JPH10139273A - フィルム剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フィルム剥離装置によりフィルムを剥離させ
る際に、フィルムの破断等による剥離不良を検出する。 【解決手段】 搬送ローラ２０によって基板１２を剥離
部１４に送り込む際に基板幅寄せ装置２２により基板１
２を幅寄せし、その際、センサ５２Ｌ、５２Ｒによって
基板１２の幅を検出し、この幅に応じて剥離フィルムの
搬出装置１８の出側で、それぞれ幅方向複数のセンサか
らなる上側及び下側フィルム検出装置９４、９６によっ
て剥離後排出されるフィルムの幅方向両端を検知し、検
知できない場合は剥離不良とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線盤
用基板、液晶表示パネル用基板、プラズマディスプレイ
用基板等に例示される基板に張付けられた保護フィルム
を剥離する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上記のようなプリント配線基板は、次の
ような工程により製造されている。まず、絶縁性基板上
に設けられた導電層上に感光性樹脂（フォトレジスト）
層と、それを保護する透光性樹脂フィルム（保護フィル
ム）とからなる積層体をラミネーションロールにより熱
圧着する。次に、配線パターンフィルムを重ね、この配
線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通し
て前記感光性樹脂層を所定時間露光する。

【０００３】次いで、透光性支持フィルムを剥離した
後、露光されたフォトレジスト層を現像してエッチング
マスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要
部分をエッチングにより除去し、所定の配線パターンを
有するプリント配線基板が形成される。

【０００４】前記プリント配線基板の製造工程におい
て、前記保護フィルムを自動的に剥離するフィルム剥離
装置が種々提案されている。

【０００５】これらのフィルム剥離装置においては、保
護フィルム先端の、剥離を開始させる部分を、上下斜め
に押圧したり、ニードル状部材で引掛けて起こしたりし
ている。

【０００６】その１つとして、例えば特公平６−３５５
０号公報に開示されるように、基板に張り付けられてい
る感光性樹脂層で透光性樹脂フィルムとからなる積層体
フィルムの端部にバイブレータのロッドの振動を与えて
叩くことにより、透光性樹脂フィルムの一部を感光性樹
脂層から浮上させるフィルム浮上手段を備えた薄膜の剥
離装置がある。

【０００７】又、例えば特開昭６２−８３９７４号公報
に開示されるように、保護フィルム端部を基板と共に圧
力車により挟み込んだ状態で、該圧力車をフィルム端縁
に沿って走行させることにより、該フィルム端縁を浮き
上がらせるようにしたものもある。

【０００８】いずれの場合も、フィルム先端縁を浮上さ
せた後は、気体を吹き付けて該浮上した端縁からフィル
ムをめくり上げ、更には、めくり上がったフィルム端縁
をローラやベルトによって挟み込んで、基板を進行させ
つつフィルムを完全に剥離してライン外へ搬出させるよ
うにしている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ここで、ニードル状部
材、ロッド、圧力車等によりフィルム端縁を浮上させる
際に、該フィルムが傷付けられ、その部分において切れ
目が生じると、浮上したフィルム端縁を気体でめくり上
げるとき、該切れ目からフィルムが切れて幅方向の左右
どちらかのみがめくれて、他方が基板に張り付いたまま
となることがある。

【００１０】更に、フィルム先端縁が切れたりすること
なく、その幅方向に均一にめくり上げられた後であって
も、該フィルムを更に剥離させていく過程で、例えばフ
ィルムの幅方向側端に疵があるような場合、この部分で
フィルムが切れて、剥離が中断し、めくり上げられたフ
ィルムの幅方向の一部に痩せが生じ、対応する部分が基
板上に残ってしまうという問題点がある。

【００１１】上記のように、フィルム剥離過程を経た基
板に、フィルムの一部が残っていると、エッチングマス
クパターンの形成、その後のエッチング等の後工程に重
要な影響を与え、場合によっては基板上に残っていたフ
ィルムが後工程での装置に絡み付いたりして、ラインを
停止させなければならないというような問題点が生じ
る。

【００１２】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、基板からフィルムを剥離させる際
に、該フィルムの一部が基板に残ったり、更には剥離開
始後に、剥離されたフィルムの痩せが生じたりした場合
に、これを検出して、直ちに排除できるようにしたフィ
ルム剥離装置を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この発明は、請求項１記
載のように、フィルムが張付けられている基板を基板搬
送面に沿って所定方向に搬送する基板搬送装置と、前記
基板搬送面の途中に配置され、搬送されてくる基板の進
行方向先端近傍の前記フィルムの先端縁を基板から浮き
上らせるフィルム浮上装置と、気体を吹き付けて該先端
縁をめくり上げる気体吹付装置と、前記気体の吹き付け
によりめくり上げられたフィルムを前記先端縁側から把
持して更にめくり上げ、且つ、搬出するフィルム搬出装
置と、前記基板搬送面の、前記フィルム浮上装置よりも
上流側に配置され、基板を幅方向に位置調整して該フィ
ルム浮上装置に対して幅方向の位置合わせをする基板幅
寄せ装置と、を有してなるフィルム剥離装置において、
前記フィルム搬出装置におけるフィルム搬送経路の途中
又は終端近傍に設けられ、フィルムの幅方向中央部、及
び、該幅方向中央部から左右等距離であって、少なくと
も２種類の幅のフィルムにおける幅方向両端近傍部を検
出するフィルム検出装置と、前記基板幅寄せ装置による
幅寄せ量に応じて、基板幅の信号を出力する基板幅検出
手段と、この基板幅検出手段からの基板幅の信号に応じ
て、前記フィルム検出装置における基板幅の外側部分を
非作動又は出力信号をキャンセルする制御装置と、を設
けたことを特徴とするフィルム剥離装置により、上記目
的を達成するものである。

【００１４】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記基板幅寄せ装置は、基板を幅方向少なくとも一
方側から押す幅寄せ部材を有し、前記基板幅検出手段
は、前記幅寄せ部材と同期して移動され、基板の幅方向
一端又は両端を検出する幅センサと、この基板センサの
基板幅方向位置を検出するセンサ位置検出手段と、を有
してなるようにしたものである。

【００１５】請求項３の発明は、請求項１又は２の発明
において、前記フィルム検出装置は、前記フィルム搬出
装置におけるフィルム搬送経路の幅方向中央部に配置さ
れた中央センサと、フィルム搬送経路を通る最小幅のフ
ィルムの幅方向両端近傍を検出する位置に配置された最
小幅センサと、フィルム搬送経路を通る最大幅のフィル
ムの幅方向両端近傍を検出する位置に配置された最大幅
センサと、前記最小幅センサと最大幅センサとの中間位
置に配置された中間幅センサと、を有してなるようにし
たものである。

【００１６】請求項４の発明は、請求項１又は２の発明
において、前記フィルム検出装置は、フィルム幅方向に
長く直線状に配置され、通過するフィルム幅に対応して
出力が変化するラインセンサとされ、前記制御装置は、
該ラインセンサの出力と前記基板幅検出手段からの基板
幅の信号とを比較して、フィルム剥離の正常、異常を判
断するようにしたものである。

【００１７】請求項５の発明は、請求項１乃至４のいず
れかの発明において、前記フィルム搬送経路における前
記フィルム搬出装置よりも上流側位置に、フィルムの先
端及び後端を検出するフィルム立上りセンサを設けたも
のである。

【００１８】この発明においては、基板幅検出手段から
の基板幅に応じて、剥離フィルム搬送経路でフィルム検
出装置によりフィルムの有無及びフィルム幅の痩せを検
出して、フィルム剥離の正常、異常を検知するものであ
る。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して詳細に説明する。

【００２０】図１に示されるように、本発明に係るフィ
ルム剥離装置１０は、搬送されてくる基板１２の進行方
向先端近傍で、フィルムの先端縁を基板１２から浮き上
がらせると共に、圧縮空気を吹き付けて、浮き上がって
いるフィルム先端縁を更にめくり上げる剥離部１４と、
この剥離部１４に対して、図１において左方向から右方
向に基板１２を搬送する基板搬送装置１６と、剥離部１
４において、フィルムが剥離された後の基板１２を搬出
させるための基板搬出装置１７と、を備えて構成されて
いる。又、剥離部１４と基板搬送装置１６との間には、
フィルム搬出装置１８が設けられている。

【００２１】基板１２は、図２に示されるように、その
両面に、感光性樹脂層１２Ａ及びこれを保護する保護フ
ィルム１２Ｂがこの順で積層されている。前記基板搬送
装置１６により送り込まれた基板１２は、剥離部１４に
おいて、保護フィルム１２Ｂが剥離された後、基板搬出
装置１７により図１において右方向に搬出されるように
なっている。

【００２２】次に図３〜図５を参照して前記基板搬送装
置１６について詳細に説明する。

【００２３】この基板搬送装置１６は、水平に且つ等間
隔に配置された複数の搬送ローラ２０と、これら搬送ロ
ーラ２０の上面によって形成される基板搬送面Ｉ−Ｉの
両側、且つ、剥離部１４の入側近傍に配置され、搬送ロ
ーラ２０の外側から基板搬送面Ｉ−Ｉの幅方向中心に向
かって左右から進退自在に配置された基板幅寄せ装置２
２と、を備えて構成されている。

【００２４】この基板幅寄せ装置２２は、前記水平に配
置された搬送ローラ２０の下側位置で、基板搬送面Ｉ−
Ｉの幅方向両外側から、その中心方向に同期して進退自
在の一対の幅寄せ板２４、２６を有している。

【００２５】これら幅寄せ板２４、２６には、前記各搬
送ローラ２０、２０間に該搬送ローラ２０に沿って、こ
れと干渉することなく基板搬送面Ｉ−Ｉの幅方向に進退
できるように配置された複数の幅寄せローラ２４Ａ、２
６Ａがそれぞれ設けられている。

【００２６】これら幅寄せローラ２４Ａ、２６Ａは、鉛
直方向の回転軸２４Ｂ、２６Ｂにより、水平面内で回転
自在に配置され、且つその両端は、基板搬送面Ｉ−Ｉ上
の基板１２の両端面よりも上方に突出するようにされて
いる。

【００２７】図４は、前記幅寄せ板２４、２６を基板搬
送面Ｉ−Ｉの幅方向に同期して駆動するための幅寄せ板
駆動機構２８を示すものである。

【００２８】前記左右の幅寄せ板２４、２６は、それぞ
れ、左右のリニアブッシュ３０Ｌ、３０Ｒを介して、前
記搬送ローラ２０と平行方向に配置された２本のガイド
シャフト３２により基板搬送面Ｉ−Ｉの幅方向に進退自
在に支持されている。

【００２９】前記リニアブッシュ３０Ｌ、３０Ｒは、固
定部材３４Ｌ、３４Ｒを介してエンドレスベルト３６の
上側部及び下側部にそれぞれ取り付けられ、これによっ
て、エンドレスベルト３６を駆動したとき、リニアブッ
シュ３０Ｌ、３０Ｒ及び幅寄せ板２４、２６が同期して
基板搬送面Ｉ−Ｉの幅方向中心に向かって、あるいは幅
方向外側に向かって移動できるようにされている。

【００３０】図４、図５の符号３７、３８は、前記エン
ドレスベルト３６が巻き掛けられたプーリ、４０は、図
４において右側のプーリ３８を駆動するためのモータを
それぞれ示す。

【００３１】又、図４の符号４２は幅寄せセンター調整
機構、４３Ｌ、４３Ｒは幅寄せセンター位置合わせハン
ドル、４４Ｌ、４４Ｒは連結シャフト、４５Ｌ、４５Ｒ
はカップリング、４６はセンタリングスクリュー、４７
はセンタリングブロックをそれぞれ示し、センタリング
スクリュー４６はセンタリングブロック４７を介して幅
寄せ駆動部保持部材４８に固定され、カップリング４５
Ｌ、４５Ｒを幅寄せセンター位置合わせハンドル４３
Ｌ、４３Ｒにより、連結シャフト４４Ｌ、４４Ｒを介し
て回転させることにより、該カップリング４５Ｌ、４５
Ｒを螺進させ、前記プーリ３７、３８の位置を変更する
ものである。

【００３２】図３の符号５０は前記基板搬送面Ｉ−Ｉの
下側で、且つ基板幅寄せ装置２２よりも上流側位置に配
置され、搬入されてくる基板を検知するボードローディ
ングセンサを示す。又、符号５２Ｌ、５２Ｒは、前記幅
寄せ板２４、２６にそれぞれ取り付けられた幅寄せ外側
センサ、５４Ｌ、５４Ｒは同様に幅寄せ板２４、２６
に、幅寄せ外側センサ５２Ｌ、５２Ｒよりも基板幅方向
内側に取り付けられた幅寄せ内側センサをそれぞれ示
す。

【００３３】前記ボードローディングセンサ５０により
基板１２の搬入が検出されたとき、その出力信号に基づ
いて、後述の制御装置５８により、搬送ローラ２０によ
り搬送される基板１２が幅寄せ位置に到達する所定時間
後に、基板１２の搬送が停止されるようになっている。
又、幅寄せ板駆動機構２８により、幅寄せ板２４、２６
が基板幅方向中心側に移動して、幅寄せ内側センサ５４
Ｌ、５４Ｒが、基板１２の幅方向両端を検出したとき、
その出力信号によって制御装置５８が、幅寄せ板駆動機
構２８の幅寄せ速度を高速から低速に切換え、更に、幅
寄せロール２４Ａ２６Ａ、が基板１２の両側端を押し込
んで所定位置に到達したとき、前記幅寄せ外側センサ５
２Ｌ、５２Ｒがこれを検出して、幅寄せ動作を停止させ
るようになっている。

【００３４】前記基板搬送装置１６における、基板搬送
方向先端側の搬送ローラ２０Ａは、図６に示されるよう
に、剥離部１４の入口に隣接して配置されている。

【００３５】又、剥離部１４は、前記基板搬送面Ｉ−Ｉ
に沿って、フィルム搬出装置１８よりも更に基板搬送方
向前方に配置されている。

【００３６】次に、前記剥離部１４について、図７及び
図８を参照して詳細に説明する。

【００３７】この剥離部１４は、先端のロッド６０Ａを
空気圧によって軸方向に振動させることにより、基板１
２上の保護フィルム１２Ｂの先端縁を叩いてこれを浮上
させるためのフィルム浮上装置６０と、該浮上した保護
フィルム１２Ｂ先端縁に圧縮空気を吹き付けて、その浮
上・剥離を促進させるための空気吹付装置６２と、を含
んで構成され、且つ、これらを１組として、基板搬送面
Ｉ−Ｉの上下対称に、又、基板搬送面Ｉ−Ｉの幅方向近
傍で左右対称に、合計４組が配置されている。

【００３８】前記フィルム浮上装置６０は、そのホルダ
部６０Ｂが、摺動ホルダ部６０Ｃによって軸線方向に往
復動可能に、浮上部材支持回転軸６３に支持されてい
る。

【００３９】この浮上部材支持回転軸６３は、基板搬送
面Ｉ−Ｉに対して上下対称に、且つ前記基板１２の先端
と平行に配置された４角棒状部材であって、支持機構
（図示省略）により、その軸線周りに一定範囲で揺動自
在且つ一定範囲で上下動自在に、装置フレーム６４に支
持されている。

【００４０】図７の符号６５は、１組の前記フィルム浮
上装置６０の両側即ち、基板搬送面Ｉ−Ｉの上下、合計
８箇所で基板１２を挟み込んでこれを位置固定するよう
にされた基板保持ローラを示す。これら基板保持ローラ
６５は、板ばね状の支持プレート６５Ａを介して、前記
装置フレーム６４に支持されている。

【００４１】前記１組の空気吹付装置６２は、その先端
に、前記フィルム浮上装置６０における先端のロッド６
０Ａの背後位置からフィルム先端縁に圧縮空気を吹付け
て保護フィルム１２Ｂの浮上を促進する偏平ノズル６２
Ａと、この偏平ノズル６２Ａに対して、基板搬送面Ｉ−
Ｉでの幅方向外側位置に配置され、浮上し始めたフィル
ム先端縁に幅広く圧縮空気を吹付けて浮上範囲をフィル
ム幅方向に拡大する扇状ノズル６２Ｂとを備えている。

【００４２】図７の符号６６Ａ、６８Ｂ（図８参照）
は、剥離フィルム検出用光センサを示す。この剥離フィ
ルム検出用光センサ６６Ａ、６６Ｂは、フィルム浮上装
置６０によって浮上され、且つ剥離を開始した保護フィ
ルム１２Ｂ先端が圧縮空気流によって、フィルム案内プ
レート８６Ａ、８６Ｂ（後述）に押し付けられたとき、
これを検出して、前記制御装置５８に検出信号を出力す
るようにされている。

【００４３】前記剥離フィルム検出用光センサ６６Ａ、
６６Ｂは反射型光センサであり、図１０に示されるよう
に、フィルム案内プレート８６Ａ（８６Ｂ）側に配置さ
れた反射面６６Ｃに光を投射し、反射光を受光するよう
にされている。なお、これは透過型光センサであっても
よい。

【００４４】図６の符号６７Ａ、６７Ｂは基板先端検知
センサ、６８Ａ、６８Ｂはフィルム端縁検知センサをそ
れぞれ示す。

【００４５】次に、図８、図９及び図１０を参照して、
フィルム搬出装置１８について詳細に説明する。

【００４６】図８に示されるように、前記フィルム搬出
装置１８は前記基板１２の、フィルム剥離開始位置にお
ける表側及び裏側に接近して設けられたフィルム搬出ベ
ルト装置７０Ａ、７０Ｂを有している。これらフィルム
搬出ベルト装置７０Ａ、７０Ｂは、基板１２から剥離さ
れ且つ捲り上（下）げられたフィルムをその厚さ方向に
挟み込んで搬出する一対のフィルム搬出ベルト７２Ａ、
７４Ａ及び７２Ｂ、７４Ｂから構成されている。

【００４７】これらのフィルム搬出ベルト７２Ａ、７４
Ａ及び７２Ｂ、７４Ｂは、それぞれ、図９に示されるよ
うに、フィルム幅方向に隙間７６をもって配置された各
３個の小幅搬出ベルト７３Ａ〜７３Ｃ、７５Ａ〜７５
Ｃ、７３Ｄ〜７３Ｆ、７５Ｄ〜７５Ｆから構成されてい
る。

【００４８】従って、前記隙間７６はフィルム幅方向に
２箇所あり、この隙間７６の位置には、図９に示される
ように、上側のフィルム搬出ベルト７２Ａ、７４Ａによ
り表裏を挟持して搬出された剥離フィルムを、該フィル
ム搬出ベルト７２Ａ、７４Ａの外側に案内する剥離フィ
ルムガイド７８、７９が設けられている。

【００４９】前記上側のフィルム搬出ベルト７２Ａ、７
４Ａの出口及び下側のフィルム搬出ベルト７２Ｂ、７４
Ｂの出口近傍には、この位置を通過するフィルムを検出
するための上側フィルム検出装置９４及び下側フィルム
検出装置９６がそれぞれ設けられている。

【００５０】これら上側及び下側フィルム検出装置９
４、９６は、図１１に示されるように、各々、剥離フィ
ルムの幅方向中央位置を検出する中央センサ９４Ａ、９
６Ａと、搬出される最小幅のフィルムの幅方向両端近傍
を検出する位置に配置された最小幅センサ９４Ｂ、９６
Ｂと、最大幅のフィルムの幅方向両端近傍を検出する位
置に配置された最大幅センサ９４Ｄ、９６Ｄと、これら
の中間位置に配置された中間幅センサ９４Ｃ、９６Ｃと
をそれぞれ備えて構成されている。

【００５１】これらの各センサは、その前面を剥離フィ
ルムが通過するとき、これを検出して、信号を前記制御
装置５８に出力するようにされている（図１２参照）。

【００５２】図１０の符号９８は、フィルム浮上装置６
０により浮上され、且つ扇状ノズル６２Ａによって吹付
け、めくり上げられた保護フィルム１２Ｂ先端を吸着す
るために、前記フィルム案内プレート８６Ａ、８６Ｂに
設けられた吸着孔を示す。

【００５３】図８に示されるように、前記基板搬送方向
下流側のフィルム搬出ベルト７４Ａ、７４Ｂは、基板搬
送面Ｉ−Ｉ側のベルト張りローラ８０Ａ、８０Ｂが、該
ベルト張りローラ８０Ａ、８０Ｂと平行な回動軸８２
Ａ、８２Ｂを中心としてレバー８４Ａ、８４Ｂにより揺
動自在に支持され、これによって、ベルト張りローラ８
０Ａ、８０Ｂは、フィルム搬出ベルト７２Ａ、７２Ｂに
接近して、剥離され且つ捲り上（下）げられたフィルム
を挟み込む搬出位置と、フィルム送り方向下流側且つ基
板搬送面Ｉ−Ｉから離間する方向に揺動された待機位置
との間で揺動されるようになっている。

【００５４】前記フィルム案内プレート８６Ａ、８６Ｂ
は、空気吹付装置により基板から剥離され且つ捲り上
（下）げられたフィルムの先端部を、基板搬送面Ｉ−Ｉ
と直角に案内するためのものである。

【００５５】図８の符号７９Ａ、７９Ｂは、フィルム搬
出ベルト７２Ａ、７２Ｂ側の、ベルト張りローラ８０
Ａ、８０Ｂと対向する入側ベルト張りローラ、９０Ａ、
９０Ｂはベルト張りローラ８０Ａ、８０Ｂが待機位置に
あるとき、フィルム搬出ベルト７４Ａ、７４Ｂを該ベル
ト張りローラ８０Ａ、８０Ｂへの巻き掛け状態を維持す
るためのベルト支持ローラをそれぞれ示す。

【００５６】前記剥離フィルムガイド７８、７９は、フ
ィルム搬出ベルト７２Ａ、７４Ａにおける入側のベルト
張りローラ７９Ａ、８０Ａと反対側の出側歯付ベルトプ
ーリー９２Ａ、９３Ａに対して、両者間で、側方から見
て重なる位置（ベルト移動軌跡を横切る位置）から、ベ
ルト移動方向、且つ、外側にまで延在し、それぞれ前記
出側歯付ベルトプーリー９２Ａ、９３Ａ間を通って搬出
されてくる剥離フィルムの両面に対向するガイド面７
８、７９を備えている。

【００５７】該ガイド面７８、７９は、出側歯付ベルト
プーリー９２Ａ、９３Ａ間の位置から側方且つ上方に拡
開して、剥離フィルムを外部に搬出できるようにされて
いる。

【００５８】又、前記下側のフィルム搬出ベルト７２
Ｂ、７４Ｂの出側には、剥離フィルムガイドが設けられ
ていないが、下方に排出された剥離フィルムが、該フィ
ルム搬出ベルト７２Ｂ、７４Ｂの出側の歯付ベルトプー
リー９２Ｂ、９３Ｂ間を通って下方に落下されるように
なっている。

【００５９】更に、前記剥離されたフィルムの搬送経路
に沿って、その表側及び裏側にエアーを吹き付けて該剥
離フィルムを出側に円滑に送り出すための複数のエアー
吹出しパイプ９５が配置されている。該エアー吹出しパ
イプ９５は基板搬送方向と直交する方向に延在し、その
外周には剥離フィルム送り出し方向にエアー吹出し孔が
設けられている。

【００６０】前記回動軸８２Ａ、８２Ｂは、ベルト張り
ローラ８０Ａ、８０Ｂが待機位置にあるように駆動され
ていて、エアージェットにより基板１２から剥離された
フィルムの先端が待機状態のベルト張りローラ７９Ａと
８０Ａ、７９Ｂと８０Ｂの間に入り込んできたときに、
搬送位置に駆動されるようになっている。

【００６１】更に具体的には、基板１２から剥離され且
つ捲り上（下）げられたフィルムの先端が、前記前記フ
ィルム案内プレート８６Ａ、８６Ｂに、空気吹付装置６
２からのエアージェットにより押し付けられていると、
これを剥離フィルム検出用光センサ６６Ａ、６６Ｂの一
方が検出し、該剥離フィルム検出用光センサ６６Ａ、６
６Ｂの一方の検出信号に基づいて、検出から所定時間後
に、前記制御装置５６が前記回動軸８２Ａ、８２Ｂのア
クチュエータを、ベルト張りローラ８０Ａ、８０Ｂが搬
送位置となるように駆動させるものである。ここで、所
定時間とは、基板１２の表裏における剥離されたフィル
ム先端位置の、基板進行方向の時間ずれの最大値とす
る。

【００６２】次に上記フィルム剥離装置１０の作用につ
いて説明する。

【００６３】基板搬送装置１６の搬送ローラ２０上に保
護フィルム１２Ｂが張り付けられた状態の基板１２が移
載され、搬送ローラ２０によって、剥離部１４に向かっ
て所定位置まで搬送されると、ボードローディングセン
サ５０によって基板１２の先端が検出される。

【００６４】制御装置５８は、ボードローディングセン
サ５０からの基板先端検出信号が入力してから該基板１
２が幅寄せ位置に到達する時間経過後に搬送ローラ２０
を停止させる。

【００６５】次に、基板幅寄せ装置２２が作動される。
基板幅寄せ装置２２は、幅寄せ板駆動機構２８における
エンドレスベルト３６が、プーリ３７、３８を介してモ
ータ４０によって駆動されることにより、基板搬送面Ｉ
−Ｉの幅方向中央位置に向かって同期して駆動される。

【００６６】このとき、幅寄せ板２４、２６に取り付け
られている幅寄せローラ２４Ａ、２６Ａは、搬送ローラ
２０、２０間の隙間に幅方向外側から入り込み、搬送ロ
ーラ２０上の基板１２の幅方向両側端に接触する方向に
移動される。

【００６７】幅寄せローラ２４Ａ、２６Ａがある程度移
動すると、基板１２の幅方向両端が左右の幅寄せ外側セ
ンサ５２Ｌ、５２Ｒによって検出され、この検出によっ
て、制御装置５８はモータ４０の回転速度を高速から低
速に切換え、幅寄せローラ２４Ａ、２６Ａは基板１２を
ゆっくりと幅寄せする。

【００６８】幅寄せが進み、基板１２が基板搬送面Ｉ−
Ｉの幅方向中心位置にセンタリングされると、そのと
き、幅寄せ内側センサ５４Ｌ、５４Ｒが同時に基板１２
の幅方向両側端を検出し、その検出信号によって制御装
置５８は幅寄せを終了する。

【００６９】この状態で、搬送ローラ２０による搬送が
再開され、基板１２は幅寄せローラ２４Ａ、２６Ａによ
って幅方向にセンタリングされた状態で剥離部１４に送
り込まれる。

【００７０】なお、制御装置５８は、予め設定されてい
る幅寄せローラ２４Ａ、２６Ａの初期位置から、幅寄せ
内側センサ５４Ｌ、５４Ｒが基板１２の幅方向両側端を
検出するまでの距離を、幅寄せ板２４、２６の移動速度
及び初期位置からの作動時間によって、基板１２の幅を
算出するようにされている。

【００７１】剥離部１４に送り込まれた基板１２の先端
が、基板先端検知センサ６７Ａ、６７Ｂによって検出さ
れ、更に、フィルム端縁検知センサ６８Ａ、６８Ｂによ
って保護フィルム１２Ｂの先端が検知されると、その位
置で基板１２の搬送が停止され、搬送ローラ２０Ａの上
方に待機していた固定ローラ２０Ｂが降下され、基板１
２をその位置に固定する。

【００７２】なお、基板１２の停止位置は、図１３に示
されるように、保護フィルム１２Ｂの先端縁が、前記フ
ィルム浮上装置６０におけるロッド６０Ａの先端よりも
僅かに前方に出た状態となったときとする。

【００７３】次に、フィルム浮上装置６０及び空気吹付
装置６２がオンされ、ロッド６０Ａは、空気圧によって
その軸方向に振動され、先端が保護フィルム１２Ｂを叩
く動作をする。又、扇状ノズル６２Ａからは圧縮空気が
吹き出される。

【００７４】このとき、ロッド６０Ａが基板１２上の保
護フィルム１２Ｂを叩くことによって、その反動により
振動するが、これは摺動ホルダ部６０Ｃによって吸収さ
れる。なお、ロッド６０Ａが保護フィルム１２Ｂを叩い
ているとき、基板保持ローラ６５は基板１２を上下から
挟み込んで位置固定している。

【００７５】フィルム浮上装置６０は、そのロッド６０
Ａによって基板１２上の保護フィルム１２Ｂを叩きなが
ら、浮上部材支持回転軸６３が、図１２において矢印で
示されるように反時計方向に揺動され、これによってロ
ッド６０Ａの先端は、保護フィルム１２Ｂの端縁に向か
って、該保護フィルム１２Ｂを叩きながら移動し、図１
２に示されるように、端縁の外側にまで至る。

【００７６】従って、このロッド６０Ａによって保護フ
ィルム１２Ｂには、内側から端縁にかけて叩き跡が形成
され、この部分と基板１２との間に隙間が生じ、ここに
偏平ノズル６２Ａから空気が吹き込まれて基板１２から
浮き上がり、更に浮き上がった部分に扇状ノズル６２Ｂ
から圧縮空気が吹付けられることによって、浮上部分が
フィルム幅方向に広がって、先端縁を全幅に亘って基板
１２から剥離させることになる。

【００７７】剥離された保護フィルム１２Ｂの先端は、
圧縮空気流によって、前記フィルム案内プレート８６
Ａ、８６Ｂに押し付けられる。フィルム案内プレート８
６Ａ、８６Ｂに押し付けられた保護フィルム１２Ｂの先
端は、吸着孔９８によってフィルム案内プレート８６
Ａ、８６Ｂに吸着保持され、同時に、剥離フィルム検出
用光センサ６６Ａ、６６Ｂによって剥離された保護フィ
ルム１２Ｂの先端が検知される。

【００７８】これによって、制御装置５８により、ベル
ト張りローラ８０Ａ、８０Ｂが搬出位置に駆動される
と、フィルム搬出ベルト７２Ａ、７４Ａ及び７２Ｂ、７
４Ｂが、保護フィルム１２Ｂ先端部を表裏から挟み込
む。

【００７９】続いて、歯付ベルトプーリー９２Ａ、９３
Ａ及び９２Ｂ、９３Ｂがモーター（図示せず）で一斉に
回転駆動されて、該保護フィルム１２Ｂを挟み込んでい
る部分の搬出ベルトが歯付ベルトプーリー９２Ａ、９３
Ａ及び９２Ｂ、９３Ｂの方向へ移動するので、該保護フ
ィルム１２Ｂは基板１２から順次引き剥され歯付ベルト
プーリー９２Ａ、９３Ａ及び９２Ｂ、９３Ｂから外の方
に搬出される。なお、該搬出ベルトの移動速度は基板１
２の移動速度と概ね同速になるように調整されている。

【００８０】このとき、表側（図において上側）の小幅
搬出ベルト７３Ａ〜７３Ｃ、７５Ａ〜７５Ｃ間の２箇所
の隙間７６には、前述の如く、剥離フィルムガイド７
８、７９が設けられ、その表側及び裏側一対のガイド面
が、側方から見て、出側歯付ベルトプーリー９２Ａ、９
３Ａと重なり合い、且つフィルム搬出面を挟み込むよう
に配置されているので、出側歯付ベルトプーリー９２
Ａ、９３Ａ近傍にまで搬出された剥離フィルムは、前記
ガイド面に沿ってパスライン外に排出されることにな
る。又、下側のフィルム搬出ベルト７２Ｂ、７４Ｂ間に
挟持された剥離フィルムは、出側歯付ベルトプーリー９
２Ｂ、９３Ｂ間から下方に落下排出される。

【００８１】剥離フィルムのパスライン外への排出の際
に、前記エアー吹出しパイプ９５からのエアーが、フィ
ルムを円滑に排出させる。

【００８２】剥離されたフィルムがパスライン外に排出
されるとき、上側及び下側フィルム検出装置９４、９６
が該フィルムの終端を検知することによって排出完了が
確認される。剥離フィルム検出用光センサ６６Ａ、６６
Ｂがフィルム先端を検知しているにも拘らず、排出完了
が確認されない場合は、剥離ミス又はベルトでのジャム
ということが判る。

【００８３】ここで、上側及び下側フィルム検出装置９
４、９６における各センサは、前記幅寄せ外側センサ５
２Ｌ、５２Ｒの移動量、即ち、保護フィルム１２Ｂの幅
に応じて、制御装置５８により選択的に作動状態となる
ようにされている。

【００８４】例えば、検出されたフィルム幅が最大の場
合は、最大幅センサ９４Ｄ、９６Ｄを含む全センサがオ
ン状態とされ、又、フィルム幅が中間であれば、最大幅
センサ９４Ｄ、９６Ｄはオフとされ、中間幅センサ９４
Ｃ、９６Ｃを含んでその内側のセンサがオン状態となる
ようにされ、更に、フィルム幅が最小の場合は、最小幅
センサ９４Ｂ、９６Ｂ及び中央センサ９４Ａ、９６Ａの
みがオンされるようになっている。

【００８５】なお、オンされないセンサは、オフとする
代わりに、その出力信号が制御装置５８によってキャン
セルされるようにしてもよい。

【００８６】今、剥離された保護フィルム１２Ｂが最大
幅のとき、例えば右側の最大幅センサ９４Ｄが検出信号
を出力しているにも拘らず、左側の最大幅センサ９６Ｄ
が検出信号を出力していない場合は、基板１２に、検出
されなかった側のフィルムが一部剥離されずに残ってい
ることにる。

【００８７】又、保護フィルム１２Ｂの先端が幅方向に
完全に剥離開始されても、その途中で剥離フィルムに幅
やせが生じ、一部が基板１２上に残った場合、剥離の途
中で最大幅センサ９４Ｄ、９６Ｄのどちらかがフィルム
を検出しない状態が発生する。

【００８８】このようにして、作動状態にある各センサ
のいずれか１つがフィルムを検出しない場合は、剥離不
良として、その基板１２はライン外に出されることにな
る。

【００８９】これらのライン外に搬出された剥離ミスの
基板１２は、再度フィルム剥離装置１０を通すか、又は
別途バッチ処理にて残りのフィルムを剥がすようにす
る。

【００９０】なお、上記フィルム剥離装置において、基
板搬送装置１６における基板幅の検出は、基板幅寄せ装
置２２の幅寄せローラ２４Ａ、２６Ａに連動するセンサ
によってなされるものであるが、本発明はこれに限定さ
れるものでなく、例えば基板搬送装置１６の中間位置
に、光電センサ等からなる基板幅検出センサを設けるよ
うにしてもよい。

【００９１】この場合、基板幅検出センサは、前記上側
及び下側フィルム検出装置９４、９６の各センサに対応
させるようにしてもよい。

【００９２】更に、前記基板幅検出センサ及び上側、下
側フィルム検出装置９４、９６のセンサは、基板及びフ
ィルム幅方向に連続するラインセンサであって、基板幅
及びフィルム幅に応じて、その出力が変化するようにし
たものであってもよい。この場合は、剥離の途中でフィ
ルム幅が僅かに痩せたような場合でも、確実に検出する
ことができる。

【００９３】又、上記フィルム剥離装置１０は、基板１
２の表裏両面における保護フィルム１２Ｂを剥離するも
のであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、片
面のみから保護フィルムを剥離する場合にも適用される
ものである。

【００９４】更に、上記剥離部１４は、ロッド６０Ａに
より保護フィルム１２Ｂの先端を叩いて浮上、剥離させ
るものであるが、本発明はこれに限定されるものでな
く、例えば圧力車等によってフィルムを基板と共に挟み
込み、これをしごいて剥離させたりする場合にも当然適
用されるものである。

【００９５】更に、前記基板幅寄せ装置２２は、２枚の
幅寄せ板２４、２６によりり基板１２の幅方向両側端を
押すようにされているが、本発明はこれに限定されるも
のでなく、幅方向一側端を位置決めする部材を基板幅に
応じた位置で固定しておき、幅方向他側端のみを、幅寄
せ部材により一側端方向に押すようにしてもよい。

【００９６】又、前記フィルム検出装置９４、９６は大
中小３種類の幅のフィルムを検出するものであるが本発
明はこれに限定されるものでなく、少なくとも２種類あ
るいは４種類以上の幅のフィルムを検出するようにして
もよい。

【００９７】更に又、上記フィルム剥離装置は空気を吹
き付けてフィルムを剥離させるものであるが、本発明
は、例えば窒素ガス等の不活性ガスを用いる場合にも適
用されているものである。

【００９８】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、剥
離時にフィルムが破れて基板上に残った場合でも、これ
を確実に検出して、その基板を排除することができると
いう優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るフィルム剥離装置の外観を示す側
面図

【図２】同フィルム剥離装置によって保護フィルムが剥
離される基板を拡大して示す断面図

【図３】同フィルム剥離装置における基板搬送装置を拡
大して示す平面図

【図４】図３のIV−IV線に沿う側面図

【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿う拡大側面図

【図６】前記フィルム剥離装置の剥離部とフィルム搬出
装置との関係を示す略示側面図

【図７】同フィルム剥離装置における剥離部の要部を拡
大して示す斜視図

【図８】同フィルム剥離装置におけるフィルム搬出装置
を示す側面図

【図９】図８のIX−IX線矢示図

【図１０】同フィルム搬出装置の一部を拡大して示す斜
視図

【図１１】同フィルム搬出装置のセンサの配置を示す略
示正面図

【図１２】同フィルム剥離装置の制御系を示すブロック
図

【図１３】上記剥離部によるフィルム剥離開始時の状態
を示す拡大側面図

【図１４】同剥離部によるフィルム剥離過程を示す拡大
側面図

【符号の説明】

Ｉ−Ｉ…基板搬送面 １０…フィルム剥離装置 １２…基板 １２Ｂ…保護フィルム １４…剥離部 １６…基板搬送装置 １８…フィルム搬出装置 ２０、２０Ａ…搬送ローラ ２２…基板幅寄せ装置 ２４、２６…幅寄せ板 ２４Ａ、２６Ａ…幅寄せローラ ２８…幅寄せ板駆動機構 ５２Ｌ、５２Ｒ…幅寄せ外側センサ ５８…制御装置 ６０…フィルム浮上装置 ６２…空気吹付装置 ６２Ａ…扇状ノズル ６８Ａ…基板先端検知センサ ６８Ｂ…フィルム端縁検知センサ ９４…上側フィルム検出装置 ９６…下側フィルム検出装置 ９４Ａ、９６Ａ…中央センサ ９４Ｂ、９６Ｂ…最小幅センサ ９４Ｃ、９６Ｃ…中間幅センサ ９４Ｄ、９６Ｄ…最大幅センサ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フィルムが張付けられている基板を基板搬
   送面に沿って所定方向に搬送する基板搬送装置と、前記
   基板搬送面の途中に配置され、搬送されてくる基板の進
   行方向先端近傍の前記フィルムの先端縁を基板から浮き
   上らせるフィルム浮上装置と、気体を吹き付けて該先端
   縁をめくり上げる気体吹付装置と、前記気体の吹き付け
   によりめくり上げられたフィルムを前記先端縁側から把
   持して更にめくり上げ、且つ、搬出するフィルム搬出装
   置と、前記基板搬送面の、前記フィルム浮上装置よりも
   上流側に配置され、基板を幅方向に位置調整して該フィ
   ルム浮上装置に対して幅方向の位置合わせをする基板幅
   寄せ装置と、を有してなるフィルム剥離装置において、 前記フィルム搬出装置におけるフィルム搬送経路の途中
   又は終端近傍に設けられ、フィルムの幅方向中央部、及
   び、該幅方向中央部から左右等距離であって、少なくと
   も２種類の幅のフィルムにおける幅方向両端近傍部を検
   出するフィルム検出装置と、前記基板幅寄せ装置による
   幅寄せ量に応じて、基板幅の信号を出力する基板幅検出
   手段と、この基板幅検出手段からの基板幅の信号に応じ
   て、前記フィルム検出装置における基板幅の外側部分を
   非作動又は出力信号をキャンセルする制御装置と、を設
   けたことを特徴とするフィルム剥離装置。
2. 【請求項２】請求項１において、前記基板幅寄せ装置
   は、基板を幅方向少なくとも一方側から押す幅寄せ部材
   を有し、前記基板幅検出手段は、前記幅寄せ部材と同期
   して移動され、基板の幅方向一端又は両端を検出する幅
   センサと、この基板センサの基板幅方向位置を検出する
   センサ位置検出手段と、を有してなることを特徴とする
   フィルム剥離装置。
3. 【請求項３】請求項１又は２において、前記フィルム検
   出装置は、前記フィルム搬出装置におけるフィルム搬送
   経路の幅方向中央部に配置された中央センサと、フィル
   ム搬送経路を通る最小幅のフィルムの幅方向両端近傍を
   検出する位置に配置された最小幅センサと、フィルム搬
   送経路を通る最大幅のフィルムの幅方向両端近傍を検出
   する位置に配置された最大幅センサと、前記最小幅セン
   サと最大幅センサとの中間位置に配置された中間幅セン
   サと、を有してなることを特徴とするフィルム剥離装
   置。
4. 【請求項４】請求項１又は２において、前記フィルム検
   出装置は、フィルム幅方向に長く直線状に配置され、通
   過するフィルム幅に対応して出力が変化するラインセン
   サとされ、前記制御装置は、該ラインセンサの出力と前
   記基板幅検出手段からの基板幅の信号とを比較して、フ
   ィルム剥離の正常、異常を判断するようにされたことを
   特徴とするフィルム剥離装置。
5. 【請求項５】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記
   フィルム搬送経路における前記フィルム搬出装置よりも
   上流側位置に、剥離されたフィルムの先端を検出する剥
   離フィルム検出センサを設けたことを特徴とするフィル
   ム剥離装置。