JPH10134710A

JPH10134710A - シャドウマスクの製造方法及び製造装置

Info

Publication number: JPH10134710A
Application number: JP28776896A
Authority: JP
Inventors: Masaru Nikaido; 勝二階堂; Sachiko Hirahara; 祥子平原
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1996-10-30
Filing date: 1996-10-30
Publication date: 1998-05-22

Abstract

(57)【要約】【課題】開孔寸法、形状のばらつきを抑えて、むら品位
のすぐれたシャドウマスクを製造することができる洗浄
装置を得ることを目的とする。【解決手段】本洗浄装置は、キャビテーションを発生
して急速に液置換を行う液置換部２１と、シール部２２
とから主としてなる。剥離部２１は上側剥離部２２と下
側剥離部２３とが帯状金属薄板７を挟んで対向するよう
に配置されてなり、剥離部２１を挟んで金属薄板７の搬
送方向両側には前段シール部２４ａと後段シール部２４
ｂとが位置している。前段、後段シール部２４ａ，２４
ｂはそれぞれ金属薄板を挟むように配置されたローラー
２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂからなっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、カラー受像管用
シャドウマスクの製造方法及び製造装置に係り、特にア
ルカリ系溶液を用いた洗浄に関する。

【０００２】

【従来の技術】シャドウマスク型カラー受像管は、図７
に示すように、外囲器を構成するパネル１の内面に設け
られた３色蛍光体層からなる蛍光体スクリーン２から所
定間隔離れて、その内側に多数の開孔が所定の配列・形
状で形成された色選別電極としてのシャドウマスク３が
配置されている。このシャドウマスク３により、電子銃
４から放出された３電子ビーム５が、それぞれ所定の蛍
光体層に正しくランディングするように選別している。
蛍光体スクリーンは、蛍光体ドット（又は蛍光体ストラ
イプ）の間を埋めるブラックマトリックスを有し、この
ブラックマトリックスは電子ビームのランディング誤差
の吸収やコントラスト向上に寄与している。また、シャ
ドウマスク３には、大別して開孔形状が円形のものと、
矩形状のものとがあり、文字や図形などを表示するカラ
ーディスプレイ管には、開孔が円形のシャドウマスクが
用いられ、一般家庭で使用されるカラー受像管には、開
孔が矩形状のシャドウマスクが主として用いられてい
る。

【０００３】ところで、近年、カラーディスプレイ管に
ついては、高精細化、高品質化が強く要求されており、
それに伴って、シャドウマスクの開孔寸法の微細化、開
孔寸法のばらつきの低減化が図られている。これは、カ
ラー受像管においては一般的に、画像を表示する蛍光体
スクリーンがシャドウマスクをフォトマスクとして写真
印刷法により形成されるため、その蛍光体スクリーンを
構成するブラックマトリックスのマトリックスホールや
ドット状の３色蛍光体層の寸法、形状がシャドウマスク
の開孔寸法、形状に大きく依存してしまうことにより、
シャドウマスクの開孔寸法、形状のばらつきが表示され
る画像のむらとなって現れ、画像品位を損なうためであ
る。

【０００４】従来より、上記シャドウマスクの開孔は、
フォトエッチング法により形成されており、特に高精細
化、高品質化が要求されるディスプレイ管用シャドウマ
スクについては、下記のような２段エッチング法により
形成されているのが一般的である。

【０００５】すなわち、カラーディスプレイ管用シャド
ウマスクは、アンバー材（Ｆｅ−３６ｗｔ％Ｎｉ）やア
ルミキルド鋼などの金属薄板を基材とし、圧延油や防錆
油などの脱脂を目的としてアルカリ系溶液を用いて脱脂
洗浄が行われ、図８（ａ）に示すように、上記金属薄板
７の両面にカゼイン系や変成ＰＶＡ系などの感光剤を塗
布、乾燥して感光膜８を形成する（感光膜形成工程）。

【０００６】次に同（ｂ）に示すように、この両面の感
光膜８にシャドウマスクの開孔の電子銃側の小開孔に対
応するパターンが形成された原版９ａ、および蛍光体ス
クリーン側の大開孔に対応するパターンが形成された原
版９ｂからなる一対の原版９ａ，９ｂを密着して露光
し、これら原版９ａ，９ｂのパターンを焼付ける（露光
工程）。このとき、露光光量の面内ばらつきが感光膜の
パターン抜け寸法に影響するため、露光光量が所定の範
囲に制御される。

【０００７】次にこのパターンを焼付けられた両面の感
光膜８を水あるいは水とアルコールからなる現像液を用
いて現像し、未感光部を除去し、同（ｃ）に示すよう
に、上記一対の原版のパターンに対応するパターンから
なるレジスト１０ａ，１０ｂを形成する（現像工程）。

【０００８】その後、同（ｄ）に示すように、上記レジ
スト１０ｂの形成された面側にポリエチレンテレフタレ
ート（ＰＥＴ）やキャスティングポリプロピレン（ＣＰ
Ｐ）などの耐エッチング性樹脂フィルムに粘着剤を塗工
してなる保護フィルム１１ｂを貼着し、上記レジスト１
０ａの形成された面側を塩化第２鉄溶液をエッチング液
としてエッチングし、このレジスト１０ａの形成された
面側にシャドウマスクの電子銃側の小開孔を構成する小
凹孔１２ａを形成する（第１エッチング工程）。

【０００９】次に上記レジスト１０ｂの形成された面側
に貼着された保護フィルム１１ｂを取除き、さらに同
（ｅ）に示すように、上記小凹孔の形成された面側のレ
ジスト１０ａをアルカリ系溶液で剥離した後水洗し、こ
の小凹孔の形成された面及びその小凹孔内にニスを塗
布、乾燥して耐エッチング層１３を形成する。さらにこ
の耐エッチング層１３上に保護フィルム１１ａを貼着す
る（耐エッチング層形成工程）。

【００１０】そしてレジスト１０ｂの形成された面側を
エッチング液によりエッチングして、このレジスト１０
ｂの形成された面側にシャドウマスクの蛍光体スクリー
ン側の大開孔を構成する大凹孔１２ｂを形成する（第２
エッチング工程）。

【００１１】次に上記保護フィルム１１ａを取除き、そ
の後、アルカリ系溶液により、大凹孔１２ｂの形成され
た面側のレジスト１０ａ及び上記小凹孔の形成された面
側の耐エッチング層１３を剥離除去して、同（ｆ）に示
すように、小凹孔１２ａと大凹孔１２ｂとが連通した開
孔１４を形成する（仕上げ工程）。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】このような方法によっ
てシャドウマスクを製造するが、得られたシャドウマス
クの開孔寸法、形状にばらつきが生じるという問題があ
る。その要因の一つにアルカリ系溶液を用いた洗浄工程
があげられる。すなわち、脱脂が不十分であればその後
の水洗工程を行っても圧延油や防錆油などが残留するこ
とがあり、感光膜形成時に感光膜と金属薄板との十分な
密着性が得られないおそれがあり、また、エッチング後
にレジストの剥離が十分に行われない場合には耐エッチ
ング層を形成する際のニスの塗布、充填が不均一になっ
て耐エッチング層と金属薄板との十分な密着性が得られ
ないおそれがある。

【００１３】この発明は、上記問題点を解決するために
なされたものであり、シャドウマスクの開孔寸法、形状
のばらつきを抑え、むら品位のすぐれたシャドウマスク
を製造することができる製造方法及び製造装置を得るこ
とを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、略水平に保持された状態で長手方向に沿
って搬送される帯状金属薄板の表面に付着している付着
物をアルカリ系溶液にて除去するアルカリ処理工程に関
するものである。本発明によるアルカリ処理は、帯状金
属薄板の上面及び下面に前記不活性な液を噴出して前記
金属薄板の表面近傍にキャビテーションを発生させるこ
とにより付着物の剥離を行う。

【００１５】また、前記アルカリ処理を行う処理部が、
前記帯状金属薄板の上面及び下面の少なくとも一方に前
記アルカリ系溶液を噴出して前記金属薄板の表面近傍に
キャビテーションを発生させて付着物の剥離を行う剥離
部と、前記帯状金属薄板の位置を規制するとともに、剥
離が行われる領域を規制して前記アルカリ系溶液の搬送
方向前段及び後段側への漏出を防止するシール部と、を
具備することを特徴とするシャドウマスクの製造装置で
ある。

【００１６】このような製造方法及び製造装置による
と、急速な剥離が行われる領域をシール部によって規制
しながらキャビテーションの作用によって剥離を行うの
で、搬送される帯状金属薄板から付着物を均一に剥離す
ることができる。

【００１７】また、剥離部は、複数の噴射ノズルが搬送
方向と略直交して配置されてなり、前記帯状金属薄板の
上面側に前記アルカリ系溶液を高圧噴射する第１の噴射
部と、複数の噴射ノズルが搬送方向と略直交して配置さ
れてなり、前記帯状金属薄板の下面側に前記アルカリ系
溶液と空気とを高圧噴射する第２の噴射部とを具備する
ことを特徴としている。

【００１８】さらに、シール部は、前記剥離部の前段側
に位置して前記帯状金属薄板を挟む一対の前段ローラー
と、前記剥離部の後段側に位置して前記帯状金属薄板を
挟む一対の後段ローラーとを具備することを特徴とす
る。

【００１９】なお、本発明によるアルカリ処理は、前記
帯状金属薄板を脱脂洗浄する脱脂処理、エッチング時の
レジストパターンを剥離するレジストパターン剥離、エ
ッチングにより形成された凹孔を充填する耐エッチング
層を剥離する耐エッチング層剥離の少なくとも一つであ
ることを特徴とする。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態について説明する。まず、本発明の製造方法
に用いられるアルカリ処理装置の構造を図１及び図２に
示す。図１は本洗浄装置を斜めから見た模式図であり、
図２は本処理装置の断面構造を示すものである。本発明
のアルカリ処理装置は、アルカリ系溶液を噴出して細か
い均一な気泡であるキャビテーションを金属薄板の表面
近傍に発生させて、このキャビテーションを利用するこ
とによって付着物を急速に剥離するものである。

【００２１】図示するように、本処理装置２０は、キャ
ビテーションを発生して急速に剥離を行う剥離部２１
と、シール部２４とから主としてなる。剥離部２１は上
側剥離部２２と下側剥離部２３とが帯状金属薄板７を挟
んで対向するように配置されてなり、また、剥離部２２
を挟んで金属薄板７の搬送方向（図中に矢印で示す方
向）両側には前段シール部２４ａと後段シール部２４ｂ
とが位置している。前段、後段シール部２４ａ，２４ｂ
はそれぞれ金属薄板を挟むように配置されたアルカリ系
溶液に対して耐蝕性を持つ材質からなる一対のローラー
２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂからなっている。

【００２２】シール部２４ａ，２４ｂはキャビテーショ
ン発生よる急速な剥離が行われている領域の両端に配置
されており、ａ）金属薄板の上部に液溜りを設けるこ
と、ｂ）キャビテーションの発生による金属薄板のばた
つきを防止すること、及びｃ）液がキャビテーション発
生領域外に漏れたり、はねたりすることを防止すること
を目的として設けられている。

【００２３】また、金属薄板の搬送を妨げることなく液
漏れを防ぐためには、シール部にはローラーを用いるの
が望ましいが、エアーナイフを用いることによってもシ
ールすることができる。ただし、エアーナイフの場合は
構造が複雑になる欠点がある。

【００２４】また、上側に位置するローラー重量は液漏
れを防ぐためには重い方がよいが、ローラーの回転が阻
害され、金属薄板に傷を発生させる場合もある。このよ
うな場合、ローラーにドライブを設け、金属薄板の走行
と同期させることで防止することができる。従って、ロ
ーラー径やローラー重量はこれらを考慮して適宜決定す
ればよい。

【００２５】剥離部２１は、図２に示すように、金属薄
板７を挟んで対向する上側剥離部２２と下側剥離部２３
とからなる。上側剥離部２２は、複数の噴射ノズル３２
が搬送方向と略直交して配置されてなり、帯状金属薄板
７の上面側にアルカリ系溶液２９を高圧噴射する第１の
噴射部３０を有している。下側剥離部２３は、液槽３４
と、液槽３４の下部に設けられ、複数の噴射ノズル４４
が搬送方向と略直交して配置されてなり、帯状金属薄板
７の下面側にアルカリ系溶液２９と空気とを高圧噴射す
る第２の噴射部４０とを有している。

【００２６】第１の噴射部３０は、中空体３１の下側に
多数の噴射ノズル３２が設けられた構造であり、この中
空体３１に高圧のアルカリ系溶液を供給することによ
り、噴射ノズル３２から噴射された高圧の液２９が金属
薄板７の上部に溜まった液４８の水面付近の空気を巻き
込み、均一で細かいキャビテーションを発生させること
ができる。

【００２７】第２の噴射部４０もまた中空体４１にて構
成されている。中空体４１の中には噴射ノズル４４が第
２の噴射部４０ごとに上側に突出して多数設けられてお
り、噴射ノズル４４に対応した開孔４３が多数設けられ
ており、中空体４１には空気が供給される構造となって
いる。また、配管４２には高圧のアルカリ系溶液が供給
され、噴射ノズル４４から高圧水を噴射するようになっ
ている。この第２の噴射部４０の開孔部で高圧水が空気
を巻き込んで噴射され、金属薄板の下面に向けてキャビ
テーションを発生する。

【００２８】また、液置換部の前後には可変可能なスリ
ット２７が設けられており、液溜りの量を規制すること
ができる。このように、本処理装置では、高圧のアルカ
リ系溶液が効率良く空気を巻き込んで均一できめの細か
なキャビテーションを発生させ、金属薄板の上下面での
付着物の液置換を高速で均一に行うことができる。ま
た、シール部が設けられているため、シール部で規制さ
れた範囲内で均一な剥離を可能にしている。

【００２９】特にエッチング後においては、金属薄板に
凹部が形成されているが、キャビテーションの利用によ
ってアルカリ系溶液が凹部内にも回り込むので、急速か
つ効率的な剥離を可能としている。また、レジスト厚を
薄くすればエッチング後に生じるレジストの庇部をキャ
ビテーションの作用により破壊することもでき、さらに
剥離効率を挙げることも可能である。

【００３０】また、従来のスプレー法では比較的長い時
間の洗浄を要し、そのためにスプレーノズルを搬送方向
に沿って何段も配置しているため設置スペースや使用水
量がかなり費やされていたが、本洗浄装置によると、設
置スペース、水量ともに半減することも可能である。

【００３１】本洗浄装置は、シャドウマスクの製造工程
におけるレジスト形成前の脱脂工程、レジスト剥離工
程、２段エッチング法における耐エッチング層の剥離工
程などに用いることができ、このような処理工程に用い
ることによって、品位の優れたシャドウマスクを提供す
ることのできる製造方法及び製造装置となる。以下、こ
の発明の実施の形態を実施例に基づいて説明する。

【００３２】

【実施例１】本発明によるシャドウマスクの製造方法の
一例として、板厚０．１２mmのアンバー材からなる金属
薄板をシャドウマスク基材として、２段エッチング法に
より開孔を形成する方法を示す。図３は２段エッチング
工程の全体的流れを示し、図４は金属薄板の断面形状の
変化を示す図である。なお、図３中で二重枠になってい
る工程に本発明の処理装置を用いている。

【００３３】まず、図１に示した装置を用いて、液温５
０℃の脱脂液（ヘンケル白水（株）製ペルシーＬＫ）
を、液圧５〜１５kg／cm² 、空気圧５kg／cm² 、空気流
量０．２Nm／min で噴射して帯状金属薄板７の表面に付
着する圧延油や防錆油を剥離する。その後、工水、純水
でスプレー洗浄し、乾燥した後、図４（ａ）に示すよう
に、この金属薄板７の両面に、カゼイン、重クロム酸塩
を主成分とする感光剤を塗布、乾燥して、厚さ数μｍの
感光膜８を形成する（感光膜形成工程）。

【００３４】この時、脱脂、水洗後の金属薄板の清浄度
を、水滴の接触角及びＸＰＳ（Ｘ線光電子分光）による
元素分析により調べた結果を図５に示す。図５におい
て、曲線５１は水による表面接触角であり、曲線５２は
Ｆｅのピーク強度に対するＣのピーク強度の相対値、す
なわちＣ／Ｆｅを示す。Ｃ／Ｆｅは油成分及び脱脂剤中
のキレート剤成分の除去度合いを表す。なお、従来例は
同じ脱脂液を用い、液温８５℃、スプレー圧３kg／cm²
で脱脂した場合である。従来例ではこれ以上スプレー圧
を上げても使用液流量が増えるばかりで脱脂効果は向上
しない。図５に示すように、本実施例による金属薄板の
清浄度は液圧５〜１５kg／cm² の範囲で従来方法による
洗浄に比べて大幅に向上している。

【００３５】次に図４（ｂ）に示すように、この両面の
感光膜８にシャドウマスクの開孔の電子銃側の小開孔に
対応するドットパターンが形成された原版９ａ、及び蛍
光体スクリーン側の大開孔に対応するドットパターンが
形成された原版９ｂからなる一対の原版９ａ，９ｂを密
着して露光し、これら原版９ａ，９ｂのパターンを焼付
ける（露光工程）。

【００３６】次にこのパターンを焼付けられた両面の感
光膜８を現像して未感光部を除去し、同（ｃ）に示すよ
うに、上記一対の原版９ａ，９ｂのパターンに対応する
ドットパターンからなるレジスト１０ａ，１０ｂを形成
する（現像工程）。このようにしてレジストが形成され
た帯状金属薄板は一旦ロール状に巻き取られ、ロールの
状態で次のエッチング工程へと移動する。

【００３７】エッチング工程は、レジストの形成された
ロール状の帯状金属薄板を搬送装置によって巻き出しな
がら行われる。まず、図４（ｄ）に示すように、上記レ
ジスト１０ｂの形成された面側に、ポリエチレン・テレ
フタレート（ＰＥＴ）樹脂などからなる保護フィルム１
１ｂを貼着し（保護フィルム貼付工程）、エッチング装
置によって上記レジスト１０ｂの形成された面側に、液
温７０℃、比重１．５１０の塩化第２鉄溶液からなるエ
ッチング液をスプレーして、このレジスト１０ａの形成
された面側にシャドウマスクの電子銃側の小開孔を構成
する小凹孔１２ａを形成する（第１エッチング工程）。

【００３８】そしてこの第１のエッチング終了後、同じ
出願人による特願平８−２３５５２７号に開示された装
置を用いて金属薄板に対して不活性なエッチング抑制液
として水温２５℃の工水を、液圧５〜１５kg／cm² 、空
気圧５kg／cm² 、空気流量０．２Nm／min で噴射して水
洗し、金属薄板７の表面、特に上記小凹孔１２ａ内に残
留するエッチング液１６を工水と急速に置換して、同
（ｅ）に示すように、金属薄板７の表面、特に小凹孔１
２ａ内に残留するエッチング液を除去する（洗浄工
程）。

【００３９】次に、エッチングが終了した１２ａ側のレ
ジスト１０ａを図１に示す装置を用い、５％の水酸化ナ
トリウム水溶液で剥離除去し（レジスト剥離工程）、工
水及び純水でスプレー水洗し、乾燥後、レジスト１０ｂ
の形成された面側に貼着された保護フィルム１１ｂを取
除く（保護フィルム剥離工程）。その後、同（ｆ）に示
すように、上記小凹孔の形成された面及びその小凹孔内
に耐エッチング性のＵＶ硬化型樹脂を塗布充填し、高圧
水銀ランプを用いた硬化装置で硬化し、耐エッチング層
１３を形成する（耐エッチング層形成工程）。さらにこ
の耐エッチング層１３上にＰＥＴ樹脂などからなる保護
フィルム１１ａを貼着する（保護フィルム貼付工程）。

【００４０】この時、レジスト剥離後に水洗された金属
薄板の清浄度を、水滴の接触角及びＸＰＳ（Ｘ線光電子
分光）による元素分析により調べた結果を図６に示す。
図６において、曲線６１は水による表面接触角であり、
曲線６２及び６３はそれぞれＦｅのピーク強度に対する
Ｃ及びＮのピーク強度の相対値、即ちＣ／Ｆｅ、Ｎ／Ｆ
ｅを示す。このＣ／Ｆｅ及びＮ／Ｆｅはレジスト成分の
除去度合いを表す。また、従来例は同じ剥離液を用い、
液温８０℃、スプレー圧３kg／cm² とした場合である。
従来例ではこれ以上液圧を上げても使用液流量が増える
ばかりで剥離効果は向上しない。図７に示すように、本
実施例による金属薄板の清浄度は液圧５〜１５kg／cm²
の範囲で従来方法による洗浄に比べて大幅に向上してい
る。

【００４１】その後、図４（ｇ）に示すように、レジス
ト１０ｂの形成された面側に液温７０℃、比重１．５１
０の塩化第２鉄溶液からなるエッチング液をスプレーし
て、このレジスト１０ｂの形成された面側にシャドウマ
スクの蛍光体スクリーン側の大開孔を構成する大凹孔１
２ｂを形成する（第２エッチング工程）。

【００４２】そしてこの第２のエッチング終了後、第１
エッチング工程終了時と同様に特眼平８−２３５５２７
号に開示された装置を用いて、同（ｈ）に示すように、
大凹孔１２ｂ内に残留するエッチング液１６を除去する
（洗浄工程）。

【００４３】この後、上記他方の面側に貼着された保護
フィルム１１ａを取除き（保護フィルム剥離工程）、そ
の後、図１に示す装置を用い、５％の水酸化ナトリウム
水溶液により、大凹孔１２ｂの形成された面側のレジス
ト１０ａおよび上記小凹孔側の耐エッチング層１３を剥
離除去し（レジスト／耐エッチング層剥離工程）、さら
に水洗、乾燥して、同（ｉ）に示すように、小凹孔１２
ａと大凹孔１２ｂとが連通した開孔１４を形成する。そ
の後、開孔が形成されたシャドウマスクを帯状金属薄板
から切り離してフラットマスクが完成する（ピックオフ
工程）。

【００４４】なお、上記実施例１では、２段エッチング
法によりシャドウマスクの開孔を形成する場合について
説明したが、この発明の実施の形態における付着物の剥
離は、金属薄板の両面を同時にエッチングして開孔を形
成する場合にも適用しても、ほぼ同様の効果が得られ
る。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
シャドウマスク基材である帯状金属薄板の上下面の近傍
に均一できめの細かいキャビテーションを発生させて剥
離を行い、かつ、このキャビテーションによる液置換は
領域を規制しながら行われるので、開孔寸法、形状のば
らつきを抑えて、むら品位のすぐれたシャドウマスクを
製造することができる。また、使用する液の量を大幅に
削減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態におけるアルカリ処理装
置を示す斜視図である。

【図２】図２（ａ）及び（ｂ）は図１における処理装置
の内部構造を示すであり、図２（ａ）は剥離部の内部を
シャドウマスク搬送方向から見た断面図、図２（ｂ）は
搬送方向に沿った断面図である。

【図３】この発明の実施例におけるシャドウマスクの製
造方法の工程流れを示す図である。

【図４】図４（ａ）乃至（ｉ）はそれぞれ図４の主要工
程を説明するための図である。

【図５】本発明を脱脂工程に用いた場合の効果を説明す
るための図である。

【図６】本発明をレジスト剥離に用いた場合の効果を説
明するための図である。

【図７】カラー受像管の構成を示す模式図である。

【図８】従来のシャドウマスクの製造方法を説明するた
めの図である。

【符号の説明】

７…金属薄板１０ａ，１０ｂ…レジスト１２…小凹孔１２ｂ大凹孔１４…開孔２０…アルカリ処理装置２１…剥離部２２…上側剥離部２３…下側剥離部２４…シール部２４ａ…前段シール部２４ｂ…後段シール部３０…第１の噴射部４０…第２の噴射部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】略水平に保持された状態で長手方向に沿
って搬送される帯状金属薄板の表面に付着している付着
物をアルカリ系溶液で除去するアルカリ処理工程を具備
するシャドウマスクの製造方法において、前記アルカリ処理工程が、前記帯状金属薄板の上面及び
下面の少なくとも一方に前記アルカリ系溶液を噴出して
前記金属薄板の表面近傍にキャビテーションを発生させ
て付着物の剥離を行う工程であることを特徴とするシャ
ドウマスクの製造方法。
【請求項２】前記処理工程が、前記帯状金属薄板を脱
脂洗浄する脱脂処理工程、エッチング時のレジストパタ
ーンを剥離するレジストパターン剥離工程、エッチング
により形成された凹孔を充填する耐エッチング層を剥離
する耐エッチング層剥離工程の少なくとも一つであるこ
とを特徴とする請求項２記載のシャドウマスクの製造方
法。
【請求項３】略水平に保持された状態で長手方向に沿
って搬送される帯状金属薄板の表面に付着している付着
物をアルカリ系溶液で除去するアルカリ処理部を具備す
るシャドウマスクの製造装置において、前記アルカリ処理部が、前記帯状金属薄板の上面及び下
面の少なくとも一方に前記アルカリ系溶液を噴出して前
記金属薄板の表面近傍にキャビテーションを発生させて
付着物の剥離を行う剥離部と、前記帯状金属薄板の位置
を規制するとともに、剥離が行われる領域を規制して前
記アルカリ系溶液の搬送方向前段及び後段側への漏出を
防止するシール部と、を具備することを特徴とするシャ
ドウマスクの製造装置。
【請求項４】前記剥離部は、複数の噴射ノズルが搬送
方向と略直交して配置されてなり、前記帯状金属薄板の
上面側に前記アルカリ系溶液を高圧噴射する第１の噴射
部と、複数の噴射ノズルが搬送方向と略直交して配置さ
れてなり、前記帯状金属薄板の下面側に前記アルカリ系
溶液と空気とを高圧噴射する第２の噴射部とを具備する
ことを特徴とする請求項３記載のシャドウマスクの製造
装置。
【請求項５】前記シール部は、前記剥離部の前段側に
位置して前記帯状金属薄板を挟む一対の前段ローラー
と、前記剥離部の後段側に位置して前記帯状金属薄板を
挟む一対の後段ローラーとを具備することを特徴とする
請求項３又は４記載のシャドウマスクの製造装置。
【請求項６】前記アルカリ処理部が、前記帯状金属薄
板を脱脂洗浄する脱脂処理部、エッチング時のレジスト
パターンを剥離するレジストパターン剥離部、エッチン
グにより形成された凹孔を充填する耐エッチング層を剥
離する耐エッチング層剥離部の少なくとも一つであるこ
とを特徴とする請求項３ないし５のいずれか一に記載の
シャドウマスクの製造装置。