0003】また、ステージの内部に電気抵抗を利用し
たヒータを設ける代わりに、ステージ内部に温水や温風
を循環させるための配管を設けたり、ステージの周囲を
箱で囲み、ブロワ等を用いて箱内に温風を送り込んだり
することも行われている。
【0004】そして、試料を観察する際には、ステージ
表面の温度を温度センサ等でモニタして試料が目的の温
度となるようにヒータへの通電を制御する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ヒータや配管
をステージ全面に配置することは困難なため、ステージ
表面の温度にムラが生じる。また、ブロワで温風を箱内
に送り込む方法では、ブロワは通常箱の1つの面に配置
されるため、温風を箱内に均等に行き渡らせることは難
しく、やはりステージ表面の温度にムラが生じる。
【0006】したがって、ガラス製やプラスチック製の
シャーレを用いて試料の観察を行うときには、シャーレ
はステージ表面との接触面積が広いため、試料全体を目
的の温度に保たせることは難しく、安定した試料の観察
ができないという問題があった。
【0007】また、複数の試料の観察作業を連続的に行
うため、試料を入れた複数のシャーレをステージ上に並
べることがある。そのとき、ステージ表面に温度ムラが
あるとシャーレの置かれた位置によって各試料間に温度
差が生じてしまうため、同じ温度環境の下での複数の試
料の連続観察を行うことができなくなるという問題があ
った。
【0008】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題はステージ表面の温度ムラをなく
し、安定した試料の観察を行うことができるようにする
とともに、複数の試料の連続観察を同じ温度環境の下で
行うことができるようにした顕微鏡を提供することであ
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項1に記載の発明の顕微鏡は、ステージの表面の
所定の部分領域を加熱するためのステージ加熱手段を備
える顕微鏡において、前記ステージを高熱伝導材料で被
覆し、前記高熱伝導材料が前記加熱された部分領域の熱
を速やかに伝達し、前記ステージ上面の温度をほぼ均一
にすることを特徴とする。
【0010】ステージが加熱手段によって加熱されたと
き、熱は高熱伝導材料を介してステージに速やかに伝達
され、ステージ表面全体の温度分布をほぼ均一にする。
【0011】請求項2に記載の発明の顕微鏡は、請求項
1に記載の顕微鏡において、前記高熱伝導材料はグラフ
ァイトであることを特徴とする。
【0012】グラファイトの高い熱伝導度によりステー
ジ表面の温度の温度分布が均一になる。
【0013】請求項3に記載の発明の顕微鏡は、請求項
2に記載の顕微鏡において、前記グラファイトはシート
状であることを特徴とする。
【0014】グラファイトはシート状とすることで、ス
テージ表面に密着させるだけでグラファイトの層を形成
することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
【0016】図3はこの発明の一実施形態に係る倒立顕
微鏡の全体図である。
【0017】この倒立顕微鏡1は、シャーレ21に入れ
た試料20(図2参照)に光を照射する光源30と、試
料20をXY方向に相対移動させるステージ10と、試
料20を透過した光を受け、像を作る対物レンズ40
と、この対物レンズ40によって生じた像を肉眼で観察
できるように拡大する接眼レンズ50とを備える。
【0018】図1はこの発明の一実施形態に係る顕微鏡
に用いられるステージ部分のブロック構成図、図2はス
テージ部分の縦断面図であり、図3と同一部分には同一
符号を付して示す。
【0019】ステージ10には、電気式発熱体(ステー
ジ加熱手段)11と、温度センサ12と、グラファイト
シート13とが設けられている。
【0020】ステージ10は熱伝導率が100〜240
W/m・Kのアルミニウムで板状に製作され、そのほぼ
中央には円形の透光孔14が形成されている。
【0021】電気式発熱体(例えば導電塗料ヒータ)1
1はステージ10の表面の中央部に取り付けられ、発熱
体制御部15によって電気式発熱体11への通電が制御
される。
【0022】温度センサ12はステージ10の表面に電
気式発熱体11とともに取り付けられ、この温度センサ
12で検出されたステージ10の表面の温度を温度検出
回路16へ出力する。
【0023】温度検出回路16は温度センサ12で検出
した温度を電気信号に変換し、この電気信号を発熱体制
御部15へ出力する。
【0024】発熱体制御部15はステージ10の表面の
温度に対応する電気信号に基づいて電気式発熱体11へ
の通電を制御し、ステージ10の表面を目的の温度に保
つ。
【0025】グラファイトシート(高熱伝導材料)13
は0.1mm程度の厚さを有し、電気式発熱体11を挟
んでステージ10の表面全体を覆うようにステージ10
及び電気式発熱体11に密着している。
【0026】グラファイトシート13はステージ10の
表面に接着剤で貼り付けられたり、ステージ10の周囲
を囲む枠(図示せず)によって固定されたりして、ステ
ージ10の表面に高熱伝導材料からなる層を形成してい
る。
【0027】本実施形態のグラファイトシート13は松
下電器産業製のグラファイトシートであり、高分子フィ
ルムをグラファイト化して製造されたシート状のグラフ
ァイトであって、熱伝導性(熱伝導率:800W/m・
K以上)、耐熱性(不活性ガス中で3000℃以上)及
び柔軟性(76%の圧縮復元率)に優れた性質を有す
る。
【0028】この熱伝導性に優れた性質によって、グラ
ファイトシート13によって覆われたステージ10の表
面は加熱時の温度ムラが少なくなる。
【0029】したがって、前述した温度センサ12はス
テージ10上のどの位置に配置してもほぼ同一の温度を
検出でき、配置する場所に起因する検出誤差がなくな
る。
【0030】なお、グラファイトシート13はステージ
10の表面全体に貼り付ける必要はなく、温度を均一に
保つことを必要とする範囲だけに貼り付けるようにして
もよい。
【0031】また、この実施形態ではステージ10を生
産性とコスト面からアルミニウムで製作したが、例えば
真鍮、銅及び鉄を用いて製作してもよい。更に、ステー
ジ10自体をグラファイトで製作するようにしてもよ
い。
【0032】この実施形態のステージ10を用いて試料
20の観察を行う場合は、図2に示すように、試料20
を入れたシャーレ21の一部がステージ10の透光孔1
4の上方に位置するようにシャーレ21を載せるととも
に、所定の対物レンズ40を透光孔14の下方に配置す
る。
【0033】例えば試料20が細胞であるとき、細胞は
通常37℃程度の温度に保つ必要がある。発熱体制御部
15は温度センサ12の出力に基づいて、ステージ10
の表面の温度が目標の37℃となるように発熱体11へ
の通電を制御する。
【0034】この制御によってステージ10の表面全体
がほぼ37℃になるので、シャーレ21を動かして試料
20の他の部分を観察する場合でもほぼ所定の温度環境
における試料20の観察を安定して行うことができる。
【0035】また、複数のシャーレ21(図3では2
つ)をステージ10上に並べておいて、シャーレ21を
次から次へと順次交換しながら試料20の観察を行うと
きでも、ステージ10の表面全体がほぼ37℃と均一に
なっているので、それぞれの試料20間に温度差を生じ
させないで観察を行うことができる。
【0036】なお、この実施形態ではグラファイトシー
ト13を用いて高熱伝導材料からなる層をステージの表
面に形成したが、この発明はグラファイトシート13に
拘泥するものではなく、例えばグラファイトを含有する
高熱伝導材料からなる層をステージ10の表面に密着、
又は蒸着してもよい。
【0037】この実施形態の変形例としては、ステージ
10の内部に温水や温風を循環させるための配管を設け
たり、2点鎖線で示すようにステージ10の周囲を箱6
0で囲み、ドライヤ61等を用いて箱60内に温風を送
り込んだりしてもよい。
【0038】この場合でもグラファイトを含む高熱伝導
材料からなる層をステージ10の表面に形成すれば、上
記実施形態と同様の作用効果を発揮することができる。
【0039】
【発明の効果】以上に説明したように請求項1記載の発
明の顕微鏡によれば、ステージが加熱手段によって加熱
されたとき、高熱伝導材料を介してステージ表面全体に
熱が速かに伝わるので、ステージ表面の温度ムラが少な
くなり、安定した試料の観察を行うことができる。
【0040】請求項2記載の発明の顕微鏡によれば、高
い熱伝導度を有するグラファイトを用いたので、ステー
ジ表面の温度ムラを少なくできる。
【0041】請求項3記載の発明の顕微鏡によれば、グ
ラファイトはシート状なので、ステージ表面に密着させ
るだけでグラファイトの層を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の一実施形態に係る顕微鏡に用
いられるステージ部分のブロック構成図である。
【図2】図2はステージ部分の縦断面図である。
【図3】図3はこの発明の一実施形態に係る顕微鏡の全
体図である。
【符号の説明】
1 顕微鏡 10 ステージ 11 電気式発熱体(ステージ加熱手段) 13 グラファイトシート(高熱伝導材料) 20 ステージ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ステージの表面の所定の部分領域を加熱
    するためのステージ加熱手段を備える顕微鏡において、 前記ステージを高熱伝導材料で被覆し、前記高熱伝導材
    料が前記加熱された部分領域の熱を速やかに伝達し、前
    記ステージ上面の温度をほぼ均一にすることを特徴とす
    る顕微鏡。
  2. 【請求項2】 前記高熱伝導材料はグラファイトである
    ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。
  3. 【請求項3】 前記グラファイトの層はシート状である
    ことを特徴とする請求項2に記載の顕微鏡。
JP8327550A 1996-11-22 1996-11-22 顕微鏡 Withdrawn JPH10153739A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8327550A JPH10153739A (ja) 1996-11-22 1996-11-22 顕微鏡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8327550A JPH10153739A (ja) 1996-11-22 1996-11-22 顕微鏡

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10153739A true JPH10153739A (ja) 1998-06-09

Family

ID=18200328

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8327550A Withdrawn JPH10153739A (ja) 1996-11-22 1996-11-22 顕微鏡

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10153739A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105068236A (zh) * 2015-07-30 2015-11-18 苏州欧可罗电子科技有限公司 一种高效率加热式显微镜
CN105116530A (zh) * 2015-07-30 2015-12-02 苏州欧可罗电子科技有限公司 一种高效智能加热式显微镜

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105068236A (zh) * 2015-07-30 2015-11-18 苏州欧可罗电子科技有限公司 一种高效率加热式显微镜
CN105116530A (zh) * 2015-07-30 2015-12-02 苏州欧可罗电子科技有限公司 一种高效智能加热式显微镜

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5459907B2 (ja) 基板載置装置の評価装置、及びその評価方法、並びにそれに用いる評価用基板
CN100401852C (zh) 用于控制工件支架表面上空间温度分布的方法与装置
US8573836B2 (en) Apparatus and method for evaluating a substrate mounting device
WO2015005167A1 (ja) 光源装置及び光源用熱処理装置
EP2364219B1 (en) Thermal cycling system comprising a transparent heating element
JPH10153739A (ja) 顕微鏡
KR101428630B1 (ko) 플라스틱 부재의 열융착 시스템 및 방법
KR101593833B1 (ko) 기판 히팅 유닛 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치
JP2954908B2 (ja) 基板の温度調整装置
KR20190001693U (ko) 전기 가열을 이용하는 적층 열판 및 적층 열판의 전기 가열 시스템
CN210215385U (zh) 温控载物台及检测设备
JP2010125486A (ja) 半田付け用真空加熱装置
JPH09179078A (ja) 光遅延装置
JPH08248093A (ja) 空間電荷の測定装置
JP3325210B2 (ja) 顕微鏡用の検体温度管理器
JP2005315762A (ja) 熱物性測定方法及び装置
JPS63293516A (ja) 温度コントロ−ルステ−ジ
JP2009300841A (ja) 加熱装置、顕微鏡、顕微鏡システム、及び培養容器
CN113325901B (zh) 一种大口径非线性晶体加热方法、系统及装置
JP2006343278A (ja) 恒温槽装置
JP2010071935A (ja) ワーク温度調整装置およびこれを備えた耐食試験装置
JPH11340236A (ja) 基板加熱装置
CN212255148U (zh) 一种高聚物熔点测量仪
KR20120059185A (ko) 열 증착 장치 및 그의 내부 보트
JP4062925B2 (ja) 基板温度制御装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20040203