JP2002231131A - シャドウマスクの製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 エッチング抵抗層を金属薄板の微細凹部内に
充分に充填してエッチング時の孔変形が発生することを
防止する。 【解決手段】 金属薄板２１の両面に、表裏両面で相互
に対応したパターン状開口部を有する耐食性皮膜を形成
し、金属薄板２１の他方の面の耐食性皮膜上に保護フィ
ルムを貼り付けた後、金属薄板２１の一方の面に対して
第１のエッチングを行って微細凹部を一方の面に形成
し、金属薄板２１の一方の面から耐食性皮膜を剥離し洗
浄した後、一方の面にエッチング抵抗層を被覆し、その
後、第２のエッチングによって一方の面の微細凹部まで
連通した微細透孔を形成する。水切り板３７によって金
属薄板の一方の面への水付着を均一に均した後、乾燥す
る処理Ａと、吸水ローラ３５によって保護フィルム面の
水付着を均一に均した後、乾燥する処理Ｂと、吸引ノズ
ルによって金属薄板の一方の面の幅方向両端部に対して
吸引力を作用させた後、乾燥する処理Ｃとの内の少なく
ともいずれかの処理を、第１のエッチング工程の後であ
って、エッチング抵抗層を被覆する工程の前に行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー陰極線管に
用いられるシャドウマスクの製造方法及び製造装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】カラー陰極線管に用いられるシャドウマ
スクは、蛍光面に近接して配置されており、電子銃から
射出された電子ビームを規則的に配列された多数の微細
な開孔を介して対応した蛍光面に正しく射出発光させる
ことにより、カラー映像を映し出させるための色選別機
能を有した重要な部材である。このようなシャドウマス
クは一般にフォトエッチング法により製造されている。

【０００３】図８は一般的に用いられているシャドウマ
スクの製造工程を示す。板厚０．１〜０．３ｍｍ程度の
低炭素アルミキルド鋼又はアンバー合金からなる金属薄
板をシャドウマスク材として用い、先ずこのシャドウマ
スク材の表面を脱脂、水洗した後、そのシャドウマスク
材の両面に感光液を塗布し、乾燥させて、シャドウマス
ク材の両面に厚さ数μｍのフォトレジスト膜を各々被着
形成する。

【０００４】次に、シャドウマスク材の両面の各フォト
レジスト膜の表面に形成しようとする電子ビーム通過孔
に対応したパターン状画像を有する露光用マスクを表裏
で画像位置が一致するように各々密着させ、その各露光
マスクを介して露光を行った後、現像し、続いて硬膜処
理を施すことによリ、パターン状開口部を有した耐食性
皮膜をシャドウマスク材の表裏両面に各々形成する。

【０００５】そして、塩化第二鉄水溶液を用いたスプレ
ーエッチングを行って、耐食性皮膜で被覆されずに露出
している金属部分を腐食させる。これにより、シャドウ
マスク材に所望形状の多数の透孔を形成する。このエッ
チング終了後にシャドウマスク材の表裏両面から耐食性
皮膜を剥離し、水洗・乾燥を行うことによリシャドウマ
スクを得る。

【０００６】ところで、高解像度受像管用のシャドウマ
スクでは、シャドウマスク材の板厚と比較して透孔の直
径が略同等若しくは若干小さくなることも有り、このよ
うなシャドウマスクを１回のエッチングで透孔を形成す
る方法によって製作すると、所望の設計通りの形状に透
孔を形成することが極めて困難であり、実用に供し得な
いようなシャドウマスクしか得られ無いことが経験的に
知られている。

【０００７】この対策の一つとして、既知の方法でエッ
チングを２回に分けて段階的に行う方法が知られてい
る。

【０００８】図９はこの２段階エッチングを行う工程を
示し、図８と同様に、金属薄板の両面にフォトレジスト
膜を形成した後、露光、現像及び硬膜処理を行うことに
より、パターン状開口部を有した耐食性皮膜を形成す
る。

【０００９】次に、粘着剤を均一に塗布したポリエチレ
ン、ポリプロピレン等のポリオレフィンからなる保護フ
ィルムを、エッチングを行わない金属薄板の片面に対し
て貼り付けた後、金属薄板の他面に対し、第１のエッチ
ングを行う。この第１のエッチングによって、パターン
状開口部に対応した微細凹部が金属薄板の他面に形成さ
れる。

【００１０】そして、エッチングした面を水洗した後、
耐食性皮膜を剥離し、さらに水洗及び乾燥を行う。その
後、エッチングした面をエッチング抵抗層で被覆する。
エッチング抵抗層の被覆は、パラフィン、アスファル
ト、ラッカー、ＵＶ（紫外線）硬化樹脂等をスプレー、
ロールコーター等により、金属薄板の他面の全体に塗布
することにより行う。

【００１１】次いで、エッチング抵抗層が形成されてい
ない金属薄板の片面から保護フィルムを剥離し、剥離し
た片面に対してエッチング液を吹き付けて第２のエッチ
ングを行い、金属薄板の片面に微細凹部を形成すると共
に、この微細凹部を他面側に形成されている微細凹部と
連通させて透孔とする。この第２のエッチング終了後
に、金属薄板の表面からエッチング抵抗層及び耐食性皮
膜を各々剥離し、水洗・乾燥を行うことにより所望の透
孔が形成されたシャドウマスクを得る。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第１の
エッチングの後のエッチング抵抗層の塗布において、塗
布した際に、微小凹部内にエッチング抵抗層が隙間なく
充填されないと、例えば、泡を噛んだり、水滴のはじき
が起こるため、第２のエッチングの際に、正常な形状で
のエッチングができず、透孔が必要以上に大きく開孔さ
れた孔大と称した孔変形が発生する。

【００１３】図７（ｂ）は、孔変形が発生した金属薄板
を顕微鏡で観察した模式図を示し、孔大となった透孔６
９は正常な透孔７０に対して大きく変形した状態となっ
ている。

【００１４】本発明は、このような従来の問題点を考慮
してなされたものであり、エッチング抵抗層を微小凹部
内に充分に充填することができ、これにより、孔変形を
防止することが可能なシャドウマスクの製造方法及び製
造装置を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明のシャドウマスクの製造方法
は、金属薄板の両面に、表裏両面で相互に対応したパタ
ーン状開口部を有する耐食性皮膜を形成する工程と、金
属薄板の他方の面の耐食性皮膜上に保護フィルムを貼り
付けた後、金属薄板の一方の面に対してエッチングを行
って前記パターン状開口部に対応した微細凹部を一方の
面に形成する第１のエッチング工程と、エッチングが行
われた金属薄板の一方の面から耐食性皮膜を剥離し、洗
浄した後、当該一方の面にエッチング抵抗層を被覆する
工程と、金属薄板の他方の面に対してエッチングを行っ
て前記一方の面の微細凹部まで連通した微細透孔を形成
する第２のエッチング工程とを備えたシャドウマスクの
製造方法であって、前記金属薄板の一方の面への水付着
を均一に均した後、乾燥する処理Ａと、前記保護フィル
ム面の水付着を均一に均した後、乾燥する処理Ｂと、前
記金属薄板の一方の面の幅方向両端部に対して吸引力を
作用させた後、乾燥する処理Ｃとを有し、処理Ａ，Ｂ，
Ｃの内の少なくともいずれかの処理を、前記第１のエッ
チング工程の後であって、エッチング抵抗層を被覆する
工程の前に行うことを特徴とする。

【００１６】この発明における処理Ａでは、金属薄板の
一方の面の全面に対して水付着を均一にする。従って、
金属薄板の一方の面の乾燥を均一に行うことができる。

【００１７】処理Ｂでは、金属薄板の他方の面における
保護フィルムの面上の水付着を均一にする。このように
金属薄板の他方の面の水付着を均一にすることにより、
乾燥の際には、金属薄板の一方の面の水滴部分がシミ状
となって乾燥が遅れることを防止する。このため、金属
薄板の一方の面の乾燥を均一に行うことができる。

【００１８】処理Ｃでは、金属薄板の一方の面の幅方向
両端部に対して吸引力を作用させることにより、金属薄
板の幅方向の両端部に溜まっている水滴を吸引除去する
ため、水滴が金属薄板の一方の面の面内にスジ状となっ
て入り込むことを防止する。これにより、乾燥が遅れる
ことを防止でき、金属薄板の一方の面の乾燥を均一に行
うことができる。

【００１９】本発明では、以上の処理Ａ，Ｂ，Ｃの内の
いずれかの処理を行うものであり、これにより、金属薄
板の一方の面の乾燥が均一となるため、エッチング抵抗
層を金属薄板の一方の面の微細凹部内に充分に充填する
ことができ、充填不充分となることがない。従って、泡
を噛んだり、水滴のはじきが起きることがなく、第２の
エッチングの際に、正常な形状でのエッチングができ、
孔変形を防止することができる。

【００２０】請求項２記載の発明は、請求項１記載のシ
ャドウマスクの製造方法であって、前記処理Ａは、金属
薄板の一方の面の幅方向に沿って水切り板を弾性的に接
触させて行うことを特徴とする。

【００２１】このように水切り板を弾性的に接触させる
ことにより、金属薄板に一方の面の全体に対して水滴を
簡単に均一に均すことができる。

【００２２】請求項３記載の発明は、請求項２記載のシ
ャドウマスクの製造方法であって、前記水切り板とし
て、前記金属薄板と同程度の硬度またはそれ以下の硬度
からなる材料を用いることを特徴とする。

【００２３】このように水切り板を金属薄板と同程度の
硬度或いはそれ以下の硬度とすることにより、水切り板
が弾性的に接触しても、金属薄板が傷付くことがなくな
る。

【００２４】請求項４記載の発明は、請求項１記載のシ
ャドウマスクの製造方法であって、前記処理Ｂは、吸水
ローラを前記保護フィルムの幅方向に沿って転接させて
行うことを特徴とする。

【００２５】このように吸水ローラを転接させることに
より、保護フィルムの面上の水滴を吸収しながら、均一
に均すことができる。

【００２６】請求項５記載の発明は、請求項１記載のシ
ャドウマスクの製造方法であって、前記処理Ｃは、吸引
ノズルを前記金属薄板の一方の面の幅方向両端部に対向
させて行うことを特徴とする。

【００２７】吸引ノズルを金属薄板の一方の面の幅方向
両端部と対向させることにより、金属薄板の幅方向の両
端部に溜まっている水滴を吸引除去するため、水滴が一
方の面の面内に入り込むことを防止することができる。

【００２８】請求項６記載の発明のシャドウマスクの製
造装置は、金属薄板の両面に、表裏両面で相互に対応し
たパターン状開口部を有する耐食性皮膜を形成する皮膜
形成手段と、金属薄板の他方の面の耐食性皮膜上に保護
フィルムを貼り付けた後、金属薄板の一方の面に対して
エッチングを行って前記パターン状開口部に対応した微
細凹部を一方の面に形成する第１のエッチング手段と、
エッチングが行われた金属薄板の一方の面から耐食性皮
膜を剥離し、洗浄した後、当該一方の面にエッチング抵
抗層を被覆する被覆手段と、金属薄板の他方の面に対し
てエッチングを行って前記一方の面の微細凹部まで連通
した微細透孔を形成する第２のエッチング手段とを備え
たシャドウマスクの製造装置であって、前記金属薄板の
一方の面の幅方向に沿って弾性的に接触する水切り板
と、前記保護フィルムの幅方向に沿って転接する吸水ロ
ーラと、金属薄板の一方の面の幅方向両端部に対して吸
引力を作用させる吸引ノズルとを有し、前記水切り板、
吸水ローラまたは吸引ノズルの少なくともひとつが前記
第１のエッチング手段と被覆手段との間に配置されてお
り、これらの配置部位と前記被覆手段との間に、金属薄
板を乾燥する乾燥手段が設けられていることを特徴とす
る。

【００２９】水切り板は、金属薄板の一方の面の幅方向
に沿って弾性的に接触することにより、金属薄板の一方
の面の水滴を均一に均し、吸水ローラは保護フィルムの
幅方向に沿って転接することにより、保護フィルムの面
上の水滴を吸収しながら均一に均し、吸引ノズルは金属
薄板の一方の面の幅方向両端部に対して吸引力を作用さ
せることにより、金属薄板の幅方向の両端部に溜まって
いる水滴を吸引除去して水滴が金属薄板の一方の面の面
内にスジ状となって入り込むことを防止する。

【００３０】本発明では、以上の水切り板、吸水ローラ
または吸引ノズルの少なくともひとつを用いた後に、乾
燥手段が金属薄板を乾燥させるため、金属薄板の一方の
面を均一に乾燥することができる。これにより、エッチ
ング抵抗層を金属薄板の一方の面の微細凹部内に充分に
充填することができるため、正常な形状での第２のエッ
チングができ、孔変形を防止することができる。

【００３１】請求項７記載の発明は、請求項７記載のシ
ャドウマスクの製造装置であって、前記水切り板は、前
記金属薄板と同程度の硬度またはそれ以下の硬度からな
る材料によって形成されていることを特徴とする。

【００３２】このように水切り板を金属薄板と同程度の
硬度或いはそれ以下の硬度とすることにより、水切り板
が弾性的に接触しても、金属薄板が傷付くことがなくな
る。

【００３３】

【発明の実施の形態】図１〜図６は、本発明の一実施の
形態であり、以下、本発明を図１〜図６を参照して具体
的に説明する。

【００３４】図１は、本発明の実施の形態のシャドウマ
スク２０を含むカラー陰極線管４０の概略構成を示して
いる。

【００３５】このカラー陰極線管４０は、図１に示すよ
うに、内面に蛍光面（蛍光体スクリーン）１が形成され
たパネル２と、このパネル２に連設するファンネル３か
らなる外囲器を有し、パネル２の内面に形成された蛍光
面１は、赤、緑、青にそれぞれ発光する三色蛍光体層１
ａ（図１においては１箇所のみ示す）を備えている。

【００３６】また、ファンネル３のネック部４には、発
光色に対応した複数の電子ビーム６Ｂ、６Ｇ、６Ｒを放
出する電子銃５が配置され、複数の電子ビーム６Ｂ、６
Ｇ、６Ｒを放出する。

【００３７】パネル２の内側における電子銃５と蛍光面
１の間には、色選別機能を有する略矩形状のシャドウマ
スク２０が配置され、電子銃５から放出された電子ビー
ム６Ｂ、６Ｇ、６Ｒを整形して特定の三色蛍光体層１ａ
にビームスポットを照射するようになっている。

【００３８】シャドウマスク２０は、その周辺のマスク
スカート部２０ａが内側になるように略矩形状のマスク
フレーム７によって固着支持されており、さらに側壁部
８、折曲底面部９からなるフレーム７に弾性支持体１２
を取り付けてなるシャドウマスク構体の形態で、パネル
２の内壁に設けられた支持ピン１０に係止されている。
なお、ファンネル３の外側には、電子銃５から放出され
る電子ビーム６Ｂ、６Ｇ、６Ｒを水平及び垂直偏向する
磁界を発生する偏向装置１１が装着されている。

【００３９】次に、この実施の形態によるシャドウマス
ク２０の製造を図２〜図６を参照して説明する。この実
施の形態では、金属薄板２１として、板厚０．１２ｍｍ
のアンバー鋼材を用いている。

【００４０】図２は金属薄板２１に対して微細凹部を形
成するまでの工程を、図６はその後にシャドウマスクと
するまでの工程を示し、図３〜図５は図２及び図６の工
程の間に配置された処理手段を示している。

【００４１】金属薄板２１は長尺状となっており、その
両面を脱脂洗浄した後、両面にカゼインと重クロム酸ア
ンモニウム等からなる水溶性感光液を塗布して乾燥する
ことにより、図２（ａ）に示す感光性樹脂層２２，２３
を形成する。

【００４２】次いで、図２（ｂ）で示すように、円形孔
パターン２４ａ、２５ａからなるパターン状画像をそれ
ぞれ有した露光用マスク２４，２５を、対応する感光性
樹脂層２２，２３に真空密着させる。なお、この実施の
形態では、露光用マスク２４の円形孔パターン２４ａは
大孔パターン、露光用マスク２５の円形孔パターン２５
ａは小孔パターンとなっている。

【００４３】露光用マスク２４，２５を介して感光性樹
脂層２２，２３をパターン露光した後、現像及び硬膜等
の処理を行うことにより、金属薄板２１両面の感光性樹
脂層２２，２３を図２（ｃ）で示すように、大孔パター
ンに対応した開口部２６ａを有した耐食性皮膜２６及び
小孔パターンに対応した開口部２７ａを有した耐食性皮
膜２７とする。

【００４４】その後、金属薄板２１の他方の面へのエッ
チングを防止するため、図２（ｄ）で示すように、大孔
パターンに対応した開口部２６ａを有する耐食性皮膜２
６上に保護フィルム２８を貼り付ける。保護フィルム２
８としては、ポリエチレン、ポリプロピレン等からなる
ポリオレフィンフィルムが使用されており、このフィル
ムに粘着剤を均一に塗布した状態で耐食性皮膜２６上に
ラミネートすることにより貼着する。

【００４５】保護フィルム２８を貼着した後、第１のエ
ッチングを行う。第１のエッチングは、例えば、塩化第
二鉄をエッチング液として用い、金属薄板２１の一方の
面（耐食性皮膜２７側の面）にエッチング液を所定の圧
力（例えば、０．５〜４．０Ｋｇ／ｃｍ²）でスプレー
することにより行う。なお、エッチング液のスプレーは
金属薄板２１の両面から行っても良い。この第１のエッ
チングによって、図２（ｅ）で示すように金属薄板２１
の一方の面（下面）に、開口部２７ａに対応した微細凹
部２９が形成される。

【００４６】そして、エッチング面である金属薄板２１
の一方の面を水洗した後、図２（ｆ）で示すように、耐
食性皮膜２７を剥離する。その後、金属薄板２１を水洗
し、乾燥を行う。

【００４７】図３はこの水洗〜乾燥までの間に行う処理
工程を示し、３０は金属薄板２１から耐食性皮膜２７を
剥離する剥離槽、３１は耐食性皮膜２７剥離後の金属薄
板２１の両面を水洗する水洗槽であり、３２は温風、ヒ
ータ等によって金属薄板２１を乾燥する乾燥槽である。
金属薄板２１は水洗槽３１から引き出された後、ターン
ローラ３３によって上方に方向転換されて引き上げられ
ながら搬送されて乾燥槽３２内に導入される。

【００４８】この実施の形態において、水洗槽３１と乾
燥槽３２との間には、吸水ローラ３５、水切り板３７及
び吸引ノズル３９が、金属薄板２１の搬送方向の上流側
から下流側に向かって順に配置されている。

【００４９】吸水ローラ３５は金属薄板２１の上面（他
方の面）側に配置されており、金属薄板２１の他方の面
に貼着されている保護フィルム２８に接触しながら回転
する。また、吸水ローラ３５は金属薄板２１の全幅をカ
バーする長さを有しており、金属薄板２１の幅方向に沿
って金属薄板２１に転接している。

【００５０】この吸水ローラ３５は、その表面またはそ
の全体がジュラポール（商品名）等の吸水性材料によっ
て形成されており、これにより、保護フィルム２８上に
付着している水滴を吸収しながら保護フィルム２８の全
面に均一に均すように作用する（処理Ｂ）。このように
金属薄板２１の他方の面の水付着を均一にすることによ
り、乾燥の際に、金属薄板２１の一方の面の水滴部分が
シミ状となって乾燥が遅れることを防止することがで
き、金属薄板２１の一方の面の乾燥を均一に行うことが
できる。

【００５１】なお、吸水ローラ３５は金属薄板２１の搬
送移動に伴って追随回転する自由回転であっても良く、
モータ等の駆動源（図示省略）による強制回転であって
も良い。

【００５２】水切り板３７は吸水ローラ３５よりも下流
側に位置するように配置されている。また、水切り板３
７は微細凹部２９が形成されている金属薄板２１の下面
（一方の面）側に配置されている。

【００５３】図４に示すように水切り板３７は、ホルダ
３６に下端部が支持された状態で上端部が金属薄板２１
と接触するように延びており、金属薄板２１が搬送移動
するのに伴って搬送方向に湾曲しながら金属薄板２１の
一方の面に弾性的に接触する。また、水切り板３７は、
金属薄板２１の全幅をカバーする長さを有しており、金
属薄板２１の幅方向に沿って金属薄板２１の一方の面に
弾性的に接触する。このような接触を行うことにより、
水切り板３７は、微細凹部２９が形成されている金属薄
板２１の一方の面の全面に対して水滴を均一に均すよう
に作用する（処理Ａ）。

【００５４】また、水切り板３７としては、金属薄板２
１と同程度の硬度またはそれ以下の硬度からなる材料を
用いるものである。この実施の形態において、水切り板
３７としては、金属薄板２１と同材料であり、且つ金属
薄板２１と同程度の厚さ（例えば、０．１５ｍｍ）を用
いることにより、金属薄板２１と同程度の硬度となって
いる。これに限らず、ステンレス等のアンバー鋼材より
も硬度の小さな材料を使用することができる。このよう
に水切り板３７を金属薄板２１と同程度の硬度或いはそ
れ以下の硬度とすることにより、水切り板３７が弾性的
に接触しても、金属薄板２１が傷付くことがなくなる。

【００５５】吸引ノズル３９は図３に示すように、水切
り板３７の下流側で、且つターンローラ３３に臨むよう
に配置されている。図５は吸引ノズル３９の配置を示
し、吸引ノズル３９はターンローラ３３の下方に設けら
れている。また、吸引ノズル３９は微細凹部２９が形成
されている金属薄板２１の下面（一方の面）の幅方向両
端部に位置するように一対が設けられている。それぞれ
の吸引ノズル３９は、真空ポンプ等の吸引手段（図示省
略）に連結されており、金属薄板２１の幅方向の両端部
に溜まっている水滴を吸引除去する。このため、ターン
ローラ３３によって絞り出されて金属薄板２１の幅方向
両端部に溜まってくる水滴を除去することができ、水滴
がスジ状となって回り込んで、金属薄板２１の一方の面
の面内に入り込むことを防止するように作用する（処理
Ｃ）。

【００５６】以上の処理Ａ，Ｂ，Ｃの後、金属薄板２１
は引き上げられながら、乾燥槽３２内に引き込まれ、乾
燥槽３２内で温風やヒータ等によって乾燥処理される。
この乾燥処理では、処理Ａ，Ｂ，Ｃを前段で行っている
ため、金属薄板２１の一方の面を均一に乾燥することが
できる。このため、後述する工程でのエッチング抵抗層
４１を金属薄板２１の一方の面の微細凹部２９内に充分
に充填することができ、充填不充分となることがない。
従って、泡を噛んだり、水滴のはじきが起きることがな
く、第２のエッチングの際に、正常な形状でのエッチン
グができ、孔変形を防止することができる。

【００５７】以上の処理Ａ，Ｂ，Ｃの後、図６（ａ）で
示すように、金属薄板２１の一方の面に対してエッチン
グ抵抗層４１を被覆する。エッチング抵抗層４１の被覆
は、パラフィン、アスファルト、ラッカー、ＵＶ硬化樹
脂等をスプレー、ロールコーター等により、金属薄板の
一方の面の全体に塗布することにより行う。かかるエッ
チング抵抗層４１の形成においては、金属薄板２１の一
方の面が均一に乾燥しているため、金属薄板２１の一方
の面の微細凹部２９内に充分に充填することができる。

【００５８】このエッチング抵抗層４１の形成の後、図
６（ｂ）で示すように、エッチング抵抗層４１が形成さ
れていない金属薄板２１の他方の面から保護フィルム２
８を剥離する。

【００５９】そして、保護フィルム２８を剥離した他方
の面に対してエッチング液を吹き付けて第２のエッチン
グを行う。この第２のエッチングによって、図６（ｃ）
で示すように、耐食性皮膜２６の開口部２６ａに対応し
た金属薄板２１の他方の面に微細凹部４２を形成すると
共に、この微細凹部４２を一方の面側に形成されている
微細凹部２９と連通させて透孔４３とする。

【００６０】そして、第２のエッチング終了後に、金属
薄板２１の表面からエッチング抵抗層４１及び耐食性皮
膜２６を各々剥離し、水洗・乾燥を行うことにより、図
６（ｄ）で示すように、所望の透孔４３が形成されたシ
ャドウマスク２０を得ることができる。

【００６１】図７（ａ）は、以上のようにして製造され
たシャドウマスク２０を顕微鏡で観察した模式図を示
し、いずれの透孔４３においても、孔変形が発生してい
ない。これにより、シャドウマスク２０をカラー陰極線
管に組み込んでも、蛍光面外観不良となることがなくな
る。

【００６２】本発明は、以上の実施の形態に限定される
ことなく、種々変形が可能である。例えば、上述した処
理Ａ，Ｂ，Ｃの全てを金属薄板２１に対して行う必要は
なく、本発明では、少なくともそのひとつを行えば良い
ものである。従って、金属薄板２１の表面状態に応じ
て、処理Ａ，Ｂ，Ｃにおけるひとつの処理または適宜組
み合わせた二つの処理を行うことができる。これによ
り、処理が簡単となり、また、処理のための部品点数が
減じ、構造を簡単とすることができる。

【００６３】

【発明の効果】以上のように本発明のシャドウマスクの
製造方法によれば、金属薄板の一方の面の全面に対して
水付着を均一にする処理Ａ、金属薄板の他方の面におけ
る保護フィルムの面上の水付着を均一にする処理Ｂ、金
属薄板の一方の面の幅方向両端部に対して吸引力を作用
させて金属薄板の幅方向の両端部に溜まっている水滴を
吸引除去する処理Ｃの少なくともひとつを行うため、金
属薄板の一方の面を均一に乾燥することができる。この
ため、エッチング抵抗層を金属薄板の一方の面の微細凹
部内に充分に充填することができ、正常な形状での第２
のエッチングができ、孔変形を防止することができる。

【００６４】本発明のシャドウマスクの製造装置によれ
ば、水切り板が金属薄板の一方の面の水滴を均一に均
し、吸水ローラが保護フィルムの面上の水滴を吸収しな
がら均一に均し、吸引ノズルが金属薄板の幅方向の両端
部に溜まっている水滴を吸引除去するため、金属薄板の
一方の面を均一に乾燥することができ、これにより、エ
ッチング抵抗層を金属薄板の一方の面の微細凹部内に充
分に充填することができるため、正常な形状での第２の
エッチングができ、孔変形を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態のシャドウマスクを含む
カラー陰極線管の断面図である。

【図２】金属薄板の一方の面に微細凹部を形成するまで
の工程を示す断面図である。

【図３】処理Ａ，Ｂ，Ｃを行うための配置を示す側面図
である。

【図４】処理Ａを行う水切り板を示す側面図である。

【図５】処理Ｃを吸引ノズルの配置を示す側面図であ
る。

【図６】エッチング抵抗層の形成からシャドウマスクを
得るまでの工程を示す断面図である。

【図７】製造されたシャドウマスクの顕微鏡観察の模式
図である。

【図８】シャドウマスクを製造する従来の製造工程を示
すフローチャートである。

【図９】２段階エッチングによってシャドウマスクを製
造する従来の製造工程を示すフローチャートである。

【符号の説明】

２０ シャドウマスク ２１ 金属薄板 ２６，２７ 耐食性皮膜 ２８ 保護フィルム ２９，４２ 微細凹部 ３５ 吸水ローラ ３７ 水切り板 ３９ 吸引ノズル ４１ エッチング抵抗層 ４３ 透孔

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属薄板の両面に、表裏両面で相互に対
   応したパターン状開口部を有する耐食性皮膜を形成する
   工程と、 金属薄板の他方の面の耐食性皮膜上に保護フィルムを貼
   り付けた後、金属薄板の一方の面に対してエッチングを
   行って前記パターン状開口部に対応した微細凹部を一方
   の面に形成する第１のエッチング工程と、 エッチングが行われた金属薄板の一方の面から耐食性皮
   膜を剥離し、洗浄した後、当該一方の面にエッチング抵
   抗層を被覆する工程と、 金属薄板の他方の面に対してエッチングを行って前記一
   方の面の微細凹部まで連通した微細透孔を形成する第２
   のエッチング工程とを備えたシャドウマスクの製造方法
   であって、 前記金属薄板の一方の面への水付着を均一に均した後、
   乾燥する処理Ａと、 前記保護フィルム面の水付着を均一に均した後、乾燥す
   る処理Ｂと、 前記金属薄板の一方の面の幅方向両端部に対して吸引力
   を作用させた後、乾燥する処理Ｃとを有し、 処理Ａ，Ｂ，Ｃの内の少なくともいずれかの処理を、前
   記第１のエッチング工程の後であって、エッチング抵抗
   層を被覆する工程の前に行うことを特徴とするシャドウ
   マスクの製造方法。
2. 【請求項２】 前記処理Ａは、金属薄板の一方の面の幅
   方向に沿って水切り板を弾性的に接触させて行うことを
   特徴とする請求項１記載のシャドウマスクの製造方法。
3. 【請求項３】 前記水切り板として、前記金属薄板と同
   程度の硬度またはそれ以下の硬度からなる材料を用いる
   ことを特徴とする請求項２記載のシャドウマスクの製造
   方法。
4. 【請求項４】 前記処理Ｂは、吸水ローラを前記保護フ
   ィルムの幅方向に沿って転接させて行うことを特徴とす
   る請求項１記載のシャドウマスクの製造方法。
5. 【請求項５】 前記処理Ｃは、吸引ノズルを前記金属薄
   板の一方の面の幅方向両端部に対向させて行うことを特
   徴とする請求項１記載のシャドウマスクの製造方法。
6. 【請求項６】 金属薄板の両面に、表裏両面で相互に対
   応したパターン状開口部を有する耐食性皮膜を形成する
   皮膜形成手段と、 金属薄板の他方の面の耐食性皮膜上に保護フィルムを貼
   り付けた後、金属薄板の一方の面に対してエッチングを
   行って前記パターン状開口部に対応した微細凹部を一方
   の面に形成する第１のエッチング手段と、 エッチングが行われた金属薄板の一方の面から耐食性皮
   膜を剥離し、洗浄した後、当該一方の面にエッチング抵
   抗層を被覆する被覆手段と、 金属薄板の他方の面に対してエッチングを行って前記一
   方の面の微細凹部まで連通した微細透孔を形成する第２
   のエッチング手段とを備えたシャドウマスクの製造装置
   であって、 前記金属薄板の一方の面の幅方向に沿って弾性的に接触
   する水切り板と、前記保護フィルムの幅方向に沿って転
   接する吸水ローラと、金属薄板の一方の面の幅方向両端
   部に対して吸引力を作用させる吸引ノズルとを有し、前
   記水切り板、吸水ローラまたは吸引ノズルの少なくとも
   ひとつが前記第１のエッチング手段と被覆手段との間に
   配置されており、 これらの配置部位と前記被覆手段との間に、金属薄板を
   乾燥する乾燥手段が設けられていることを特徴とするシ
   ャドウマスクの製造装置。
7. 【請求項７】 前記水切り板は、前記金属薄板と同程度
   の硬度またはそれ以下の硬度からなる材料によって形成
   されていることを特徴とする請求項６記載のシャドウマ
   スクの製造装置。