JPH10132763A - Ｘ線回折装置における試料位置自動調整方法 - Google Patents
Ｘ線回折装置における試料位置自動調整方法Info
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- JPH10132763A JPH10132763A JP8292632A JP29263296A JPH10132763A JP H10132763 A JPH10132763 A JP H10132763A JP 8292632 A JP8292632 A JP 8292632A JP 29263296 A JP29263296 A JP 29263296A JP H10132763 A JPH10132763 A JP H10132763A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線回折装置の試料の位置を自動的に調整す
る。 【解決手段】 試料４を冷却して低温域でＸ線回折測定
を行うＸ線回折装置における試料４の位置を自動的に調
整する試料位置自動調整方法であって、互い直交する所
定の３つの座標軸を、それぞれＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸とした
ときに、試料に対してＸ軸と平行にＸ線を照射しながら
試料をＹＺ方向に所定の範囲内で移動させて、回折線の
強度が最大になる位置を探し出し、試料４をその位置に
移動させるＹＺ位置調整工程と、試料４に対してＹ軸と
平行にＸ線を照射しながら試料をＸＺ方向に所定の範囲
内で移動させて、回折線の強度が最大になる位置を探し
出し、試料４をその位置に移動させるＸＺ位置調整工程
とを有し、試料４を徐々に冷却しながら、ＹＺ位置調整
工程とＸＺ位置調整工程と試料４が所定の温度に達する
まで繰り返して試料４の位置を自動的に調整する。
る。 【解決手段】 試料４を冷却して低温域でＸ線回折測定
を行うＸ線回折装置における試料４の位置を自動的に調
整する試料位置自動調整方法であって、互い直交する所
定の３つの座標軸を、それぞれＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸とした
ときに、試料に対してＸ軸と平行にＸ線を照射しながら
試料をＹＺ方向に所定の範囲内で移動させて、回折線の
強度が最大になる位置を探し出し、試料４をその位置に
移動させるＹＺ位置調整工程と、試料４に対してＹ軸と
平行にＸ線を照射しながら試料をＸＺ方向に所定の範囲
内で移動させて、回折線の強度が最大になる位置を探し
出し、試料４をその位置に移動させるＸＺ位置調整工程
とを有し、試料４を徐々に冷却しながら、ＹＺ位置調整
工程とＸＺ位置調整工程と試料４が所定の温度に達する
まで繰り返して試料４の位置を自動的に調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料を冷却して低
温域でＸ線回折測定を行うＸ線回折装置における試料の
位置を自動的に調整する試料位置自動調整方法に関し、
例えば、クライオスタットを用いた極低温Ｘ線回折装置
に適用し得るものである。
温域でＸ線回折測定を行うＸ線回折装置における試料の
位置を自動的に調整する試料位置自動調整方法に関し、
例えば、クライオスタットを用いた極低温Ｘ線回折装置
に適用し得るものである。
【０００２】
【従来の技術】極低温領域（１０Ｋ以下）での単結晶Ｘ
線回折の実験にはクライオスタット（ｃｒｙｏｓｔａ
ｔ）が利用されている。クライオスタットに用いられる
低温源には寒剤貯蔵方式、寒剤連続フロー方式や冷凍機
方式等があり、試料冷却法には伝導冷却方式やガス雰囲
気方式等がある。
線回折の実験にはクライオスタット（ｃｒｙｏｓｔａ
ｔ）が利用されている。クライオスタットに用いられる
低温源には寒剤貯蔵方式、寒剤連続フロー方式や冷凍機
方式等があり、試料冷却法には伝導冷却方式やガス雰囲
気方式等がある。
【０００３】図４は従来のクライオスタットとＸ線回折
装置の一例を示したものであり、クライオスタット１
は、冷却部２、試料ホルダ３、気密ケース５、Ｘ線透過
窓６、及びヒータ７と温度センサ８等からなり、Ｘ線回
折装置は、ゴニオメータ基台１０、試料回転台１１、及
びＸ線発生装置１２とＸ線計数装置１３等からなる。
装置の一例を示したものであり、クライオスタット１
は、冷却部２、試料ホルダ３、気密ケース５、Ｘ線透過
窓６、及びヒータ７と温度センサ８等からなり、Ｘ線回
折装置は、ゴニオメータ基台１０、試料回転台１１、及
びＸ線発生装置１２とＸ線計数装置１３等からなる。
【０００４】図４のクライオスタット１は、ヘリウムガ
スを閉回路で循環させながら断熱圧縮・膨張を繰り返し
て低温を得る冷却器のヘッドを形成する冷却部２の先端
に、試料ホルダ３を固定し、この試料ホルダ３に試料４
を取り付けるようにしたものである。
スを閉回路で循環させながら断熱圧縮・膨張を繰り返し
て低温を得る冷却器のヘッドを形成する冷却部２の先端
に、試料ホルダ３を固定し、この試料ホルダ３に試料４
を取り付けるようにしたものである。
【０００５】冷却部２は、内部を真空に保持するための
円筒状の気密ケース５で覆われており、この気密ケース
５の下部付近には、試料４に照射するＸ線を透過させる
ためのＸ線透過窓６が設けてある。また、気密ケース５
の下端部は試料回転台８に固定され、さらに試料回転台
１１を挟んでゴニオメータ基台１０の両側には、試料４
にＸ線透過窓６を介してＸ線を照射させるＸ線発生装置
１２と、試料４からの回折Ｘ線をＸ線透過窓６を介して
検出するＸ線計数装置１３とが設けてある。Ｘ線計数装
置１３は試料４の回りに所定の角速度で回転可能となっ
ており、Ｘ線透過窓６は気密ケース５の周方向に中心角
１９０゜程度の範囲で形成されている。
円筒状の気密ケース５で覆われており、この気密ケース
５の下部付近には、試料４に照射するＸ線を透過させる
ためのＸ線透過窓６が設けてある。また、気密ケース５
の下端部は試料回転台８に固定され、さらに試料回転台
１１を挟んでゴニオメータ基台１０の両側には、試料４
にＸ線透過窓６を介してＸ線を照射させるＸ線発生装置
１２と、試料４からの回折Ｘ線をＸ線透過窓６を介して
検出するＸ線計数装置１３とが設けてある。Ｘ線計数装
置１３は試料４の回りに所定の角速度で回転可能となっ
ており、Ｘ線透過窓６は気密ケース５の周方向に中心角
１９０゜程度の範囲で形成されている。
【０００６】冷却部２の下端に形成された冷却部位２ａ
の上面には温度センサ８が取り付けられていて、温度セ
ンサ８によってＸ線回折測定時の試料４の温度を検出し
冷却部位２ａの温度制御を行うようにしている。また、
冷却部位２ａの直上付近には、ヒータ７が巻き付けてあ
り、このヒータ７で試料４の温度を制御できるようにな
っている。
の上面には温度センサ８が取り付けられていて、温度セ
ンサ８によってＸ線回折測定時の試料４の温度を検出し
冷却部位２ａの温度制御を行うようにしている。また、
冷却部位２ａの直上付近には、ヒータ７が巻き付けてあ
り、このヒータ７で試料４の温度を制御できるようにな
っている。
【０００７】このようなクライオスタット１とＸ線回折
装置で測定を行うときには、常温で気密ケース５をはず
した状態で試料４を試料ホルダ３に取り付けて、その
後、気密ケースを取り付けてから、冷却を行うようにし
ていた。
装置で測定を行うときには、常温で気密ケース５をはず
した状態で試料４を試料ホルダ３に取り付けて、その
後、気密ケースを取り付けてから、冷却を行うようにし
ていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】Ｘ線透過窓６の材料に
は、Ｂｅや繊維強化プラスチック（ｆｉｂｅｒ ｒｅｉ
ｎｆｏｒｃｅｄ ｐｌａｓｔｉｃｓ）が用いられる。こ
のため、内部の試料４の位置が外部から確認できない。
は、Ｂｅや繊維強化プラスチック（ｆｉｂｅｒ ｒｅｉ
ｎｆｏｒｃｅｄ ｐｌａｓｔｉｃｓ）が用いられる。こ
のため、内部の試料４の位置が外部から確認できない。
【０００９】一方、クライオスタット１を低温にすると
冷却部２の縮みと変形によって試料４の位置が移動す
る。試料４を常温から極低温に冷却すると試料の位置が
ｍｍのオーダーで移動することがある。
冷却部２の縮みと変形によって試料４の位置が移動す
る。試料４を常温から極低温に冷却すると試料の位置が
ｍｍのオーダーで移動することがある。
【００１０】従来は、このような試料４の位置の調整を
手作業で行っており、非常に手間がかかるものであっ
た。また、モーター等で試料位置を調整しようとして
も、調整作業に熟練した調整担当者が測定の都度調整を
行う必要があった。
手作業で行っており、非常に手間がかかるものであっ
た。また、モーター等で試料位置を調整しようとして
も、調整作業に熟練した調整担当者が測定の都度調整を
行う必要があった。
【００１１】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであり、Ｘ線回折装置の試料の位置を自動的に
調整する自動試料位置調整装置を提供することを目的と
する。
れたものであり、Ｘ線回折装置の試料の位置を自動的に
調整する自動試料位置調整装置を提供することを目的と
する。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、試料
を冷却して低温域でＸ線回折測定を行うＸ線回折装置に
おける試料の位置を自動的に調整する試料位置自動調整
方法において、互い直交する所定の３つの座標軸を、そ
れぞれＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸としたときに、試料に対してＸ
軸と平行にＸ線を照射しながら試料をＹＺ方向に所定の
範囲内で移動させて、回折線の強度が最大になる位置を
探し出し、試料をその位置に移動させるＹＺ位置調整工
程と、試料に対してＹ軸と平行にＸ線を照射しながら試
料をＸＺ方向に所定の範囲内で移動させて、回折線の強
度が最大になる位置を探し出し、試料をその位置に移動
させるＸＺ位置調整工程とを有し、試料を徐々に冷却し
ながら、上記ＹＺ位置調整工程とＸＺ位置調整工程とを
試料が所定の温度に達するまで繰り返して試料の位置を
自動的に調整することを特徴とする。
を冷却して低温域でＸ線回折測定を行うＸ線回折装置に
おける試料の位置を自動的に調整する試料位置自動調整
方法において、互い直交する所定の３つの座標軸を、そ
れぞれＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸としたときに、試料に対してＸ
軸と平行にＸ線を照射しながら試料をＹＺ方向に所定の
範囲内で移動させて、回折線の強度が最大になる位置を
探し出し、試料をその位置に移動させるＹＺ位置調整工
程と、試料に対してＹ軸と平行にＸ線を照射しながら試
料をＸＺ方向に所定の範囲内で移動させて、回折線の強
度が最大になる位置を探し出し、試料をその位置に移動
させるＸＺ位置調整工程とを有し、試料を徐々に冷却し
ながら、上記ＹＺ位置調整工程とＸＺ位置調整工程とを
試料が所定の温度に達するまで繰り返して試料の位置を
自動的に調整することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明によるＸ線回折装置
における試料位置自動調整方法の実施の形態を図面を参
照しながら詳細に説明する。
における試料位置自動調整方法の実施の形態を図面を参
照しながら詳細に説明する。
【００１４】図１は本実施の形態に係るＸ線回折装置と
クライオスタットの構成を示したものであり、従来との
同一、対応部分には同一符号を付した。なお、Ｘ軸調整
装置２０、Ｙ軸調整装置２１、Ｚ軸調整装置２２以外の
各部は従来と同様に機能するのでその説明は省略する。
クライオスタットの構成を示したものであり、従来との
同一、対応部分には同一符号を付した。なお、Ｘ軸調整
装置２０、Ｙ軸調整装置２１、Ｚ軸調整装置２２以外の
各部は従来と同様に機能するのでその説明は省略する。
【００１５】Ｘ軸調整装置２０は、クライオスタット１
の位置をＸ軸方向に微調整する装置であり、クライオス
タット１と試料回転台１１の間に取り付けられていて、
後述するように制御装置によってコントロールされる。
同様にＹ軸調整装置２１とＺ軸調整装置２２は、クライ
オスタット１の位置をそれぞれＹ軸、Ｚ軸方向に微調整
する装置であり、クライオスタット１と試料回転台１１
の間に取り付けられていて、制御装置によってコントロ
ールされる。
の位置をＸ軸方向に微調整する装置であり、クライオス
タット１と試料回転台１１の間に取り付けられていて、
後述するように制御装置によってコントロールされる。
同様にＹ軸調整装置２１とＺ軸調整装置２２は、クライ
オスタット１の位置をそれぞれＹ軸、Ｚ軸方向に微調整
する装置であり、クライオスタット１と試料回転台１１
の間に取り付けられていて、制御装置によってコントロ
ールされる。
【００１６】ここで、Ｚ軸とは試料回転台１１の回転面
に垂直な座標軸である。また、Ｘ軸はＺ軸に垂直に交差
する座標軸であり、Ｙ軸はＸ軸とＺ軸の双方に垂直に交
差する座標軸である。
に垂直な座標軸である。また、Ｘ軸はＺ軸に垂直に交差
する座標軸であり、Ｙ軸はＸ軸とＺ軸の双方に垂直に交
差する座標軸である。
【００１７】図２は、制御装置の概略構成を示したもの
であり、制御装置３０は、中央処理装置３１、主記憶装
置３２、補助記憶装置３３、キーボードインターフェー
ス３４、マウスインターフェース３５、及びディスプレ
イインターフェース３６と入出力インターフェース３７
等からなり、制御装置３０には、キーボード４０とマウ
ス４１と表示装置４２が各インターフェース３４〜３６
を介して接続されている。なお、図１との同一、対応部
分には同一符号を付して示した。本実施の形態では、こ
の制御装置３０と中央処理装置３１上で走行するソフト
ウェアによって、クライオスタット１とＸ線回折装置の
各部が制御される。
であり、制御装置３０は、中央処理装置３１、主記憶装
置３２、補助記憶装置３３、キーボードインターフェー
ス３４、マウスインターフェース３５、及びディスプレ
イインターフェース３６と入出力インターフェース３７
等からなり、制御装置３０には、キーボード４０とマウ
ス４１と表示装置４２が各インターフェース３４〜３６
を介して接続されている。なお、図１との同一、対応部
分には同一符号を付して示した。本実施の形態では、こ
の制御装置３０と中央処理装置３１上で走行するソフト
ウェアによって、クライオスタット１とＸ線回折装置の
各部が制御される。
【００１８】入出力インターフェース３７は、制御装置
３０とクライオスタット１とＸ線回折装置の各部とを接
続するインターフェースであり、図２においてはＸ軸調
整装置２０、Ｙ軸調整装置２１、及びＺ軸調整装置２２
とＸ線計数装置１３の４つが接続されている。実際に
は、入出力インターフェース３７にはクライオスタット
１とＸ線回折装置の他の部分も接続されているがその部
分の説明は省略する。
３０とクライオスタット１とＸ線回折装置の各部とを接
続するインターフェースであり、図２においてはＸ軸調
整装置２０、Ｙ軸調整装置２１、及びＺ軸調整装置２２
とＸ線計数装置１３の４つが接続されている。実際に
は、入出力インターフェース３７にはクライオスタット
１とＸ線回折装置の他の部分も接続されているがその部
分の説明は省略する。
【００１９】このような構成で、試料の位置を調整する
ときの動作を図３のフローチャートを参照しながら以下
に説明する。
ときの動作を図３のフローチャートを参照しながら以下
に説明する。
【００２０】最初に試料４を試料ホルダ３に取り付け
て、試料を常温から徐々に冷却していく。
て、試料を常温から徐々に冷却していく。
【００２１】制御装置３０は、Ｘ線回折装置の各部を制
御して、Ｘ線発生装置１２が試料４にＸ軸と平行にＸ線
を照射して、Ｘ線計数装置１３がその回折線をとらえる
ようにする（ステップ３０１）。
御して、Ｘ線発生装置１２が試料４にＸ軸と平行にＸ線
を照射して、Ｘ線計数装置１３がその回折線をとらえる
ようにする（ステップ３０１）。
【００２２】制御装置３０は、入出力インターフェース
３７を介してＹ軸調整装置２１とＺ軸調整装置２２を制
御してクライオスタット１をＹＺ平面に平行に移動させ
て、ＹＺ平面の所定の範囲をスキャンする。スキャンの
間、Ｘ線計数装置１３は回折線の強度を入出力インター
フェース３７を介して制御装置３０に送り、制御装置３
０はその強度とそのときのＹ軸とＺ軸方向へのクライオ
スタット１の移動量を主記憶装置３２又は補助記憶装置
３３に記憶する（ステップ３０２）。
３７を介してＹ軸調整装置２１とＺ軸調整装置２２を制
御してクライオスタット１をＹＺ平面に平行に移動させ
て、ＹＺ平面の所定の範囲をスキャンする。スキャンの
間、Ｘ線計数装置１３は回折線の強度を入出力インター
フェース３７を介して制御装置３０に送り、制御装置３
０はその強度とそのときのＹ軸とＺ軸方向へのクライオ
スタット１の移動量を主記憶装置３２又は補助記憶装置
３３に記憶する（ステップ３０２）。
【００２３】ＹＺ平面の所定の範囲をスキャンが終わっ
てから、制御装置３０は、記憶した回折線の強度の中か
らピークを検出して（最高強度を探索して）、そのとき
のＹ軸とＺ軸方向へのクライオスタット１の移動量を求
めて、Ｙ軸調整装置２１とＺ軸調整装置２２を制御して
回折線の強度が最高になる位置にクライオスタット１を
移動させる。移動が終わってから、制御装置３０は、強
度とＹ軸とＺ軸方向へのクライオスタット１の移動量の
データを消去する（ステップ３０３）。
てから、制御装置３０は、記憶した回折線の強度の中か
らピークを検出して（最高強度を探索して）、そのとき
のＹ軸とＺ軸方向へのクライオスタット１の移動量を求
めて、Ｙ軸調整装置２１とＺ軸調整装置２２を制御して
回折線の強度が最高になる位置にクライオスタット１を
移動させる。移動が終わってから、制御装置３０は、強
度とＹ軸とＺ軸方向へのクライオスタット１の移動量の
データを消去する（ステップ３０３）。
【００２４】制御装置３０は、Ｘ線回折装置の各部を制
御して、Ｘ線発生装置１２が試料４にＹ軸と平行にＸ線
を照射して、Ｘ線計数装置１３がその回折線をとらえる
ようにする（ステップ３０４）。
御して、Ｘ線発生装置１２が試料４にＹ軸と平行にＸ線
を照射して、Ｘ線計数装置１３がその回折線をとらえる
ようにする（ステップ３０４）。
【００２５】制御装置３０は、入出力インターフェース
３７を介してＸ軸調整装置２０とＺ軸調整装置２２を制
御してクライオスタット１をＸＺ平面に平行に移動させ
て、ＸＺ平面の所定の範囲をスキャンする。スキャンの
間、Ｘ線計数装置１３は回折線の強度を入出力インター
フェース３７を介して制御装置３０に送り、制御装置３
０はその強度とそのときのＸ軸とＺ軸方向へのクライオ
スタット１の移動量を主記憶装置３２又は補助記憶装置
３３に記憶する（ステップ３０５）。
３７を介してＸ軸調整装置２０とＺ軸調整装置２２を制
御してクライオスタット１をＸＺ平面に平行に移動させ
て、ＸＺ平面の所定の範囲をスキャンする。スキャンの
間、Ｘ線計数装置１３は回折線の強度を入出力インター
フェース３７を介して制御装置３０に送り、制御装置３
０はその強度とそのときのＸ軸とＺ軸方向へのクライオ
スタット１の移動量を主記憶装置３２又は補助記憶装置
３３に記憶する（ステップ３０５）。
【００２６】ＸＺ平面の所定の範囲をスキャンが終わっ
てから、制御装置３０は、記憶した回折線の強度の中か
らピークを検出して（最高強度を探索して）、そのとき
のＸ軸とＺ軸方向へのクライオスタット１の移動量を求
めて、Ｘ軸調整装置２０とＺ軸調整装置２２を制御して
回折線の強度が最高になる位置にクライオスタット１を
移動させる。移動が終わってから、制御装置３０は、強
度とＸ軸とＺ軸方向へのクライオスタット１の移動量の
データを消去する（ステップ３０６）。
てから、制御装置３０は、記憶した回折線の強度の中か
らピークを検出して（最高強度を探索して）、そのとき
のＸ軸とＺ軸方向へのクライオスタット１の移動量を求
めて、Ｘ軸調整装置２０とＺ軸調整装置２２を制御して
回折線の強度が最高になる位置にクライオスタット１を
移動させる。移動が終わってから、制御装置３０は、強
度とＸ軸とＺ軸方向へのクライオスタット１の移動量の
データを消去する（ステップ３０６）。
【００２７】試料４の冷却が定常状態になったときは試
料位置の調整を終了する。そうでないときは、ステップ
３０１に戻り再度調整を行う（ステップ３０７）。
料位置の調整を終了する。そうでないときは、ステップ
３０１に戻り再度調整を行う（ステップ３０７）。
【００２８】以上のように上記の実施の形態によれば、
試料を常温から徐々に冷却しながら、ＹＺ方向の回折線
の強度が最大になる位置に試料を移動させる処理と、Ｘ
Ｚ方向の回折線の強度が最大になる位置に試料を移動さ
せる処理とを、試料の温度が定常状態まで繰り返すよう
にしたので、非常に簡易に試料４の位置を自動的に調整
することが可能になる。
試料を常温から徐々に冷却しながら、ＹＺ方向の回折線
の強度が最大になる位置に試料を移動させる処理と、Ｘ
Ｚ方向の回折線の強度が最大になる位置に試料を移動さ
せる処理とを、試料の温度が定常状態まで繰り返すよう
にしたので、非常に簡易に試料４の位置を自動的に調整
することが可能になる。
【００２９】本発明は、上記の実施の形態のものに限定
されるものでなく、種々の変形を許容するものである。
されるものでなく、種々の変形を許容するものである。
【００３０】本発明は、上記の実施の形態で示したクラ
イオスタットだけでなく、他のクライオスタットにも同
様に適用できる。適用可能なクライオスタットに用いら
れる低温源には寒剤貯蔵方式、寒剤連続フロー方式や冷
凍機方式等があり、試料冷却法には伝導冷却方式やガス
雰囲気方式等がある。
イオスタットだけでなく、他のクライオスタットにも同
様に適用できる。適用可能なクライオスタットに用いら
れる低温源には寒剤貯蔵方式、寒剤連続フロー方式や冷
凍機方式等があり、試料冷却法には伝導冷却方式やガス
雰囲気方式等がある。
【００３１】また、本発明に係るＸ線計数装置は、ＣＣ
Ｄ（電荷結合素子）カメラ、Ｘ線フィルム、平板又は円
筒ＩＰ（Ｉｍａｇｉｎｇ Ｐｌａｔｅ）とその読み取り
器等Ｘ線を計数できるものであれば何れにも適用でき
る。
Ｄ（電荷結合素子）カメラ、Ｘ線フィルム、平板又は円
筒ＩＰ（Ｉｍａｇｉｎｇ Ｐｌａｔｅ）とその読み取り
器等Ｘ線を計数できるものであれば何れにも適用でき
る。
【００３２】さらに、上記の実施の形態では、Ｘ軸調整
装置とＹ軸調整装置とＺ軸調整装置をクライオスタット
と試料回転台の間に設けたが、他の場所に設けてもよ
い。また、Ｘ軸調整装置とＹ軸調整装置とＺ軸調整装置
との相対的な位置関係も任意に定めてもよい。
装置とＹ軸調整装置とＺ軸調整装置をクライオスタット
と試料回転台の間に設けたが、他の場所に設けてもよ
い。また、Ｘ軸調整装置とＹ軸調整装置とＺ軸調整装置
との相対的な位置関係も任意に定めてもよい。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、互
い直交する所定の３つの座標軸を、それぞれＸ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸としたときに、試料を徐々に冷却しながら、試
料に対してＸ軸と平行にＸ線を照射しながら試料をＹＺ
方向に所定の範囲内で移動させて、回折線の強度が最大
になる位置を探し出し、試料をその位置に移動させる工
程と、試料に対してＹ軸と平行にＸ線を照射しながら試
料をＸＺ方向に所定の範囲内で移動させて、回折線の強
度が最大になる位置を探し出し、試料をその位置に移動
させる工程とを試料が所定の温度に達するまで繰り返し
て試料の位置を自動的に調整するようにしたので、非常
に簡易にＸ線回折装置の試料の位置を自動的に調整する
ことが可能になる。
い直交する所定の３つの座標軸を、それぞれＸ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸としたときに、試料を徐々に冷却しながら、試
料に対してＸ軸と平行にＸ線を照射しながら試料をＹＺ
方向に所定の範囲内で移動させて、回折線の強度が最大
になる位置を探し出し、試料をその位置に移動させる工
程と、試料に対してＹ軸と平行にＸ線を照射しながら試
料をＸＺ方向に所定の範囲内で移動させて、回折線の強
度が最大になる位置を探し出し、試料をその位置に移動
させる工程とを試料が所定の温度に達するまで繰り返し
て試料の位置を自動的に調整するようにしたので、非常
に簡易にＸ線回折装置の試料の位置を自動的に調整する
ことが可能になる。
【図１】実施の形態におけるＸ線回折装置とクライオス
タットの正面断面図である。
タットの正面断面図である。
【図２】実施の形態における制御装置の概略構成を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図３】実施の形態における試料の自動試料位置調整を
するときの動作を示すフローチャートである。
するときの動作を示すフローチャートである。
【図４】従来のＸ線回折装置とクライオスタットの正面
断面図である。
断面図である。
１ クライオスタット １０ ゴニオメータ基台 １１ 試料回転台 １２ Ｘ線発生装置 １３ Ｘ線計数装置 ２０ Ｘ軸調整装置 ２１ Ｙ軸調整装置 ２２ Ｚ軸調整装置 ３０ 制御装置
Claims (1)
- 【請求項１】 試料を冷却して低温域でＸ線回折測定を
行うＸ線回折装置における試料の位置を自動的に調整す
る試料位置自動調整方法であって、 互い直交する所定の３つの座標軸を、それぞれＸ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸としたときに、 試料に対してＸ軸と平行にＸ線を照射しながら試料をＹ
Ｚ方向に所定の範囲内で移動させて、回折線の強度が最
大になる位置を探し出し、試料をその位置に移動させる
ＹＺ位置調整工程と、 試料に対してＹ軸と平行にＸ線を照射しながら試料をＸ
Ｚ方向に所定の範囲内で移動させて、回折線の強度が最
大になる位置を探し出し、試料をその位置に移動させる
ＸＺ位置調整工程とを有し、 試料を徐々に冷却しながら、上記ＹＺ位置調整工程と上
記ＸＺ位置調整工程とを試料が所定の温度に達するまで
繰り返して試料の位置を自動的に調整することを特徴と
するＸ線回折装置における試料位置自動調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8292632A JPH10132763A (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | Ｘ線回折装置における試料位置自動調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8292632A JPH10132763A (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | Ｘ線回折装置における試料位置自動調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10132763A true JPH10132763A (ja) | 1998-05-22 |
Family
ID=17784313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8292632A Pending JPH10132763A (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | Ｘ線回折装置における試料位置自動調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10132763A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008066127A1 (fr) * | 2006-11-30 | 2008-06-05 | Ulvac, Inc. | Machine frigorifique |
| JP2019109123A (ja) * | 2017-12-18 | 2019-07-04 | 富士通株式会社 | Ｘ線分析装置及び分析方法 |
-
1996
- 1996-11-05 JP JP8292632A patent/JPH10132763A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008066127A1 (fr) * | 2006-11-30 | 2008-06-05 | Ulvac, Inc. | Machine frigorifique |
| JP2019109123A (ja) * | 2017-12-18 | 2019-07-04 | 富士通株式会社 | Ｘ線分析装置及び分析方法 |
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