JPH10133706A5 - - Google Patents
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- JPH10133706A5 JPH10133706A5 JP1996305481A JP30548196A JPH10133706A5 JP H10133706 A5 JPH10133706 A5 JP H10133706A5 JP 1996305481 A JP1996305481 A JP 1996305481A JP 30548196 A JP30548196 A JP 30548196A JP H10133706 A5 JPH10133706 A5 JP H10133706A5
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- Pending
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30548196A JPH10133706A (ja) | 1996-11-01 | 1996-11-01 | ロボット搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30548196A JPH10133706A (ja) | 1996-11-01 | 1996-11-01 | ロボット搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10133706A JPH10133706A (ja) | 1998-05-22 |
| JPH10133706A5 true JPH10133706A5 (enExample) | 2004-11-25 |
Family
ID=17945685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30548196A Pending JPH10133706A (ja) | 1996-11-01 | 1996-11-01 | ロボット搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10133706A (enExample) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3487774B2 (ja) | 1998-11-19 | 2004-01-19 | 沖電気工業株式会社 | 半導体装置製造工程の搬送方法 |
| KR100603591B1 (ko) | 1999-06-30 | 2006-07-24 | 주식회사 하이닉스반도체 | 웨이퍼 카세트의 장비간 반송방법 |
| KR100538812B1 (ko) * | 1999-06-22 | 2005-12-23 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점 해결방법 및 기록매체 |
| JP4594959B2 (ja) * | 2007-05-16 | 2010-12-08 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 半導体ウエハの搬送方法 |
| JP2013016704A (ja) * | 2011-07-05 | 2013-01-24 | Canon Inc | パターン形成装置、塗布現像装置、それらを用いた基板搬送方法およびデバイスの製造方法 |
| JP6157573B2 (ja) * | 2015-12-08 | 2017-07-05 | キヤノン株式会社 | パターン形成装置、塗布現像装置、それらを用いた基板搬送方法およびデバイスの製造方法 |
-
1996
- 1996-11-01 JP JP30548196A patent/JPH10133706A/ja active Pending
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