JPH10125277A

JPH10125277A - 質量分析装置

Info

Publication number: JPH10125277A
Application number: JP9155257A
Authority: JP
Inventors: Mitsuru Onuma; 満大沼; Seiji Kamimura; 成自神村; Tadao Mimura; 忠男三村
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1996-08-30
Filing date: 1997-06-12
Publication date: 1998-05-15
Anticipated expiration: 2017-06-12
Also published as: JP3494553B2

Abstract

(57)【要約】【課題】質量分析装置のインタフェース機構を構成す
る部材の清掃、交換等のための分解作業、その後の組み
立て作業を容易に行うことを可能とする。【解決手段】本発明をＥＳＩインタフェース機構に適
用した図示例は、イオン化電極３を構成する各細孔電極
が、本体部筐体１の平面板１６上に設けられる台部１１
の溝部１４に係合するように下端部が方形状に、かつ、
溝部１４に係合する形状とされて構成される。各細孔電
極は、台部１１に設けた溝部１４に案内されてスライド
可能とされると共に、各細孔電極が溝部１４内に係合載
置されることにより、中心の細孔の位置合わせが可能に
されている。使用状態において、各細孔電極は、固定ネ
ジ４により装置の全体が真空引き抜きダクト５の面に固
定され、また、台部１１の端部から溝部１４に係合する
ストッパレバー１３を有するストッパ１２により真空引
き抜きダクト５の面に押しつけられて固定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、質量分析装置に係
り、特に、試料をイオン化して分析部に導入するインタ
フェース機構の分解、清掃、部品交換等を容易に行うこ
とを可能にした質量分析装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、従来技術による質量分析装置
は、液体クロマトグラフ式とガスクロマトグラフとがあ
り、ガスクロマトグラフ式の場合、分析すべき試料を気
化、イオン化するインタフェース機構と、このイオン化
された粒子を静電レンズ、イオンガイドを介して高周波
電界により制御されるイオントラップ部に導き、イオン
トラップ部から出力される粒子を検出することにより試
料粒子の質量の分析を行う分析部とにより構成されてい
る。そして、ガスクロマトグラフ式の質量分析装置は、
前述の分析部を高真空の空間に配置し、インタフェース
機構を構成するイオン化部を低真空中に、気化部を大気
中に配置して構成されるのが一般的である。

【０００３】前述のインタフェース機構としては、エレ
クトロスプレーイオナイザ（ＥＳＩ）と呼ばれるもの
と、大気圧化学イオナイザ（ＡＰＣＩ）と呼ばれるもの
とが知られている。ＥＳＩは、高電圧を印加した二重パ
イプに不活性ガスと液体状の試料を吹き込むことにより
試料を気化させる気化器と、中心部に細孔を有するイオ
ン化電極とにより構成され、ＡＰＣＩは、中心部に細孔
を有して１５０度から２００度程度に加熱された部材に
よる霧化器と、中心部に小孔を有して４００度程度に加
熱された部材による気化器と、中心部に細孔を有するイ
オン化電極とにより構成される。

【０００４】図１６は従来技術による質量分析装置のＥ
ＳＩインタフェース機構の構成を示す斜視図であり、以
下、図１６を参照して、従来技術によるインタフェース
機構について説明する。図１６において、１は本体部筐
体、２は気化器、３はイオン化電極、４、４’は固定ネ
ジ、５は真空引き抜きダクト、６は霧化器、７はチュー
ブ、１７は天板である。

【０００５】従来技術による質量分析装置は、図示しな
い、静電レンズ、イオンガイド、イオントラップ、粒子
検出部により構成される質量分析部、真空ポンプ、電
源、制御回路等が天板１７を有する本体部筐体１内に収
納され、ＥＳＩインタフェース機構を構成するイオン化
電極３及び気化器２が、図１６に示すように、本体部筐
体１の内部とは仕切られた部分に取り付けられて構成さ
れている。

【０００６】ＥＳＩインタフェース機構が取り付けられ
ている部分の天板１７の部分は、図１６では切り欠いた
状態に示されているが、この部分は、天板１７と同一平
面となる取り外し可能な蓋または開閉可能な扉として構
成されている。また、図１６では、本体部筐体１の側面
板を切り欠いた状態に示しているが、側面板は、実際に
は切り欠かれておらず、天板１７の直下まで伸びてＥＳ
Ｉインタフェース機構を取り囲んでいる。そして、ＥＳ
Ｉインタフェース機構の保守は、前述した天板１７の一
部に設けられている蓋を取り外しあるいは扉を開いて上
側から行われるようにされている。

【０００７】また、ＥＳＩインタフェース機構は、その
細孔部を中程度の真空に引く真空引き抜きダクト５を介
して取り付けられ、中心部に細孔を有する複数の円板状
に形成された細孔電極により構成されるイオン化電極３
と、チューブ７を介して送られる溶媒等に溶かされた試
料を気化する気化器２とにより構成されている。真空引
き抜きダクト５は、固定ネジ４’により本体部筐体１に
取り付けられ、内部の真空ポンプに連結されている。

【０００８】ＥＳＩインタフェース機構と図示しない真
空ポンプとは、通常２つの真空室を介して結合されてい
る。図１６には示していないが、１つは、分析部を配置
する高真空の真空室であり、他の１つは、インタフェー
ス機構を構成するイオン化部を低真空とする真空室であ
る。そして、これらの真空室は、３つの真空ポンプによ
り内部の気体が吸引されている。すなわち、インタフェ
ース機構のイオン化部を低真空とする真空室に１つの真
空ポンプが割り当てられ、分析部を配置する高真空の真
空室にターボ分子真空ポンプが割り当てられ、さらに、
ターボ分子真空ポンプの排圧の排気のためにもう１つの
真空ポンプが配置されている。

【０００９】気化器２は、図には示していないが、二重
パイプ状に形成されており、内側の中心パイプにチュー
ブ７からの試料が送り込まれ、内側パイプと外側パイプ
との間に不活性ガスが吹き込まれて試料を噴霧、気化
し、気化された試料をイオン化電極３の中心の細孔に向
けて吹き込む。なお、この気化器２の外側パイプには、
３ｋＶ程度の高電圧が、図示しないケーブルを介して本
体部筐体１の内部から印加されている。

【００１０】イオン化電極３は、複数の細孔電極の細孔
の位置合わせをして固定ネジ４により真空引き抜きダク
ト５に固定されて取り付けられている。図には示してい
ないが、イオン化電極３を構成する複数の細孔電極のそ
れぞれには、吹き込まれた試料の粒子をイオン化するた
めに異なる電位の電圧が、図示しないケーブルを介して
本体部筐体１の内部から印加されている。

【００１１】前述において、チューブ７を介して送りこ
まれた試料は、気化器２により気化されて、その粒子が
イオン化電極３の細孔を通る間にイオン化され、本体部
筐体１の内部に収納される質量分析部に送りこまれるこ
とになる。なお、気化された後の試料は、真空引き抜き
ダクト５の内部が真空に引き抜かれていることにより、
自動的にイオン化電極３を通って本体部筐体１の内部に
導かれる。

【００１２】前述では、従来技術による質量分析装置の
ＥＳＩインタフェース機構について説明したが、ＡＰＣ
Ｉインタフェース機構も、図１６の場合と同様に構成さ
れている。すなわち、ＡＰＣＩインタフェースを持つ質
量分析装置は、静電レンズ、イオンガイド、イオントラ
ップ粒子検出により構成される質量分析部、真空ポン
プ、電源、制御回路等が本体部筐体１内に収納され、Ａ
ＰＣＩインタフェース機構が、イオン化電極、気化器及
びＥＳＩインタフェース機構にはない霧化器により構成
されて、前述の場合と同様に、本体部筐体１の内部とは
仕切られた部分に取り付けられて構成されている。そし
て、ＡＰＣＩインタフェース機構は、ＥＳＩインタフェ
ース機構とほぼ同様に、その細孔部を中程度の真空に引
く真空引き抜きダクト５介して取り付けられ、中心部に
細孔を有する複数の円板状に形成された細孔電極により
構成されるイオン化電極と、チューブを介して送られる
溶媒等に溶かされた試料を霧化する霧化器と、霧化され
た試料を気化する気化器とにより構成されている。真空
引き抜きダクトは、固定ネジにより本体部筐体に取り付
けられ、内部の真空ポンプに連結されている。

【００１３】霧化器は、１５０度〜２００度程度に加熱
されており、チューブを介して送り込まれてくる試料を
中心部に設けられた細孔内で霧化して気化器に送り込
む。気化器は、霧化器より高い４００度程度に加熱され
ており、霧化器より送られてくる霧化された試料を気化
し、気化された試料をイオン化電極の中心の細孔に向け
て吹き込む。そして、霧化器、気化器には、加熱のため
のヒータ、温度測定のためのセンサが組み込まれてお
り、これらに対する配線がケーブルを介して本体部筐体
の内部に引き込まれている。

【００１４】イオン化電極の構成は、前述したＥＳＩイ
ンタフェース機構を持つ質量分析装置の場合と同様であ
り、また、ＡＰＣＩインタフェース機構が本体部筐体に
取り付けられる構造、本体部筐体の側面板のＡＰＣＩイ
ンタフェース機構周辺の構造、天板の構成も、前述した
ＥＳＩインタフェース機構を持つ質量分析装置の場合と
同様である。

【００１５】前述において、チューブを介して送りこま
れた試料は、霧化器、気化器を経て気化され、その粒子
がイオン化電極の細孔を通る間にイオン化され、本体部
筐体の内部に収納される質量分析部に送りこまれること
になる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】前述した従来技術によ
る質量分析装置は、インタフェース機構を構成するイオ
ン化電極、気化器が、あるいは、これらと霧化器とを位
置合わせして取り付けネジにより取り付けられている。
そして、これらの部材は、一定時間使用した後には清掃
等のために取り外す必要があり、また、分析すべき試料
によっては部材を交換する必要がある。そして、インタ
フェース機構を構成する前述の各部材は相当な重量を有
し、また、使用直後にはかなりの熱を持っている。

【００１７】このため、前述した従来技術による質量分
析装置のインタフェース機構は、清掃等のために分解し
た後に組み立てる際の位置合わせを、部材を手に持った
状態で行わなければならず、その作業が困難であり、ま
た、ＡＰＣＩインタフェース機構は、使用中加熱されて
いるため、使用直後に作業を行うことができないという
問題点を有している。

【００１８】また、前述した従来技術による質量分析装
置のインタフェース機構は、前述した作業を、天板に設
けられたインタフェース機構の上の蓋を外し、あるい
は、扉を開いて上側から行わなければならず、極めて作
業性が悪いという問題点を生じさせている。また、通
常、天板の上には、液体クロマトグラフ等の機器が乗せ
られて使用されており、これらの機器が、天板上の蓋、
扉の上に乗せられていた場合、これらの機器を移動させ
なければ、前述したような清掃のための作業を行うこと
ができないという問題点を生じている。

【００１９】また、前述した従来技術による質量分析装
置は、３つもの真空ポンプを使用しているため、装置全
体を大型のものにしてしまい、また、重量も大きくなる
ので、搬入、設置を行う場合に、搬送可能な重量となる
ように解体し、現地での組み立てを行わなければなら
ず、それらの作業に要する作業量が多くなり、時間と費
用が大きくなるという問題点を有している。

【００２０】本発明の目的は、前記従来技術の問題点を
解決し、インタフェース機構の分解、清掃、部品交換等
を容易に行うことを可能にし、組立てを行う際の位置合
わせも容易に行うことを可能にした分析すべき試料を気
化、イオン化するインタフェース機構を有する質量分析
装置を提供することにある。

【００２１】また、本発明の目的は、装置全体を小型に
することができ、また、重量を小さくし、搬入、設置を
行う場合にね、搬送可能な重量とするための分解数を少
なくして、現地での組み立て作業が容易な質量分析装置
を提供することにある。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明によれば前記目的
は、分析すべき試料を気化させる気化器、及び、中心部
に細孔を有するイオン化電極とにより構成されるＥＳＩ
インタフェース機構と、前記インタフェース機構からの
イオン化された試料粒子の質量分析を行う質量分析部と
により構成される質量分析装置において、前記イオン化
電極を、下端部が方形状に、かつ、本体部筐体の平面板
上に設けられる台部の溝部に係合する形状を持つ複数の
細孔電極により構成することにより達成される。

【００２３】また、前記目的は、前記複数の細孔電極
を、前記溝部内にスライド可能に係合することにより、
また、使用時、固定ネジにより、あるいは、前記台部の
溝部に係合するストッパにより複数の細孔電極を結合し
てイオン化電極を形成することにより達成される。

【００２４】また、前記目的は、ＥＳＩインタフェース
機構を有する質量分析装置において、前記イオン化電極
を、略四角柱状の台座部上に支持棒により取り付けた複
数の細孔電極により構成し、本体部筐体の平面板上に設
けられる溝部上に前記台座部を載置することにより、前
記複数の細孔電極を支持している台座部を、前記溝部内
にスライド可能に載置することにより、さらに、前記複
数の細孔電極を、使用時、固定ネジにより結合してイオ
ン化電極を形成することにより達成される。

【００２５】また、前記目的は、分析すべき試料を霧化
させる霧化器、霧化された試料を気化させる気化器、及
び、中心部に細孔を有するイオン化電極とにより構成さ
れるＡＰＣＩインタフェース機構と、前記インタフェー
ス機構からのイオン化された試料粒子の質量分析を行う
質量分析部とにより構成される質量分析装置において、
前記イオン化電極を複数の細孔電極により構成し、前記
複数の細孔電極、霧化器、気化器は、下端部を方形状
に、かつ、本体部筐体の平面板上に設けられる台部の溝
部に係合する形状を持つことにより達成される。

【００２６】また、前記目的は、前記複数の細孔電極、
霧化器、気化器を、前記溝部内にスライド可能に係合さ
せ、使用時、固定ネジにより、あるいは、前記台部の溝
部に係合するストッパにより結合することにより達成さ
れる。

【００２７】また、前記目的は、ＡＰＣＩインタフェー
ス機構を有する質量分析装置において、前記イオン化電
極を複数の細孔電極により構成し、前記複数の細孔電
極、霧化器、気化器を、略四角柱状の台座部上に支持棒
により取り付け、本体部筐体の平面板上に設けられる溝
部上に前記台座部を載置することにより、前記複数の細
孔電極、霧化器、気化器を支持している台座部を、前記
溝部内にスライド可能に載置することにより、さらに、
前記複数の細孔電極、霧化器、気化器を、使用時、固定
ネジにより結合することにより達成される。

【００２８】さらに、前記目的は、前記複数の細孔電
極、または、複数の細孔電極、霧化器、気化器が、前記
溝部内に係合された状態で、あるいは、前記台座部を前
記溝部内に載置した状態で相互に位置合わせが行われて
いるようにすることにより達成される。

【００２９】本発明によれば前記目的は、前記インタフ
ェース機構を、本体部筐体に結合させて配置し、本体部
筐体に係合する前蓋により覆い、前蓋が取り外されたと
き、前記インタフェース機構の上部と側部、前部と上
部、前部と側部、または、上部と前部と側部が解放状態
とされるようにすることにより、また、前蓋が取り外さ
れたことを検出するマイクロスイッチを本体部筐体に備
え、前記前蓋が取り付けられているときのみ、装置の動
作を可能とすることにより達成される。

【００３０】また、前記目的は、前記インタフェース機
構を、本体部筐体に結合し、インタフェース機構に対す
る電圧の印加、加熱のための電源を供給するケーブルを
コネクタを介して本体部筐体内部に引き込み、前記コネ
クタのコネクタピンの２本をジャンパ線により短絡して
おき、短絡されるコネクタピンの位置により、制御装置
にインタフェース機構の種別を判別させることにより、
また、前記制御装置をパソコンにより構成し、判別した
インタフェース機構の種別と、機器構成の概略とをディ
スプレイ上に表示することにより、また、前記ディスプ
レイ上に表示されるインタフェース機構の機器構成の各
部に印加されている電圧と、計測された温度及び設定温
度の少なくとも計測された温度とを対応して表示するこ
とにより達成される。

【００３１】さらに、前記目的は、質量分析部が収納さ
れる真空室を真空に引く第１の真空ポンプと、該第１の
真空ポンプからの排気及び前記イオン化電極により構成
される真空室からの排気を行う第２の真空ポンプとを備
えることにより、また、前記第１の真空ポンプを、本体
部筐体の内部に、その正面の手前側で、かつ、側面側
に、取り外し可能に配置することにより達成される。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、本発明による質量分析装置
の実施形態を図面により詳細に説明する。

【００３３】図１は本発明による質量分析装置の全体の
構成を示す斜視図、図２は本発明の第１の実施形態によ
る質量分析装置のインタフェース機構の構成を示す斜視
図、図３は図２のインタフェース機構を分解して示す図
である。図１〜図３において、８はケーブル、９はコネ
クタ、１０、１０’は扉、１１は台部、１２はストッ
パ、１３ストッパ・レバー、１４は溝部、１５は表示
器、１６は平面板、１７は天板、１７’は天板の窪み
部、１８は透明窓、１９はマイクロスイッチ、２０は前
蓋、２０’はカバー、３１は液体クロマトグラフ、３２
はパソコン（ＰＣ）、３３はディスプレイ、３４はキー
ボード、３５はマウス、３６は机であり、他の符号は図
１６の場合と同一である。

【００３４】本発明の質量分析装置は、図１にその全体
を示すように、質量分析装置を構成する各種機器が収納
される本体部筐体１と、本体部筐体１上に設けられてい
る天板１７上に載置される液体クロマトグラフ３１と、
本体部筐体１に並べて配置された机３６の上に備えられ
る質量分析装置、液体クロマトグラフ３１を制御し、こ
れらからのデータを処理するパソコン３２と、制御の状
況、データ処理の状況を表示するディスプレイ３３と、
パソコン３２に対する指示等を入力するキーボード３４
及びマウス３６とにより構成されている。

【００３５】本体部筐体１の側面及び前面には扉１０、
１０’及び透明窓１８が設けられている。側面に設けら
れている扉１０は、本体部筐体１の内部に配置されてい
る真空排気用のターボ分子ポンプの作動油の給油口とし
て使用され、前面側の透明窓１８は、ターボ分子ポンプ
の作動油の量が外部から見ることがてきるように設けら
れている。また、前面側の扉１０’は、この扉１０’を
開けることにより、電源スイッチ等の操作が可能に設け
られている。

【００３６】さらに、本体部筐体１の前面の上部には、
前方に突出した取り外し可能な前蓋２０及び表示器１５
が設けられたカバー２０’が設けられている。前蓋２０
の内側には、後述するようにインタフェース機構が本体
部筐体１に結合されて配置されており、前蓋２０を図の
右側側方に引いて前蓋２０を取り外すと、本体部筐体１
の上部、前部、図示例では右側側部の一部が解放され
て、インタフェース機構が露出する。これにより、イン
タフェース機構は、３方からの保守点検を行うことが可
能となり、極めて作業性よくインタフェース機構の分
解、組み立て等を行うことができる。なお、前蓋２０
は、インタフェース機構の３方を解放するものでなくて
も、何れか２方を解放できるように形成されていてもよ
い。

【００３７】また、本発明の質量分析装置は、後述する
ように、前述の取り外し可能な前蓋２０が、本体部筐体
１に確実に取り付けられているいるときのみ、動作可能
に構成されている。これにより、高電圧が印加されてい
るインタフェース機構の保守党の作業時の、作業者に対
する安全を確保することができる。

【００３８】また、本体部筐体１の上面を構成する天板
１７は、その周辺部を除いた部分が周辺部から窪ませた
窪み部１７’として形成されて構成されている。そし
て、この窪み部１７’の面上に液体クロマトグラフ３１
が載置される。これにより、何らかの原因により、本体
部筐体１が振動したり移動した場合にも、その上に載置
されている機器である液体クロマトグラフ３１が天板１
７が滑り落ちる等の不具合をなくすことができ、地震等
の際にも安全である。

【００３９】図２、図３に示す本発明の第１の実施形態
による質量分析装置のインタフェース機構は、本発明を
ＥＳＩインタフェース機構に適用した例であり、イオン
化電極３を円板状ではなく下端部が方形状に、かつ、本
体部筐体１の平面板１６上に設けられる台部１１の溝部
１４に係合する形状としたものである。また、インタフ
ェース機構が配置される本体部筐体１の壁面には、図１
により説明した前蓋２０と係合するマイクロスイッチ１
９が設けられており、前蓋２０が取り外されたとき、こ
のマイクロスイッチ１９が、本体部筐体１内の機器の等
差を停止させて、インタフェース機構に印加される高電
圧の供給を停止させている。

【００４０】この本発明の第１の実施形態による質量分
析装置のインタフェース機構は、イオン化電極３を構成
する各細孔電極が、表示器１５を有する本体部筐体１の
平面板１６上に設けられる台部１１の溝部１４に係合す
るように下端部が方形状に、かつ、溝部１４に係合する
形状とされて構成される。そして、イオン化電極３を構
成する各細孔電極は、図３に示すように、台部１１に設
けた溝部１４に案内されてスライド可能とされると共
に、各細孔電極が溝部１４内に係合載置されることによ
り、中心の細孔の位置合わせが可能にされている。

【００４１】そして、使用状態において、イオン化電極
３を構成する各細孔電極は、固定ネジ４により装置の全
体が真空引き抜きダクト５の面に固定され、また、台部
１１の端部から溝部１４に係合するストッパレバー１３
を有するストッパ１２により真空引き抜きダクト５の面
に押しつけられて固定される。

【００４２】なお、イオン化電極３を構成する各細孔電
極及び気化器２には、チューブ７を介して図１に示した
液体クロマトグラフ３１から試料が送りこまれ、また、
ケーブル８、コネクタ９を介して本体部筐体１内部の電
源から所定の電圧が印加される。また、気化器２内に備
えられる図示しないヒータに対する電源、その温度を測
定するためのセンサの配線が、ケーブル８内に設けられ
て、コネクタ９を介して本体部筐体１の内部に接続され
る。また、台部１１に設けられる溝部１４は、略台形に
形成され各細孔電極が溝部１４に係合している状態では
上方に抜けないようにされている。

【００４３】前述した本発明の第１の実施形態によれ
ば、インタフェース機構を構成するイオン化電極３、気
化器２の清掃、交換等のための分解作業を、固定ネジ４
を外し、ストッパ１２を外すことにより、イオン化電極
３を構成する複数の細孔電極を個々に溝部１４内をスラ
イドさせることにより容易に行うことができる。また、
その後の組み立て作業も、各部材を溝部１４内をスライ
ドさせていくことにより、位置合わせに気を使うことな
く、確実に位置合わせして行うことができる。

【００４４】図４は本発明の第２の実施形態による質量
分析装置のインタフェース機構の構成を示す斜視図、図
５は図４のインタフェース機構を分解して示す図であ
る。図４、図５において、２１は溝部、２２は台座部、
２３は支持棒であり、他の符号は図２、図３の場合と同
一である。

【００４５】図４、図５に示す本発明の第２の実施形態
による質量分析装置のインタフェース機構は、本発明を
ＥＳＩインタフェース機構に適用した他の例であり、イ
オン化電極３を構成する各細孔電極を略四角柱状の台座
部２２上支持棒２３により取り付けた構造として、本体
部筐体１の平面板１６上に設けられる溝部２１上に台座
部２２を載置して構成される。

【００４６】すなわち、この本発明の第２の実施形態に
よる質量分析装置のインタフェース機構のイオン化電極
３は、各細孔電極が、略四角柱状の台座部２２上支持棒
２３により取り付けられて構成され、台座部２２が本体
部筐体１の平面板１６上に設けられる溝部２１に載置さ
れる。そして、イオン化電極３を構成する各細孔電極
は、図５に示すように、本体部筐体１の平面板１６に設
けた溝部２１内をスライド可能に、また、上方に取外し
可能にされると共に、各細孔電極が溝部２１内に載置さ
れることにより、中心の細孔の位置合わせが可能にされ
ている。また、使用状態において、イオン化電極３を構
成する各細孔電極は、固定ネジ４により装置の全体が真
空引き抜きダクト５の面に固定され、また、溝部２１に
係合するストッパ１２により真空引き抜きダクト５の面
に押しつけられて固定される。

【００４７】なお、第１の実施形態の場合と同様に、イ
オン化電極３を構成する各細孔電極及び気化器２には、
ケーブル８、コネクタ９を介して本体部筐体１内部の電
源から所定の電圧が印加され、ヒータへの電源が供給さ
れ、また、温度測定用センサの信号もこのケーブルを介
して送られる。さらに、図４、図５に示す例において
も、前蓋２０と係合するマイクロスイッチ１９が設けら
れており、マイクロスイッチ１９が図２、図３により説
明した実施形態と同様に作用する。また、図４、図５に
示す例では、イオン化電極３を構成する各細孔電極の真
空引き抜きダクト５側に設けられる細孔電極が、真空引
き抜きダクト５に直接取り付けられているが、この細孔
電極も、他の細孔電極と同様に支持棒により台座部に取
り付けるようにして、取り外し可能としてもよい。

【００４８】前述した本発明の第２の実施形態によって
も、第１の実施形態の場合と同様な効果を得ることがで
きる。

【００４９】図６は本発明の第３の実施形態による質量
分析装置のインタフェース機構の構成を示す斜視図、図
７は図６のインタフェース機構を分解して示す図であ
る。図６、図７における図の符号は図２の場合と同一で
ある。

【００５０】図６、図７に示す本発明の第３の実施形態
による質量分析装置のインタフェース機構は、本発明を
ＡＰＣＩインタフェース機構に適用した例であり、前述
した本発明の第１の実施形態の場合と同様に、イオン化
電極３を円板状ではなく下端部が方形状に、かつ、本体
部筐体１の平面板１６上に設けられる台部１１の溝部１
４に係合する形状とし、また、気化器２、霧化器６も円
柱状ではなく下端部が方形状に、かつ、本体部筐体１の
平面板１６上に設けられる台部１１の溝部１４に係合す
る形状としたものである。

【００５１】すなわち、この本発明の第３の実施形態に
よる質量分析装置のインタフェース機構は、イオン化電
極３を構成する各細孔電極が、表示器１５を有する本体
部筐体１の平面板１６上に設けられる台部１１の溝部１
４に係合するように下端部が方形状に、かつ、溝部１４
に係合する形状とされて構成される。そして、イオン化
電極３を構成する各細孔電極は、図７に示すように、台
部１１に設けた溝部１４に案内されてスライド可能とさ
れると共に、各細孔電極が溝部１４内に係合載置される
ことにより、中心の細孔の位置合わせが可能にされてい
る。

【００５２】また、気化器２、霧化器６も、本体部筐体
１の平面板１６上に設けられる台部１１の溝部１４に係
合するように下端部が方形状に、かつ、溝部１４に係合
する形状とされて構成され、台部１１に設けた溝部１４
に案内されてスライド可能とされると共に、気化器２、
霧化器６が溝部１４内に係合載置されることにより、中
心の孔の位置を相互に位置合わせすることが可能であ
り、かつ、イオン化電極３を構成する細孔電極の細孔と
の位置合わせも可能とされている。

【００５３】そして、使用状態において、イオン化電極
３を構成する各細孔電極は、固定ネジ４によりイオン化
電極３の全体が真空引き抜きダクト５の面に固定され、
また、気化器２、霧化器６は、台部１１の端部から溝部
１４に係合するストッパレバー１３を有するストッパ１
２によりイオン化電極３に押しつけられて固定される。

【００５４】なお、イオン化電極３を構成する各細孔電
極には、ケーブル８、コネクタ９を介して本体部筐体１
内部の電源から所定の電圧が印加され、気化器２、霧化
器６は、ケーブル８を介して本体部筐体１内部の電源か
らこれらを所定の温度に加熱するための電力が供給され
るが、これらは、前述した第１、第２の実施形態の場合
と同様であり、また、マイクロスイッチ１９も同様に機
能している。また、台部１１に設けられる溝部１４は、
略台形に形成されており、各細孔電極、気化器２、霧化
器６が溝部１４に係合している状態では上方に抜けない
ようにされている。

【００５５】前述した本発明の第３の実施形態によれ
ば、インタフェース機構を構成するイオン化電極３、気
化器２、霧化器６の清掃、交換等のための分解作業を、
固定ネジ４を外し、ストッパ１２を外すことにより、イ
オン化電極３を構成する複数の細孔電極、気化器２、霧
化器６を個々に溝部１４内をスライドさせることにより
容易に行うことができる。また、その後の組み立て作業
も、各部材を溝部１４内をスライドさせていくことによ
り、位置合わせに気を使うことなく、確実に位置合わせ
して行うことができる。

【００５６】図８は本発明の第４の実施形態による質量
分析装置のインタフェース機構の構成を示す斜視図、図
９は図８のインタフェース機構を分解して示す図であ
る。図８、図９における符号は、図４の場合と同一であ
る。

【００５７】図８、図９に示す本発明の第４の実施形態
による質量分析装置のインタフェース機構は、本発明を
ＡＰＣＩインタフェース機構に適用した他の例であり、
イオン化電極３を構成する各細孔電極を略四角柱状の台
座部２２上支持棒２３により取り付けた構造とし、か
つ、気化器２、霧化器６も、略四角柱状の台座部２２上
支持棒２３により取り付けた構造として、これらを本体
部筐体１の平面板１６上に設けられる溝部２１上に台座
部２２を載置して構成される。

【００５８】すなわち、この本発明の第２の実施形態に
よる質量分析装置のインタフェース機構のイオン化電極
３は、各細孔電極が、略四角柱状の台座部２２上支持棒
２３により取り付けられて構成され、台座部２２が本体
部筐体１の平面板１６上に設けられる溝部２１に載置さ
れる。また、気化器２、霧化器６も、略四角柱状の台座
部２２上支持棒２３により取り付けられて構成され、台
座部２２が本体部筐体１の平面板１６上に設けられる溝
部２１に載置される。

【００５９】そして、イオン化電極３を構成する各細孔
電極、気化器２、霧化器６は、図９に示すように、本体
部筐体１の平面板１６に設けた溝部２１内をスライド可
能に、また、上方に取外し可能にされると共に、各細孔
電極、気化器２、霧化器６が溝部２１内に載置されるこ
とにより、それぞれの部材の中心に設けられる細孔の位
置合わせが可能にされている。また、使用状態におい
て、イオン化電極３を構成する各細孔電極は、固定ネジ
４により真空引き抜きダクト５の面に固定される。さら
に、気化器２、霧化器６も、図示しない固定ネジにより
イオン化電極３に取り付けられればよい。また、気化器
２、霧化器６は、溝部２１内に霧化器６の台座部２２と
溝部２１のエッジとの間に締め具等を設置して、イオン
化電極３の側に押し付けるように固定してもよい。

【００６０】なお、第３の実施形態の場合と同様に、イ
オン化電極３を構成する各細孔電極には、ケーブル８、
コネクタ９を介して本体部筐体１内部の電源から所定の
電圧が印加され、気化器２、霧化器６は、ケーブル８、
コネクタ９を介して本体部筐体１内部の電源からこれら
を所定の温度に加熱するための電力が供給される。ま
た、また、マイクロスイッチ１９もたの実施形態の場合
と同様に機能している。また、図８、図９に示す例で
は、イオン化電極３を構成する各細孔電極の真空引き抜
きダクト５側に設けられる細孔電極が、真空引き抜きダ
クト５に直接取り付けられているが、この細孔電極も、
他の細孔電極と同様に支持棒により台座部に取り付ける
ようにして、取り外し可能としてもよい。

【００６１】前述した本発明の第４の実施形態によって
も、第３の実施形態の場合と同様な効果を得ることがで
きる。

【００６２】図１０は前述で説明したインタフェース機
構と本体部筐体１の内部機器とを接続するコネクタの構
成を説明する図である。図１０において、９１はロック
爪、９２はコネクタピン、９３はジャンパ線、９４、９
５はヒータ、９６はセンサである。

【００６３】前述したようにインタフェース機構８の分
解、組立て等の保守時には、インタフェース機構が本体
部筐体１から取り外されるが、このとき、インタフェー
ス機構内に備えられるヒータ、センサ、及び、これらに
接続されるケーブルは、コネクタ９を本体部筐体１に設
けられる受側から外される。すなわち、インタフェース
機構とケーブル８及びコネクタ９とは１対１に対応させ
られている。図１０（ａ）に示すように、コネクタ９に
は、２本のヒータ９４、９５が撚り線を介して接続さ
れ、また、熱伝対、サーミスタ等による温度センサ９６
が接続されている。なお、図１０には示されていない
が、イオン化電極に対する高電圧印加用の配線が接続さ
れていてもよい。

【００６４】コネクタ９は、図１０（ｂ）に示すよう
に、複数、図示例では１５本のコネクタピン９２を、３
×５のマトリクス状配置して備えており、２本のヒータ
９４、９５及び温度センサ９６、図示しない高電圧配線
のそれぞれに１対のコネクタピン９２が割り当てられ
る。そして、残りのコネクタピン９２の１対がジャンパ
せんにより短絡されている。また、コネクタ９は、図１
０（ｃ）に示すコネクタ９の側面図から判るように、ロ
ック爪９１が設けられ、本体部筐体１に設けられている
受側に接続されたとき外れないように構成されている。

【００６５】さて、前述したように、質量分析装置のイ
ンタフェース機構には、種々の方式のものがあり、それ
らのインタフェース機構は、同一の本体部筐体１に付け
変えて、本体部筐体１の内部に構成される質量分析装置
の主要な構成部分を共通に使用することができる。そし
て、インタフェース機構に接続されるケーブル８及びコ
ネクタ９は、前述したようにインタフェース機構と対応
付けられているが、コネクタ９の形状は各種の方式イン
タフェース機構と共通化されており、ヒータ９４、９
５、温度センサ等が接続されるコネクタピンの位置も同
一とされている。

【００６６】一方、ジャンパ線９３により短絡されるコ
ネクタピン９２の位置は、インタフェース機構の方式毎
に異なる位置とされている。これにより、本体部筐体１
の内部に構成される質量分析装置の主要な構成部分は、
取り付けられているインタフェース機構の方式を知るこ
とができ、それに対応したヒータへの電力の供給、内部
機器の制御、パソコン３２のディスプレイ３３への表示
制御を行うことができる。

【００６７】図１１〜図１３はインタフェース機構が取
り付けられたとき、前述したジャンパ線の作用によりイ
ンタフェース機構の種別を判定し、ディスプレイ３３に
そのインタフェース機構の動作状態が表示された例を示
す図である。

【００６８】いま、本体部筐体１にインタフェース機構
として、ＥＳＩインタフェース機構が取り付けられたも
のとする。すると、前述したジャンパ線９２が短絡して
いるコネクタピン９２の位置により、取り付けられたイ
ンタフェース機構がＥＳＩインタフェース機構であるこ
とが識別され、図１１に示すように、ＥＳＩインタフェ
ース機構を持つ質量分析装置の概略構成が表示されると
共に、各部の電圧値が表示され、また、各部の温度が表
示される。温度の表示は、１つの部材に対して、設定温
度と、実際に動作している状態での部材の測定温度とが
表示される。

【００６９】取り付けられたインタフェース機構が、Ａ
ＰＣＩインタフェース機構であれば、図１１の場合と同
様に、図１２に示すような表示が行われる。また、実施
形態として説明していないが、ＳＳＩインタフェース機
構が取り付けられた場合には、図１３に示すような表示
が行われる。

【００７０】前述において、１つの部材に対して表示さ
れる設定温度と測定温度とが一致した場合、例えば、何
れか一方の表示を点滅させる、色彩を変える、白黒を反
転させる、あるいは、色彩を変え白黒を反転させて点滅
させる等により識別し易い表示とすることができ、これ
により、装置の使用の開始等を促すことができる。ま
た、設定温度と測定温度とが掛け離れている場合に、例
えば、両方の表示を同時に前述したような表示に変化さ
せて、装置が使用可能な状態になっていないことを示す
こともできる。

【００７１】図１４は本発明による質量分析装置におけ
る真空ポンプの使用例を説明する図、図１５は２つの真
空ポンプの本体部筐体１の内部での配置を説明する図で
ある。図１４、図１５において、２４、２５は真空室、
２６はターボ分子真空ポンプ、２７はスクロール真空ポ
ンプ、２８は操作部、２９はインジケータである。

【００７２】図１４は、本体部筐体１内に収納される質
量分析部を配置する真空室２５とイオン化電極３内に形
成される真空室２４とを簡略に描いたものである。そし
て、本発明において、図１４に示すように、質量分析部
を構成する真空室２５は、ターボ分子真空ポンプ２６に
よりその内部が真空に引かれており、また、イオン化電
極３内に形成される真空室２４は、スクロール真空ポン
プ２７によりその内部が真空に引かれている。さらに、
スクロール真空ポンプ２７は、ターボ分子真空ポンプ２
６の排圧の排気を行うことが可能にターボ分子真空ポン
プ２６の排気側にも連結されている。

【００７３】一般に、ターボ分子真空ポンプの排圧の排
気のために、もう１つの真空ポンプが必要であり、質量
分析装置は、従来、３つの真空ポンプを必要としていた
が、本発明では、前述したように、イオン化電極３内に
形成される真空室２４に対して設けられるスクロール真
空ポンプ２７をターボ分子真空ポンプの排圧の排気のた
めにも使用するように構成したことにより、質量分析装
置に必要な真空ポンプを２台とすることができ、装置全
体の部品点数の減少によるコストの低減、装置の小型
化、軽量化を図ることができる。

【００７４】前述した２台の真空ポンプ２６、２７は、
図１５に示すように、本体部筐体１の内部に収納されて
いる。すなわち、ターボ分子真空ポンプ２６は、本体部
筐体１の正面の手前側に、かつ、図示の例では右側の筐
体底面に配置される。そして、作動油量のインジケータ
２９の本体部筐体１の前面位置に、図１により説明した
透明窓１８が設けられ、また、ターボ分子真空ポンプ２
６の図示しない給油口が、本体部筐体１の側面に設けた
扉１０の位置となるようにされている。このターボ分子
真空ポンプ２６は、取り外し可能に、本体部筐体１に取
り付けられている。また、スクロールポンプ２７は、本
体部筐体１の正面の手前側のほぼ中央に、イオン化電極
３内に形成される真空室に直接結合するように、本体部
筐体１の天井部に取り付けられている。

【００７５】なお、前述では、２台の真空ポンプをター
ボ分子真空ポンプ、スクロール真空ポンプであるとして
説明したが、真空ポンプとしてどのような形式の真空ポ
ンプを使用してもよい。また、図１５に示す操作部２８
は、電源スイッチ等が配置されたものであり、図１によ
り説明したように、本体部筐体１の前面側に設けられた
扉１０’を開けることにより操作が可能とされている。

【００７６】前述したように、本発明では、２台の真空
ポンプを本体部筐体１の内部に収納しているので、装置
から発生する騒音を低減することができる。また、大型
となるターボ分子真空ポンプ２６を取り外し可能に構成
しているので、装置を納品する際に、ターボ分子真空ポ
ンプ２６を取り外すだけで、容易に搬送することがで
き、また、現地での組み立ても容易に行うことが可能と
なる。

【００７７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、質
量分析装置のインタフェース機構を構成するイオン化電
極、気化器、霧化器等の部材の清掃、交換等のための分
解作業を、容易に行うことができ、また、その後の組み
立て作業も、位置合わせに気を使うことなく、確実に位
置合わせして行うことができる。

【００７８】また、本発明によれば、インタフェース機
構に対する加熱電源供給用等のケーブルと筐体内部を接
続するコネクタのコネクタピンを短絡するジャンパ線を
設け、インタフェース機構の種類に応じて、ジャンパ線
により短絡されるコネクタピンの位置を異ならせている
ので、これにより、取り付けられているインタフェース
機構の方式を知ることができ、それに対応したヒータへ
の電力の供給、内部機器の制御、パソコン３２のディス
プレイ３３への表示制御を行うことができる。

【００７９】また、本発明によれば、イオン化電極内に
形成される真空室に対して設けられるスクロール真空ポ
ンプを質量分析部が配置される真空室に対して設けられ
ているターボ分子真空ポンプの排圧の排気のためにも使
用するように構成したことにより、質量分析装置に必要
な真空ポンプを２台とすることができ、装置全体の部品
点数の減少によるコストの低減、装置の小型化、軽量化
を図ることができる。

【００８０】さらに、本発明によれば、２台の真空ポン
プを本体部筐体の内部に収納しているので、装置から発
生する騒音を低減することができ、また、大型となるタ
ーボ分子真空ポンプを取り外し可能に構成しているの
で、装置を納品する際に、ターボ分子真空ポンプを取り
外すだけで、容易に搬送することができ、また、現地で
の組み立ても容易に行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による質量分析装置の全体の構成を示す
斜視図である。

【図２】本発明の第１の実施形態による質量分析装置の
インタフェース機構の構成を示す斜視図である。

【図３】図２のインタフェース機構を分解して示す図で
ある。

【図４】本発明の第２の実施形態による質量分析装置の
インタフェース機構の構成を示す斜視図である。

【図５】図４のインタフェース機構を分解して示す図で
ある。

【図６】本発明の第３の実施形態による質量分析装置の
インタフェース機構の構成を示す斜視図である。

【図７】図６のインタフェース機構を分解して示す図で
ある。

【図８】本発明の第４の実施形態による質量分析装置の
インタフェース機構の構成を示す斜視図である。

【図９】図８のインタフェース機構を分解して示す図で
ある。

【図１０】インタフェース機構と本体部筐体の内部機器
とを接続するコネクタの構成を説明する図である。

【図１１】インタフェース機構が取り付けられたとき、
ディスプレイにそのインタフェース機構の動作状態が表
示された例を示す図である。

【図１２】インタフェース機構が取り付けられたとき、
ディスプレイにそのインタフェース機構の動作状態が表
示された例を示す図である。

【図１３】インタフェース機構が取り付けられたとき、
ディスプレイにそのインタフェース機構の動作状態が表
示された例を示す図である。

【図１４】本発明による質量分析装置における真空ポン
プの使用例を説明する図である。

【図１５】２つの真空ポンプの本体部筐体の内部での配
置を説明する図である。

【図１６】従来技術による質量分析装置のＥＳＩインタ
フェース機構の構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１本体部筐体２気化器３イオン化電極４、４’ 固定ネジ５真空引き抜きダクト６霧化器７チューブ８ケーブル９コネクタ１０、１０’ 扉１１台部１２ストッパ１３ストッパ・レバー１４溝部１５表示器１６平面板１７天板１７’ 天板の窪み部１８透明窓１９マイクロスイッチ２０前蓋２０’ カバー２１溝部２２台座部２３支持棒２４、２５真空室２６ターボ分子真空ポンプ２７スクロール真空ポンプ２８操作部２９インジケータ３１液体クロマトグラフ３２パソコン（ＰＣ）３３ディスプレイ３４キーボード３５マウス３６机９１ロック爪９２コネクタピン９３ジャンパ線９４、９５ヒータ９６センサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】分析すべき試料を気化させる気化器、及
び、中心部に細孔を有するイオン化電極とにより構成さ
れるインタフェース機構と、前記インタフェース機構か
らのイオン化された試料粒子の質量分析を行う質量分析
部とにより構成される質量分析装置において、前記イオ
ン化電極は、下端部が方形状に、かつ、本体部筐体の平
面板上に設けられる台部の溝部に係合する形状を持つ複
数の細孔電極により構成されることを特徴とする質量分
析装置。
【請求項２】前記複数の細孔電極は、前記溝部内にス
ライド可能に係合されていることを特徴とする請求項１
記載の質量分析装置。
【請求項３】前記複数の細孔電極は、使用時、固定ネ
ジにより、あるいは、前記台部の溝部に係合するストッ
パにより複数の細孔電極が結合されてイオン化電極を形
成することを特徴とする請求項１記載の質量分析装置。
【請求項４】前記複数の細孔電極は、前記溝部内に係
合された状態で相互に位置合わせが行われていることを
特徴とする請求項１、２または３記載の質量分析装置。
【請求項５】分析すべき試料を気化させる気化器、及
び、中心部に細孔を有するイオン化電極とにより構成さ
れるインタフェース機構と、前記インタフェース機構か
らのイオン化された試料粒子の質量分析を行う質量分析
部とにより構成される質量分析装置において、前記イオ
ン化電極は、略四角柱状の台座部上に支持棒により取り
付けた複数の細孔電極により構成され、本体部筐体の平
面板上に設けられる溝部上に前記台座部が載置されるこ
とを特徴とする質量分析装置。
【請求項６】前記複数の細孔電極を支持している台座
部は、前記溝部内にスライド可能に載置されていること
を特徴とする請求項５記載の質量分析装置。
【請求項７】前記複数の細孔電極は、使用時、固定ネ
ジにより複数の細孔電極が結合されてイオン化電極を形
成することを特徴とする請求項５記載の質量分析装置。
【請求項８】前記複数の細孔電極は、前記台座部が前
記溝部内に載置された状態で相互に位置合わせが行われ
ていることを特徴とする請求項５、６または７記載の質
量分析装置。
【請求項９】分析すべき試料を霧化させる霧化器、霧
化された試料を気化させる気化器、及び、中心部に細孔
を有するイオン化電極とにより構成されるインタフェー
ス機構と、前記インタフェース機構からのイオン化され
た試料粒子の質量分析を行う質量分析部とにより構成さ
れる質量分析装置において、前記イオン化電極は複数の
細孔電極により構成され、前記複数の細孔電極、霧化
器、気化器は、下端部が方形状に、かつ、本体部筐体の
平面板上に設けられる台部の溝部に係合する形状を持つ
ことを特徴とする質量分析装置。
【請求項１０】前記複数の細孔電極、霧化器、気化器
は、前記溝部内にスライド可能に係合されていることを
特徴とする請求項７記載の質量分析装置。
【請求項１１】前記複数の細孔電極、霧化器、気化器
は、使用時、固定ネジにより、あるいは、前記台部の溝
部に係合するストッパにより結合されることを特徴とす
る請求項７記載の質量分析装置。
【請求項１２】前記複数の細孔電極、霧化器、気化器
は、前記溝部内に係合された状態で相互に位置合わせが
行われていることを特徴とする請求項９、１０または１
１記載の質量分析装置。
【請求項１３】分析すべき試料を霧化させる霧化器、
霧化された試料を気化させる気化器、及び、中心部に細
孔を有するイオン化電極とにより構成されるインタフェ
ース機構と、前記インタフェース機構からのイオン化さ
れた試料粒子の質量分析を行う質量分析部とにより構成
される質量分析装置において、前記イオン化電極は、複
数の細孔電極により構成され、前記複数の細孔電極、霧
化器、気化器は、略四角柱状の台座部上に支持棒により
取り付けられ、本体部筐体の平面板上に設けられる溝部
上に前記台座部が載置されることを特徴とする質量分析
装置。
【請求項１４】前記複数の細孔電極、霧化器、気化器
を支持している台座部は、前記溝部内にスライド可能に
載置されていることを特徴とする請求項１０記載の質量
分析装置。
【請求項１５】前記複数の細孔電極、霧化器、気化器
は、使用時、固定ネジにより結合されることを特徴とす
る請求項１１記載の質量分析装置。
【請求項１６】前記複数の細孔電極、霧化器、気化器
は、前記台座部が前記溝部内に載置された状態で相互に
位置合わせが行われていることを特徴とする請求項１
３、１４または１５記載の質量分析装置。
【請求項１７】分析すべき試料を気化させる気化器、
及び、中心部に細孔を有するイオン化電極とにより構成
されるインタフェース機構と、前記インタフェース機構
からのイオン化された試料粒子の質量分析を行う質量分
析部とにより構成される質量分析装置において、前記イ
ンタフェース機構は、本体部筐体に結合されて配置さ
れ、本体部筐体に係合する前蓋により覆われ、前蓋が取
り外されたとき、前記インタフェース機構の上部と側
部、前部と上部、前部と側部、または、上部と前部と側
部が解放状態とされること特徴とする質量分析装置。
【請求項１８】前記前蓋が取り外されたことを検出す
るマイクロスイッチが本体部筐体に備え、前記前蓋が取
り付けられているときのみ、装置の動作を可能とするこ
とを特徴とする請求項１７記載の質量分析装置。
【請求項１９】分析すべき試料を気化させる気化器、
及び、中心部に細孔を有するイオン化電極とにより構成
されるインタフェース機構と、前記インタフェース機構
からのイオン化された試料粒子の質量分析を行う質量分
析部とにより構成される質量分析装置において、前記イ
ンタフェース機構は、本体部筐体に結合され、インタフ
ェース機構に対する電圧の印加、加熱のための電源を供
給するケーブルがコネクタを介して本体部筐体内部に引
き込まれ、前記コネクタは、そのコネクタピンの２本が
ジャンパ線により短絡されており、短絡されるコネクタ
ピンの位置により、制御装置にインタフェース機構の種
別を判別させることを特徴とする質量分析装置。
【請求項２０】前記制御装置は、パソコンにより構成
され、判別したインタフェース機構の種別と、機器構成
の概略とをディスプレイ上に表示することを特徴とする
請求項１９記載の質量分析装置。
【請求項２１】前記ディスプレイ上に表示されるイン
タフェース機構の機器構成の各部には、印加されている
電圧と、計測された温度及び設定温度の少なくとも計測
された温度とが対応して表示されることを特徴とする請
求項２０記載の質量分析装置。
【請求項２２】分析すべき試料を気化させる気化器、
及び、中心部に細孔を有するイオン化電極とにより構成
されるインタフェース機構と、前記インタフェース機構
からのイオン化された試料粒子の質量分析を行う質量分
析部とにより構成される質量分析装置において、質量分
析部が収納される真空室を真空に引く第１の真空ポンプ
と、該第１の真空ポンプからの排気及び前記イオン化電
極により構成される真空室からの排気を行う第２の真空
ポンプとを備えることを特徴とする請求項２１記載の質
量分析装置。
【請求項２３】前記第１の真空ポンプは、本体部筐体
の内部に、その正面の手前側で、かつ、側面側に配置さ
れることを特徴とする請求項２２記載の質量分析装置。
【請求項２４】前記第１の真空ポンプは、取り外し可
能に本体部筐体の内部に配置されることを特徴とする請
求項２２または２３記載の質量分析装置。