JPH10128061A - フッ化水素ガスの乾式処理方法 - Google Patents
フッ化水素ガスの乾式処理方法Info
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- JPH10128061A JPH10128061A JP8292298A JP29229896A JPH10128061A JP H10128061 A JPH10128061 A JP H10128061A JP 8292298 A JP8292298 A JP 8292298A JP 29229896 A JP29229896 A JP 29229896A JP H10128061 A JPH10128061 A JP H10128061A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】乾式法におけるフッ化水素ガスを安全に中和無
害化する処理方法を提供する。 【解決手段】フッ化水素ガスを、ソーダライムなどを有
効成分とする処理剤などで除害反応により水の発生があ
る乾式処理法において、除害処理と窒素パージを交互に
行う。
害化する処理方法を提供する。 【解決手段】フッ化水素ガスを、ソーダライムなどを有
効成分とする処理剤などで除害反応により水の発生があ
る乾式処理法において、除害処理と窒素パージを交互に
行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フッ化水素ガスを
安全に中和無害化する乾式処理方法に関する。
安全に中和無害化する乾式処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体工業分野においては、ＣＶＤ、真
空蒸着、スパッタリング等による製造工程の中で多くの
ガスが使用され、それに伴う排ガスの処理は、環境汚染
を防止するために完全に除去して系外に排出しなければ
ならない。
空蒸着、スパッタリング等による製造工程の中で多くの
ガスが使用され、それに伴う排ガスの処理は、環境汚染
を防止するために完全に除去して系外に排出しなければ
ならない。
【０００３】特に、排ガス中のハロゲン系ガスは、人体
に有害であり、その処理方法が多く提案されている。例
えば、乾式法としては、ソーダライムなどを有効成分と
する処理剤が充填された充填塔に酸性の有害ガスを流し
て処理する方法などがある。
に有害であり、その処理方法が多く提案されている。例
えば、乾式法としては、ソーダライムなどを有効成分と
する処理剤が充填された充填塔に酸性の有害ガスを流し
て処理する方法などがある。
【０００４】しかし、例えばソーダライムを有効成分と
する処理剤で、フッ化水素ガスを処理する乾式処理法な
どにおいて、ソーダライム中のＣａ（ＯＨ）2と反応し
てＣａＦ2として化学的に固定化されるフッ素分は安定
で、その後の工程でも問題は生じないが、処理ガスのフ
ッ化水素濃度が高い場合、このように生成したＣａＦ 2
固体の表面にさらに過剰のフリーのフッ化水素が吸着す
るという現象が見られた。かかるフリーのフッ化水素を
吸着した反応済み処理剤は、その廃棄作業時において作
業者がフッ化水素に曝される危険性を有している。
する処理剤で、フッ化水素ガスを処理する乾式処理法な
どにおいて、ソーダライム中のＣａ（ＯＨ）2と反応し
てＣａＦ2として化学的に固定化されるフッ素分は安定
で、その後の工程でも問題は生じないが、処理ガスのフ
ッ化水素濃度が高い場合、このように生成したＣａＦ 2
固体の表面にさらに過剰のフリーのフッ化水素が吸着す
るという現象が見られた。かかるフリーのフッ化水素を
吸着した反応済み処理剤は、その廃棄作業時において作
業者がフッ化水素に曝される危険性を有している。
【０００５】また別の問題として、酸アルカリの中和に
よってフッ化水素ガスを除害する乾式処理法では、反応
に伴って生成し凝縮した水とフッ化水素との作用により
金属製の除害装置が腐食するという現象がある。
よってフッ化水素ガスを除害する乾式処理法では、反応
に伴って生成し凝縮した水とフッ化水素との作用により
金属製の除害装置が腐食するという現象がある。
【０００６】そのためこれを防止するために、従来は、
フッ化水素ガスの処理は、吸着の発生しないフッ化水素
濃度以下で除害処理を行っていた。すなわち希釈のため
の多量のイナートガスを必要とし、一方実用的な処理ガ
スの線速度には限界があるため、被処理ガスの流量の方
は小流量に抑制せざるを得なかった。しかし、半導体製
造工程においては、高濃度、大流量で処理が出来る乾式
処理法が望まれていた。
フッ化水素ガスの処理は、吸着の発生しないフッ化水素
濃度以下で除害処理を行っていた。すなわち希釈のため
の多量のイナートガスを必要とし、一方実用的な処理ガ
スの線速度には限界があるため、被処理ガスの流量の方
は小流量に抑制せざるを得なかった。しかし、半導体製
造工程においては、高濃度、大流量で処理が出来る乾式
処理法が望まれていた。
【０００７】
【問題点を解決するための具体的手段】本発明者らは、
かかる問題点を解決するべく鋭意検討した結果、処理を
間欠的に実施し、しかも処理待機時に窒素パージを実施
することにより高濃度、大流量のフッ化水素ガス除害処
理が安全にできることを見いだしたものである。
かかる問題点を解決するべく鋭意検討した結果、処理を
間欠的に実施し、しかも処理待機時に窒素パージを実施
することにより高濃度、大流量のフッ化水素ガス除害処
理が安全にできることを見いだしたものである。
【０００８】すなわち本発明は、フッ化水素ガスを、ソ
ーダライムなどを有効成分とする除害反応により水の発
生がある乾式処理法において、除害処理と窒素パージを
交互に行うことを特徴とするフッ化水素ガスの改良され
た処理方法を提供するものである。
ーダライムなどを有効成分とする除害反応により水の発
生がある乾式処理法において、除害処理と窒素パージを
交互に行うことを特徴とするフッ化水素ガスの改良され
た処理方法を提供するものである。
【０００９】以下、本発明方法を詳述する。本発明にお
いて、フッ化水素ガスの処理条件は、除害塔の大きさ、
処理濃度および処理流量によって異なる。フッ化水素ガ
スの処理濃度は、２〜１００％の範囲で適用できるが、
３〜２０％の濃度範囲が好ましい。処理濃度が、２％以
下だと処理ガスの総流量が増加し、大型の除害塔が必要
になるので好ましくない。
いて、フッ化水素ガスの処理条件は、除害塔の大きさ、
処理濃度および処理流量によって異なる。フッ化水素ガ
スの処理濃度は、２〜１００％の範囲で適用できるが、
３〜２０％の濃度範囲が好ましい。処理濃度が、２％以
下だと処理ガスの総流量が増加し、大型の除害塔が必要
になるので好ましくない。
【００１０】充填塔処理線速度は１０ｃｍ／ｓ以下で、
また１回当たりの処理量としては処理剤のフッ化水素処
理総容量の５％未満まで、望ましくは１％未満の範囲で
除害処理を行う。その後、除害処理に要した時間の３倍
以上の時間をかけて窒素パージを充填塔処理線速度１０
ｃｍ／ｓ以下で行う。これにより処理剤に吸着していた
フッ化水素ガスは、下流側の処理剤に移動しそこで固定
化され、一方中和反応により発生した水は水蒸気として
窒素ガスに同伴され系外に排出される。処理線速度が、
１０ｃｍ／ｓ以上だと固体の処理剤とガスの接触時間が
充分に確保されず、出口ガスの中にフッ化水素が検出さ
れるようになるので好ましくない。
また１回当たりの処理量としては処理剤のフッ化水素処
理総容量の５％未満まで、望ましくは１％未満の範囲で
除害処理を行う。その後、除害処理に要した時間の３倍
以上の時間をかけて窒素パージを充填塔処理線速度１０
ｃｍ／ｓ以下で行う。これにより処理剤に吸着していた
フッ化水素ガスは、下流側の処理剤に移動しそこで固定
化され、一方中和反応により発生した水は水蒸気として
窒素ガスに同伴され系外に排出される。処理線速度が、
１０ｃｍ／ｓ以上だと固体の処理剤とガスの接触時間が
充分に確保されず、出口ガスの中にフッ化水素が検出さ
れるようになるので好ましくない。
【００１１】以上の操作により反応済み処理剤へ吸着さ
れたフッ化水素ガスの脱離・再固定と、発生した水のパ
ージが同時に行なわれ、廃棄作業時における危険性がな
くなり、また腐食による装置の破損も防止できる。
れたフッ化水素ガスの脱離・再固定と、発生した水のパ
ージが同時に行なわれ、廃棄作業時における危険性がな
くなり、また腐食による装置の破損も防止できる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を実施例によって詳細に説明す
るが、かかる実施例に限定されるものではない。
るが、かかる実施例に限定されるものではない。
【００１３】実施例１〜４、比較例１〜６ 図１は、本発明で使用する工程の概略図である。除害処
理塔１として内径２２ｍｍ、長さ５００ｍｍのＮｉ製の
チューブにソーダライムを充填し、出口に酸性ガスイン
ジケータ２およびガス検知器３を取り付け薬剤の破過を
確認した。最初にフッ化水素ガスおよび希釈窒素ガスを
一定時間流し除害処理を行い、その後希釈窒素ガスのみ
を一定時間流した。この除害処理と窒素パージ処理を繰
り返し、出口ガス中にフッ化水素が検出されるまでに除
害処理塔１に流したフッ化水素ガスの積算量と処理剤の
有効成分のモル数の比として反応率を求め、また処理後
の剤をアルカリで中和滴定してフリーフッ素の量を求め
た。これらの結果を表１に示した。比較例では、反応率
が１００％を越えておりフリーのフッ化水素が吸着され
ていることが分かる。
理塔１として内径２２ｍｍ、長さ５００ｍｍのＮｉ製の
チューブにソーダライムを充填し、出口に酸性ガスイン
ジケータ２およびガス検知器３を取り付け薬剤の破過を
確認した。最初にフッ化水素ガスおよび希釈窒素ガスを
一定時間流し除害処理を行い、その後希釈窒素ガスのみ
を一定時間流した。この除害処理と窒素パージ処理を繰
り返し、出口ガス中にフッ化水素が検出されるまでに除
害処理塔１に流したフッ化水素ガスの積算量と処理剤の
有効成分のモル数の比として反応率を求め、また処理後
の剤をアルカリで中和滴定してフリーフッ素の量を求め
た。これらの結果を表１に示した。比較例では、反応率
が１００％を越えておりフリーのフッ化水素が吸着され
ていることが分かる。
【００１４】
【表１】
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明方法によ
り、フッ化水素ガスが吸着されず、かつ金属製の充填塔
本体の腐食が少なくなり、廃棄処理作業が安全にでき
る。
り、フッ化水素ガスが吸着されず、かつ金属製の充填塔
本体の腐食が少なくなり、廃棄処理作業が安全にでき
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】フッ化水素ガスの除害処理工程の概略図を示
す。
す。
１.除害処理塔 ２.酸性ガスインジケータ ３.ガス検知器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 植田 哲生 山口県宇部市大字沖宇部5272番地の１ セ ントラルエンジニアリング株式会社内 (72)発明者 野上 千俊 東京都千代田区八丁堀２丁目７番１号 岩 谷産業株式会社東京本社内 (72)発明者 小田島 秀樹 東京都千代田区八丁堀２丁目７番１号 岩 谷産業株式会社東京本社内
Claims (2)
- 【請求項１】 フッ化水素ガスを、固体アルカリを有効
成分とする処理剤と接触させることによる乾式処理法に
おいて、除害処理と窒素パージを交互に行うことを特徴
とするフッ化水素ガスの乾式処理方法。 - 【請求項２】 固体アルカリがソーダライムであること
を特徴とする請求項１記載のフッ化水素ガスの乾式処理
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29229896A JP3199224B2 (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | フッ化水素ガスの乾式処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29229896A JP3199224B2 (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | フッ化水素ガスの乾式処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10128061A true JPH10128061A (ja) | 1998-05-19 |
| JP3199224B2 JP3199224B2 (ja) | 2001-08-13 |
Family
ID=17779955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29229896A Expired - Fee Related JP3199224B2 (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | フッ化水素ガスの乾式処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3199224B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005077496A1 (en) * | 2004-02-17 | 2005-08-25 | Ebara Corporation | Method and apparatus for treating gas containing fluorine-containing compounds |
-
1996
- 1996-11-05 JP JP29229896A patent/JP3199224B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005077496A1 (en) * | 2004-02-17 | 2005-08-25 | Ebara Corporation | Method and apparatus for treating gas containing fluorine-containing compounds |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3199224B2 (ja) | 2001-08-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |