JPH10152223A5 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH10152223A5
JPH10152223A5 JP1996311519A JP31151996A JPH10152223A5 JP H10152223 A5 JPH10152223 A5 JP H10152223A5 JP 1996311519 A JP1996311519 A JP 1996311519A JP 31151996 A JP31151996 A JP 31151996A JP H10152223 A5 JPH10152223 A5 JP H10152223A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
storage means
exhaust
original
original plate
chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP1996311519A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH10152223A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP8311519A priority Critical patent/JPH10152223A/ja
Priority claimed from JP8311519A external-priority patent/JPH10152223A/ja
Publication of JPH10152223A publication Critical patent/JPH10152223A/ja
Publication of JPH10152223A5 publication Critical patent/JPH10152223A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

JP8311519A 1996-11-22 1996-11-22 搬送装置 Withdrawn JPH10152223A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8311519A JPH10152223A (ja) 1996-11-22 1996-11-22 搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8311519A JPH10152223A (ja) 1996-11-22 1996-11-22 搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10152223A JPH10152223A (ja) 1998-06-09
JPH10152223A5 true JPH10152223A5 (enExample) 2005-09-29

Family

ID=18018224

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8311519A Withdrawn JPH10152223A (ja) 1996-11-22 1996-11-22 搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10152223A (enExample)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101283312B1 (ko) * 2011-12-29 2013-07-09 로체 시스템즈(주) Ｆｏｓｂ 오토 로딩 시스템

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970007496A (ko) 레지스트 처리 장치 및 레지스트 처리 방법
JP5398595B2 (ja) 基板収納装置
TW392203B (en) Processing apparatus and method using solution
JP3556882B2 (ja) 塗布現像処理システム
JP2008218593A (ja) 基板処理装置
JP3926890B2 (ja) 処理システム
TWI682432B (zh) 基板處理裝置及基板處理方法
JP4343069B2 (ja) 塗布、現像装置、露光装置及びレジストパターン形成方法。
JP2008277528A (ja) 基板の処理方法、基板の処理システム及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体
JP5002471B2 (ja) 基板洗浄装置、基板洗浄方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
JP2008300431A (ja) 塗布、現像装置及び塗布、現像装置の運転方法並びに記憶媒体
WO2006006364A1 (ja) 基板の回収方法及び基板処理装置
JPH10152223A5 (enExample)
JP3610187B2 (ja) 除電方法ならびに処理装置および処理方法
JPH11274265A (ja) 基板処理装置
JP3355117B2 (ja) 半導体製造設備
JP2001319845A (ja) 塗布現像処理システム
JP4044994B2 (ja) 基板処理装置
CN110313060B (zh) 基板处理系统
JP3590327B2 (ja) 塗布現像処理システム
JP4066255B2 (ja) 基板の処理装置及び基板の処理方法
JP2004056122A (ja) 処理装置
JP4763763B2 (ja) レジスト塗布現像処理システム
JPH0248667A (ja) レジストの現像方法，現像装置およびベーク炉
JP2007294544A (ja) 保護膜除去装置、薬液の回収方法及び記憶媒体