JPH10149773A - プラズマディスプレイパネル - Google Patents

プラズマディスプレイパネル

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JPH10149773A
JPH10149773A JP8306053A JP30605396A JPH10149773A JP H10149773 A JPH10149773 A JP H10149773A JP 8306053 A JP8306053 A JP 8306053A JP 30605396 A JP30605396 A JP 30605396A JP H10149773 A JPH10149773 A JP H10149773A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
barrier
substrate
grooves
glass fiber
Prior art date
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Pending
Application number
JP8306053A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Nakamura
中村  剛
Katsuhiko Mizuno
克彦 水野
Yozo Kosaka
陽三 小坂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP8306053A priority Critical patent/JPH10149773A/ja
Publication of JPH10149773A publication Critical patent/JPH10149773A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単に形成でき且つ品質に優れた障壁を使用
することで、製造工程の簡略化を図ってコストダウンを
可能にする。 【解決手段】 基板1又は基板に設けた層に複数の平行
な溝2が形成され、それらの溝2にそれぞれガラスファ
イバーからなる障壁部材3がその一部を埋設した状態で
固定されてなる障壁構造を有する。溝にガラスファイバ
ーからなる障壁部材3を固定するという簡単な障壁構造
を有したものであるので、品質に優れ、且つ製造工程の
簡略化を図ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、気体放電方式のフ
ラットディスプレイであるプラズマディスプレイパネル
(以下、PDPと記す)に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般にPDPは、AC型又はDC型に関
わらず、向かい合った2枚の基板の間に複数の放電セル
を配した構造になっている。すなわち、障壁により基板
の間にギャップを形成するとともに放電セルを区画して
いる。この障壁の形成方法としては、基板上に障壁用の
ガラスペーストをスクリーン印刷法によりパターン状に
重ねて印刷を行い、このガラスペーストを乾燥・焼成し
て所望形状の障壁を形成する方法が一般的に知られてい
る。また、感光性のガラスペーストを用い、フォトリソ
グラフィ法で障壁を形成する方法がある。さらには、基
板上にガラスペーストを所定の厚さで塗布して乾燥さ
せ、その上に耐サンドブラスト性を有するマスクをパタ
ーン状に形成してから、このマスクを介して粉体を吹き
付けることでガラスペーストの不要部分を除去してパタ
ーニングする所謂サンドブラスト法も知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スクリ
ーン印刷法は、工程が複雑である上に、ガラスペースト
のダレのため、背が高くて線幅の管理された好ましい形
の障壁が作成できず、線幅、高さともに面内の分布が悪
いという問題がある。また、フォトリソグラフィ法は、
パターニングして障壁となる材料層は膜厚が大きいため
に光を通すことが難しいため、露光できる膜厚まで材料
をコーティングして露光するという工程を数回行ってか
ら現像するので、工程が複雑化するとともに露光時にお
けるマスクの正確な位置決めが難しいという問題があ
る。また、サンドブラスト法は、基板に対する加工時間
が長く、使用した粉体の処理が面倒であるといった工程
上の問題もある。このように何れの方法で障壁を形成す
るにしてもそれぞれ問題点があり、製品としてのPDP
の価格が中々下がらないのが現状である。
【0004】本発明は、このような問題点に鑑みなされ
たものであり、その目的とするところは、簡単に形成で
き且つ品質に優れた障壁を使用することで、製造工程の
簡略化を図ってコストダウンを可能とした高品質のPD
Pを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るPDPは、基板又は基板に設けた層に
複数の平行な溝が形成され、それらの溝にそれぞれガラ
スファイバーからなる障壁部材がその一部を埋設した状
態で固定されてなる障壁構造を有することを特徴とす
る。
【0006】
【発明の実施の形態】図1に本発明に係るPDPの障壁
構造の一例を示す。図において1は背面板又は前面板と
なるガラス基板であり、その片面には複数の溝2が等間
隔で互いに平行に形成されており、それらの溝2にそれ
ぞれガラスファイバーからなる断面楕円状の障壁部材3
がその一部を埋設した状態で縦向きに固定されている。
【0007】本発明で使用するガラスファイバーは、そ
の成分としてガラスフリットの他に無機粉体、無機顔料
を混合したものであり、これらをそれぞれ2種以上混合
してあってもよい。
【0008】ガラスフリットとしては、その軟化点が3
50〜650℃で、熱膨張係数が60×10〜100×
10-7/℃のものが挙げられる。ガラスフリットの軟化
点が650℃を越えると焼成温度を高くする必要があ
り、その積層対象によっては熱変形したりするので好ま
しくなく、また、350℃より低いと層中に空隙等の発
生が生じるので好ましくない。また、熱膨張係数が60
×10〜100×10-7/℃の範囲外であると、ガラス
基板の熱膨張係数との差が大きく、歪み等を生じるので
好ましくない。
【0009】無機粉体は骨材であって、必要に応じて添
加される。無機粉体は焼成に際しての流延防止、緻密性
向上を目的とするものであり、ガラスフリットより軟化
点が高いものであり、例えば酸化アルミニウム、酸化硼
素、シリカ、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化カル
シウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウム、炭酸カル
シウム等の各種の無機粉体が利用でき、平均粒径0.1
〜20μmのものが例示される。無機粉体の使用割合
は、ガラスフリット100重量部に対して無機粉体0〜
30重量部とするとよい。
【0010】無機顔料は外光反射を低減して実用上のコ
ントラストを向上させるために必要に応じて添加される
ものである。暗色にする場合には、耐火性の黒色顔料と
して、Co−Cr−Fe、Co−Mn−Fe、Co−F
e−Mn−Al、Co−Ni−Cr−Fe、Co−Ni
−Mn−Cr−Fe、Co−Ni−Al−Cr−Fe、
Co−Mn−Al−Cr−Fe−Si等が挙げられる。
また、耐火性の白色顔料としては、酸化チタン、酸化ア
ルミニウム、シリカ、炭酸カルシウム等が挙げられる。
【0011】図1に示すタイプの障壁構造の形成手順は
次のようである。まず、図2(a)に示すように、ガラ
ス基板1上に液体フォトレジストを塗布するか或いはフ
ィルム状になったレジスト(ドライフィルムレジスト)
をラミネートしてレジスト層4を形成する。次いで、図
2(b)に示すようにマスクMを介してレジスト層4を
露光し、現像工程を経て図2(c)に示すようにレジス
ト層4をパターニングする。そのレジスト層4が除去さ
れた線状パターンの幅は、ガラスファイバーの断面にお
ける短径よりも小さくする。そして、パターニングされ
たレジスト層4を有するガラス基板1をサンドブラスト
処理若しくはフッ酸処理等のウェットエッチング工程を
通すことで、図2(d)に示す如くガラス基板1に溝2
を形成する。この溝2の形状はガラスファイバーの一部
分に対応するようになっていることが望ましい。したが
って、溝2が所望の形状になるようにエッチング条件を
調整する。
【0012】特に、AC型PDPの背面板に障壁を形成
する場合には、ガラス基板上に下地層、さらには電極、
誘電体層を形成しておき、その上にレジスト層を設け、
誘電体層、下地層をパターニングする。このパターニン
グにはサンドブラスト法を利用するとよい。その場合、
焼成してからでも未焼成状態でも構わない。サンドブラ
スト工程を通す場合、従来の障壁を形成するには100
μm以上削らなければならないが、この場合は30〜6
0μm削ればよく、加工時間が短く且つ使用する粉体の
量も少なくて済む。また、同様に下地層、電極、誘電体
層、レジスト層を形成し、焼成してからウェットエッチ
ングによって溝を形成してもよい。サンドブラスト、ウ
ェットエッチングのいずれの方法による場合も、溝は下
地層まで設けなくても必要な大きさにより誘電体層のみ
に設けてもよい。
【0013】上記のようにしてガラス基板或いはガラス
基板上にある層に溝を形成した後、ガラスファイバーか
らなる障壁部材を溝に嵌め込んで固定する。ガラスファ
イバーを溝に確実に固定するには、溝にガラスペースト
を塗布しておき、ガラスファイバーを嵌め込んでから全
体を焼成すればよい。
【0014】
【実施例】AC型PDPにおける背面板に障壁を形成す
る場合を例に挙げ、図3及び図4を参照しながら説明す
る。
【0015】まず、黒色顔料を添加した長径40mm、
短径10mm、長さ500mmのガラス棒を600℃に
加熱して軟化させ、引き伸ばし冷却することにより作製
した長径200μm、短径50μmの断面楕円形のガラ
スファイバーを200本用意した。
【0016】次に、図3(a)に示すように、ガラス基
板11の表面に低融点ガラスからなる薄膜の下地層1
2、アドレス電極13、誘電体層14を形成した。下地
層12は、ガラス基板11からのアルカリ成分等の拡散
を防止するため、或いは電極13、誘電体層14及び障
壁を形成する時のガラス基板との密着力を向上させるた
めに形成しておくことが好ましい。アドレス電極13
は、Agを低融点ガラスフリット、低温で焼成可能なバ
インダー樹脂に分散させた電極ペースト材料を用いてス
クリーン印刷法により形成した。誘電体層14は、駆動
させる時の安定性のために形成しておくことが好まし
い。誘電体層14の材料には酸化鉛ガラスを主成分とす
る低融点ガラスを用いた。
【0017】このようにガラス基板11上に下地層1
2、電極13、誘電体層14を形成した後、図3(b)
に示すように、その上に保護膜を有するネガ型のドライ
フィルムレジスト(日本合成化学工業(株)製、NCP
225)を120℃の熱ロールでラミネートしてフォト
レジスト層15を形成した。
【0018】そして、図3(c)に示すように、このフ
ォトレジスト層15の上に線幅40μm、ピッチ220
μmのラインパターンマスクMを位置合わせして配置
し、紫外線を照射(364nm、強度200μW/cm
2 、照射量120mJ/cm2)することで露光した。
この後、フォトレジスト層15上の保護膜を剥離し、液
温30℃の炭酸ナトリウム1重量%水溶液を使用してス
プレー現像し、図3(d)に示すように、ラインパター
ンに応じレジストパターン16が得られた。
【0019】次いで、図4(a)に示すように、このレ
ジストパターン16をマスクとして、噴射圧力1kg/
cm2 でサンドブラスト処理を行った。サンドブラスト
処理後、液温30℃の水酸化ナトリウム2重量%水溶液
を使用してレジストパターン16をスプレー剥離し、水
洗を行ってから、80℃のオーブン中で15分間乾燥さ
せ、図4(b)に示すように、誘電体層14、下地層1
2を貫いた幅40μm、深さ40μmの溝を形成した。
【0020】そして、この溝に上記で作製した長径20
0μm、短径50μmの楕円形のガラスファイバー20
0本を縦向きに埋め込んで固定し、ピーク温度550℃
で焼成し、図4(c)に示すように障壁17を形成し
た。得られた障壁17の線幅は50μm、高さ160μ
mであり、高さ及び線幅が均一で且つどの障壁17にも
欠陥は認められなかった。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のPDP
は、基板又は基板上に設けた層に平行な溝を形成し、そ
の溝にガラスファイバーからなる障壁部材を固定すると
いう簡単な障壁構造を有したものあるので、品質に優
れ、且つ製造工程の簡略化を図ることができ、コストを
大幅に下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るPDPの障壁構造の一例を示す斜
視図である。
【図2】図1に示す障壁構造の形成手順を示す工程図で
ある。
【図3】実施例で行った障壁の形成手順を示す工程図で
ある。
【図4】図3に続く工程図である。
【符号の説明】
1 ガラス基板 2 溝 3 ガラスファイバー 4 レジスト層 11 ガラス基板 12 下地層 13 アドレス電極 14 誘電体層 15 フォトレジスト層 16 レジストパターン 17 障壁

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板又は基板上に設けた層に複数の平行
    な溝が形成され、それらの溝にそれぞれガラスファイバ
    ーからなる障壁部材がその一部を埋設した状態で固定さ
    れてなる障壁構造を有することを特徴とするプラズマデ
    ィスプレイパネル。
JP8306053A 1996-11-18 1996-11-18 プラズマディスプレイパネル Pending JPH10149773A (ja)

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