JP2002019899A - 過酸化水素用圧送容器 - Google Patents
過酸化水素用圧送容器Info
- Publication number
- JP2002019899A JP2002019899A JP2000206094A JP2000206094A JP2002019899A JP 2002019899 A JP2002019899 A JP 2002019899A JP 2000206094 A JP2000206094 A JP 2000206094A JP 2000206094 A JP2000206094 A JP 2000206094A JP 2002019899 A JP2002019899 A JP 2002019899A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hydrogen peroxide
- gas
- container
- port
- coupler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Loading And Unloading Of Fuel Tanks Or Ships (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 保管時には過酸化水素水から生じ
るガスを放出することができ、かつ過酸化水素水の抜き
出し時には容器内の気密が保つことができる容器を提供
する。 【解決手段】 抜き出し口、充填口及びガス導入
口を有し、ガス導入口にガス放出口付保護キャップが装
着された過酸化水素用圧送容器。
るガスを放出することができ、かつ過酸化水素水の抜き
出し時には容器内の気密が保つことができる容器を提供
する。 【解決手段】 抜き出し口、充填口及びガス導入
口を有し、ガス導入口にガス放出口付保護キャップが装
着された過酸化水素用圧送容器。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造分野で
使用される高純度過酸化水素水の輸送用圧送容器に関す
る。
使用される高純度過酸化水素水の輸送用圧送容器に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造分野で使用される過酸化水素
水は極めて高い純度であることが要求されている。具体
的には、全金属が１ｐｐｂ以下、０．２μｍ以上の大き
さの異物（パーティクル）が１００個／ｍｌ以下であ
る。
水は極めて高い純度であることが要求されている。具体
的には、全金属が１ｐｐｂ以下、０．２μｍ以上の大き
さの異物（パーティクル）が１００個／ｍｌ以下であ
る。
【０００３】このため、輸送、保管に使用される容器材
質からの不純物溶出やパーティクル発生を厳密に管理し
なければならない。一方、過酸化水素水は、自然分解に
よる酸素ガスを発生するため、これを密閉容器に貯蔵す
ることができずガス放出口が装着された容器を用いて貯
蔵する必要がある。
質からの不純物溶出やパーティクル発生を厳密に管理し
なければならない。一方、過酸化水素水は、自然分解に
よる酸素ガスを発生するため、これを密閉容器に貯蔵す
ることができずガス放出口が装着された容器を用いて貯
蔵する必要がある。
【０００４】過酸化水素水を容器から抜き出す方法とし
て、容器内を窒素等のガスで加圧して押し出すことので
きる圧送容器を用いる方法がある。この圧送容器の例と
して、小型容器を図１に示す。小型容器としては５〜２
００ｋｇ程度の容量であり、一方大型容器としては２０
０ｋｇ〜２０ｔ程度の容量である。このような容器に
は、過酸化水素水抜き出し管（１）、ガス放出口付充填
口キャップ（２）、加圧するためのガス導入口（３）、
過酸化水素水抜き出し口（４）、過酸化水素水充填口
（５）が装備されている。
て、容器内を窒素等のガスで加圧して押し出すことので
きる圧送容器を用いる方法がある。この圧送容器の例と
して、小型容器を図１に示す。小型容器としては５〜２
００ｋｇ程度の容量であり、一方大型容器としては２０
０ｋｇ〜２０ｔ程度の容量である。このような容器に
は、過酸化水素水抜き出し管（１）、ガス放出口付充填
口キャップ（２）、加圧するためのガス導入口（３）、
過酸化水素水抜き出し口（４）、過酸化水素水充填口
（５）が装備されている。
【０００５】このうちガス導入口（３）、過酸化水素水
抜き出し口（４）を顧客側の設備とつなげる時、不純物
の混入が無くかつ漏れが無く接続できるようこれらに
は、継手、すなわちソケット（メスタイプ）、もしくは
プラグ（オスタイプ）が装着されている。これらのプラ
グ、ソケットは両者をはめ込み嵌合させることでワンタ
ッチで配管を結合できるいわゆるカプラと呼ばれるもの
である。また、これらのソケットもしくはプラグには弁
が内蔵されており、それぞれに対応する相手をつながな
い限り閉止状態を保つ構造となっている。保管、輸送時
は閉止状態でありここを通っての外部からの汚染はな
い。カプラの一例を図２に示す。
抜き出し口（４）を顧客側の設備とつなげる時、不純物
の混入が無くかつ漏れが無く接続できるようこれらに
は、継手、すなわちソケット（メスタイプ）、もしくは
プラグ（オスタイプ）が装着されている。これらのプラ
グ、ソケットは両者をはめ込み嵌合させることでワンタ
ッチで配管を結合できるいわゆるカプラと呼ばれるもの
である。また、これらのソケットもしくはプラグには弁
が内蔵されており、それぞれに対応する相手をつながな
い限り閉止状態を保つ構造となっている。保管、輸送時
は閉止状態でありここを通っての外部からの汚染はな
い。カプラの一例を図２に示す。
【０００６】容器内の過酸化水素水を抜き出すために
は、ガス導入により容器内を大気圧以上に保持する必要
があり、抜き取り時にはできるだけ容器の気密が保たれ
ていることが好ましい。しかし、従来、圧送容器には前
述したように充填口キャップ（２）にガス放出口が装着
されているために気密が保てず圧送に必要な内部圧力を
保つことが容易ではなかった。さらには、最悪の場合圧
送を行なうことができないことがあった。
は、ガス導入により容器内を大気圧以上に保持する必要
があり、抜き取り時にはできるだけ容器の気密が保たれ
ていることが好ましい。しかし、従来、圧送容器には前
述したように充填口キャップ（２）にガス放出口が装着
されているために気密が保てず圧送に必要な内部圧力を
保つことが容易ではなかった。さらには、最悪の場合圧
送を行なうことができないことがあった。
【０００７】これらを回避するためには、圧送作業直前
にガス放出口が装着された充填口のキャップを、ガス放
出口が装着されていないキャップに付け替えることが必
要であるが、交換時に外部からの不純物の混入の可能性
が高く、また操作が煩雑である等の問題があった。
にガス放出口が装着された充填口のキャップを、ガス放
出口が装着されていないキャップに付け替えることが必
要であるが、交換時に外部からの不純物の混入の可能性
が高く、また操作が煩雑である等の問題があった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
技術における上述したような課題を解決し、保管時には
過酸化水素水から生じるガスを放出することができ、か
つ過酸化水素水の抜き出し時には容器内の気密が保つこ
とができる容器を提供することにある。
技術における上述したような課題を解決し、保管時には
過酸化水素水から生じるガスを放出することができ、か
つ過酸化水素水の抜き出し時には容器内の気密が保つこ
とができる容器を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意研究
を重ねた結果、ガス放出口付キャップがガス導入口に装
着された圧送容器を用いることにより、保管時には分解
ガスを放出することができるとともに外部からの不純物
混入を避けられ、抜き出し時には容器内の気密を保てる
ことを見いだし、本発明に到達した。
を重ねた結果、ガス放出口付キャップがガス導入口に装
着された圧送容器を用いることにより、保管時には分解
ガスを放出することができるとともに外部からの不純物
混入を避けられ、抜き出し時には容器内の気密を保てる
ことを見いだし、本発明に到達した。
【００１０】すなわち、本発明は、抜き出し口、充填口
及びガス導入口を有し、ガス導入口にガス放出口付保護
キャップが装着された過酸化水素用圧送容器に関するも
のである。さらに、ガス導入口にカプラが装着されてお
り、カプラに嵌合することでカプラ内部の弁が解放され
る構造を持ち、かつフィルターが装着されているガス放
出口付保護キャップがカプラに装着されている過酸化水
素水用圧送容器に関する。
及びガス導入口を有し、ガス導入口にガス放出口付保護
キャップが装着された過酸化水素用圧送容器に関するも
のである。さらに、ガス導入口にカプラが装着されてお
り、カプラに嵌合することでカプラ内部の弁が解放され
る構造を持ち、かつフィルターが装着されているガス放
出口付保護キャップがカプラに装着されている過酸化水
素水用圧送容器に関する。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の容器を図３で詳細に説明
する。容器には、過酸化水素水抜き出し管（１）、充填
口キャップ（２）、ガス導入口（３）、過酸化水素水抜
き出し口（４）、過酸化水素水充填口（５）が装着され
ている。過酸化水素水抜き出し口、ガス導入口は、配管
を容易に接続しやすいようにソケットまたはプラグとな
っている。ここで充填口キャップ（２）にはガス放出口
は装着されておらず、充填口からのガス放出はない。
する。容器には、過酸化水素水抜き出し管（１）、充填
口キャップ（２）、ガス導入口（３）、過酸化水素水抜
き出し口（４）、過酸化水素水充填口（５）が装着され
ている。過酸化水素水抜き出し口、ガス導入口は、配管
を容易に接続しやすいようにソケットまたはプラグとな
っている。ここで充填口キャップ（２）にはガス放出口
は装着されておらず、充填口からのガス放出はない。
【００１２】ガス導入口（３）には、ガス放出口が装着
されたガス放出口付保護キャップ（６）が設置される。
ガス放出口付保護キャップ（６）は、ガス導入口がプラ
グタイプの場合はソケットタイプ、ソケットタイプの場
合はプラグタイプのものが使用される。ガス放出口付保
護キャップ（６）は嵌合するとその底面でカプラ内部の
弁を押すことで弁を解放し、容器内部にガスがあった場
合ガス放出口を通して容器外部にガスを放出される構造
を持つ。プラグタイプの一例を図４に示す。
されたガス放出口付保護キャップ（６）が設置される。
ガス放出口付保護キャップ（６）は、ガス導入口がプラ
グタイプの場合はソケットタイプ、ソケットタイプの場
合はプラグタイプのものが使用される。ガス放出口付保
護キャップ（６）は嵌合するとその底面でカプラ内部の
弁を押すことで弁を解放し、容器内部にガスがあった場
合ガス放出口を通して容器外部にガスを放出される構造
を持つ。プラグタイプの一例を図４に示す。
【００１３】ガス放出口には、外部からパーティクルの
進入を阻止できるようにフィルターが装着されている。
そのため、ガス導入口のカプラの弁は解放されているも
のの外部からの不純物混入はない。フィルターは、最大
孔径５０μｍ以下、平均孔径１０μｍ以下の平膜状のフ
ッ素樹脂製が好適に使用されるが材質に制限はない。ガ
ス放出口付保護キャップにフィルターを組み込む位置、
方法にも特に制限はない。
進入を阻止できるようにフィルターが装着されている。
そのため、ガス導入口のカプラの弁は解放されているも
のの外部からの不純物混入はない。フィルターは、最大
孔径５０μｍ以下、平均孔径１０μｍ以下の平膜状のフ
ッ素樹脂製が好適に使用されるが材質に制限はない。ガ
ス放出口付保護キャップにフィルターを組み込む位置、
方法にも特に制限はない。
【００１４】保護キャップが装着されていることにより
保管時、輸送時におけるソケットもしくはプラグ部分の
汚染が妨げられる。過酸化水素水を抜き出す際には、こ
のガス放出口付保護キャップ（６）を外しガス供給配管
を、また過酸化水素水抜き出し口に顧客側配管を装着す
る。これにより容器内は、完全に気密を保つことができ
る。本発明は、図５に示すように大型容器に適用しても
良い。
保管時、輸送時におけるソケットもしくはプラグ部分の
汚染が妨げられる。過酸化水素水を抜き出す際には、こ
のガス放出口付保護キャップ（６）を外しガス供給配管
を、また過酸化水素水抜き出し口に顧客側配管を装着す
る。これにより容器内は、完全に気密を保つことができ
る。本発明は、図５に示すように大型容器に適用しても
良い。
【００１５】一方、ガス放出口付保護キャップ（６）を
過酸化水素水抜き出し口（４）に装着することは、分解
ガスを充分放出できない場合があるため好ましくない。
過酸化水素水抜き出し口（４）に装着することは、分解
ガスを充分放出できない場合があるため好ましくない。
【００１６】これら過酸化水素水が接液する、または接
液する可能性のある部分の材質は、材質から不純物溶出
が少ない材質を用いることが必要である。例としてポリ
テトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリクロロトリ
フルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、テトラフルオロエチ
レン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体
（ＰＦＡ）などのフッ素樹脂、ポリエチレン等が好適に
使用されるがこれに限定はされない。
液する可能性のある部分の材質は、材質から不純物溶出
が少ない材質を用いることが必要である。例としてポリ
テトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリクロロトリ
フルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、テトラフルオロエチ
レン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体
（ＰＦＡ）などのフッ素樹脂、ポリエチレン等が好適に
使用されるがこれに限定はされない。
【００１７】
【発明の効果】本発明の容器を用いることで、保管時に
は分解ガスを放出することができるとともに不純物の混
入が無く、使用時には容器の気密を高度に保ち、過酸化
水素水を抜き出すことができる。
は分解ガスを放出することができるとともに不純物の混
入が無く、使用時には容器の気密を高度に保ち、過酸化
水素水を抜き出すことができる。
【図１】 従来の圧送容器
【図２】 カプラの一例
【図３】 本発明の圧送容器
【図４】 本発明のガス放出口付保護キャップ
【図５】 本発明の大型圧送容器
Claims (2)
- 【請求項１】 抜き出し口、充填口及びガス導入口を有
し、ガス導入口にガス放出口付保護キャップが装着され
た過酸化水素用圧送容器。 - 【請求項２】 ガス導入口にカプラが装着されており、
該カプラに嵌合することでカプラ内部の弁が解放される
構造を持ち、かつフィルターが装着されているガス放出
口付保護キャップがカプラに装着されている請求項１記
載の圧送容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000206094A JP2002019899A (ja) | 2000-07-07 | 2000-07-07 | 過酸化水素用圧送容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000206094A JP2002019899A (ja) | 2000-07-07 | 2000-07-07 | 過酸化水素用圧送容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002019899A true JP2002019899A (ja) | 2002-01-23 |
Family
ID=18703077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000206094A Pending JP2002019899A (ja) | 2000-07-07 | 2000-07-07 | 過酸化水素用圧送容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002019899A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004175437A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Tsukishima Kikai Co Ltd | 液体の供給方法および供給装置 |
| EP1918248A3 (de) * | 2006-10-29 | 2010-06-09 | Silicon Fire AG | Bereitstellung von H2O2 aus Schwefelsäure, die beim Verbrennen von fossilen Brennstoffen aus darin enthaltenen Schwefelrückständen entsteht, und Verwendung des H2O2 als Energieträger |
| JP2012035884A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-23 | Japan Pail Corp | ６０リットル内袋複合容器及び薬液排出チューブ |
| CN112897443A (zh) * | 2021-01-19 | 2021-06-04 | 北京航空航天大学 | 移动式高浓度过氧化氢加注储存输送系统 |
-
2000
- 2000-07-07 JP JP2000206094A patent/JP2002019899A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004175437A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Tsukishima Kikai Co Ltd | 液体の供給方法および供給装置 |
| EP1918248A3 (de) * | 2006-10-29 | 2010-06-09 | Silicon Fire AG | Bereitstellung von H2O2 aus Schwefelsäure, die beim Verbrennen von fossilen Brennstoffen aus darin enthaltenen Schwefelrückständen entsteht, und Verwendung des H2O2 als Energieträger |
| JP2012035884A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-23 | Japan Pail Corp | ６０リットル内袋複合容器及び薬液排出チューブ |
| CN112897443A (zh) * | 2021-01-19 | 2021-06-04 | 北京航空航天大学 | 移动式高浓度过氧化氢加注储存输送系统 |
| CN112897443B (zh) * | 2021-01-19 | 2021-11-16 | 北京航空航天大学 | 移动式高浓度过氧化氢加注储存输送系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10486956B2 (en) | Apparatus and methods for filling and dispensing liquids | |
| US4738693A (en) | Valve block and container for semiconductor source reagent dispensing and/or purification | |
| US5964254A (en) | Delivery system and manifold | |
| JP5897530B2 (ja) | 磁気流体継手装置と方法 | |
| CN106335866A (zh) | 一种从密封容器中转移液体的装置 | |
| US6079597A (en) | Containment system | |
| EP1031533B1 (fr) | Système de distribution de liquide et son utilisation pour la distribution d'un liquide ultra-pur | |
| JPS6326470A (ja) | ガスタンクのための弁 | |
| JPH08203993A (ja) | 可搬式密閉コンテナのガス供給システム | |
| US20050269351A1 (en) | Method and mechanism to seal a vessel for a highly pressurized combustion-supportable or flammable gas | |
| TWI220444B (en) | Stationary or portable bulk containers and method for maximizing the amount of product in a container | |
| JP2002019899A (ja) | 過酸化水素用圧送容器 | |
| EP1180638A2 (en) | Sub-atmospheric pressure gas delivery method and apparatus | |
| TW200304527A (en) | Transportation and storage of ultra-high purity products | |
| US9253863B2 (en) | Systems and methods for changing coolant in a linear accelerator | |
| CN108486549B (zh) | 物料回收装置 | |
| CN209008892U (zh) | 一种航空航天用推进剂贮箱 | |
| JP3120316B2 (ja) | ガスボンベ用バルブ装置 | |
| CN207316124U (zh) | 一种经济阀 | |
| JPH07277400A (ja) | 容器の蓋 | |
| US20070215220A1 (en) | System for direct transfer of gas from a supply source to a portable cylinder and method for same | |
| US10060565B2 (en) | Fluid transfer coupling | |
| EP2532941B1 (fr) | Procédé de conditionnement de mélanges NO/N2 avec étapes de purge et rinçage gazeux préalable | |
| US20220178501A1 (en) | Safety vacuum supply gas cylinder | |
| SG104305A1 (en) | Storage vessel for liquid high-purity substances |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070611 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090424 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090428 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090623 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091021 |