JPH10129705A - 電子工業用薬液容器の栓構造物 - Google Patents
電子工業用薬液容器の栓構造物Info
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- JPH10129705A JPH10129705A JP8284347A JP28434796A JPH10129705A JP H10129705 A JPH10129705 A JP H10129705A JP 8284347 A JP8284347 A JP 8284347A JP 28434796 A JP28434796 A JP 28434796A JP H10129705 A JPH10129705 A JP H10129705A
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- Japan
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- pipe
- container
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Abstract
(57)【要約】
【課題】電子工業分野における高純度な品質が要求され
る薬液の容器用栓構造物を提供する。 【解決手段】貫通する孔を有するプラグから構成され、
該孔の両面に各々継手部を有することを特徴とする容器
用栓構造物。
る薬液の容器用栓構造物を提供する。 【解決手段】貫通する孔を有するプラグから構成され、
該孔の両面に各々継手部を有することを特徴とする容器
用栓構造物。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体分野、液晶デ
イスプレイ分野等に使用される電子工業用薬液容器用栓
構造物およびそれを伴う容器に関する。
イスプレイ分野等に使用される電子工業用薬液容器用栓
構造物およびそれを伴う容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子工業分野では半導体や液晶デイスプ
レイの製造にあたって種々の高純度薬液が使用されてい
る。例えば、高純度過酸化水素水、高純度アンモニア
水、高純度テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイ
ド水溶液等である。これらの薬液中に微量の不純物や微
粒子が存在すると半導体素子や液晶表示素子の素子特性
に悪影響を与えるため、薬液は高純度である必要であ
る。例えば各金属が１ｐｐｂ以下、０.２μｍ以上の大
きさの微粒子が１００個／ｍｌ以下等極めて高純度なも
のが要求される。従って、容器からの薬液を抜き出す送
液作業に伴う汚染や容器材質からの不純物溶出や発塵は
厳密に管理されなければならない。
レイの製造にあたって種々の高純度薬液が使用されてい
る。例えば、高純度過酸化水素水、高純度アンモニア
水、高純度テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイ
ド水溶液等である。これらの薬液中に微量の不純物や微
粒子が存在すると半導体素子や液晶表示素子の素子特性
に悪影響を与えるため、薬液は高純度である必要であ
る。例えば各金属が１ｐｐｂ以下、０.２μｍ以上の大
きさの微粒子が１００個／ｍｌ以下等極めて高純度なも
のが要求される。従って、容器からの薬液を抜き出す送
液作業に伴う汚染や容器材質からの不純物溶出や発塵は
厳密に管理されなければならない。
【０００３】従来、容器からの薬液を抜き出す方法とし
てポンプを用いる方法やガス加圧による圧送方式が知ら
れている。ポンプにより抜き出す法について次に説明す
る。これは液出し口から容器内部に配管（これを抜き出
し管と称する）を挿入したのち、その配管とユースポイ
ントの間にポンプを設置し、ポンプを稼働することによ
り抜き出す方法である。このとき容器が密閉系になる場
合は容器内部が減圧にならないように容器のガス抜き口
を設ける必要がある。
てポンプを用いる方法やガス加圧による圧送方式が知ら
れている。ポンプにより抜き出す法について次に説明す
る。これは液出し口から容器内部に配管（これを抜き出
し管と称する）を挿入したのち、その配管とユースポイ
ントの間にポンプを設置し、ポンプを稼働することによ
り抜き出す方法である。このとき容器が密閉系になる場
合は容器内部が減圧にならないように容器のガス抜き口
を設ける必要がある。
【０００４】また、圧送方式は容器に充填された薬液を
抜き出すにあたり、窒素などの加圧したガスを容器の圧
送ガス口に接続し、他方の液出し口にユースポイントに
至る配管を接続したのち、圧送ガスで加圧することでユ
ースポイントに送液する方法である。接続部分にワンタ
ッチジョイントを用いてクリーンブースで接続し、圧送
ガスはクリーンな窒素などを用いれば、外部からの汚染
を防ぐことができる。
抜き出すにあたり、窒素などの加圧したガスを容器の圧
送ガス口に接続し、他方の液出し口にユースポイントに
至る配管を接続したのち、圧送ガスで加圧することでユ
ースポイントに送液する方法である。接続部分にワンタ
ッチジョイントを用いてクリーンブースで接続し、圧送
ガスはクリーンな窒素などを用いれば、外部からの汚染
を防ぐことができる。
【０００５】特に１００リットル、２００リットルなど
の大型容器はその形状、重量が大きいため、容器を傾け
て薬液を吐出させることは困難である。その点、ポンプ
による方法、または圧送方式であれば容器を傾けて薬液
を吐出させる必要がない。また、ポンプや圧送ガスによ
り送液量を制御できる。従って、上記２つの送液方法は
流量、流速を制御できるため電子工業分野において好適
に使用されている。
の大型容器はその形状、重量が大きいため、容器を傾け
て薬液を吐出させることは困難である。その点、ポンプ
による方法、または圧送方式であれば容器を傾けて薬液
を吐出させる必要がない。また、ポンプや圧送ガスによ
り送液量を制御できる。従って、上記２つの送液方法は
流量、流速を制御できるため電子工業分野において好適
に使用されている。
【０００６】ポンプを用いる方法、圧送方式は上記の利
点を有する送液方法であるが、容器から薬液を抜き出す
毎に、キャップ、プラグを外し、抜き出し管を薬液中に
挿入するため、キャップ、プラグの着脱、及び開放時の
環境からの汚染が発生し、薬液中に異物が混入する。ま
た、エア抜き口を経由する外部からの異物混入がある。
このような容器外部からの汚染により薬液の高純度を保
てない問題があった。
点を有する送液方法であるが、容器から薬液を抜き出す
毎に、キャップ、プラグを外し、抜き出し管を薬液中に
挿入するため、キャップ、プラグの着脱、及び開放時の
環境からの汚染が発生し、薬液中に異物が混入する。ま
た、エア抜き口を経由する外部からの異物混入がある。
このような容器外部からの汚染により薬液の高純度を保
てない問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、容器
から送液を行う度に配管を薬液中に挿入しないことで外
部からの汚染を防ぐ容器用栓構造物の提供にある。
から送液を行う度に配管を薬液中に挿入しないことで外
部からの汚染を防ぐ容器用栓構造物の提供にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意努力の
結果、次に説明するような容器用栓構造物であれば、薬
液を抜き出す毎に薬液が充填された容器内に抜き出し管
を挿入する必要がなく、その結果、挿入時に伴うキャッ
プ、プラグの着脱、及び開放による環境からの汚染を防
止できることを見いだした。さらに当該栓構造物は液出
し口用のみならず、エア抜き口用、ブラインド用、加圧
ガス導入用にも使用することができる。
結果、次に説明するような容器用栓構造物であれば、薬
液を抜き出す毎に薬液が充填された容器内に抜き出し管
を挿入する必要がなく、その結果、挿入時に伴うキャッ
プ、プラグの着脱、及び開放による環境からの汚染を防
止できることを見いだした。さらに当該栓構造物は液出
し口用のみならず、エア抜き口用、ブラインド用、加圧
ガス導入用にも使用することができる。
【０００９】すなわち、この栓構造物は、貫通する孔を
持ちその穴の両面に配管を接続するための継手ａ及びｂ
部分を有するプラグ２が基本構造であり、プラグ２と数
種の付属品を適時組み合わせて使用することで液出し口
用栓構造物、エア抜き口用栓構造物、加圧ガス導入用栓
構造物、ブラインド用栓構造物にも成り得るものであ
る。
持ちその穴の両面に配管を接続するための継手ａ及びｂ
部分を有するプラグ２が基本構造であり、プラグ２と数
種の付属品を適時組み合わせて使用することで液出し口
用栓構造物、エア抜き口用栓構造物、加圧ガス導入用栓
構造物、ブラインド用栓構造物にも成り得るものであ
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の栓構造物は、容器本体と
組み合わせ電子工業用薬液容器構造物として使用され
る。その例を図１に示す。本発明による栓構造物を液出
し口用栓構造物として使用する場合を図２に示す。プラ
グ２の容器内部側、すなわち継手ｂ部分にパイプ３を接
続してパイプ３を抜き出し管とする。継手ａ部分側には
ユースポイントに至るいわゆる外部配管４を接続して薬
液を抜き出す。プラグ２の継手ａ，ｂ部分の形状及びこ
れらとパイプ３、外部配管４の接続方法に制限はない。
一例を挙げるとねじを切ることによるねじ込み、ワンタ
ッチジョイント組み込みによる接続等が挙げられる。
又、ねじ込みによる接続でも継手ａ，ｂ部分がオス型、
あるいはメス型でも構わない。図２では例としてａ，ｂ
部分共にメス型であり、パイプをａ，ｂ部分に挿入して
接続する形態を示している。また、必要に応じて接続不
良による薬液の抜き出し不良を防ぐため接続部分にパッ
キン等適当なシール材を用いても良い。
組み合わせ電子工業用薬液容器構造物として使用され
る。その例を図１に示す。本発明による栓構造物を液出
し口用栓構造物として使用する場合を図２に示す。プラ
グ２の容器内部側、すなわち継手ｂ部分にパイプ３を接
続してパイプ３を抜き出し管とする。継手ａ部分側には
ユースポイントに至るいわゆる外部配管４を接続して薬
液を抜き出す。プラグ２の継手ａ，ｂ部分の形状及びこ
れらとパイプ３、外部配管４の接続方法に制限はない。
一例を挙げるとねじを切ることによるねじ込み、ワンタ
ッチジョイント組み込みによる接続等が挙げられる。
又、ねじ込みによる接続でも継手ａ，ｂ部分がオス型、
あるいはメス型でも構わない。図２では例としてａ，ｂ
部分共にメス型であり、パイプをａ，ｂ部分に挿入して
接続する形態を示している。また、必要に応じて接続不
良による薬液の抜き出し不良を防ぐため接続部分にパッ
キン等適当なシール材を用いても良い。
【００１１】液出し時以外は継手ａ部分を適当な手段で
覆う。覆う方法としては制限はないが、一例を挙げると
図３に示すようにキャップ６を用いる方法等が挙げられ
る。エア抜き口用栓構造物として使用する場合を図４に
示す。プラグ２の継手の容器外部側にフィルター７とフ
ィルター押さえキャップ８をかぶせ、エア抜き口とす
る。フィルター押さえキャップ８にはガスを放出できる
ように穴が開けてある。本栓構造物はエア抜き口用であ
るから、パイプ３の接続はしない。
覆う。覆う方法としては制限はないが、一例を挙げると
図３に示すようにキャップ６を用いる方法等が挙げられ
る。エア抜き口用栓構造物として使用する場合を図４に
示す。プラグ２の継手の容器外部側にフィルター７とフ
ィルター押さえキャップ８をかぶせ、エア抜き口とす
る。フィルター押さえキャップ８にはガスを放出できる
ように穴が開けてある。本栓構造物はエア抜き口用であ
るから、パイプ３の接続はしない。
【００１２】さらに加圧ガス導入用として使用する場合
は、エア抜き口用栓構造物を示す図４においてフィルタ
ー押さえキャップ８を外し、継手ａ部分に加圧ガス配管
９を接続すればよい。ガス配管の接続方法としては液出
し口用栓構造物の場合と同様であり、制限はない。さら
にフィルター７の設置の有無も問わない。形態の一例を
図５に示す。
は、エア抜き口用栓構造物を示す図４においてフィルタ
ー押さえキャップ８を外し、継手ａ部分に加圧ガス配管
９を接続すればよい。ガス配管の接続方法としては液出
し口用栓構造物の場合と同様であり、制限はない。さら
にフィルター７の設置の有無も問わない。形態の一例を
図５に示す。
【００１３】また、ブラインド栓用構造物としては継手
ａあるいはｂ部分を密栓することで目的を達せられる。
特にａ部分を密栓することが栓構造物内への汚染を防ぐ
点から好ましい。密栓する方法に制限はないが、一例を
挙げると図４に示すフィルター押さえキャップ８におい
て穴が空いていない形状のものを使用する方法が挙げら
れる。また、ブラインド栓用構造物として、継手ａ部分
にフィルター７や継手ｂ部分にパイプ３等が装着されて
いても構わない。少なくとも継手ａもしくはｂ部分で密
栓状態になっていれば良い。
ａあるいはｂ部分を密栓することで目的を達せられる。
特にａ部分を密栓することが栓構造物内への汚染を防ぐ
点から好ましい。密栓する方法に制限はないが、一例を
挙げると図４に示すフィルター押さえキャップ８におい
て穴が空いていない形状のものを使用する方法が挙げら
れる。また、ブラインド栓用構造物として、継手ａ部分
にフィルター７や継手ｂ部分にパイプ３等が装着されて
いても構わない。少なくとも継手ａもしくはｂ部分で密
栓状態になっていれば良い。
【００１４】この栓構造物を液出し口用栓構造物として
使用する場合は薬液を抜き出す毎に抜き出し管を薬液中
に挿入する必要がないので、配管挿入に伴う異物混入を
防ぐことができる。さらにプラグ２の付属部品を適時取
捨選択することでエア抜き口用、加圧ガス導入用、ブラ
インド栓用栓構造物にもなりうる。
使用する場合は薬液を抜き出す毎に抜き出し管を薬液中
に挿入する必要がないので、配管挿入に伴う異物混入を
防ぐことができる。さらにプラグ２の付属部品を適時取
捨選択することでエア抜き口用、加圧ガス導入用、ブラ
インド栓用栓構造物にもなりうる。
【００１５】エア抜き口用として本栓構造物を使用する
場合、装着されているフィルター７により外部からの異
物混入を防止できる。エア抜き口は、ポンプを用いる送
液を行う際、容器内部が減圧状態にならないように外気
の取り入れ口として使用することができる。
場合、装着されているフィルター７により外部からの異
物混入を防止できる。エア抜き口は、ポンプを用いる送
液を行う際、容器内部が減圧状態にならないように外気
の取り入れ口として使用することができる。
【００１６】一方、過酸化水素水のように分解してガス
が発生するような薬液を収容する場合、容器内が必要以
上に加圧状態にならないように発生したガスを外部に放
出する役割も果たす。加圧ガス導入用栓構造物は、窒素
などの加圧したガスを用いる加圧式により容器から薬液
を抜き出す際の容器への、ガス供給口の役割を果たす。
ブラインド用栓構造物は、例えばアンモニア水のように
密閉系の容器が要求される場合に使用される。
が発生するような薬液を収容する場合、容器内が必要以
上に加圧状態にならないように発生したガスを外部に放
出する役割も果たす。加圧ガス導入用栓構造物は、窒素
などの加圧したガスを用いる加圧式により容器から薬液
を抜き出す際の容器への、ガス供給口の役割を果たす。
ブラインド用栓構造物は、例えばアンモニア水のように
密閉系の容器が要求される場合に使用される。
【００１７】また、本発明による栓構造物が装着された
容器本体に充填された薬液を抜き出さないときやその容
器を保管する場合等は、本栓構造物の外部からの汚染を
防止するために、保護キャップ等で覆ってもよい。その
一例を図６に示す。図６では栓構造物にシールキャップ
１０をかぶせ、さらに保護キャップ１１をかぶせた形態
を表している。
容器本体に充填された薬液を抜き出さないときやその容
器を保管する場合等は、本栓構造物の外部からの汚染を
防止するために、保護キャップ等で覆ってもよい。その
一例を図６に示す。図６では栓構造物にシールキャップ
１０をかぶせ、さらに保護キャップ１１をかぶせた形態
を表している。
【００１８】本発明の容器本体、栓構造物の材質として
は、収容する薬液に適した材質を選定して使用すれば良
い。特に電子工業用薬液向けの場合は適時ポリオレフィ
ン、フッ素系樹脂から選択することが好ましい。但し、
ガスケット、パッキン類はフッ素系ゴム、シリコーン系
ゴムも含む。栓構造物、容器本体の形状は本発明の要件
を満たせば、図１〜７に示す形状に限定されない。大き
さも同様である。
は、収容する薬液に適した材質を選定して使用すれば良
い。特に電子工業用薬液向けの場合は適時ポリオレフィ
ン、フッ素系樹脂から選択することが好ましい。但し、
ガスケット、パッキン類はフッ素系ゴム、シリコーン系
ゴムも含む。栓構造物、容器本体の形状は本発明の要件
を満たせば、図１〜７に示す形状に限定されない。大き
さも同様である。
【００１９】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を詳細に説明す
るが、本発明はこれらの実施例より何ら限定されるもの
ではない。図１〜７に本発明の一実施例を示す。図１に
はＡ、Ｂ部ともに本発明による栓構造物が装着された全
面図である。
るが、本発明はこれらの実施例より何ら限定されるもの
ではない。図１〜７に本発明の一実施例を示す。図１に
はＡ、Ｂ部ともに本発明による栓構造物が装着された全
面図である。
【００２０】Ａ部を拡大し、断面表示した図が図３であ
る。この場合、Ａ部の栓構造物は液出し口用となる。栓
構造物に抜き出し管３が最初から装着されているため、
薬液抜き出し時にプラグ等を外さず、また、新たに抜き
出し管を挿入する必要がなく容器内を汚染することがな
い。薬液を抜き出す際の形態を図２に示す。外部配管４
をプラグ２に装着し、容器外へ薬液を抜き出す。Ｂ部を
拡大し、断面表示した図が図４である。Ｂ部の栓構造物
はエア抜き口用となる。フィルター７、穴が開いたフィ
ルター押さえキャップ８が装着されている。
る。この場合、Ａ部の栓構造物は液出し口用となる。栓
構造物に抜き出し管３が最初から装着されているため、
薬液抜き出し時にプラグ等を外さず、また、新たに抜き
出し管を挿入する必要がなく容器内を汚染することがな
い。薬液を抜き出す際の形態を図２に示す。外部配管４
をプラグ２に装着し、容器外へ薬液を抜き出す。Ｂ部を
拡大し、断面表示した図が図４である。Ｂ部の栓構造物
はエア抜き口用となる。フィルター７、穴が開いたフィ
ルター押さえキャップ８が装着されている。
【００２１】一方、Ｂ部のエア抜き口用栓構造物中のフ
ィルター７、フィルター押さえキャップ８を外し加圧ガ
ス配管９を装着した場合を図５に示す。この場合、加圧
ガス配管９からの容器への加圧により、図２に示すＡ部
の液抜き出し口用栓構造物中外部配管４から薬液を抜き
出すことができる。図６に薬液を抜き出さないときやそ
の容器を保管する場合等のＡ、Ｂ部の形態の一例を拡大
して示す。栓構造物の外部からの汚染を防止するため、
シールキャップ１０、保護キャップ１１をかぶせてあ
る。図７に発明における栓構造物のプラグの上面図、及
び断面図を示す。
ィルター７、フィルター押さえキャップ８を外し加圧ガ
ス配管９を装着した場合を図５に示す。この場合、加圧
ガス配管９からの容器への加圧により、図２に示すＡ部
の液抜き出し口用栓構造物中外部配管４から薬液を抜き
出すことができる。図６に薬液を抜き出さないときやそ
の容器を保管する場合等のＡ、Ｂ部の形態の一例を拡大
して示す。栓構造物の外部からの汚染を防止するため、
シールキャップ１０、保護キャップ１１をかぶせてあ
る。図７に発明における栓構造物のプラグの上面図、及
び断面図を示す。
【００２２】
【発明の効果】本発明による栓構造物を用いれば、容器
から送液を行う毎に栓構造物を外す必要もなく、かつ抜
き出し管を容器本体内の薬液中に挿入することも無くな
り、それに伴う外部からの汚染を防ぐことが可能になっ
た。また、該栓構造物に付属部品を装着することで、液
出し口用、エア抜き口用、加圧ガス導入用、ブラインド
用にもなる容器用栓構造物が得られた。
から送液を行う毎に栓構造物を外す必要もなく、かつ抜
き出し管を容器本体内の薬液中に挿入することも無くな
り、それに伴う外部からの汚染を防ぐことが可能になっ
た。また、該栓構造物に付属部品を装着することで、液
出し口用、エア抜き口用、加圧ガス導入用、ブラインド
用にもなる容器用栓構造物が得られた。
【図１】容器全体図
【図２】本発明の栓構造物
【図３】本発明の栓構造物
【図４】本発明の栓構造物
【図５】本発明の栓構造物
【図６】本発明の栓構造物
【図７】本発明のプラグ平面図及び断面図
ａ：継手部分 ｂ：継手部分 １：容器本体 ２：プラグ ３：パイプ（抜き出し管） ４：外部配管 ５：プラグシール用ガスケット ６：キャップ ７：フィルター ８：フィルター押さえキャップ ９：加圧ガス配管 １０：シールキャップ １１：保護キャップ
Claims (2)
- 【請求項１】 貫通する孔を有するプラグから構成さ
れ、該孔の両面に各々継手部を有することを特徴とする
容器用栓構造物。 - 【請求項２】 請求項１記載の栓構造物と容器本体から
なる電子工業薬液用容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8284347A JPH10129705A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 電子工業用薬液容器の栓構造物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8284347A JPH10129705A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 電子工業用薬液容器の栓構造物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10129705A true JPH10129705A (ja) | 1998-05-19 |
Family
ID=17677411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8284347A Pending JPH10129705A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 電子工業用薬液容器の栓構造物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10129705A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103879620A (zh) * | 2014-03-13 | 2014-06-25 | 无锡华瑛微电子技术有限公司 | 化学液存储瓶及其制造方法 |
| CN103964039A (zh) * | 2014-03-13 | 2014-08-06 | 无锡华瑛微电子技术有限公司 | 化学液存储瓶及其制造方法 |
| KR20160102189A (ko) * | 2014-03-13 | 2016-08-29 | 우시 화잉 마이크로일렉트로닉스 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 | 약액 보관병 및 그 제조방법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63160498U (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-20 | ||
| JPH0540161U (ja) * | 1991-04-25 | 1993-05-28 | 株式会社プラズマシステム | 液体容器のキヤツプ |
-
1996
- 1996-10-25 JP JP8284347A patent/JPH10129705A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS63160498U (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-20 | ||
| JPH0540161U (ja) * | 1991-04-25 | 1993-05-28 | 株式会社プラズマシステム | 液体容器のキヤツプ |
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| CN103879620A (zh) * | 2014-03-13 | 2014-06-25 | 无锡华瑛微电子技术有限公司 | 化学液存储瓶及其制造方法 |
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| EP3115309A4 (en) * | 2014-03-13 | 2017-02-01 | Wuxi Huaying Microelectronics Technology Co., Ltd. | Chemical liquid storage bottle and preparation method therefor |
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