JPH10141723A5 - - Google Patents
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- JPH10141723A5 JPH10141723A5 JP1996296799A JP29679996A JPH10141723A5 JP H10141723 A5 JPH10141723 A5 JP H10141723A5 JP 1996296799 A JP1996296799 A JP 1996296799A JP 29679996 A JP29679996 A JP 29679996A JP H10141723 A5 JPH10141723 A5 JP H10141723A5
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29679996A JP3808567B2 (ja) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | クリーンルーム構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29679996A JP3808567B2 (ja) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | クリーンルーム構造 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10141723A JPH10141723A (ja) | 1998-05-29 |
| JPH10141723A5 true JPH10141723A5 (cs) | 2004-10-21 |
| JP3808567B2 JP3808567B2 (ja) | 2006-08-16 |
Family
ID=17838298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29679996A Expired - Lifetime JP3808567B2 (ja) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | クリーンルーム構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3808567B2 (cs) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5195899B2 (ja) * | 2010-12-28 | 2013-05-15 | ダイキン工業株式会社 | クリーンルーム用空調システム |
| JP5366030B2 (ja) * | 2011-09-22 | 2013-12-11 | 村田機械株式会社 | クリーンルーム用の自動倉庫 |
| KR101880426B1 (ko) * | 2016-12-15 | 2018-07-27 | 주식회사 시스웍 | 수율 향상을 위한 클린룸 기류의 방향 및 세기의 모니터링 방법과 기류제어장치 |
| JP6531810B2 (ja) * | 2017-12-01 | 2019-06-19 | 澁谷工業株式会社 | 無菌作業システム |
| JP2019173267A (ja) * | 2018-03-26 | 2019-10-10 | ダイキン工業株式会社 | クリーンルーム用の透かし階段およびそれを備えた屋内システム |
| CN116293927A (zh) * | 2022-12-14 | 2023-06-23 | 中国中元国际工程有限公司 | 一种ⅰ级洁净手术室送风天花 |
| CN116608530B (zh) * | 2023-06-19 | 2024-11-19 | 广州澳企实验室技术股份有限公司 | 一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61165539A (ja) * | 1985-01-16 | 1986-07-26 | Nec Corp | 空気調和システム |
| JPS62169949A (ja) * | 1986-01-21 | 1987-07-27 | Nec Corp | フイルタ−装置 |
| JPS63176944A (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-21 | Mitsubishi Electric Corp | 清浄化室 |
| JPH0646240U (ja) * | 1992-11-27 | 1994-06-24 | 株式会社大氣社 | クリーンルーム |
-
1996
- 1996-11-08 JP JP29679996A patent/JP3808567B2/ja not_active Expired - Lifetime
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