JPH1014229A

JPH1014229A - 電力供給方法及び電源装置

Info

Publication number: JPH1014229A
Application number: JP15968996A
Authority: JP
Inventors: Tomohiro Takase; 智裕高瀬
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1996-06-20
Filing date: 1996-06-20
Publication date: 1998-01-16

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、電流リップルを低減できるとともに
出力応答速度を速くできるパルス電流を出力する。【解決手段】矩形波状の出力指示電流Ｆを受けると、パ
ルス電流出力の電流変化率が大きいとき各リアクトル１
４ｂ〜１４ｅを切り離してＬＣフィルタ回路１３のＬＣ
値を小さくし、パルス電流出力の電流変化率が小さいと
き各リアクトル１４ｂ〜１４ｅを接続してＬＣフィルタ
回路１３のＬＣ値を大きく制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばパルスレー
ザ電源に適用され、所定の周波数のパルス列である高周
波パルス列を平均化して、例えば矩形状のパルス出力電
流を発生させ励起ランプに安定した出力電力を供給する
電力供給方法及び電源装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】パルスレーザ電源は、直流電源からの供
給電圧を高周波パルス列に変換し、この後に高周波パル
ス列を平均化してレーザ媒質を励起する励起ランプに電
流を出力するもので、その出力電力は高周波パルス列の
デューティ比を変えることによって出力電圧を変化させ
ることで容易に制御できるものとなっている。このパル
スレーザ電源では、回路最終段に必ず高周波パルス列を
平均化する回路が必要となる。

【０００３】このようなパルスレーザ電源を適用したパ
ルスレーザ装置では、一定時間連続する高周波パルス列
が１パルスのレーザ光を形成し、高周波パルス列の休止
期間がそのままパルスレーザ光の停止期間となる。

【０００４】図１３はかかる電源装置の構成図である。
直流電源１には、４つのスイッチング素子Ｑ₁ 〜Ｑ₄ が
接続されている。これらスイッチング素子Ｑ₁ 〜Ｑ₄
は、スイッチング素子Ｑ₁ とＱ₂ とが直列接続され、こ
れらスイッチング素子Ｑ₁ 及びＱ₂ に対してスイッチン
グ素子Ｑ₃ 及びＱ₄ の直列回路が並列に接続されてい
る。

【０００５】これらスイッチング素子Ｑ₁ とＱ₂ 、Ｑ₃
とＱ₄ との間（Ａ点−Ｂ点間）には、整流回路を構成す
る各ダイオードＤ₁ 〜Ｄ₄ が接続されている。これらダ
イオードＤ₁ 〜Ｄ₄ は、ダイオードＤ₁ とＤ₂ 、Ｄ₃ と
Ｄ₄ とがそれぞれ直列接続され、かつこれらダイオード
Ｄ₁ 、Ｄ₂ とＤ₃ 、Ｄ₄ とが並列接続されている。

【０００６】これらダイオードＤ₁ 〜Ｄ₄ の出力端子間
（Ｄ点−Ｃ点間）には、平均化回路２が接続されてい
る。この平均化回路（以下、ＬＣフィルタ回路と称す
る）２は、例えばチョークコイルＬとコンデンサＣとか
ら構成され、チョークコイルＬを各ダイオードＤ₁ 〜Ｄ
₄ に直列接続するとともにコンデンサＣを並列接続した
ものとなっている。

【０００７】そして、この平均化回路２の出力端子（Ｆ
点−Ｅ点間）には、パルスレーザ装置の励起ランプ３が
接続されている。このような構成であれば、各スイッチ
ング素子Ｑ₁ 〜Ｑ₄ は、２つのスイッチング素子Ｑ₁ と
Ｑ₄ とがオンとなるとともに他の２つのスイッチング素
子Ｑ₂ とＱ₃ とがオフとなり、次に２つのスイッチング
素子Ｑ₁ とＱ₄ とがオフとなるとともに他の２つのスイ
ッチング素子Ｑ₂ とＱ₃ とがオンとなり、これらの動作
を繰り返す。

【０００８】これらスイッチング素子Ｑ₁ 〜Ｑ₄ のオン
・オフ動作の繰り返しにより、端子Ａ点−Ｂ点間には、
図１４に示すような正負のパルス電圧Ｖ_BAが現われる。
このパルス電圧Ｖ_BAは、各ダイオードＤ₁ 〜Ｄ₄ より整
流されてその出力端子間Ｄ点−Ｃ点に整流出力（高周波
パルス列）Ｖ_CDが現れ、これがＬＣフィルタ回路２に供
給される。

【０００９】このＬＣフィルタ回路２は、チョークコイ
ルＬ及びコンデンサＣの平滑作用により直流出力Ｖ_FEに
整形し、励起ランプ３に供給する。従って、一定時間連
続する高周波パルス列がＬＣフィルタ回路２に供給され
ると、このＬＣフィルタ回路２からは矩形状の１つのパ
ルス出力電流が励起ランプ３に供給され、パルスレーザ
装置から１パルスレーザ光が出力される。

【００１０】ところで、ＬＣフィルタ回路２は、コンデ
ンサＣのキャパシタンス成分を零とした場合、このＬＣ
フィルタ回路２の出力電流には、図１５及び次式で表さ
れる電流リップルΔＩが存在する。

【００１１】 ΔＩ＝Ｖ・Ｔ・Ｄ（１−Ｄ）／Ｌ …(1) ここで、Ｖは供給電圧、Ｔは高周波パルス列周期、Ｄは
高周波パルス列デューティ比、Ｌはチョークコイルのイ
ンダクタンス値である。

【００１２】この電流リップルΔＩを小さくする方法と
して通常は、コンデンサＣのキャパシタンス値を適切な
容量にすることが行われている。図１５はかかるコンデ
ンサＣのキャパシタンス値による電流リップルΔＩを小
さくする方法を示している。なお、このように高周波パ
ルス列をＬＣフィルタ回路２で平均化し、そのパルス電
流を出力する方法は、例えば連続出力のレーザ電源に広
く用いられている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、パルス
レーザ装置に適用する電源装置では、電流リップルΔＩ
を低減し、これに加えて出力応答速度を速くすることが
要求される。これら電流リップルΔＩの低減と出力応答
速度とは、トレードオフ（相互）の関係にあり、その性
能はＬＣフィルタ回路２のＬＣ値（インダクタンス値と
キャパシタンス値とを掛け合わせた値）で決まる。

【００１４】例えば、図１６(a) に示すような矩形波の
出力指示電流を与えて各スイッチング素子Ｑ₁ 〜Ｑ₄ を
オン・オフ動作すると、ＬＣフィルタ回路２からは、そ
のＬＣ値が大きい場合、同図(b) に示すように電流リッ
プルΔＩが小さいが、出力応答速度の非常に遅い電流が
出力される。

【００１５】これに対し、ＬＣ値が小さい場合、同図
(c) に示すように出力応答速度が速くなるものの、電流
リップルΔＩは増大する。このため、電流リップルΔＩ
を低減し、出力応答速度を速くするパルスレーザ装置の
電源装置には、その要求を満たすことができない。そこ
で本発明は、電流リップルを低減できるとともに出力応
答速度を速くできる電力供給方法及び電源装置を提供す
ることを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】請求項１によれば、直流
電力を所定の周波数のパルス列に変換し、この所定の周
波数のパルス列をＬＣ回路を通して所定波形の出力電流
を得る電力供給方法において、出力電流の出力指示をす
る出力指示電流の電流変化率が所定の閾値以上のときに
ＬＣ回路のＬＣ値を減少させ、かつ出力指示電流の電流
変化率が所定の閾値未満のときにＬＣ回路のＬＣ値を増
加させて出力電力を制御する電力供給方法である。

【００１７】このような電力供給方法であれば、例えば
矩形波状の出力電流指示の場合、出力指示電流の電流変
化率が大きいとき、すなわち出力指示電流の立ち上が
り、に立ち下がりのときにＬＣフィルタ回路のＬＣ値が
小さくなり、速い出力変化にも十分に追従できる。

【００１８】又、出力指示電流の電流変化率が小さいと
き、すなわち出力指示電流の立ち上がりから立ち下がり
までの間にＬＣフィルタ回路のＬＣ値が大きくなり、電
流リップルが減少する。

【００１９】請求項２によれば、直流電力を所定の周波
数のパルス列に変換し、この所定の周波数のパルス列を
ＬＣ回路を通して所定波形の出力電流を得る電源装置に
おいて、ＬＣ回路は、インダクタンス成分又はキャパシ
タンス成分のうちいずれか一方が可変に構成され、かつ
出力電流の出力指示をする出力指示電流の電流変化率の
値に応じてＬＣ回路のインダクタンス成分又はキャパシ
タンス成分を可変し、出力指示電流の電流変化率が所定
の閾値以上のときにＬＣ回路のＬＣ値を減少させ、かつ
出力指示電流の電流変化率が所定の閾値未満のときにＬ
Ｃ回路のＬＣ値を増加させて出力電力を制御する制御手
段、を備えた電源装置である。

【００２０】このような電源装置であれば、例えば矩形
波状の出力電流指示の場合、出力指示電流の電流変化率
が大きいとき制御手段によってＬＣフィルタ回路のＬＣ
値を小さくして速い出力変化に追従できるようにし、
又、出力指示電流の電流変化率が小さいときＬＣフィル
タ回路のＬＣ値を大きくして電流リップルを減少する。

【００２１】請求項３によれば、請求項２記載の電源装
置において、ＬＣ回路は、直列接続された複数のリアク
トルと、これらリアクトルにそれぞれ並列接続された複
数のスイッチング素子と、各リアクトルに対して並列接
続されたコンデンサとを有し、かつ制御手段は、出力指
示電流の電流変化率が所定の閾値以上のときにスイッチ
ング素子をオンさせてＬＣ回路のＬＣ値を減少させ、出
力指示電流の電流変化率が所定の閾値未満のときにスイ
ッチング素子をオフさせてＬＣ回路のＬＣ値を増加させ
て出力電力を制御する機能を有する。

【００２２】請求項４によれば、請求項２記載の電源装
置において、ＬＣ回路は、リアクトルと、このリアクト
ルに対して並列接続された複数のコンデンサと、これら
コンデンサに対してそれぞれ直列接続された複数のスイ
ッチング素子とを有し、かつ制御手段は、出力指示電流
の電流変化率が所定の閾値以上のときにスイッチング素
子をオフさせてＬＣ回路のＬＣ値を減少させ、出力指示
電流の電流変化率が所定の閾値未満のときにスイッチン
グ素子をオンさせてＬＣ回路のＬＣ値を増加させて出力
電力を制御する機能を有する。

【００２３】請求項５によれば、請求項２記載の電源装
置において、ＬＣ回路は、出力電流の流れる導体を囲ん
で配置された可飽和リアクトルと、この可飽和リアクト
ルに対して接続されたコンデンサとを有し、かつ制御手
段は、出力指示電流の電流変化率が所定の閾値以上のと
きに可飽和リアクトルのインダクタンス値を減少させ、
かつ出力指示電流の電流変化率が所定の閾値未満のとき
に可飽和リアクトルのインダクタンス値を増加させて出
力電力を制御する機能を有する。

【００２４】請求項６によれば、請求項２、３、４又は
５記載の電源装置において、直流電力を所定の周波数の
パルス列に変換し、この所定の周波数のパルス列を平均
化して所定波形の出力電流を、レーザ媒質を光励起する
励起ランプに供給する。

【００２５】

【発明の実施の形態】

(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図１３と同一部分には同一符号
を付してその詳しい説明は省略する。図１はパルスレー
ザ装置に適用される電源装置の構成図である。

【００２６】指示出力回路１０は、パルスレーザ光の出
力波形に対応した図２に示す矩形波の出力指示電流Ｆを
スイッチング素子制御回路１１に送出する機能を有して
いる。

【００２７】このスイッチング素子制御回路１１は、指
示出力回路１０から送出された出力指示電流Ｆに従って
スイッチング素子ドライバ回路１２を動作する機能を有
している。

【００２８】このスイッチング素子ドライバ回路１２
は、スイッチング素子制御回路１１の制御に従い、出力
指示電流Ｆの立ち上がりから立ち下がりまでの期間、２
つのスイッチング素子Ｑ₁ とＱ₄ とをオンとするととも
に他の２つのスイッチング素子Ｑ₂ とＱ₃ とをオフと
し、次に２つのスイッチング素子Ｑ₁ とＱ₄ とをオフと
するとともに他の２つのスイッチング素子Ｑ₂ とＱ₃ と
をオンとし、これらの動作を繰り返す機能を有してい
る。

【００２９】一方、各ダイオードＤ₁ 〜Ｄ₄ の出力端子
間（Ｄ点−Ｃ点間）には、ＬＣフィルタ回路１３が接続
されている。このＬＣフィルタ回路１３は、出力端子Ｄ
に接続された複数のリアクトル、例えば直列接続された
５つのリアクトル１４ａ〜１４ｅを有し、かつこのうち
の４つのリアクトル１４ｂ〜１４ｅに対してそれぞれ絶
縁ゲート・バイポーラ・トランジスタ（以下、ＩＧＢＴ
と称する）１５−１〜１５−４を並列接続している。

【００３０】又、出力側のリアクトル１４ｅと各ダイオ
ードＤ₁ 〜Ｄ₄ の出力端子Ｃとの間には、コンデンサＣ
が接続されている。ここで、５つのリアクトル１４ａ〜
１４ｅの各インダクタンス値はそれぞれ５０μＨであ
り、コンデンサＣのキャパシタンスは１０μＦに設定さ
れている。

【００３１】ＩＧＢＴ制御回路１６は、指示出力回路１
０から送出された矩形波の出力指示電流Ｆを受けてその
出力電流の変化率を算出する。なお、この出力電流変化
率には閾値が所定の出力電流の最適値に定められてい
る。この電流変化率が閾値以上のときに各ＩＧＢＴ１５
−１〜１５−４をオンさせる各駆動信号を各ＩＧＢＴ１
５−１〜１５−４に与え、かつ電流変化率が閾値以下の
ときに各ＩＧＢＴ１５−１〜１５−４をオフさせる各駆
動信号を各ＩＧＢＴ１５−１〜１５−４に与える機能を
有している。

【００３２】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。指示出力回路１０から図２に示すパルス
レーザ光の波形に対応した矩形波の出力指示電流Ｆが送
出されると、スイッチング素子制御回路１１は、出力指
示電流Ｆに従ってスイッチング素子ドライバ回路１２を
動作する。

【００３３】このスイッチング素子ドライバ回路１２
は、出力指示電流Ｆの立ち上がりから立ち下がりまでの
期間、２つのスイッチング素子Ｑ₁ とＱ₄ とをオンとす
るとともに他の２つのスイッチング素子Ｑ₂ とＱ₃ とを
オフとし、次に２つのスイッチング素子Ｑ₁ とＱ₄ とを
オフとするとともに他の２つのスイッチング素子Ｑ₂ と
Ｑ₃ とをオンとし、これらの動作を繰り返す。

【００３４】これらスイッチング素子Ｑ₁ 〜Ｑ₄ のオン
・オフ動作の繰り返しにより、端子Ａ点−Ｂ点間には、
図２に示すような正負のパルス電圧Ｖ_BAが現われる。こ
のパルス電圧Ｖ_BAは、各ダイオードＤ₁ 〜Ｄ₄ より整流
されてその出力端子間Ｄ点−Ｃ点に整流出力（高周波パ
ルス列）Ｖ_CDが現れ、これがＬＣフィルタ回路１３に供
給される。

【００３５】一方、ＩＧＢＴ制御回路１６は、指示出力
回路１０から送出された矩形波の出力指示電流Ｆを受
け、この出力指示電流Ｆに基づいて電流変化率を算出す
る。このＩＧＢＴ制御回路１６は、出力指示電流Ｆの立
上がりにおいて、算出した電流変化率が閾値以上であれ
ば、各ＩＧＢＴ１５−１〜１５−４に対してオンさせる
各駆動信号を与える。

【００３６】これにより、各ＩＧＢＴ１５−１〜１５−
４はオンとなることから、各リアクトル１４ｂ〜１４ｅ
は電気的にショートされたのと同様となり、ＬＣフィル
タ回路１３は、リアクトル１４ａとコンデンサＣとから
構成される。

【００３７】すなわち、図３(a) に示すように矩形状の
出力指示電流Ｆにおいて、パルス尖頭では、出力指示電
流Ｆの電流変化率は最大となり、各ＩＧＢＴ１５−１〜
１５−４は一定時間オンとなる。

【００３８】このとき、ＬＣフィルタ回路１３は、リア
クトル１４ａ（５０μＨ）とコンデンサＣ（１０μＦ）
とから構成され、そのＬＣ値は５×１０^-10 と小さくな
る。従って、矩形状の出力指示電流Ｆの立上がりにおい
て、ＬＣフィルタ回路１３の出力電流における電流リッ
プルΔＩは比較的大きいが、パルスは非常に速く立上が
り、出力応答速度の速いものとなる。なお、図３(b) は
ＬＣ値５×１０^-10のときのＬＣフィルタ回路１３の出
力電流を示している。

【００３９】次に、ＩＧＢＴ制御回路１６は、出力指示
電流Ｆが立上がって一定値を示すようになると、電流変
化率が閾値未満となるので、各ＩＧＢＴ１５−１〜１５
−４に対してオフさせる各駆動信号を与える。

【００４０】これにより、各ＩＧＢＴ１５−１〜１５−
４がオフに切り替わると、各リアクトル１４ｂ〜１４ｅ
はリアクトル１４ａに対して直列接続され、ＬＣフィル
タ回路１３は、リアクトル１４ａ〜１４ｅとコンデンサ
Ｃとから構成される。

【００４１】すなわち、図３(a) に示すように矩形状の
出力指示電流Ｆが立ち上がった後、出力指示電流Ｆの電
流変化率は最小、およそ零となり、各ＩＧＢＴ１５−１
〜１５−４はオフに切り替わる。

【００４２】このとき、ＬＣフィルタ回路１３は、５つ
のリアクトル１４ａ（２５０μＨ）とコンデンサＣ（１
０μＦ）とから構成され、そのＬＣ値は２５×１０^-10
と増加する。

【００４３】従って、矩形状の出力指示電流Ｆの立上が
り後、ＬＣフィルタ回路１３の出力電流における電流リ
ップルΔＩは低減する。図３(c) はＬＣ値２５×１０
^-10 のときのＬＣフィルタ回路１３の出力電流を示して
いる。

【００４４】この後、出力指示電流Ｆの立ち下がりにお
いて、ＩＧＢＴ制御回路１６は、電流変化率が閾値未満
となるので、再び各ＩＧＢＴ１５−１〜１５−４に対し
てオンさせる各駆動信号を与える。

【００４５】これにより、各ＩＧＢＴ１５−１〜１５−
４は再びオンとなることから、各リアクトル１４ｂ〜１
４ｅは電気的にショートされたのと同様となり、ＬＣフ
ィルタ回路１３は、リアクトル１４ａとコンデンサＣと
から構成される。

【００４６】すなわち、図３(a) に示すように矩形状の
出力指示電流Ｆの立ち下がりにおいて電流変化率は最大
となり、各ＩＧＢＴ１５−１〜１５−４は一定時間オン
となる。

【００４７】このとき、ＬＣフィルタ回路１３は、再び
リアクトル１４ａ（５０μＨ）とコンデンサＣ（１０μ
Ｆ）とから構成され、そのＬＣ値は５×１０^-10 と減少
する。

【００４８】従って、矩形状の出力指示電流Ｆの立ち下
がりにおいて、ＬＣフィルタ回路１３の出力電流は、非
常に速く立ち下がり、出力応答速度の速いものとなる。
この結果、ＬＣフィルタ回路１３の出力電流は、図３
(d) に示すように矩形状の出力指示電流Ｆの立上がりに
おいて出力応答速度の速いものとなり、続く出力指示電
流Ｆの立上がり後において電流リップルΔＩの低減した
ものとなり、出力指示電流Ｆの立ち下がりにおいて出力
応答速度の速いものとなる。

【００４９】このようにしてＬＣフィルタ回路１３から
出力された矩形状の１つのパルス出力電流が励起ランプ
３に供給されると、パルスレーザ装置からは１つのパル
スレーザ光が出力される。

【００５０】このように上記第１の実施の形態において
は、矩形波状の出力指示電流Ｆを受けると、パルス電流
出力の電流変化率が閾値以上のとき各リアクトル１４ｂ
〜１４ｅを切り離してＬＣフィルタ回路１３のＬＣ値を
減少させ、電流変化率が閾値未満のとき各リアクトル１
４ｂ〜１４ｅを接続してＬＣフィルタ回路１３のＬＣ値
を大きく制御するので、電流リップルを減少して出力応
答速度の速いパルス電流を出力できる。

【００５１】従って、電流リップルΔＩを低減し、これ
に加えて出力応答速度を速くすることが要求されるパル
スレーザ装置の電源装置として適用することができ、パ
ルスレーザ装置において低出力リプル、応答速度の優れ
たパルスレーザ出力動作をすることができ、そのパルス
レーザ光に対する波形制御の性能を大きく向上できる。 (2) 次に本発明の第２の実施の形態について説明する。
なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい
説明は省略する。

【００５２】図４はパルスレーザ装置に適用される電源
装置の構成図である。各ダイオードＤ₁ 〜Ｄ₄ の出力端
子間（Ｄ点−Ｃ点間）には、ＬＣフィルタ回路２０が接
続されている。

【００５３】このＬＣフィルタ回路２０は、出力端子Ｄ
に接続されたリアクトルＬと、このリアクトルＬに対し
て並列接続された複数のコンデンサ、例えば５つのコン
デンサ２１ａ〜２１ｅを有し、かつこのうちの４つのコ
ンデンサ２１ｂ〜２１ｅに対してそれぞれ各ＩＧＢＴ２
２−１〜２２−４が直列接続されている。

【００５４】ここで、リアクトルＬのインダクタンス値
は５０μＨであり、５つの各コンデンサ２１ａ〜２１ｅ
のキャパシタンスはそれぞれ１０μＦに設定されてい
る。ＩＧＢＴ制御回路２３は、指示出力回路１０から送
出された矩形波の出力指示電流Ｆを受けてその出力電流
の変化率を算出し、この電流変化率が閾値以上のときに
各ＩＧＢＴ１５−１〜１５−４をオフさせる各駆動信号
を各ＩＧＢＴ１５−１〜１５−４に与え、かつ電流変化
率が閾値未満のときに各ＩＧＢＴ１５−１〜１５−４を
オンさせる各駆動信号を各ＩＧＢＴ１５−１〜１５−４
に与える機能を有している。

【００５５】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。指示出力回路１０から上記同様に、図２
に示すパルスレーザ光の波形に対応した矩形波の出力指
示電流Ｆが送出されると、スイッチング素子制御回路１
１は、スイッチング素子ドライバ回路１２を通して、出
力指示電流Ｆの立ち上がりから立ち下がりまでの期間、
２つのスイッチング素子Ｑ₁ とＱ₄ とをオンとするとと
もに他の２つのスイッチング素子Ｑ₂ とＱ₃ とをオフと
し、次に２つのスイッチング素子Ｑ₁ とＱ₄ とをオフと
するとともに他の２つのスイッチング素子Ｑ₂ とＱ₃ と
をオンとし、これらの動作を繰り返す。

【００５６】このような各スイッチング素子Ｑ₁ 〜Ｑ₄
のオン・オフ動作の繰り返しにより、正負のパルス電圧
Ｖ_BAが各ダイオードＤ₁ 〜Ｄ₄ より整流され、その出力
端子間Ｄ点−Ｃ点に高周波パルス列Ｖ_CDが現れ、これが
ＬＣフィルタ回路１３に供給される。

【００５７】一方、ＩＧＢＴ制御回路２３は、指示出力
回路１０からの出力指示電流Ｆを受け、この出力指示電
流Ｆに基づいて電流変化率を算出する。このＩＧＢＴ制
御回路２３は、出力指示電流Ｆの立上がりにおいて、算
出した電流変化率が閾値以上であれば、各ＩＧＢＴ２２
−１〜２２−４に対してオフさせる各駆動信号を与え
る。

【００５８】これにより、各ＩＧＢＴ２２−１〜２２−
４はオフとなることから、各コンデンサ２１ｂ〜２１ｅ
は回路から切り離されたのと同様となり、ＬＣフィルタ
回路２０は、リアクトルＬとコンデンサ２１ａとから構
成される。

【００５９】このとき、ＬＣフィルタ回路２０は、リア
クトルＬ（５０μＨ）とコンデンサ２１ａ（１０μＦ）
とから構成され、そのＬＣ値は５×１０^-10 と小さくな
る。従って、矩形状の出力指示電流Ｆの立上がりにおい
て、ＬＣフィルタ回路２０の出力電流においてパルスは
非常に速く立上がり、出力応答速度の速いものとなる。

【００６０】次に、ＩＧＢＴ制御回路２３は、出力指示
電流Ｆが立上がって一定値を示すようになると、電流変
化率が閾値未満となるので、各ＩＧＢＴ２２−１〜２２
−４に対してオンさせる各駆動信号を与える。

【００６１】これにより、各ＩＧＢＴ２２−１〜２２−
４がオンに切り替わると、コンデンサ２１ａ及び各コン
デンサ２１ｂ〜２１ｅがリアクトルＬに対して並列接続
され、ＬＣフィルタ回路２０は、リアクトルＬと各コン
デンサ２１ａ〜２１ｅとから構成される。

【００６２】このとき、ＬＣフィルタ回路２０は、５つ
のコンデンサ２１ａ〜２１ｅ（５０μＦ）とリアクトル
Ｌ（５０μＨ）とから構成され、そのＬＣ値は２５×１
０^-10 と大きくなる。

【００６３】従って、矩形状の出力指示電流Ｆの立上が
り後、ＬＣフィルタ回路２０の出力電流における電流リ
ップルΔＩは低減する。この後、出力指示電流Ｆの立ち
下がりにおいて、ＩＧＢＴ制御回路２３は、電流変化率
が閾値以上となるので、再び各ＩＧＢＴ２２−１〜２２
−４をオフする各駆動信号を送出する。

【００６４】これにより、各ＩＧＢＴ２２−１〜２２−
４は再びオフとなることから、各コンデンサ２１ｂ〜２
１ｅは回路から切り離されたのと同様となり、ＬＣフィ
ルタ回路２０は、リアクトルＬとコンデンサ２１ａとか
ら構成される。

【００６５】このとき、ＬＣフィルタ回路２０は、再び
リアクトルＬ（５０μＨ）とコンデンサ２１ａ（１０μ
Ｆ）とから構成され、そのＬＣ値は５×１０^-10 と減少
する。

【００６６】従って、矩形状の出力指示電流Ｆの立ち下
がりにおいて、ＬＣフィルタ回路２０の出力電流は、非
常に速く立ち下がり、出力応答速度の速いものとなる。
この結果、ＬＣフィルタ回路２０の出力電流は、上記図
３(d) に示すように矩形状の出力指示電流Ｆの立上がり
において出力応答速度の速いものとなり、続く出力指示
電流Ｆの立上がり後において電流リップルΔＩの低減し
たものとなり、出力指示電流Ｆの立ち下がりにおいて出
力応答速度の速いものとなる。

【００６７】このようにしてＬＣフィルタ回路２０から
出力された矩形状の１つのパルス出力電流が励起ランプ
３に供給されると、パルスレーザ装置からは１つのパル
スレーザ光が出力される。

【００６８】このように上記第２の実施の形態において
は、矩形波状の出力指示電流Ｆを受けると、電流変化率
が閾値以上のとき各コンデンサ２１ｂ〜２１ｅを切り離
してＬＣフィルタ回路２０のＬＣ値を減少させ、電流変
化率が閾値以下のとき各コンデンサ２１ｂ〜２１ｅを接
続してＬＣフィルタ回路１３のＬＣ値を増加するように
制御するので、上記第１の実施の形態と同様に、電流リ
ップルを減少して出力応答速度の速いパルス電流を出力
できる。

【００６９】従って、電流リップルΔＩを低減し、これ
に加えて出力応答速度を速くすることが要求されるパル
スレーザ装置の電源装置として適用することができ、パ
ルスレーザ装置において低出力リップル、応答速度の優
れたパルスレーザ出力動作をすることができ、そのパル
スレーザ光に対する波形制御の性能を大きく向上でき
る。 (3) 次に本発明の第２の実施の形態について説明する。
なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい
説明は省略する。

【００７０】図５はパルスレーザ装置に適用される電源
装置の構成図である。各ダイオードＤ₁ 〜Ｄ₄ の出力端
子間（Ｄ点−Ｃ点間）には、ＬＣフィルタ回路３０が接
続されている。

【００７１】このＬＣフィルタ回路３０は、パルス電流
出力の流れるライン３１に配置された可飽和リアクトル
３２と、この可飽和リアクトル３２に対して接続された
コンデンサＣとから構成されている。

【００７２】可飽和リアクトル３２は、図６に示すよう
に環状のコア３３に対してコイル３４を巻回したもの
で、このコイル３４の端部に磁気スイッチ電源回路３５
が接続されている。

【００７３】そして、この可飽和リアクトル３２は、コ
ア３３の中空部にライン３１が配置されている。ここ
で、可飽和リアクトル３２の作用について説明すると、
ライン３１に出力電流が矢印（イ）方向に流れると、コ
ア３３には、反時計回り（以下、この方向を正方向とす
る）に磁場が発生する。

【００７４】又、コア３３には、コイル３４が巻回され
ているので、コイル電流を流すと、時計回り（以下、こ
の方向を負方向とする）の磁場が発生する。一方、コア
３３の磁束密度Ｂと磁場Ｈとの関係は、図７に示すＢ−
Ｈ曲線に示す通り、Ｂ＝μＨ …(2) の関係にあり、μ（透磁率）は磁場Ｈの大きさにより変
化する。なお、Ｈの正の方向は上記反時計回りとする。

【００７５】従って、可飽和リアクトル３２のインダク
タンス値は、Ｂ−Ｈ曲線の傾きμ（透磁率）に依存し、
このμに比例して増加する。上記磁気スイッチ電源回路
３５は、指示出力回路１０から送出された矩形状の出力
指示電流Ｆを受け、その電流変化率が閾値以上となる所
定時間前から大きな負電流、例えば電流−５Ａを可飽和
リアクトル３２に流して可飽和リアクトル３２のインダ
クタンス値を減少させ、かつ出力指示電流Ｆの電流変化
率が閾値未満のときに可飽和リアクトル３２に小さな負
電流、例えば電流−１Ａを流して可飽和リアクトル３２
のインダクタンス値を増加して制御する機能を有してい
る。

【００７６】なお、磁気スイッチ電源回路３５は、予め
矩形状の出力指示電流Ｆの周期が設定されているので、
その電流変化率が閾値以上となる時間間での所定時間及
びその電流変化率が閾値未満となる所定時間間での所定
時間が分かる。

【００７７】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。指示出力回路１０から上記同様に、図２
に示すパルスレーザ光の波形に対応した矩形波の出力指
示電流Ｆが送出されると、スイッチング素子制御回路１
１は、スイッチング素子ドライバ回路１２を通して、出
力指示電流Ｆの立ち上がりから立ち下がりまでの期間、
２つのスイッチング素子Ｑ₁ とＱ₄ とをオンとするとと
もに他の２つのスイッチング素子Ｑ₂ とＱ₃ とをオフと
し、次に２つのスイッチング素子Ｑ₁ とＱ₄ とをオフと
するとともに他の２つのスイッチング素子Ｑ₂ とＱ₃ と
をオンとし、これらの動作を繰り返す。

【００７８】このような各スイッチング素子Ｑ₁ 〜Ｑ₄
のオン・オフ動作の繰り返しにより、正負のパルス電圧
Ｖ_BAが各ダイオードＤ₁ 〜Ｄ₄ より整流され、その出力
端子間Ｄ点−Ｃ点に高周波パルス列Ｖ_CDが現れ、これが
ＬＣフィルタ回路３０に供給される。

【００７９】一方、磁気スイッチ電源回路３５は、指示
出力回路１０から送出された矩形状の出力指示電流Ｆを
受け、その電流変化率が閾値以上となる時間間での所定
時間前から大きな負電流を可飽和リアクトル３２に流
す。

【００８０】例えば、図８(a) に示すように出力指示電
流Ｆが１００Ａの矩形波の場合、可飽和リアクトル３２
のコア３３により１Ａ／ｍの磁場を発生させるのに、ラ
イン３１に流れる出力電流を１０Ａ、コイル３４に流れ
るコイル電流を１００ｍＡ必要であるとすると、磁気ス
イッチ電源回路３５は、パルス電流が流れる所定時間前
から大きな負電流、例えば図８(b) に示す電流−５Ａを
可飽和リアクトル３２のコイル３４に流す。

【００８１】これにより、可飽和リアクトル３２のコア
３３には、−５０Ａ／ｍの磁場が発生し、コア３３の状
態は図７に示すＢ−Ｈ曲線上の点アにある。このとき、
Ｂ−Ｈ曲線の傾きμは非常に小さく、可飽和リアクトル
３２のインダクタンス値は、減少する。

【００８２】従って、矩形状の出力指示電流Ｆの立上が
りにおいて、ＬＣフィルタ回路３０のＬＣ値は減少し、
かつ出力電流においてパルスは非常に速く立上がり、出
力応答速度の速いものとなる。

【００８３】次に、出力指示電流Ｆが立上がって一定値
を示すようになると、磁気スイッチ電源回路３５は、そ
の電流変化率が閾値未満のときに可飽和リアクトル３２
に小さな負電流、例えば図８(b) に示すようにコイル電
流−１Ａを可飽和リアクトル３２に流す。

【００８４】これにより、ライン３１に流れる１００Ａ
の出力電流によってコア３３には１０Ａ／ｍの磁場が発
生するが、コイル３４に−１Ａのコイル電流を流すこと
によって、磁場が打ち消しあって零となる。

【００８５】このとき、コア３３の状態は、例えば図７
に示すＢ−Ｈ曲線上の点イにあり、上記Ｂ−Ｈ曲線上の
点アの状態と比べてその傾きμは、１００倍程度大きく
なり、可飽和リアクトル３２のインダクタンス値は、増
加する。

【００８６】従って、矩形状の出力指示電流Ｆの一定値
において、ＬＣフィルタ回路３０のＬＣ値は増加し、か
つ出力電流において電流リップルΔＩは非常に小さくな
る。この後、出力指示電流Ｆの立ち下がりにおいて、磁
気スイッチ電源回路３５は、その電流変化率が閾値以上
となる所定時間前から大きな負電流、例えば図８(b) に
示すように電流−５Ａを可飽和リアクトル３２に流す。

【００８７】これにより、可飽和リアクトル３２のコア
３３には、−５０Ａ／ｍの磁場が発生し、コア３３の状
態は再び図７に示すＢ−Ｈ曲線上の点アの近付ける。こ
のとき、Ｂ−Ｈ曲線の傾きμは非常に小さく、可飽和リ
アクトル３２のインダクタンス値は、再び減少する。

【００８８】従って、矩形状の出力指示電流Ｆの立ち下
がりにおいて、ＬＣフィルタ回路３０のＬＣ値は減少
し、かつ出力電流においてパルスは非常に速く立ち下が
り、出力応答速度の速いものとなる。

【００８９】この結果、ＬＣフィルタ回路３０の出力電
流は、上記図３(d) に示すように矩形状の出力指示電流
Ｆの立上がりにおいて出力応答速度の速いものとなり、
続く出力指示電流Ｆの立上がり後において電流リップル
ΔＩの低減したものとなり、出力指示電流Ｆの立ち下が
りにおいて出力応答速度の速いものとなる。

【００９０】このようにしてＬＣフィルタ回路３０から
出力された矩形状の１つのパルス出力電流が励起ランプ
３に供給されると、パルスレーザ装置からは１つのパル
スレーザ光が出力される。

【００９１】このように上記第３の実施の形態において
は、出力指示電流の電流変化率が閾値以上のときに可飽
和リアクトル３２のインダクタンス値を減少させ、かつ
出力指示電流の電流変化率が閾値未満のときに可飽和リ
アクトル３２のインダクタンス値を増加させて制御する
ので、上記第１の実施の形態と同様に、電流リップルを
減少して出力応答速度の速いパルス電流を出力できる。

【００９２】従って、電流リップルΔＩを低減し、これ
に加えて出力応答速度を速くすることが要求されるパル
スレーザ装置の電源装置として適用することができ、パ
ルスレーザ装置において低出力リップル、応答速度の優
れたパルスレーザ出力動作をすることができ、そのパル
スレーザ光に対する波形制御の性能を大きく向上でき
る。

【００９３】なお、本発明は、上記第１〜第３の実施の
形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよい。
例えば、上記第１〜第３の実施の形態において、４つの
スイッチング素子Ｑ₁〜Ｑ₄ 、すなわちスイッチング素
子Ｑ₁ とＱ₂ とが直列接続され、これらスイッチング素
子Ｑ₁ 及びＱ₂ に対してスイッチング素子Ｑ₃ 及びＱ₄
の直列回路が並列に接続されているが、これら複数の高
周波スイッチング素子Ｑ₁ 〜Ｑ₄ に対しては、上記の如
く大きなサージが発生するインダクタンス成分の大きな
回路に適用する場合、リンギングノイズを発生させるこ
となくサージを除去し、しかも各スイッチング素子Ｑ₁
〜Ｑ₄ に印加される電圧を均等にバランスして、正確な
オン・オフのできる信頼性の高いスイッチングを実現す
ることが要求される。

【００９４】図９はかかるスイッチング素子Ｑ₁ 〜Ｑ₄
に適用するスイッチングスナバ回路の構成図である。な
お、説明を簡単にするためにスイッチング素子Ｑ₁ 、Ｑ
₂ に適用した構成を示してある。

【００９５】各スイッチング素子Ｑ₁ 、Ｑ₂ には、それ
ぞれＣＲＤスナバ回路が接続されている。すなわち、ス
イッチング素子Ｑ₁ のコレクターエミッタ間には、コン
デンサＣ₁ と抵抗Ｒ₁ との直列回路が接続され、かつ抵
抗Ｒ₁ に対してダイオードＤ₁ が並列接続されている。

【００９６】又、スイッチング素子Ｑ₂ のコレクターエ
ミッタ間には、コンデンサＣ₂ と抵抗Ｒ₂ との直列回路
が接続され、かつ抵抗Ｒ₂ に対してダイオードＤ₂ が並
列接続されている。

【００９７】そして、各スイッチング素子Ｑ₁ 、Ｑ₂ の
間にコンデンサＣ´が並列接続されている。このうちコ
ンデンサＣ₁ とＣ₂ とは、各スイッチングスイッチング
素子Ｑ₁ 、Ｑ₂ の過渡的に電圧を均等にバランスするた
めに、それぞれキャパシタンス値の等しいものが接続さ
れている。

【００９８】なお、これらスイッチング素子Ｑ₁ 、Ｑ₂
には、コイルＬ_k を通して負荷４０が接続されている。
このような構成であれば、各コンデンサＣ₁ 及びＣ₂ が
直流電源１に対して直列接続されているので、各スイッ
チング素子Ｑ₁ 、Ｑ₂ に対する電圧が均等にバランスす
る。

【００９９】又、各スイッチング素子Ｑ₁ 、Ｑ₂ のター
ンオフ時に発生するサージは、各コンデンサＣ₁ 、Ｃ₂
によって速やかに吸収される。このサージ吸収によって
各コンデンサＣ₁ 、Ｃ₂ に蓄えられたサージ電荷は、コ
ンデンサＣ₁ 、Ｃ₂ の容量に依存することなく、直ぐに
解放されるので、高周波スイッチングの場合でも、これ
らコンデンサＣ₁ 、Ｃ₂ を大容量化することで、サージ
吸収能力を向上できる。

【０１００】一方、各抵抗Ｒ₁ 、Ｒ₂ の値を適度な大き
さにすると、コンデンサＣ₁ 、Ｃ₂と回路のインダクタ
ンス成分の共振を防止でき、リンギングを発生させるこ
となく、サージを吸収できる。

【０１０１】さらに、コンデンサＣ´を接続することに
より、残留サージの吸収ができ、よりサージ吸収能力が
向上する。図１０は各スイッチング素子Ｑ₁ 、Ｑ₂ の個
々に印加される電圧波形を示す図である。

【０１０２】この電圧波形に示すように、大きなリンギ
ングノイズｎ_rは消滅し、かつ大きなサージｎ_sもほぼ完
全に吸収できる。このようなスナバ回路を接続すること
により、インダクタンス成分の比較的大きな回路で、複
数のスイッチング素子を必要とする大容量のスイッチン
グ動作を、高い信頼性で実現できる。

【０１０３】図１１は実際に電源装置のスイッチング素
子Ｑ₁ 〜Ｑ₄ に適用するスイッチングスナバ回路（ＣＲ
Ｄスナバ回路）の構成図である。スイッチング素子Ｑ₁
のコレクターエミッタ間には、コンデンサＣ₁ と抵抗Ｒ
₁ との直列回路が接続され、かつ抵抗Ｒ₁ に対してダイ
オードＤ₁ が並列接続されている。

【０１０４】又、スイッチング素子Ｑ₂ のコレクターエ
ミッタ間には、コンデンサＣ₂ と抵抗Ｒ₂ との直列回路
が接続され、かつ抵抗Ｒ₂ に対してダイオードＤ₂ が並
列接続されている。

【０１０５】そして、各スイッチング素子Ｑ₁ 、Ｑ₂ の
間にコンデンサＣ₁ ´が並列接続されている。一方、ス
イッチング素子Ｑ₃ のコレクターエミッタ間には、コン
デンサＣ₃ と抵抗Ｒ₃ との直列回路が接接され、かつ抵
抗Ｒ₃ に対してダイオードＤ₃ が並列接続されている。

【０１０６】又、スイッチング素子Ｑ₄ のコレクターエ
ミッタ間には、コンデンサＣ₄ と抵抗Ｒ₄ との直列回路
が接続され、かつ抵抗Ｒ₄ に対してダイオードＤ₄ が並
列接続されている。

【０１０７】そして、各スイッチング素子Ｑ₃ 、Ｑ₄ の
間にコンデンサＣ₂ ´が並列接続されている。図１２は
実際に電源装置のスイッチング素子Ｑ₁ 〜Ｑ₄ に適用す
る他のスイッチングスナバ回路（ＣＲＤスナバ回路）の
構成図である。

【０１０８】各スイッチング素子Ｑ₁ 、Ｑ₂ には、それ
ぞれコンデンサＣ₁₁、Ｃ₁₂が並列接続されている。又、
これらスイッチング素子Ｑ₁ 、Ｑ₂ には、ダイオードＤ
₁₁とコンデンサＣ₁₁´との直列回路が接続され、かつダ
イオードＤ₁₁に対して抵抗Ｒ₁₁が並列接続されている。

【０１０９】一方、スイッチング素子Ｑ₃ 、Ｑ₄ には、
それぞれコンデンサＣ₁₃、Ｃ₁₄が並列接続されている。
又、これらスイッチング素子Ｑ₃ 、Ｑ₄ には、ダイオー
ドＤ₁₃とコンデンサＣ₁₃´との直列回路が接続され、か
つダイオードＤ₁₃に対して抵抗Ｒ₁₃が並列接続されてい
る。

【０１１０】しかるに、電流容量の増加に伴い、スイッ
チング素子の並列接続数を増やす場合は、図１１に示す
ようにＣＲＤスナバ回路を並列に追加接続する。又、電
圧容量の増加に伴い、スイッチング素子の直列接続数を
増やす場合は、各スイッチング素子に接続するＣＲＤス
ナバ回路のみを追加接続すればよい。

【０１１１】そして、本発明の以上の説明においては、
全て矩形波を用いて説明したが、それには限定されず、
三角波などでよいのは勿論である。本発明は、出力指示
電流の変化率を指標にして制御を行っているので、出力
指示電流の変化が起こる波形であればよいからである。

【０１１２】

【発明の効果】以上詳記したように本発明の請求項１に
よれば、電流リップルを低減できるとともに出力応答速
度を速くできる電力供給方法を提供できる。又、本発明
の請求項２〜５によれば、電流リップルを低減できると
ともに出力応答速度を速くできる電源装置を提供でき
る。

【０１１３】又、本発明の請求項６によれば、パルスレ
ーザ装置において低出力リプル、応答速度の優れたパル
スレーザ出力動作をすることができ、そのパルスレーザ
光に対する波形制御の性能を大きく向上できるパルスレ
ーザ装置に適用するに最適な電源装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる電源装置の第１の実施の形態を
示す構成図。

【図２】スイッチング素子及びダイオードによる動作の
波形図。

【図３】ＬＣフィルタ回路の動作を説明するための図。

【図４】本発明に係わる電源装置の第２の実施の形態を
示す構成図。

【図５】本発明に係わる電源装置の第３の実施の形態を
示す構成図。

【図６】可飽和リアクトルの作用を説明するための図。

【図７】可飽和リアクトルの作用におけるＢ−Ｈ曲線を
示す図。

【図８】パルス電流出力に対する可飽和リアクトルに流
れるコイル電流の波形図。

【図９】スイッチング素子に適用するスイッチングスナ
バ回路の構成図。

【図１０】スイッチング素子個々に印加される電圧波形
図。

【図１１】実際にスイッチング素子に適用するスイッチ
ングスナバ回路の構成図。

【図１２】実際にスイッチング素子に適用するスイッチ
ングスナバ回路の構成図。

【図１３】従来の電源装置の構成図。

【図１４】同装置における動作を説明するための波形
図。

【図１５】キャパシタンス値による電流リップルの変化
を示す図。

【図１６】電流リップルと出力応答速度とのトレードオ
フの関係を示す図。

【符号の説明】

Ｑ₁ 〜Ｑ₄ …スイッチング素子、Ｄ₁ 〜Ｄ₄ …ダイオード、１０…指示出力回路、１１…スイッチング素子制御回路、１２…スイッチング素子ドライバ回路、１３，２０，３０…ＬＣフィルタ回路（平均化回路）、１４ａ〜１４ｅ…リアクトル、１５−１〜１５−４…絶縁ゲート・バイポーラ・トラン
ジスタ（ＩＧＢＴ）、１６，２３…ＩＧＢＴ制御回路、２１ａ〜２１ｅ…コンデンサ、２２−１〜２２−４…ＩＧＢＴ、３２…可飽和リアクトル、３５…磁気スイッチ電源回路。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】直流電力を所定の周波数のパルス列に変
換し、この所定の周波数のパルス列をＬＣ回路を通して
所定波形の出力電流を得る電力供給方法において、前記出力電流の出力指示をする出力指示電流の電流変化
率が所定の閾値以上のときに前記ＬＣ回路のＬＣ値を減
少させ、かつ前記出力指示電流の電流変化率が前記所定
の閾値未満のときに前記ＬＣ回路のＬＣ値を増加させて
出力電力を制御することを特徴とする電力供給方法。
【請求項２】直流電力を所定の周波数のパルス列に変
換し、この所定の周波数のパルス列をＬＣ回路を通して
所定波形の出力電流を得る電源装置において、前記ＬＣ回路は、インダクタンス成分又はキャパシタン
ス成分のうちいずれか一方が可変に構成され、かつ前記出力電流の出力指示をする出力指示電流の電流
変化率の値に応じて前記ＬＣ回路のインダクタンス成分
又はキャパシタンス成分を可変し、前記出力指示電流の
電流変化率が所定の閾値以上のときに前記ＬＣ回路のＬ
Ｃ値を減少させ、かつ前記出力指示電流の電流変化率が
所定の閾値未満のときに前記ＬＣ回路のＬＣ値を増加さ
せて出力電力を制御する制御手段、を備えたことを特徴
とする電源装置。
【請求項３】前記ＬＣ回路は、直列接続された複数の
リアクトルと、これらリアクトルにそれぞれ並列接続さ
れた複数のスイッチング素子と、前記各リアクトルに対
して並列接続されたコンデンサとを有し、かつ前記制御手段は、前記出力指示電流の電流変化率が
所定の閾値以上のときに前記スイッチング素子をオンさ
せて前記ＬＣ回路のＬＣ値を減少させ、前記出力指示電
流の電流変化率が前記所定の閾値未満のときに前記スイ
ッチング素子をオフさせて前記ＬＣ回路のＬＣ値を増加
させて出力電力を制御する機能を有することを特徴とす
る請求項２記載の電源装置。
【請求項４】前記ＬＣ回路は、リアクトルと、このリ
アクトルに対して並列接続された複数のコンデンサと、
これらコンデンサに対してそれぞれ直列接続された複数
のスイッチング素子とを有し、かつ前記制御手段は、前記出力指示電流の電流変化率が
所定の閾値以上のときに前記スイッチング素子をオフさ
せて前記ＬＣ回路のＬＣ値を減少させ、前記出力指示電
流の電流変化率が前記所定の閾値未満のときに前記スイ
ッチング素子をオンさせて前記ＬＣ回路のＬＣ値を増加
させて出力電力を制御する機能を有することを特徴とす
る請求項２記載の電源装置。
【請求項５】前記ＬＣ回路は、前記出力電流の流れる
導体を囲んで配置された可飽和リアクトルと、この可飽
和リアクトルに対して接続されたコンデンサとを有し、かつ前記制御手段は、前記出力指示電流の電流変化率が
所定の閾値以上のときに前記可飽和リアクトルのインダ
クタンス値を減少させ、かつ前記出力指示電流の電流変
化率が前記所定の閾値未満のときに前記可飽和リアクト
ルのインダクタンス値を増加させて出力電力を制御する
機能を有することを特徴とする請求項２記載の電源装
置。
【請求項６】直流電力を所定の周波数のパルス列に変
換し、この所定の周波数のパルス列を平均化して所定波
形の出力電流を、レーザ媒質を光励起する励起ランプに
供給することを特徴とする請求項２、３、４又は５記載
の電源装置。