JPH10141831A - 恒温冷媒液の循環装置 - Google Patents
恒温冷媒液の循環装置Info
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- JPH10141831A JPH10141831A JP31694996A JP31694996A JPH10141831A JP H10141831 A JPH10141831 A JP H10141831A JP 31694996 A JP31694996 A JP 31694996A JP 31694996 A JP31694996 A JP 31694996A JP H10141831 A JPH10141831 A JP H10141831A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンパクトで、かつ液漏れ防止の配慮の必要
がない恒温冷媒液の循環装置を提供する。 【解決手段】 恒温冷媒液の循環装置２１が、圧縮機
６、凝縮器７、減圧器８、蒸発器９を順次直列に接続し
た冷凍回路２２と、冷媒液のタンク２５、負荷２から還
流する高温の冷媒液を蒸発器９によって冷却する熱交換
器１５、この冷媒液を加熱して所定の温度とするヒータ
１２、この冷媒液を負荷２に供給して循環させるポンプ
１４、ポンプの出口近くの温度を検出する温度センサ１
７、及び該温度センサの検出温度と設定温度とを対比し
てヒータへの通電量を制御する温度コントローラ１８を
有する循環回路２３を備え、タンク２５に、熱交換器１
５とヒータ１２とポンプ１４とを組み込ませる。
がない恒温冷媒液の循環装置を提供する。 【解決手段】 恒温冷媒液の循環装置２１が、圧縮機
６、凝縮器７、減圧器８、蒸発器９を順次直列に接続し
た冷凍回路２２と、冷媒液のタンク２５、負荷２から還
流する高温の冷媒液を蒸発器９によって冷却する熱交換
器１５、この冷媒液を加熱して所定の温度とするヒータ
１２、この冷媒液を負荷２に供給して循環させるポンプ
１４、ポンプの出口近くの温度を検出する温度センサ１
７、及び該温度センサの検出温度と設定温度とを対比し
てヒータへの通電量を制御する温度コントローラ１８を
有する循環回路２３を備え、タンク２５に、熱交換器１
５とヒータ１２とポンプ１４とを組み込ませる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、負荷に恒温の冷媒
液を供給する恒温冷媒液の循環装置に関するものであ
る。
液を供給する恒温冷媒液の循環装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体の製造装置においては、該
装置（負荷）の温度を所定の温度に維持するために、恒
温の水またはブライン等の冷媒液を供給する必要があ
り、負荷によって温度が上昇した上記冷媒液は、冷凍回
路の蒸発器で冷却された後再度負荷に供給される。しか
しながら、冷凍回路中の圧縮機のオンオフのみによって
は、冷媒液の温度を正確に制御することが困難なため
に、冷凍回路の蒸発器によって一旦冷却した冷媒液を、
ヒータで加熱して所定の温度の冷媒液としている。
装置（負荷）の温度を所定の温度に維持するために、恒
温の水またはブライン等の冷媒液を供給する必要があ
り、負荷によって温度が上昇した上記冷媒液は、冷凍回
路の蒸発器で冷却された後再度負荷に供給される。しか
しながら、冷凍回路中の圧縮機のオンオフのみによって
は、冷媒液の温度を正確に制御することが困難なため
に、冷凍回路の蒸発器によって一旦冷却した冷媒液を、
ヒータで加熱して所定の温度の冷媒液としている。
【０００３】図５は公知の恒温冷媒液の循環装置の一例
を示し、この恒温冷媒液の循環装置１は、負荷２におい
て温度が上昇した冷媒液を冷却するための冷凍回路３
と、該冷凍回路によって冷却した冷媒液を所定の温度に
調節した後、負荷２に供給して循環させる循環回路４と
を備えている。上記冷凍回路３は、適宜の冷媒を圧縮し
て高温高圧のガスとする圧縮機６と、このガスを冷却凝
縮して高圧の冷媒液とする凝縮器７と、この冷媒液を減
圧して低温化する減圧器（図示の例は減圧弁）８と、減
圧した冷媒を蒸発させる蒸発器９と、アキュムレータ１
０とを順次直列に接続したものとして構成されている。
また、上記冷凍回路３には、蒸発器９の負荷が小さいと
きに圧縮機６で圧縮した冷媒を直接アキュムレータ１０
に還流させる過熱防止回路１１と、該回路中の過熱防止
弁１１ａとを備え、過熱防止弁１１ａは、アキュムレー
タ１０の上流の冷媒温度を検出する温度センサ１１ｂに
よって過熱防止回路１１を開閉する。
を示し、この恒温冷媒液の循環装置１は、負荷２におい
て温度が上昇した冷媒液を冷却するための冷凍回路３
と、該冷凍回路によって冷却した冷媒液を所定の温度に
調節した後、負荷２に供給して循環させる循環回路４と
を備えている。上記冷凍回路３は、適宜の冷媒を圧縮し
て高温高圧のガスとする圧縮機６と、このガスを冷却凝
縮して高圧の冷媒液とする凝縮器７と、この冷媒液を減
圧して低温化する減圧器（図示の例は減圧弁）８と、減
圧した冷媒を蒸発させる蒸発器９と、アキュムレータ１
０とを順次直列に接続したものとして構成されている。
また、上記冷凍回路３には、蒸発器９の負荷が小さいと
きに圧縮機６で圧縮した冷媒を直接アキュムレータ１０
に還流させる過熱防止回路１１と、該回路中の過熱防止
弁１１ａとを備え、過熱防止弁１１ａは、アキュムレー
タ１０の上流の冷媒温度を検出する温度センサ１１ｂに
よって過熱防止回路１１を開閉する。
【０００４】上記循環回路４は、ヒータ１２を組み込ん
だ冷媒液のタンク１３と、ヒータ１２で所定の温度に加
熱した冷媒液を負荷２に供給して循環させるポンプ１４
と、上記負荷２と、負荷２によって温度が上昇した冷媒
液を冷却する熱交換器１５と、上記タンクとを、それぞ
れ配管１６，・・によって順次直列に接続したものとし
て構成されている。そして、負荷２によって温度が上昇
した冷媒液は、熱交換器１５に設けた上記蒸発器９を流
れる冷媒によって冷却される。タンク１３は、該タンク
の出口近くの冷媒液の温度を検出して信号を出力する温
度センサ１７を備え、負荷２に供給される冷媒液の温度
は、温度センサ１７が検出した温度と所定の設定温度と
を対比してヒータ１２の通電量、換言すれば加熱量を制
御する温度コントローラ１８によって調節される。
だ冷媒液のタンク１３と、ヒータ１２で所定の温度に加
熱した冷媒液を負荷２に供給して循環させるポンプ１４
と、上記負荷２と、負荷２によって温度が上昇した冷媒
液を冷却する熱交換器１５と、上記タンクとを、それぞ
れ配管１６，・・によって順次直列に接続したものとし
て構成されている。そして、負荷２によって温度が上昇
した冷媒液は、熱交換器１５に設けた上記蒸発器９を流
れる冷媒によって冷却される。タンク１３は、該タンク
の出口近くの冷媒液の温度を検出して信号を出力する温
度センサ１７を備え、負荷２に供給される冷媒液の温度
は、温度センサ１７が検出した温度と所定の設定温度と
を対比してヒータ１２の通電量、換言すれば加熱量を制
御する温度コントローラ１８によって調節される。
【０００５】上記公知の恒温冷媒液の循環装置１は、熱
交換器１５において冷却した冷媒液を、温度コントロー
ラ１８で加熱量が制御されるヒータ１２によって加熱す
るために、負荷２に供給する冷媒液の温度を、温度コン
トローラ１８の設定温度に正確に制御することができ
る。しかしながら、タンク１３、ポンプ１４及び熱交換
器１５を個別に設置し、これらを合成樹脂チューブや金
属パイプ等の配管１６，・・でそれぞれ接続しているた
めに、装置全体の組立工数が多くなってコストがアップ
するばかりでなく、設置スペースが大きくなり、しか
も、これらの機器と配管１６，・・との接続部における
液漏れ防止についての配慮が必要になる。
交換器１５において冷却した冷媒液を、温度コントロー
ラ１８で加熱量が制御されるヒータ１２によって加熱す
るために、負荷２に供給する冷媒液の温度を、温度コン
トローラ１８の設定温度に正確に制御することができ
る。しかしながら、タンク１３、ポンプ１４及び熱交換
器１５を個別に設置し、これらを合成樹脂チューブや金
属パイプ等の配管１６，・・でそれぞれ接続しているた
めに、装置全体の組立工数が多くなってコストがアップ
するばかりでなく、設置スペースが大きくなり、しか
も、これらの機器と配管１６，・・との接続部における
液漏れ防止についての配慮が必要になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、コンパクトで、かつ液漏れ防止の配慮の必
要がない恒温冷媒液の循環装置を提供することにある。
する課題は、コンパクトで、かつ液漏れ防止の配慮の必
要がない恒温冷媒液の循環装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の恒温冷媒液の循環装置は、冷媒の圧縮機、
凝縮器、減圧器及び蒸発器を順次直列に接続した冷凍回
路と；冷媒液のタンク、冷媒液を上記蒸発器によって冷
却する熱交換器、該熱交換器で冷却した冷媒液を加熱す
るヒータ、該ヒータで加熱した冷媒液を負荷に供給して
循環させるポンプ、該ポンプの入口または出口近くの冷
媒液の温度を検出して信号を出力する温度センサ、及び
温度センサが検出した温度と所定の設定温度との対比に
より上記ヒーターの通電量を制御して冷媒液を所定の設
定温度とする温度コントローラを有する冷媒液の循環回
路；とを備えた恒温冷媒液の循環装置において、上記熱
交換器、ヒータ及びポンプを上記タンクに組み込んだこ
とを特徴としている。
め、本発明の恒温冷媒液の循環装置は、冷媒の圧縮機、
凝縮器、減圧器及び蒸発器を順次直列に接続した冷凍回
路と；冷媒液のタンク、冷媒液を上記蒸発器によって冷
却する熱交換器、該熱交換器で冷却した冷媒液を加熱す
るヒータ、該ヒータで加熱した冷媒液を負荷に供給して
循環させるポンプ、該ポンプの入口または出口近くの冷
媒液の温度を検出して信号を出力する温度センサ、及び
温度センサが検出した温度と所定の設定温度との対比に
より上記ヒーターの通電量を制御して冷媒液を所定の設
定温度とする温度コントローラを有する冷媒液の循環回
路；とを備えた恒温冷媒液の循環装置において、上記熱
交換器、ヒータ及びポンプを上記タンクに組み込んだこ
とを特徴としている。
【０００８】また、同様の課題を解決するため、本発明
の恒温冷媒液の循環装置は、冷却水の供給手段と；冷媒
液のタンク、冷媒液を上記冷却水によって冷却する熱交
換器、該熱交換器で冷却した冷媒液を加熱するヒータ、
該ヒータで加熱した冷媒液を負荷に供給して循環させる
ポンプ、該ポンプの入口または出口近くの冷媒液の温度
を検出して信号を出力する温度センサ、及び温度センサ
が検出した温度と所定の設定温度との対比により上記ヒ
ーターの通電量を制御して冷媒液を所定の設定温度とす
る温度コントローラを有する冷媒液の循環回路；とを備
えた恒温冷媒液の循環装置において、上記熱交換器、ヒ
ータ及びポンプを上記タンクに組み込んだことを特徴と
している。
の恒温冷媒液の循環装置は、冷却水の供給手段と；冷媒
液のタンク、冷媒液を上記冷却水によって冷却する熱交
換器、該熱交換器で冷却した冷媒液を加熱するヒータ、
該ヒータで加熱した冷媒液を負荷に供給して循環させる
ポンプ、該ポンプの入口または出口近くの冷媒液の温度
を検出して信号を出力する温度センサ、及び温度センサ
が検出した温度と所定の設定温度との対比により上記ヒ
ーターの通電量を制御して冷媒液を所定の設定温度とす
る温度コントローラを有する冷媒液の循環回路；とを備
えた恒温冷媒液の循環装置において、上記熱交換器、ヒ
ータ及びポンプを上記タンクに組み込んだことを特徴と
している。
【０００９】
【作用】負荷を冷却して高温となった冷媒液は、タンク
に組み込んだ熱交換器の蒸発器を流れる冷媒、または熱
交換器を流れる冷却水によって冷却された後、ヒータで
加熱されて所定の温度の冷媒液となり、ポンプにより負
荷に供給されて負荷を冷却した後上記熱交換器に還流す
る。この場合、負荷に供給される冷媒液の温度は、熱交
換器において冷却された冷媒液を、温度コントローラに
よって加熱量が制御されるヒータで加熱されるために正
確に制御することができ、その温度は温度コントローラ
によって調節することができる。また、タンクに、熱交
換器、ヒータ及びポンプを組み込んだことにより、タン
クと熱交換器及びポンプとを配管によって接続する必要
がないので、組立工数が少なくなって組立が簡単であ
り、しかも、これらの配管接続部の液漏れについての配
慮の必要がない。さらに、装置全体ががコンパクトにな
るので、設置スペースを大幅に小さくすることができ
る。
に組み込んだ熱交換器の蒸発器を流れる冷媒、または熱
交換器を流れる冷却水によって冷却された後、ヒータで
加熱されて所定の温度の冷媒液となり、ポンプにより負
荷に供給されて負荷を冷却した後上記熱交換器に還流す
る。この場合、負荷に供給される冷媒液の温度は、熱交
換器において冷却された冷媒液を、温度コントローラに
よって加熱量が制御されるヒータで加熱されるために正
確に制御することができ、その温度は温度コントローラ
によって調節することができる。また、タンクに、熱交
換器、ヒータ及びポンプを組み込んだことにより、タン
クと熱交換器及びポンプとを配管によって接続する必要
がないので、組立工数が少なくなって組立が簡単であ
り、しかも、これらの配管接続部の液漏れについての配
慮の必要がない。さらに、装置全体ががコンパクトにな
るので、設置スペースを大幅に小さくすることができ
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１及び図２は本発明の第１実施
例を示し、この恒温冷媒液の循環装置２１は、負荷２に
おいて温度が上昇した冷媒液を冷却するための冷凍回路
２２と、該冷凍回路２２によって冷却した冷媒液を所定
の温度に調節して負荷に供給循環させる冷媒液の循環回
路２３とを備えている。上記冷凍回路２２は、公知の冷
凍回路３と同一の構成を備えているので、図の同一の箇
所に同一の符号を付して説明は省略する。
例を示し、この恒温冷媒液の循環装置２１は、負荷２に
おいて温度が上昇した冷媒液を冷却するための冷凍回路
２２と、該冷凍回路２２によって冷却した冷媒液を所定
の温度に調節して負荷に供給循環させる冷媒液の循環回
路２３とを備えている。上記冷凍回路２２は、公知の冷
凍回路３と同一の構成を備えているので、図の同一の箇
所に同一の符号を付して説明は省略する。
【００１１】上記循環回路２３は、冷媒液を貯留するタ
ンク２５を備え、該タンク２５の上面に、冷凍回路２２
の上記蒸発器９によって冷媒液を冷却する熱交換器１
５、この冷媒液を加熱するヒータ１２、及びヒータで加
熱した冷媒液を負荷２に供給して循環させるポンプ１４
が、それぞれ組み込まれている。また、タンク２５の一
側面上方にはタンクに水やブライン等の冷媒液を供給す
る供給口２６ａが、下方には弁２７によって開閉される
ドレン口２６ｂがそれぞれ設けられており、上面を含む
タンク２５の全外周面は、適宜の保温材によって被覆さ
れている。上記タンク２５には、供給口２６ａから所望
の量の冷媒液が供給され、冷媒液の液位はレベルゲージ
２８によって検出することができ、冷媒液の供給後、供
給口２６ａは適宜の手段によって閉鎖される。
ンク２５を備え、該タンク２５の上面に、冷凍回路２２
の上記蒸発器９によって冷媒液を冷却する熱交換器１
５、この冷媒液を加熱するヒータ１２、及びヒータで加
熱した冷媒液を負荷２に供給して循環させるポンプ１４
が、それぞれ組み込まれている。また、タンク２５の一
側面上方にはタンクに水やブライン等の冷媒液を供給す
る供給口２６ａが、下方には弁２７によって開閉される
ドレン口２６ｂがそれぞれ設けられており、上面を含む
タンク２５の全外周面は、適宜の保温材によって被覆さ
れている。上記タンク２５には、供給口２６ａから所望
の量の冷媒液が供給され、冷媒液の液位はレベルゲージ
２８によって検出することができ、冷媒液の供給後、供
給口２６ａは適宜の手段によって閉鎖される。
【００１２】図２に詳細を示すように、上記熱交換器１
５は、負荷２から還流する高温の冷媒液が流れる冷媒液
流路と、冷凍回路２２の冷媒が流れる蒸発器９とを備
え、冷媒液流路の入口１５ａは配管１６ｂによって負荷
２の出口２ｂに接続され、蒸発器９によって冷却された
冷媒液は、冷媒液流路の出口１５ｂからタンク２５内に
直接流出する。ヒータ１２は、熱交換器１５とポンプ１
４との間に設けられ、その先端はポンプの下方まで延出
されている。上記ポンプ１４は、タンク２５内の冷媒液
に没入させたポンプ本体２９と、タンク２５の上面に位
置する電動機３０とを備え、ポンプ本体２９の入口１４
ａはタンク２５内に開口し、出口１４ｂは配管１６ａに
よって負荷２の入口２ａに接続されている。そして、ポ
ンプ１４によって負荷２に供給された冷媒液は、配管１
６ｂを通って熱交換器１５に還流する。
５は、負荷２から還流する高温の冷媒液が流れる冷媒液
流路と、冷凍回路２２の冷媒が流れる蒸発器９とを備
え、冷媒液流路の入口１５ａは配管１６ｂによって負荷
２の出口２ｂに接続され、蒸発器９によって冷却された
冷媒液は、冷媒液流路の出口１５ｂからタンク２５内に
直接流出する。ヒータ１２は、熱交換器１５とポンプ１
４との間に設けられ、その先端はポンプの下方まで延出
されている。上記ポンプ１４は、タンク２５内の冷媒液
に没入させたポンプ本体２９と、タンク２５の上面に位
置する電動機３０とを備え、ポンプ本体２９の入口１４
ａはタンク２５内に開口し、出口１４ｂは配管１６ａに
よって負荷２の入口２ａに接続されている。そして、ポ
ンプ１４によって負荷２に供給された冷媒液は、配管１
６ｂを通って熱交換器１５に還流する。
【００１３】上記循環回路２３は、ポンプの出口１４ｂ
近くの冷媒液の温度を検出して信号を出力する温度セン
サ１７を備え、ヒータ１２の通電量（加熱量）は、温度
センサ１７が検出した温度と所定の設定温度とを対比し
て温度信号を出力する温度コントローラ１８によって制
御される。また、図２に概略を示すように、蒸発器９を
除く冷凍回路２２の各機器は機枠２０の下部に設置さ
れ、熱交換器１５、ヒータ１２及びポンプ１４をそれぞ
れ組み込んだタンク２５は、機枠２０の上部に設置され
ている。
近くの冷媒液の温度を検出して信号を出力する温度セン
サ１７を備え、ヒータ１２の通電量（加熱量）は、温度
センサ１７が検出した温度と所定の設定温度とを対比し
て温度信号を出力する温度コントローラ１８によって制
御される。また、図２に概略を示すように、蒸発器９を
除く冷凍回路２２の各機器は機枠２０の下部に設置さ
れ、熱交換器１５、ヒータ１２及びポンプ１４をそれぞ
れ組み込んだタンク２５は、機枠２０の上部に設置され
ている。
【００１４】上記第１実施例は、タンク２５内の冷媒液
がポンプ１４によって循環回路２３を循環し、冷却用の
冷媒が圧縮機６によって冷凍回路２２を循環する。負荷
２の出口２ｂから配管１６ｂを通って熱交換器１５の入
口１５ａに還流した高温の冷媒液は、熱交換器１５に設
けた蒸発器９を流れる冷却用冷媒で冷却されて出口１５
ｂからタンク２５内に直接流出し、ヒータ１２で加熱さ
れて所定の温度の冷媒液となり、ポンプ１４で加圧され
て配管１６ａを通って負荷２に供給される。この場合、
ヒータ１２による冷媒液の加熱量は、ポンプの出口１４
ｂ近くの冷媒液の温度を温度センサ１７が検出し、温度
コントローラ１８が、この検出温度と該コントローラ１
８に予め設定した設定温度とを対比してヒータ１２への
通電量を増減することにより調節される。したがって、
負荷２に供給する冷媒液の温度を温度コントローラ１８
の設定温度に正確に制御することができ、この温度は温
度コントローラ１８の設定温度の変更によって調節する
ことができる。
がポンプ１４によって循環回路２３を循環し、冷却用の
冷媒が圧縮機６によって冷凍回路２２を循環する。負荷
２の出口２ｂから配管１６ｂを通って熱交換器１５の入
口１５ａに還流した高温の冷媒液は、熱交換器１５に設
けた蒸発器９を流れる冷却用冷媒で冷却されて出口１５
ｂからタンク２５内に直接流出し、ヒータ１２で加熱さ
れて所定の温度の冷媒液となり、ポンプ１４で加圧され
て配管１６ａを通って負荷２に供給される。この場合、
ヒータ１２による冷媒液の加熱量は、ポンプの出口１４
ｂ近くの冷媒液の温度を温度センサ１７が検出し、温度
コントローラ１８が、この検出温度と該コントローラ１
８に予め設定した設定温度とを対比してヒータ１２への
通電量を増減することにより調節される。したがって、
負荷２に供給する冷媒液の温度を温度コントローラ１８
の設定温度に正確に制御することができ、この温度は温
度コントローラ１８の設定温度の変更によって調節する
ことができる。
【００１５】上記第１実施例は、タンク２５に、熱交換
器１５、ヒータ１２及びポンプ１４を組み込んだので、
これらの機器相互をチューブやパイプ等の配管で接続す
る必要がない。したがって、循環装置２１がコンパクト
になって設置スペースを大幅に小さくすることができ、
かつ組立工数が少なくなるので装置の現場での組立が容
易でコストを低減させることができる。また、配管接続
部を負荷２の入口２ａ側と出口２ｂ側とにすることがで
きるので、配管接続部からの液漏れを殆ど考慮する必要
がなく、しかも熱交換器１５等をタンク２５に組み込ん
だことにより、保温や保冷が必要な面積を最小にするこ
とができる。さらに、熱交換器１５、ヒータ１２及びポ
ンプ１４をタンク２５の上面に組み込んだことと、タン
ク２５を機枠２０の上部に設けたこととによって、これ
らの部材の取付けや取外しが容易であるから、メンテナ
ンスが簡単である。
器１５、ヒータ１２及びポンプ１４を組み込んだので、
これらの機器相互をチューブやパイプ等の配管で接続す
る必要がない。したがって、循環装置２１がコンパクト
になって設置スペースを大幅に小さくすることができ、
かつ組立工数が少なくなるので装置の現場での組立が容
易でコストを低減させることができる。また、配管接続
部を負荷２の入口２ａ側と出口２ｂ側とにすることがで
きるので、配管接続部からの液漏れを殆ど考慮する必要
がなく、しかも熱交換器１５等をタンク２５に組み込ん
だことにより、保温や保冷が必要な面積を最小にするこ
とができる。さらに、熱交換器１５、ヒータ１２及びポ
ンプ１４をタンク２５の上面に組み込んだことと、タン
ク２５を機枠２０の上部に設けたこととによって、これ
らの部材の取付けや取外しが容易であるから、メンテナ
ンスが簡単である。
【００１６】図３は第１実施例の変形例を示し、この変
形例は、冷凍回路２２を流れる冷媒と循環回路２３を流
れる冷媒液が、タンク２５Ａの側面から給排される。上
記変形例の他の構成及び作用は第１実施例と同じである
から、図の主要な同一の箇所に同一の符号を付して詳細
な説明は省略する。
形例は、冷凍回路２２を流れる冷媒と循環回路２３を流
れる冷媒液が、タンク２５Ａの側面から給排される。上
記変形例の他の構成及び作用は第１実施例と同じである
から、図の主要な同一の箇所に同一の符号を付して詳細
な説明は省略する。
【００１７】図４は本発明の第２実施例を示し、この恒
温冷媒液の循環装置３１は、冷凍回路２２に代わる冷却
水の供給手段３２を備え、熱交換器１５を通る高温の冷
媒液は、上記供給手段３２によって供給される冷却水で
冷却される。上記冷却水の供給手段３２は、例えば図示
を省略しているポンプ等によって熱交換器１５に冷却水
を供給するもので、冷却水の流量は流量コントローラ３
３によって制御される。第２実施例の他の構成及び作用
は第１実施例と同じであるから、図の主要な同一の箇所
に同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。第２実
施例は、冷凍回路２２を必要としないので、第１実施例
に比べて恒温液の循環装置を安価なものとすることがで
きる。
温冷媒液の循環装置３１は、冷凍回路２２に代わる冷却
水の供給手段３２を備え、熱交換器１５を通る高温の冷
媒液は、上記供給手段３２によって供給される冷却水で
冷却される。上記冷却水の供給手段３２は、例えば図示
を省略しているポンプ等によって熱交換器１５に冷却水
を供給するもので、冷却水の流量は流量コントローラ３
３によって制御される。第２実施例の他の構成及び作用
は第１実施例と同じであるから、図の主要な同一の箇所
に同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。第２実
施例は、冷凍回路２２を必要としないので、第１実施例
に比べて恒温液の循環装置を安価なものとすることがで
きる。
【００１８】
【発明の効果】本発明における恒温冷媒液の循環装置
は、冷媒液のタンクに、負荷から還流した高温の冷媒液
を冷却する熱交換器と、該熱交換器において冷却した冷
媒液を加熱して所定の温度の冷媒液とするヒータと、こ
の冷媒液を負荷に供給するポンプとをそれぞれ組み込ん
だことにより、これらの機器相互を配管によって接続す
る必要がないので、装置の組立工数が少なくなりかつメ
ンテナンスが容易であり、しかも配管接続部の液漏れ防
止についての配慮を殆どなくすことができる。また、装
置がコンパクトになるので設置スペースを小さくするこ
とができ、かつ冷媒液の保温が必要な面積を小さくする
ことができる。
は、冷媒液のタンクに、負荷から還流した高温の冷媒液
を冷却する熱交換器と、該熱交換器において冷却した冷
媒液を加熱して所定の温度の冷媒液とするヒータと、こ
の冷媒液を負荷に供給するポンプとをそれぞれ組み込ん
だことにより、これらの機器相互を配管によって接続す
る必要がないので、装置の組立工数が少なくなりかつメ
ンテナンスが容易であり、しかも配管接続部の液漏れ防
止についての配慮を殆どなくすことができる。また、装
置がコンパクトになるので設置スペースを小さくするこ
とができ、かつ冷媒液の保温が必要な面積を小さくする
ことができる。
【図１】第１実施例の構成図である。
【図２】同じく要部の正面図である。
【図３】変形例の要部の正面図である。
【図４】第２実施例の構成図である。
【図５】公知の恒温冷媒液の循環装置の構成図である。
９ 蒸発器 １２ ヒータ １４ ポンプ １５ 熱交換器 １７ 温度センサ １８ 温度コントローラ ２１，３１ 恒温冷媒液の循環装置 ２２ 冷凍回路 ２３ 循環回路 ２５，２５Ａ タンク ３２ 冷却水供給手段
Claims (2)
- 【請求項１】冷媒の圧縮機、凝縮器、減圧器及び蒸発器
を順次直列に接続した冷凍回路と；冷媒液のタンク、冷
媒液を上記蒸発器によって冷却する熱交換器、該熱交換
器で冷却した冷媒液を加熱するヒータ、該ヒータで加熱
した冷媒液を負荷に供給して循環させるポンプ、該ポン
プの入口または出口近くの冷媒液の温度を検出して信号
を出力する温度センサ、及び温度センサが検出した温度
と所定の設定温度との対比により上記ヒーターの通電量
を制御して冷媒液を所定の設定温度とする温度コントロ
ーラを有する冷媒液の循環回路；とを備えた恒温冷媒液
の循環装置において、 上記熱交換器、ヒータ及びポンプを上記タンクに組み込
んだ、ことを特徴とする恒温冷媒液の循環装置。 - 【請求項２】冷却水の供給手段と；冷媒液のタンク、冷
媒液を上記冷却水によって冷却する熱交換器、該熱交換
器で冷却した冷媒液を加熱するヒータ、該ヒータで加熱
した冷媒液を負荷に供給して循環させるポンプ、該ポン
プの入口または出口近くの冷媒液の温度を検出して信号
を出力する温度センサ、及び温度センサが検出した温度
と所定の設定温度との対比により上記ヒーターの通電量
を制御して冷媒液を所定の設定温度とする温度コントロ
ーラを有する冷媒液の循環回路；とを備えた恒温冷媒液
の循環装置において、 上記熱交換器、ヒータ及びポンプを上記タンクに組み込
んだ、ことを特徴とする恒温冷媒液の循環装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31694996A JPH10141831A (ja) | 1996-11-13 | 1996-11-13 | 恒温冷媒液の循環装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31694996A JPH10141831A (ja) | 1996-11-13 | 1996-11-13 | 恒温冷媒液の循環装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10141831A true JPH10141831A (ja) | 1998-05-29 |
Family
ID=18082736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31694996A Pending JPH10141831A (ja) | 1996-11-13 | 1996-11-13 | 恒温冷媒液の循環装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10141831A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-11-13 JP JP31694996A patent/JPH10141831A/ja active Pending
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