JPH10123156A - 磁気力顕微鏡による磁気力データの解析方法および解析装置 - Google Patents
磁気力顕微鏡による磁気力データの解析方法および解析装置Info
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- JPH10123156A JPH10123156A JP29814596A JP29814596A JPH10123156A JP H10123156 A JPH10123156 A JP H10123156A JP 29814596 A JP29814596 A JP 29814596A JP 29814596 A JP29814596 A JP 29814596A JP H10123156 A JPH10123156 A JP H10123156A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】磁気力顕微鏡を用いて磁性サンプルの同一位置
からの磁気力の時間的変化を定量的に調べることができ
る磁気力データの解析方法を提供する。 【解決手段】磁気力顕微鏡によって磁性サンプル１から
検出される磁気力データを解析する解析方法において、
検出針２および信号検出部５を介して検出される磁気力
データを磁気力データ処理部８に入力して、サンプル１
上のほぼ同一位置の磁気力イメージＭ１，Ｍ２を所定時
間間隔で順次検出すると共に、検出針２および信号検出
部５を介して検出される表面凹凸データを表面凹凸デー
タ処理部９に入力して、サンプル１上のほぼ同一位置の
表面凹凸イメージＡ１，Ａ２を所定時間間隔で順次検出
し、この表面凹凸イメージＡ１，Ａ２を用いて磁気力イ
メージＭ１，Ｍ２の部分領域間の位置合わせを行った
後、これら複数の磁気力イメージを比較解析する。
からの磁気力の時間的変化を定量的に調べることができ
る磁気力データの解析方法を提供する。 【解決手段】磁気力顕微鏡によって磁性サンプル１から
検出される磁気力データを解析する解析方法において、
検出針２および信号検出部５を介して検出される磁気力
データを磁気力データ処理部８に入力して、サンプル１
上のほぼ同一位置の磁気力イメージＭ１，Ｍ２を所定時
間間隔で順次検出すると共に、検出針２および信号検出
部５を介して検出される表面凹凸データを表面凹凸デー
タ処理部９に入力して、サンプル１上のほぼ同一位置の
表面凹凸イメージＡ１，Ａ２を所定時間間隔で順次検出
し、この表面凹凸イメージＡ１，Ａ２を用いて磁気力イ
メージＭ１，Ｍ２の部分領域間の位置合わせを行った
後、これら複数の磁気力イメージを比較解析する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気力顕微鏡によ
って観測された磁気力データの解析方法および装置に係
り、特にサンプル上の磁気力の時間的変化を定量的に観
測するための解析方法および装置に関する。関する。
って観測された磁気力データの解析方法および装置に係
り、特にサンプル上の磁気力の時間的変化を定量的に観
測するための解析方法および装置に関する。関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）は例えば
磁気記録媒体のような磁性を有するサンプル（以下、磁
性サンプルという）の２次元磁気情報を数１０ｎｍ以下
の高い空間分解能で観察するに有効な手段として用いら
れている。より具体的には、磁気力顕微鏡は磁性サンプ
ルからサンプル面に対し垂直方向に漏れる磁界により検
出針が受ける磁気力を検出するものであり、その出力デ
ータは磁性サンプルの格子状に区切られた領域の磁気力
の値を示す磁気力情報からなる磁気力イメージとして出
力される。一つの磁性サンプルから得られる磁気力情報
によって、任意の幅を持つ任意の線上で出力・スペクト
ル等の解析ができ、また大きさ・強さ等の分布も解析可
能である。
磁気記録媒体のような磁性を有するサンプル（以下、磁
性サンプルという）の２次元磁気情報を数１０ｎｍ以下
の高い空間分解能で観察するに有効な手段として用いら
れている。より具体的には、磁気力顕微鏡は磁性サンプ
ルからサンプル面に対し垂直方向に漏れる磁界により検
出針が受ける磁気力を検出するものであり、その出力デ
ータは磁性サンプルの格子状に区切られた領域の磁気力
の値を示す磁気力情報からなる磁気力イメージとして出
力される。一つの磁性サンプルから得られる磁気力情報
によって、任意の幅を持つ任意の線上で出力・スペクト
ル等の解析ができ、また大きさ・強さ等の分布も解析可
能である。
【０００３】このように磁気力顕微鏡は、磁性サンプル
から漏れる磁界による磁気力を２次元の磁気力イメージ
として出力して解析することができる。しかし、従来の
磁気力顕微鏡では、セッティングに際しての位置決め精
度が不十分であったり、長期間にわたり観察を行う場合
には、検出針を駆動するピエゾ素子などのアクチュエー
タのドリフトなどの影響により、同一位置の領域の磁気
力情報を再現性良く検出できないため、磁性サンプルか
らの漏れ磁界の時間的変化を定量的に調べることはでき
ない。
から漏れる磁界による磁気力を２次元の磁気力イメージ
として出力して解析することができる。しかし、従来の
磁気力顕微鏡では、セッティングに際しての位置決め精
度が不十分であったり、長期間にわたり観察を行う場合
には、検出針を駆動するピエゾ素子などのアクチュエー
タのドリフトなどの影響により、同一位置の領域の磁気
力情報を再現性良く検出できないため、磁性サンプルか
らの漏れ磁界の時間的変化を定量的に調べることはでき
ない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】磁気ディスクのような
磁気記録媒体において、同一位置の漏れ磁界の時間的な
変化を定量的に調べることが望まれている。磁気力顕微
鏡を用いれば、磁性サンプルの２次元磁気情報を数１０
ｎｍ以下の高い空間分解能で観察することができるが、
従来の磁気力顕微鏡ではセッティング時の位置決め精度
が不十分であったり、長期間の観察を行う場合、検出針
を駆動するアクチュエータのドリフトなどの影響で同一
位置の領域の磁気力情報を再現性良く検出できないた
め、磁性サンプルの同一位置からの漏れ磁界の時間的変
化を定量的に調べることはできないという問題があっ
た。
磁気記録媒体において、同一位置の漏れ磁界の時間的な
変化を定量的に調べることが望まれている。磁気力顕微
鏡を用いれば、磁性サンプルの２次元磁気情報を数１０
ｎｍ以下の高い空間分解能で観察することができるが、
従来の磁気力顕微鏡ではセッティング時の位置決め精度
が不十分であったり、長期間の観察を行う場合、検出針
を駆動するアクチュエータのドリフトなどの影響で同一
位置の領域の磁気力情報を再現性良く検出できないた
め、磁性サンプルの同一位置からの漏れ磁界の時間的変
化を定量的に調べることはできないという問題があっ
た。
【０００５】本発明は、磁気力顕微鏡を用いて磁性サン
プルの同一位置からの磁気力の時間的変化を定量的に調
べることができる磁気力データの解析方法および装置を
提供することを目的とする。
プルの同一位置からの磁気力の時間的変化を定量的に調
べることができる磁気力データの解析方法および装置を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明は磁気力顕微鏡によってサンプルから検出さ
れる磁気力データを解析する解析方法において、サンプ
ル上のほぼ同一位置から磁気力データを所定時間間隔で
複数の磁気力イメージとして検出すると共に、サンプル
表面の凹凸形状を示す表面凹凸イメージを検出し、この
表面凹凸イメージを用いて複数の磁気力イメージの少な
くとも部分領域間の位置合わせを行った後、これら複数
の磁気力イメージを比較解析することを特徴とする。
め、本発明は磁気力顕微鏡によってサンプルから検出さ
れる磁気力データを解析する解析方法において、サンプ
ル上のほぼ同一位置から磁気力データを所定時間間隔で
複数の磁気力イメージとして検出すると共に、サンプル
表面の凹凸形状を示す表面凹凸イメージを検出し、この
表面凹凸イメージを用いて複数の磁気力イメージの少な
くとも部分領域間の位置合わせを行った後、これら複数
の磁気力イメージを比較解析することを特徴とする。
【０００７】より好ましくは、サンプル上のほぼ同一位
置から磁気力データを所定時間間隔で複数の磁気力イメ
ージとして検出すると共に、サンプル上の複数の磁気力
イメージが検出される位置とほぼ同一位置から、サンプ
ル表面の凹凸形状を示す複数の表面凹凸イメージを所定
時間間隔で順次検出し、これら複数の表面凹凸イメージ
を用いて複数の磁気力イメージの少なくとも部分領域間
の位置合わせを行った後、複数の磁気力イメージを比較
解析することを特徴とする。
置から磁気力データを所定時間間隔で複数の磁気力イメ
ージとして検出すると共に、サンプル上の複数の磁気力
イメージが検出される位置とほぼ同一位置から、サンプ
ル表面の凹凸形状を示す複数の表面凹凸イメージを所定
時間間隔で順次検出し、これら複数の表面凹凸イメージ
を用いて複数の磁気力イメージの少なくとも部分領域間
の位置合わせを行った後、複数の磁気力イメージを比較
解析することを特徴とする。
【０００８】さらに具体的には、サンプル上のほぼ同一
位置から磁気力データを所定時間間隔で第１および第２
の磁気力イメージとして検出すると共に、サンプル上の
第１および第２の磁気力イメージが検出される位置とほ
ぼ同一位置から、サンプル表面の凹凸形状を示す第１お
よび第２の表面凹凸イメージを所定時間間隔で順次検出
し、第１の磁気力イメージおよび第１の表面凹凸イメー
ジ上の所定の抽出領域からそれぞれ第１の部分磁気力イ
メージおよび第１の部分表面凹凸イメージをそれぞれ抽
出し、第２の表面凹凸イメージ上の相対的に異なる複数
の抽出領域から第２の部分表面凹凸イメージを抽出し
て、第１の部分表面凹凸イメージと第２の部分表面凹凸
イメージの差分を求め、第２の磁気力イメージ上の該差
分が最小となる第２の部分表面凹凸イメージの抽出領域
と同一位置の抽出領域から第２の部分磁気力イメージを
抽出し、第１の部分磁気力イメージと第２の部分磁気力
イメージの差分を求めることを特徴とする。
位置から磁気力データを所定時間間隔で第１および第２
の磁気力イメージとして検出すると共に、サンプル上の
第１および第２の磁気力イメージが検出される位置とほ
ぼ同一位置から、サンプル表面の凹凸形状を示す第１お
よび第２の表面凹凸イメージを所定時間間隔で順次検出
し、第１の磁気力イメージおよび第１の表面凹凸イメー
ジ上の所定の抽出領域からそれぞれ第１の部分磁気力イ
メージおよび第１の部分表面凹凸イメージをそれぞれ抽
出し、第２の表面凹凸イメージ上の相対的に異なる複数
の抽出領域から第２の部分表面凹凸イメージを抽出し
て、第１の部分表面凹凸イメージと第２の部分表面凹凸
イメージの差分を求め、第２の磁気力イメージ上の該差
分が最小となる第２の部分表面凹凸イメージの抽出領域
と同一位置の抽出領域から第２の部分磁気力イメージを
抽出し、第１の部分磁気力イメージと第２の部分磁気力
イメージの差分を求めることを特徴とする。
【０００９】また、サンプル上のほぼ同一位置から磁気
力データを所定時間間隔で第１および第２の磁気力イメ
ージとして検出すると共に、サンプル上の第１および第
２の磁気力イメージが検出される位置とほぼ同一位置か
ら、該サンプル表面の凹凸形状を示す第１および第２の
表面凹凸イメージを所定時間間隔で順次検出し、第１お
よび第２の磁気力イメージ上の所定の抽出領域から第１
および第２の部分磁気力イメージを抽出し、第１および
第２の表面凹凸イメージ上の第１および第２の部分磁気
力イメージの相対位置に基づく所定の抽出領域から第１
および第２の部分表面凹凸イメージを抽出し、第２の表
面凹凸イメージ上の第２の部分表面凹凸イメージの抽出
領域を相対的に変化させて、第１の部分表面凹凸イメー
ジと第２の部分表面凹凸イメージの差分を求め、第２の
磁気力イメージ上の該差分が最小となる第２の部分表面
凹凸イメージの抽出領域と同一位置の抽出領域から第２
の部分磁気力イメージを抽出し、第１の部分磁気力イメ
ージと第２の部分磁気力イメージの差分を求めることを
特徴とする。
力データを所定時間間隔で第１および第２の磁気力イメ
ージとして検出すると共に、サンプル上の第１および第
２の磁気力イメージが検出される位置とほぼ同一位置か
ら、該サンプル表面の凹凸形状を示す第１および第２の
表面凹凸イメージを所定時間間隔で順次検出し、第１お
よび第２の磁気力イメージ上の所定の抽出領域から第１
および第２の部分磁気力イメージを抽出し、第１および
第２の表面凹凸イメージ上の第１および第２の部分磁気
力イメージの相対位置に基づく所定の抽出領域から第１
および第２の部分表面凹凸イメージを抽出し、第２の表
面凹凸イメージ上の第２の部分表面凹凸イメージの抽出
領域を相対的に変化させて、第１の部分表面凹凸イメー
ジと第２の部分表面凹凸イメージの差分を求め、第２の
磁気力イメージ上の該差分が最小となる第２の部分表面
凹凸イメージの抽出領域と同一位置の抽出領域から第２
の部分磁気力イメージを抽出し、第１の部分磁気力イメ
ージと第２の部分磁気力イメージの差分を求めることを
特徴とする。
【００１０】このように本発明では、表面凹凸イメージ
を用いて順次検出される複数の磁気力イメージについて
全体または部分領域間の位置合わせを行うことにより、
サンプル上の２次元平面の同一位置または領域の磁気力
の時間的変化を定量的に評価することが可能となる。
を用いて順次検出される複数の磁気力イメージについて
全体または部分領域間の位置合わせを行うことにより、
サンプル上の２次元平面の同一位置または領域の磁気力
の時間的変化を定量的に評価することが可能となる。
【００１１】また、従来ではサンプル上の磁気力の時間
的変化を調べる際の評価位置の精度が磁気力顕微鏡の機
械的精度に依存していたため、数μｍ程度の精度しか得
られなかったのに対して、本発明では磁気力顕微鏡の空
間分解能（数ｎｍ）の精度で位置合わせを行うことがで
きるため、極めて正確にサンプル上の同一位置または領
域の磁気力の時間的変化を観測することができる。
的変化を調べる際の評価位置の精度が磁気力顕微鏡の機
械的精度に依存していたため、数μｍ程度の精度しか得
られなかったのに対して、本発明では磁気力顕微鏡の空
間分解能（数ｎｍ）の精度で位置合わせを行うことがで
きるため、極めて正確にサンプル上の同一位置または領
域の磁気力の時間的変化を観測することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る
磁気力顕微鏡を含むデータ解析装置の構成を示すブロッ
ク図である。
施形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る
磁気力顕微鏡を含むデータ解析装置の構成を示すブロッ
ク図である。
【００１３】このデータ解析装置は、例えば磁気記録媒
体などの磁性サンプル１からの漏れ磁界のような磁気力
を検出して解析する装置であり、磁性サンプル１に近接
して絶縁性磁性材料からなる検出針２が配置されてい
る。検出針２は、例えばピエゾ素子（圧電素子）などを
用いた磁性針駆動部３によって、磁性サンプル１の厚さ
方向に移動可能に設けられている。磁性針駆動部３は、
フィードバック制御部４によって制御される。さらに、
磁性サンプル１はこれを図示しないｘｙθステージ上に
よって移動および回転が行われるようになっており、こ
のステージもフィードバック制御部４によって制御され
る構成となっている。
体などの磁性サンプル１からの漏れ磁界のような磁気力
を検出して解析する装置であり、磁性サンプル１に近接
して絶縁性磁性材料からなる検出針２が配置されてい
る。検出針２は、例えばピエゾ素子（圧電素子）などを
用いた磁性針駆動部３によって、磁性サンプル１の厚さ
方向に移動可能に設けられている。磁性針駆動部３は、
フィードバック制御部４によって制御される。さらに、
磁性サンプル１はこれを図示しないｘｙθステージ上に
よって移動および回転が行われるようになっており、こ
のステージもフィードバック制御部４によって制御され
る構成となっている。
【００１４】検出針２は、検出針駆動部３を介して信号
検出部５に接続される。信号検出部５は、磁性サンプル
１からの漏れ磁界などの磁気力を示す磁気力データと、
磁性サンプル１の表面形状を示す表面凹凸データを検出
するものである。検出針１、検出針駆動部３、フィード
バック制御部４および信号検出部５によって磁気力顕微
鏡（ＭＦＭ）が構成される。また、検出針２は非磁性材
料からなるため、この磁気力顕微鏡は原子間力顕微鏡
（ＡＦＭ）としても動作が可能となっている。
検出部５に接続される。信号検出部５は、磁性サンプル
１からの漏れ磁界などの磁気力を示す磁気力データと、
磁性サンプル１の表面形状を示す表面凹凸データを検出
するものである。検出針１、検出針駆動部３、フィード
バック制御部４および信号検出部５によって磁気力顕微
鏡（ＭＦＭ）が構成される。また、検出針２は非磁性材
料からなるため、この磁気力顕微鏡は原子間力顕微鏡
（ＡＦＭ）としても動作が可能となっている。
【００１５】磁気力データを検出する場合には、磁性サ
ンプル１と検出針２とが静電引力によって引き合い、両
者の間隔が一定となるように、つまり検出針１によって
検出される磁気力が一定となるように、フィードバック
制御部４によって検出針駆動部３にフィードバック制御
を施される。このときのフィードバック制御量が磁気力
データとして検出される。
ンプル１と検出針２とが静電引力によって引き合い、両
者の間隔が一定となるように、つまり検出針１によって
検出される磁気力が一定となるように、フィードバック
制御部４によって検出針駆動部３にフィードバック制御
を施される。このときのフィードバック制御量が磁気力
データとして検出される。
【００１６】一方、表面凹凸データを検出する場合に
は、検出針２を磁性サンプル１に両者間に原子間引力が
働くように近接させ、磁性サンプル１と検出針２との間
隔が一定となるように、フィードバック制御部４によっ
て検出針駆動部３にフィードバック制御が施される。こ
のときのフィードバック制御量が表面凹凸データとして
検出される。この場合の動作は、原子間力顕微鏡（ＡＦ
Ｍ）と同様である。
は、検出針２を磁性サンプル１に両者間に原子間引力が
働くように近接させ、磁性サンプル１と検出針２との間
隔が一定となるように、フィードバック制御部４によっ
て検出針駆動部３にフィードバック制御が施される。こ
のときのフィードバック制御量が表面凹凸データとして
検出される。この場合の動作は、原子間力顕微鏡（ＡＦ
Ｍ）と同様である。
【００１７】信号検出部５によって検出される磁気力デ
ータは、メモリ６と磁気力データ処理部８の一方の入力
端子に入力され、メモリ６から出力される磁気力データ
は磁気力データ処理部８の他方の入力端子に入力され
る。磁気力データ処理部８は、メモリ６から出力される
磁気力データによって表される磁気力イメージをＭ１、
信号検出部５によって検出される磁気力データによって
表される磁気力イメージをＭ２とすれば、磁気力イメー
ジＭ１，Ｍ２のほぼ同一の部分領域を指定して、それら
の領域の磁気力イメージ（部分磁気力イメージという）
ｍ１，ｍ２を抽出する。
ータは、メモリ６と磁気力データ処理部８の一方の入力
端子に入力され、メモリ６から出力される磁気力データ
は磁気力データ処理部８の他方の入力端子に入力され
る。磁気力データ処理部８は、メモリ６から出力される
磁気力データによって表される磁気力イメージをＭ１、
信号検出部５によって検出される磁気力データによって
表される磁気力イメージをＭ２とすれば、磁気力イメー
ジＭ１，Ｍ２のほぼ同一の部分領域を指定して、それら
の領域の磁気力イメージ（部分磁気力イメージという）
ｍ１，ｍ２を抽出する。
【００１８】また、磁気力データ処理部８からは、部分
磁気力イメージｍ１，ｍ２の相対位置を示す相対位置情
報がフィードバック制御部４および検出針駆動部３を介
して検出針２にフィードバックされる。このフィードバ
ックは、磁性サンプル１を移動・回転させるｘｙθテー
ブルにも行ってもよい。
磁気力イメージｍ１，ｍ２の相対位置を示す相対位置情
報がフィードバック制御部４および検出針駆動部３を介
して検出針２にフィードバックされる。このフィードバ
ックは、磁性サンプル１を移動・回転させるｘｙθテー
ブルにも行ってもよい。
【００１９】一方、信号検出部５によって検出される表
面凹凸データはメモリ７と表面凹凸データ処理部９の一
方の入力端子に入力され、メモリ７から出力される表面
凹凸データは表面凹凸データ処理部９の他方の入力端子
に入力される。表面凹凸データ処理部９は、メモリ７か
ら出力される表面凹凸データによって表されるイメージ
をＡ１、信号検出部５によって検出される表面凹凸デー
タによって表されるイメージをＡ２とすれば、Ａ１，Ａ
２のほぼ同一の部分領域のイメージ（部分表面凹凸イメ
ージという）ａ１，ａ２を抽出する。表面凹凸イメージ
Ａ１，Ａ２上の部分表面凹凸イメージａ１，ａ２を抽出
する領域は、磁気力データ処理部８においてＭ１，Ｍ２
上のｍ１，ｍ２を抽出する領域と一致させる。
面凹凸データはメモリ７と表面凹凸データ処理部９の一
方の入力端子に入力され、メモリ７から出力される表面
凹凸データは表面凹凸データ処理部９の他方の入力端子
に入力される。表面凹凸データ処理部９は、メモリ７か
ら出力される表面凹凸データによって表されるイメージ
をＡ１、信号検出部５によって検出される表面凹凸デー
タによって表されるイメージをＡ２とすれば、Ａ１，Ａ
２のほぼ同一の部分領域のイメージ（部分表面凹凸イメ
ージという）ａ１，ａ２を抽出する。表面凹凸イメージ
Ａ１，Ａ２上の部分表面凹凸イメージａ１，ａ２を抽出
する領域は、磁気力データ処理部８においてＭ１，Ｍ２
上のｍ１，ｍ２を抽出する領域と一致させる。
【００２０】表面凹凸データ処理部９では、さらに一方
の部分表面凹凸イメージａ２の抽出領域について２次元
平面内で複数回の平行移動と回転を行い、この平行移動
と回転毎に、抽出領域の平行移動と回転の後の部分表面
凹凸イメージａ２′と他方の部分表面凹凸イメージａ１
の差分を求め、その差分が最小となる平行移動と回転の
条件Ｊ（２次元平面内での互いの直交するｘ方向および
ｙ方向の移動距離と回転角度）を決定する。
の部分表面凹凸イメージａ２の抽出領域について２次元
平面内で複数回の平行移動と回転を行い、この平行移動
と回転毎に、抽出領域の平行移動と回転の後の部分表面
凹凸イメージａ２′と他方の部分表面凹凸イメージａ１
の差分を求め、その差分が最小となる平行移動と回転の
条件Ｊ（２次元平面内での互いの直交するｘ方向および
ｙ方向の移動距離と回転角度）を決定する。
【００２１】こうして表面凹凸データ処理部８で決定さ
れた平行移動と回転の条件Ｊは、磁気力データ処理部８
に与えられる。磁気力データ処理部８では、この条件Ｊ
に基づいて一方の部分磁気力イメージｍ２の抽出領域に
ついて平行移動と回転を行った後、抽出領域の平行移動
と回転の後の部分磁気力イメージｍ２′と他方の磁気力
イメージｍ１との差分を計算することにより、磁気力デ
ータの時間的変化を求める。
れた平行移動と回転の条件Ｊは、磁気力データ処理部８
に与えられる。磁気力データ処理部８では、この条件Ｊ
に基づいて一方の部分磁気力イメージｍ２の抽出領域に
ついて平行移動と回転を行った後、抽出領域の平行移動
と回転の後の部分磁気力イメージｍ２′と他方の磁気力
イメージｍ１との差分を計算することにより、磁気力デ
ータの時間的変化を求める。
【００２２】さらに、本実施形態では表面凹凸データ処
理部９で決定された平行移動と回転の条件は、フィード
バック制御部４および検出針駆動部３を介して検出針２
にフィードバックされる。このフィードバックは、磁性
サンプル１を移動・回転させるｘｙθテーブルにも行っ
てもよい。
理部９で決定された平行移動と回転の条件は、フィード
バック制御部４および検出針駆動部３を介して検出針２
にフィードバックされる。このフィードバックは、磁性
サンプル１を移動・回転させるｘｙθテーブルにも行っ
てもよい。
【００２３】磁気力データ処理部８および表面凹凸デー
タ処理部９の処理結果である磁気力イメージおよび表面
凹凸イメージは、ＣＲＴディスプレイのような表示部１
０上に表示される。
タ処理部９の処理結果である磁気力イメージおよび表面
凹凸イメージは、ＣＲＴディスプレイのような表示部１
０上に表示される。
【００２４】次に、図２に示すフローチャートと図３〜
図６を用いて本実施形態におけるデータ解析手順を説明
する。なお、図３〜図６は表示部１０上に表示される磁
気力イメージや表面凹凸イメージを電子写真式プリンタ
によりハードコピーとして記録したものである。
図６を用いて本実施形態におけるデータ解析手順を説明
する。なお、図３〜図６は表示部１０上に表示される磁
気力イメージや表面凹凸イメージを電子写真式プリンタ
によりハードコピーとして記録したものである。
【００２５】まず、磁気力顕微鏡によって磁性サンプル
１から同一位置を含む２枚の磁気力イメージＭ１，Ｍ２
を検出する（ステップＳ１）。磁気力イメージＭ１，Ｍ
２の例を図３（ａ）（ｃ）に示す。一方、磁気力顕微鏡
を今度は原子間力顕微鏡として動作させ、磁性サンプル
１から磁気力イメージＭ１，Ｍ２を検出した位置と同一
位置の表面凹凸イメージＡ１，Ａ２を検出する（ステッ
プＳ２）。表面凹凸イメージＡ１，Ａ２の例を図３
（ｂ）（ｄ）に示す。なお、ステップＳ１，Ｓ２の処理
は、いずれを先に行ってもよく、その順序は問わない。
１から同一位置を含む２枚の磁気力イメージＭ１，Ｍ２
を検出する（ステップＳ１）。磁気力イメージＭ１，Ｍ
２の例を図３（ａ）（ｃ）に示す。一方、磁気力顕微鏡
を今度は原子間力顕微鏡として動作させ、磁性サンプル
１から磁気力イメージＭ１，Ｍ２を検出した位置と同一
位置の表面凹凸イメージＡ１，Ａ２を検出する（ステッ
プＳ２）。表面凹凸イメージＡ１，Ａ２の例を図３
（ｂ）（ｄ）に示す。なお、ステップＳ１，Ｓ２の処理
は、いずれを先に行ってもよく、その順序は問わない。
【００２６】次に、ステップＳ１で検出された磁気力イ
メージＭ１，Ｍ２上の同一領域、例えば図３（ａ）
（ｃ）中の○印で示す領域を指定し、その領域の部分磁
気力イメージｍ１，ｍ２を抽出する（ステップＳ３）。
一方、ステップＳ２で検出された表面凹凸イメージＡ
１，Ａ２に対して、磁気力イメージＭ１，Ｍ２上の部分
磁気力イメージｍ１，ｍ２を抽出した領域と同一領域、
すなわち図３（ｂ）（ｄ）中の○印で示す領域を指定
し、その領域を含む領域の部分表面凹凸イメージａ１，
ａ２を抽出する（ステップＳ４）。この際、部分磁気力
イメージｍ１，ｍ２の相対位置を用いて、部分表面凹凸
イメージａ１，ａ２の大まかな抽出位置を決定するよう
にする。ステップＳ３，Ｓ４の処理も、いずれを先に行
ってもよく、その順序は問わない。
メージＭ１，Ｍ２上の同一領域、例えば図３（ａ）
（ｃ）中の○印で示す領域を指定し、その領域の部分磁
気力イメージｍ１，ｍ２を抽出する（ステップＳ３）。
一方、ステップＳ２で検出された表面凹凸イメージＡ
１，Ａ２に対して、磁気力イメージＭ１，Ｍ２上の部分
磁気力イメージｍ１，ｍ２を抽出した領域と同一領域、
すなわち図３（ｂ）（ｄ）中の○印で示す領域を指定
し、その領域を含む領域の部分表面凹凸イメージａ１，
ａ２を抽出する（ステップＳ４）。この際、部分磁気力
イメージｍ１，ｍ２の相対位置を用いて、部分表面凹凸
イメージａ１，ａ２の大まかな抽出位置を決定するよう
にする。ステップＳ３，Ｓ４の処理も、いずれを先に行
ってもよく、その順序は問わない。
【００２７】図４（ａ）（ｂ）に表面凹凸イメージＡ
１，Ａ２の例を示し、また図４（ｃ）（ｄ）にイメージ
Ａ１，Ａ２中の□で囲んだ領域、すなわち図３（ｂ）
（ｄ）中の○印で示す領域を含む領域の部分表面凹凸イ
メージａ１，ａ２を示す。
１，Ａ２の例を示し、また図４（ｃ）（ｄ）にイメージ
Ａ１，Ａ２中の□で囲んだ領域、すなわち図３（ｂ）
（ｄ）中の○印で示す領域を含む領域の部分表面凹凸イ
メージａ１，ａ２を示す。
【００２８】次に、ステップＳ４で抽出される部分表面
凹凸イメージａ１，ａ２のうち一方のイメージａ２の抽
出領域について、例えば部分磁気力イメージｍ１，ｍ２
の相対位置に基づいて、２次元平面内で平行移動と回転
を行う（ステップＳ５）。この平行移動と回転を行った
抽出領域の部分表面凹凸イメージをａ２′とする。この
平行移動と回転をパラメータ（ｘ，ｙ方向の移動距離お
よび回転角度）を変えて複数回行い、その都度ａ１とａ
２′との差分を求め、その差分が最小となる平行移動と
回転の条件Ｊ（ｘ方向移動距離、ｙ方向移動距離および
回転角度）を決定する（ステップＳ６）。
凹凸イメージａ１，ａ２のうち一方のイメージａ２の抽
出領域について、例えば部分磁気力イメージｍ１，ｍ２
の相対位置に基づいて、２次元平面内で平行移動と回転
を行う（ステップＳ５）。この平行移動と回転を行った
抽出領域の部分表面凹凸イメージをａ２′とする。この
平行移動と回転をパラメータ（ｘ，ｙ方向の移動距離お
よび回転角度）を変えて複数回行い、その都度ａ１とａ
２′との差分を求め、その差分が最小となる平行移動と
回転の条件Ｊ（ｘ方向移動距離、ｙ方向移動距離および
回転角度）を決定する（ステップＳ６）。
【００２９】図５（ａ）（ｄ）（ｇ）は部分表面凹凸イ
メージａ１の例であり、図５（ｂ）（ｅ）（ｈ）は抽出
領域について種々の平行移動と回転を行った部分表面凹
凸イメージａ２′の例である。そして、図５（ｃ）
（ｆ）（ｉ）はそれぞれの左側に並んだ部分表面凹凸イ
メージａ１とａ２′の差分をとった差分イメージであ
る。すなわち、図５（ｃ）は図５（ａ）と（ｂ）の差分
イメージ、図５（ｆ）は図５（ｄ）と（ｅ）の差分イメ
ージ、図５（ｉ）は図５（ｇ）と（ｈ）の差分イメージ
である。
メージａ１の例であり、図５（ｂ）（ｅ）（ｈ）は抽出
領域について種々の平行移動と回転を行った部分表面凹
凸イメージａ２′の例である。そして、図５（ｃ）
（ｆ）（ｉ）はそれぞれの左側に並んだ部分表面凹凸イ
メージａ１とａ２′の差分をとった差分イメージであ
る。すなわち、図５（ｃ）は図５（ａ）と（ｂ）の差分
イメージ、図５（ｆ）は図５（ｄ）と（ｅ）の差分イメ
ージ、図５（ｉ）は図５（ｇ）と（ｈ）の差分イメージ
である。
【００３０】図６のＡ，Ｂ，Ｃは、抽出領域の平行移動
と回転におけるｘ方向移動距離、ｙ方向移動距離および
回転角度と、部分表面凹凸イメージａ１とａ２′の差分
イメージにおける差分の合計（差分値）の関係を示した
ものであり、Ａは図５（ａ）（ｂ）（ｃ）に対応し、Ｂ
は図５（ｄ）（ｅ）（ｆ）に対応し、Ｃは図５（ｇ）
（ｈ）（ｉ）に対応している。Ａ→Ｂ→Ｃと移行するに
つれて、すなわち、図５（ｃ）→（ｆ）→（ｉ）の順で
差分値は徐々に小さくなっており、図５（ｉ）で最小
（この例では“５０９”）となっている。この差分値が
最小となるときの平行移動と回転の条件、すなわちｘ方
向移動距離＝−１．３０９、ｙ方向移動距離＝１．０１
６および回転角度＝−１．１６８が先の条件Ｊとなる。
と回転におけるｘ方向移動距離、ｙ方向移動距離および
回転角度と、部分表面凹凸イメージａ１とａ２′の差分
イメージにおける差分の合計（差分値）の関係を示した
ものであり、Ａは図５（ａ）（ｂ）（ｃ）に対応し、Ｂ
は図５（ｄ）（ｅ）（ｆ）に対応し、Ｃは図５（ｇ）
（ｈ）（ｉ）に対応している。Ａ→Ｂ→Ｃと移行するに
つれて、すなわち、図５（ｃ）→（ｆ）→（ｉ）の順で
差分値は徐々に小さくなっており、図５（ｉ）で最小
（この例では“５０９”）となっている。この差分値が
最小となるときの平行移動と回転の条件、すなわちｘ方
向移動距離＝−１．３０９、ｙ方向移動距離＝１．０１
６および回転角度＝−１．１６８が先の条件Ｊとなる。
【００３１】次に、ステップＳ３で抽出される部分磁気
力イメージｍ１，ｍ２のうち一方のイメージｍ２の抽出
領域について、ステップＳ５で決定された条件Ｊで平行
移動と回転を行う（ステップＳ７）。すなわち、部分磁
気力イメージｍ２の抽出領域を条件Ｊで与えられた距離
ｘ，ｙだけ平行移動させ、さらに条件Ｊで与えられた角
度だけ回転させる。こうして平行移動と回転を行った抽
出領域の部分磁気力イメージをｍ２′とする。そして、
この抽出領域を変更した後の部分磁気力イメージｍ２′
と他方の部分磁気力イメージｍ１の差分を計算する（ス
テップＳ８）。この差分は、磁性サンプル１上の同一位
置の磁気力データの時間的変化を表している。
力イメージｍ１，ｍ２のうち一方のイメージｍ２の抽出
領域について、ステップＳ５で決定された条件Ｊで平行
移動と回転を行う（ステップＳ７）。すなわち、部分磁
気力イメージｍ２の抽出領域を条件Ｊで与えられた距離
ｘ，ｙだけ平行移動させ、さらに条件Ｊで与えられた角
度だけ回転させる。こうして平行移動と回転を行った抽
出領域の部分磁気力イメージをｍ２′とする。そして、
この抽出領域を変更した後の部分磁気力イメージｍ２′
と他方の部分磁気力イメージｍ１の差分を計算する（ス
テップＳ８）。この差分は、磁性サンプル１上の同一位
置の磁気力データの時間的変化を表している。
【００３２】上述した一連の処理を図７を用いて説明す
る。磁性サンプル１から磁気力顕微鏡により順次得られ
た同一位置の２枚の磁気力イメージ（Ｍ１，Ｍ２）か
ら、図７（ａ）（ｃ）に示すほぼ同一領域の部分磁気力
イメージｍ１，ｍ２をそれぞれ抽出する。一方、同じ磁
性サンプル１から原子間力顕微鏡により順次得られた同
一位置の表面凹凸イメージ（Ａ１，Ａ２）から、図７
（ｂ）（ｄ）に示すほぼ同一領域の部分表面凹凸イメー
ジａ１，ａ２を抽出する。そして、ａ２の抽出領域に対
し、ａ１と抽出領域変更後の部分表面凹凸イメージａ
２′の差分が最小となるように平行移動および回転を施
して変更を行い、その平行移動および回転の条件に従っ
て部分磁気力イメージｍ２の抽出領域にも平行移動およ
び回転を施して変更を行ってｍ２′を抽出し、ｍ１と抽
出領域変更後のｍ２′の差分イメージを求める。この差
分イメージが図７（ｅ）であり、これは磁性サンプル１
上の同一位置の磁気力データの時間的変化を表してい
る。
る。磁性サンプル１から磁気力顕微鏡により順次得られ
た同一位置の２枚の磁気力イメージ（Ｍ１，Ｍ２）か
ら、図７（ａ）（ｃ）に示すほぼ同一領域の部分磁気力
イメージｍ１，ｍ２をそれぞれ抽出する。一方、同じ磁
性サンプル１から原子間力顕微鏡により順次得られた同
一位置の表面凹凸イメージ（Ａ１，Ａ２）から、図７
（ｂ）（ｄ）に示すほぼ同一領域の部分表面凹凸イメー
ジａ１，ａ２を抽出する。そして、ａ２の抽出領域に対
し、ａ１と抽出領域変更後の部分表面凹凸イメージａ
２′の差分が最小となるように平行移動および回転を施
して変更を行い、その平行移動および回転の条件に従っ
て部分磁気力イメージｍ２の抽出領域にも平行移動およ
び回転を施して変更を行ってｍ２′を抽出し、ｍ１と抽
出領域変更後のｍ２′の差分イメージを求める。この差
分イメージが図７（ｅ）であり、これは磁性サンプル１
上の同一位置の磁気力データの時間的変化を表してい
る。
【００３３】以上のような手順で、磁性サンプル１上の
各部分について同様に磁気力データの時間的変化を検出
することにより、磁性サンプル１の２次元平面での磁気
力データの時間的変化とその分布を求めることができ
る。
各部分について同様に磁気力データの時間的変化を検出
することにより、磁性サンプル１の２次元平面での磁気
力データの時間的変化とその分布を求めることができ
る。
【００３４】なお、本実施形態では前述したように、表
面凹凸データ処理部９で求められた一方の部分表面凹凸
イメージａ１と抽出領域の平行移動と回転の後の他方の
部分表面凹凸イメージａ２′の差分が最小となる平行移
動と回転の条件Ｊを磁気力データ処理部８に与えると共
に、フィードバック制御部４を介して検出針駆動部３に
もフィードバックしている。この条件Ｊのフィードバッ
クにより、磁性サンプル１上の磁気力イメージＭ２およ
び表面凹凸イメージＡ２の検出位置を磁気力イメージＭ
１および表面凹凸イメージＡ１の検出位置とできるだけ
同一となるように補正することができる。
面凹凸データ処理部９で求められた一方の部分表面凹凸
イメージａ１と抽出領域の平行移動と回転の後の他方の
部分表面凹凸イメージａ２′の差分が最小となる平行移
動と回転の条件Ｊを磁気力データ処理部８に与えると共
に、フィードバック制御部４を介して検出針駆動部３に
もフィードバックしている。この条件Ｊのフィードバッ
クにより、磁性サンプル１上の磁気力イメージＭ２およ
び表面凹凸イメージＡ２の検出位置を磁気力イメージＭ
１および表面凹凸イメージＡ１の検出位置とできるだけ
同一となるように補正することができる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば磁
気力顕微鏡によってサンプルから検出される磁気力デー
タを解析する際、サンプル上のほぼ同一位置から磁気力
データを所定時間間隔で複数の磁気力イメージとして検
出すると共に、サンプル表面の凹凸形状を示す表面凹凸
イメージを検出し、この表面凹凸イメージを用いて複数
の磁気力イメージについて少なくとも部分領域間の位置
合わせを行った後、これらを比較解析することによっ
て、サンプル上の２次元平面の同一位置または領域の磁
気力の時間的変化を定量的に評価することができる。
気力顕微鏡によってサンプルから検出される磁気力デー
タを解析する際、サンプル上のほぼ同一位置から磁気力
データを所定時間間隔で複数の磁気力イメージとして検
出すると共に、サンプル表面の凹凸形状を示す表面凹凸
イメージを検出し、この表面凹凸イメージを用いて複数
の磁気力イメージについて少なくとも部分領域間の位置
合わせを行った後、これらを比較解析することによっ
て、サンプル上の２次元平面の同一位置または領域の磁
気力の時間的変化を定量的に評価することができる。
【００３６】また、従来ではサンプル上の磁気力の時間
的変化を調べる際の評価位置の精度が磁気力顕微鏡の機
械的精度に依存し、数μｍ程度の精度しか得られなかっ
たのに対して、本発明では磁気力顕微鏡の空間分解能数
で決まるｎｍ程度の極めて高い精度で位置合わせを行う
ことができるため、極めて正確にサンプル上の同一位置
または領域の磁気力の時間的変化を観測することが可能
となる。
的変化を調べる際の評価位置の精度が磁気力顕微鏡の機
械的精度に依存し、数μｍ程度の精度しか得られなかっ
たのに対して、本発明では磁気力顕微鏡の空間分解能数
で決まるｎｍ程度の極めて高い精度で位置合わせを行う
ことができるため、極めて正確にサンプル上の同一位置
または領域の磁気力の時間的変化を観測することが可能
となる。
【図１】本発明の一実施形態に係る磁気力顕微鏡による
データ解析装置の構成を示すブロック図
データ解析装置の構成を示すブロック図
【図２】同実施形態に係るデータ解析の手順を示すフロ
ーチャート
ーチャート
【図３】同実施形態において磁性サンプルから検出され
る磁気力イメージおよび表面凹凸イメージの例を示す図
る磁気力イメージおよび表面凹凸イメージの例を示す図
【図４】図３中の表面凹凸イメージおよびその一部を抽
出した部分表面凹凸イメージを示す図
出した部分表面凹凸イメージを示す図
【図５】図４中の部分表面凹凸イメージとそれを平行移
動・回転させた部分表面凹凸イメージおよびこれらの差
分イメージを示す図
動・回転させた部分表面凹凸イメージおよびこれらの差
分イメージを示す図
【図６】図５中の部分表面凹凸イメージとその平行移動
距離および回転角度と差分イメージの差分値の関係を示
す図
距離および回転角度と差分イメージの差分値の関係を示
す図
【図７】同実施形態における磁気力データの解析の概要
を示す図
を示す図
１…磁性サンプル ２…検出針 ３…検出針駆動部 ４…フィードバック制御部 ５…信号検出部 ６…磁気力データ用メモリ ７…表面凹凸データ用メモリ ８…磁気力データ処理部 ９…表面凹凸データ処理部 １０…表示部
Claims (8)
- 【請求項１】磁気力顕微鏡によってサンプルから検出さ
れる磁気力データを解析する解析方法において、 前記サンプル上のほぼ同一位置から磁気力データを所定
時間間隔で複数の磁気力イメージとして検出すると共
に、 前記サンプル表面の凹凸形状を示す表面凹凸イメージを
検出し、 この表面凹凸イメージを用いて前記複数の磁気力イメー
ジの少なくとも部分領域間の位置合わせを行った後、該
複数の磁気力イメージを比較解析することを特徴とする
磁気力顕微鏡による磁気力データの解析方法。 - 【請求項２】磁気力顕微鏡によってサンプルから検出さ
れる磁気力データを解析する解析方法において、 前記サンプル上のほぼ同一位置から磁気力データを所定
時間間隔で複数の磁気力イメージとして検出すると共
に、 前記サンプル上の前記複数の磁気力イメージが検出され
る位置とほぼ同一位置から、該サンプル表面の凹凸形状
を示す複数の表面凹凸イメージを所定時間間隔で順次検
出し、 前記複数の表面凹凸イメージを用いて前記複数の磁気力
イメージの少なくとも部分領域間の位置合わせを行った
後、該複数の磁気力イメージを比較解析することを特徴
とする磁気力顕微鏡による磁気力データの解析方法。 - 【請求項３】磁気力顕微鏡によってサンプルから検出さ
れる磁気力データを解析する解析方法において、 前記サンプル上のほぼ同一位置から磁気力データを所定
時間間隔で第１および第２の磁気力イメージとして検出
すると共に、 前記サンプル上の前記第１および第２の磁気力イメージ
が検出される位置とほぼ同一位置から、該サンプル表面
の凹凸形状を示す第１および第２の表面凹凸イメージを
所定時間間隔で順次検出し、 第１の磁気力イメージおよび第１の表面凹凸イメージ上
の所定の抽出領域からそれぞれ第１の部分磁気力イメー
ジおよび第１の部分表面凹凸イメージを抽出し、 第２の表面凹凸イメージ上の相対的に異なる複数の抽出
領域から第２の部分表面凹凸イメージを抽出して、第１
の部分表面凹凸イメージと第２の部分表面凹凸イメージ
の差分を求め、 第２の磁気力イメージ上の該差分が最小となる第２の部
分表面凹凸イメージの抽出領域と同一位置の抽出領域か
ら第２の部分磁気力イメージを抽出し、 第１の部分磁気力イメージと第２の部分磁気力イメージ
の差分を求めることを特徴とする磁気力顕微鏡による磁
気力データの解析方法。 - 【請求項４】磁気力顕微鏡によってサンプルから検出さ
れる磁気力データを解析する解析方法において、 前記サンプル上のほぼ同一位置から磁気力データを所定
時間間隔で第１および第２の磁気力イメージとして検出
すると共に、 前記サンプル上の前記第１および第２の磁気力イメージ
が検出される位置とほぼ同一位置から、該サンプル表面
の凹凸形状を示す第１および第２の表面凹凸イメージを
所定時間間隔で順次検出し、 第１および第２の磁気力イメージ上の所定の抽出領域か
ら第１および第２の部分磁気力イメージを抽出し、 第１および第２の表面凹凸イメージ上の前記第１および
第２の部分磁気力イメージの相対位置に基づく所定の抽
出領域から第１および第２の部分表面凹凸イメージを抽
出し、 第２の表面凹凸イメージ上の第２の部分表面凹凸イメー
ジの抽出領域を相対的に変化させて、第１の部分表面凹
凸イメージと第２の部分表面凹凸イメージの差分を求
め、 第２の磁気力イメージ上の該差分が最小となる第２の部
分表面凹凸イメージの抽出領域と同一位置の抽出領域か
ら第２の部分磁気力イメージを抽出し、 第１の部分磁気力イメージと第２の部分磁気力イメージ
の差分を求めることを特徴とする磁気力顕微鏡による磁
気力データの解析方法。 - 【請求項５】磁気力顕微鏡によってサンプルから検出さ
れる磁気力データを解析する解析装置において、 前記サンプル上のほぼ同一位置から磁気力データを所定
時間間隔で複数の磁気力イメージとして検出する手段
と、 前記サンプル表面の凹凸形状を示す表面凹凸イメージを
検出する手段と、 前記表面凹凸イメージを用いて前記複数の磁気力イメー
ジの位置合わせを行う手段と、 位置合わせ後の前記複数の磁気力イメージを比較解析す
る手段とを有することを特徴とする磁気力顕微鏡による
磁気力データの解析装置。 - 【請求項６】磁気力顕微鏡によってサンプルから検出さ
れる磁気力データを解析する解析装置において、 前記サンプル上のほぼ同一位置から磁気力データを所定
時間間隔で複数の磁気力イメージとして検出する手段
と、 前記サンプル上の前記複数の磁気力イメージが検出され
る位置とほぼ同一位置から、該サンプル表面の凹凸形状
を示す複数の表面凹凸イメージを所定時間間隔で順次検
出する手段と、 前記複数の表面凹凸イメージを用いて前記複数の磁気力
イメージの位置合わせを行う手段と、 位置合わせ後の前記複数の磁気力イメージを比較解析す
る手段とを有することを特徴とする磁気力顕微鏡による
磁気力データの解析装置。 - 【請求項７】磁気力顕微鏡によってサンプルから検出さ
れる磁気力データを解析する解析装置において、 前記サンプル上のほぼ同一位置から磁気力データを所定
時間間隔で第１および第２の磁気力イメージとして検出
する手段と、 前記サンプル上の前記第１および第２の磁気力イメージ
が検出される位置とほぼ同一位置から、前記サンプル表
面の凹凸形状を示す第１および第２の表面凹凸イメージ
を所定時間間隔で順次検出する手段と、 第１の磁気力イメージおよび第１の表面凹凸イメージ上
の所定の抽出領域からそれぞれ第１の部分磁気力イメー
ジおよび第１の部分表面凹凸イメージを抽出する手段
と、 第２の表面凹凸イメージ上の相対的に異なる複数の抽出
領域から第２の部分表面凹凸イメージを抽出して、第１
の部分表面凹凸イメージと第２の部分表面凹凸イメージ
の差分を求める手段と、 第２の磁気力イメージ上の該差分が最小となる第２の部
分表面凹凸イメージの抽出領域と同一位置の抽出領域か
ら第２の部分磁気力イメージを抽出する手段と、 前記第１の部分磁気力イメージと第２の部分磁気力イメ
ージの差分を求める手段とを有することを特徴とする磁
気力顕微鏡による磁気力データの解析装置。 - 【請求項８】磁気力顕微鏡によってサンプルから検出さ
れる磁気力データを解析する解析装置において、 前記サンプル上のほぼ同一位置から磁気力データを所定
時間間隔で第１および第２の磁気力イメージとして検出
する手段と、 前記サンプル上の前記第１および第２の磁気力イメージ
が検出される位置とほぼ同一位置から、前記サンプル表
面の凹凸形状を示す第１および第２の表面凹凸イメージ
を所定時間間隔で順次検出する手段と、 第１および第２の磁気力イメージ上の所定の抽出領域か
ら第１および第２の部分磁気力イメージを抽出する手段
と、 第１および第２の表面凹凸イメージ上の前記第１および
第２の部分磁気力イメージの相対位置に基づく所定の抽
出領域から第１および第２の部分表面凹凸イメージを抽
出する手段と、 第２の表面凹凸イメージ上の第２の部分表面凹凸イメー
ジの抽出領域を相対的に変化させて、第１の部分表面凹
凸イメージと第２の部分表面凹凸イメージの差分を求め
る手段と、 第２の磁気力イメージ上の該差分が最小となる第２の部
分表面凹凸イメージの抽出領域と同一位置の抽出領域か
ら第２の部分磁気力イメージを抽出する手段と、 前記第１の部分磁気力イメージと第２の部分磁気力イメ
ージの差分を求める手段とを有することを特徴とする磁
気力顕微鏡による磁気力データの解析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29814596A JPH10123156A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | 磁気力顕微鏡による磁気力データの解析方法および解析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29814596A JPH10123156A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | 磁気力顕微鏡による磁気力データの解析方法および解析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10123156A true JPH10123156A (ja) | 1998-05-15 |
Family
ID=17855785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29814596A Pending JPH10123156A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | 磁気力顕微鏡による磁気力データの解析方法および解析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10123156A (ja) |
-
1996
- 1996-10-22 JP JP29814596A patent/JPH10123156A/ja active Pending
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