JPH10122905A - 光学式エンコーダ - Google Patents

光学式エンコーダ

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JPH10122905A
JPH10122905A JP8297476A JP29747696A JPH10122905A JP H10122905 A JPH10122905 A JP H10122905A JP 8297476 A JP8297476 A JP 8297476A JP 29747696 A JP29747696 A JP 29747696A JP H10122905 A JPH10122905 A JP H10122905A
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Takumi Fukuda
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学式エンコーダの分解能を高めると同時に
光源光の利用効率を改善する。 【解決手段】 移動板1は第1領域A及び第2領域Bを
結ぶ移動方向に沿って一定のピッチで配列したスリット
5を有する。光源2は第1領域Aを通過するスリット5
を照明してスリット物像を形成する。投影手段4は第1
領域Aに照し出されたスリット物像を反転したスリット
実像に等倍変換して第2領域Bに投影する。受光素子3
は第2領域Bを通過するスリット5をマスクとして反対
方向に移動するスリット実像を受光し、移動板1の変位
を検出する。投影手段4は一体化プリズム8からなり、
第1領域Aに対面するコリメータレンズ6と、第2領域
Bに対面する結像レンズ7と、両レンズ6,7の光路を
折り曲げて像反転を行なう互いに直角を成す2枚のミラ
ーM1,M2を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は発光素子と受光素子
とスリットを有する移動板とからなる光学式エンコーダ
に関する。より詳しくは、光学的な手段を用いてエンコ
ーダの小型化及びエンコーダ出力の高分解能化を図る技
術に関する。
【0002】
【従来の技術】図10は、従来の光学式エンコーダの一
例を示す模式的な斜視図である。回転変位する円盤から
なる移動板101には、その周方向に沿って所定のピッ
チ(周期)でスリット102が形成されている。移動板
101の一面側には光源となる発光素子103が固定配
置されている。発光素子103と移動板101の間には
レンズ104が介在しており、光源からの発散光を平行
光に変換する。尚、レンズ104は必ずしも必要なもの
ではない。移動板101の他面側には固定マスク105
を介して受光素子106が配置されている。この構造で
は、発光素子103と受光素子106が対面配置し、両
者の間に移動板101と固定マスク105が介在してい
る。発光素子103と受光素子106が移動板101を
境にして両側に分かれている為、光軸方向のコンパクト
化に限界がある。発光素子103から放射した光源光は
回転変位するスリット102と固定マスク105とによ
り断続的に透過/遮断され、受光素子106の受光量が
周期的に変化する。受光素子106はこの受光量変化に
応じて電気信号を出力し移動板101の変位を検出して
いる。この構成では、スリット102と固定マスク10
5の間隔を小さくし、光源光を平行ビームにしないと、
高分解能な出力は得られない。この方式では、スリット
102の配列ピッチを精々100μm程度にまで微細化
するのが限界であった。
【0003】以上の欠点を改良した光学式エンコーダが
特開平8−184465号公報に開示されており、図1
1にその概要を示す。図示するように、この光学式エン
コーダは移動板1とLED等の発光素子からなる光源2
とフォトトランジスタアレイ等からなる受光素子3と投
影手段4とを備えている。図示の例では、移動板1は回
転変位する円盤からなり、第1領域A及び第2領域Bを
通過するように組み込まれている。光源2は移動板1の
下面側で第1領域Aに対面配置している。受光素子3も
移動板1の下面側で第2領域Bに対面配置している。投
影手段4は移動板1の上面側で第1領域Aと第2領域B
の間に介在している。移動板1は第1領域A及び第2領
域Bを結ぶ移動方向(周方向)に沿って一定のピッチP
で配列したスリット5を有する。光源2は第1領域Aを
通過するスリット5を照明してスリット物像を形成す
る。投影手段4は第1領域Aに照し出されたスリット物
像を反転したスリット実像に等倍変換して第2領域Bに
投影する。受光素子3は第2領域Bを通過するスリット
5をマスクとして、反対方向に移動する該スリット実像
を受光し、移動板1の回転変位を検出する。
【0004】図12は、図11に示した光学式エンコー
ダの側面形状を表わしている。光源2と受光素子3は移
動板1の同一面側に配され、投影手段4は移動板1の反
対面側に配されている。これにより、光学式エンコーダ
の実装構造をコンパクト化できる。投影手段4は第1領
域Aに対面する対物レンズ6aと第2領域Bに対面する
結像レンズ7bとを含み、等倍反転光学系を構成する。
この投影手段4は、更に台形プリズム80を含んでお
り、対物レンズ6a及び結像レンズ7bと共に一体成形
されている。対物レンズ6aは台形プリズム80の入射
面に配され、結像レンズ7bは台形プリズム80の出射
面に配されている。
【0005】光源2は移動板1に形成されたスリット5
を照射し、第1領域Aにスリット物像9を照し出す。こ
のスリット物像9は対物レンズ6aを介して台形プリズ
ム80の第1全反射面(ミラー)Maにより反射され、
光路の中間に位置する焦平面11に結像する。この結像
は台形プリズム80の第2全反射面Mbにより反射され
結像レンズ7bを介して第2領域Bにスリット実像13
を投影する。対物レンズ6aと結像レンズ7bは台形プ
リズム80を介して光学的には同一の光軸14上にあ
り、その中間点に焦平面11を持つ等倍反転光学系であ
る。受光素子3は移動板1に形成されたスリット5その
ものをマスクとして、このスリット実像13を受光す
る。この時、スリット実像13は対物レンズ6aにより
一度結像されている為、台形プリズム80の中間に位置
する焦平面11に関しスリット物像9と面対称となる。
従って、スリット実像13は第2領域Bにおいてスリッ
ト5そのものと裏向きに重なる。又、スリット実像13
の移動方向はスリット5そのものの移動方向に対し反対
方向となる。従って、受光素子3に入射する光量はスリ
ット実像13に対しスリット5自身がマスクとなる為、
移動板1の回転変位に伴って周期的に増減する。しか
も、スリット5のピッチPの半分でスリット5自身とス
リット実像13が相対的に反対方向に動く為、結局スリ
ットピッチの2倍の分解能のエンコーダ出力が得られ
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図13に示すように、
上述した光学構成では対物レンズ6aの光軸14aが2
回の全反射で結像レンズ7bの光軸14bと重なる。こ
の光学系は中間の焦平面11を対称面とする対称構造を
有している。この結果、第1領域Aに照し出された物像
Rは2回の結像を繰り返した後裏向きになって第2領域
Bに投影され、物像Rを移動方向に沿ってひっくり返し
た実像が得られる。図14は、図13に示した構造の模
式的な幾何光学図である。前述したように、この従来例
では全光路長の間に2回結像を行なう為、対物レンズ6
aや結像レンズ7bのパワーを大きくしなければならな
い。その結果レンズの曲率半径を小さくしなければなら
ず、収差が大きくなり有効径も小さくなるので実像が暗
くなってしまう。又、全反射面への光線が収束している
ので入射角の小さい部分が発生し、全反射させるには台
形プリズム80の光学材料を高屈折率にしなければなら
ず、特殊で高価なガラス材料を用いる必要が生じる。こ
れらの欠点を回避する為には、移動板1と対物レンズ6
aとの距離を大きくしてパワーを弱めればよい。しかし
ながら、こうすると対物レンズ6aに入射する光束の立
体角が小さくなり、やはり実像が暗くなってしまうとい
う悪循環が発生する。
【0007】図15は、対物レンズ6aに代えてパワー
を弱めたコリメータレンズ6を用いた場合の幾何光学図
である。入射側にコリメータレンズ6を用いると、台形
プリズム80内ではほぼ平行光になっている為、図14
に比べて入射角の小さい部分が発生し難い。しかしなが
ら、このままでは像反転が行なわれない。そこで、本発
明は図15に示した幾何光学系を採用しつつ像反転の可
能な光学式エンコーダを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上述した本発明の目的を
達成する為に以下の手段を講じた。即ち、本発明にかか
る光学式エンコーダは基本的な構成として、第1領域及
び第2領域を通過する移動坂と、該移動板の一面側で第
1領域に対面配置した光源と、該移動板の一面側で第2
領域に対面配置した受光素子と、該移動板の他面側で第
1領域と第2領域の間に介在する投影手段とを備えてい
る。前記移動板は第1領域及び第2領域を結ぶ移動方向
に沿って一定のピッチで配列したスリットを有する。前
記光源は第1領域を通過するスリットを照明してスリッ
ト物像を形成する。前記投影手段は第1領域に照し出さ
れた該スリット物像を反転したスリット実像に等倍変換
して第2領域に投影する等倍反転光学系からなる。この
光学系は第1領域に対面するコリメータレンズと、第2
領域に対面する結像レンズと、両レンズ間の光路を折り
曲げて像回転を行なう互いに直角を成す2枚のミラーと
を含む。前記受光素子は第2領域を通過するスリットを
マスクとして反対方向に移動する該スリット実像を受光
し該移動板の変位を検出する。具体的には、前記投影手
段は、互いに直角を成す2枚のミラーを構成する全反射
面と、該コリメータレンズが配された入射面と、該結像
レンズが配された出射面とを備えた一体化プリズムであ
る。或いは、前記コリメータレンズと前記結像レンズは
1枚のコリメータ/結像レンズで兼用され、該入射面と
該出射面を兼ねた入出射面に配されたものであってもよ
い。好ましくは、前記移動板は周方向にスリットを配列
して回転変位する円盤である。この場合、前記コリメー
タレンズ及び結像レンズの光軸の夫々と、該円盤の回転
中心と各光軸が円盤に交わる交点を結ぶ各直線とが夫々
直交するように、前記投影手段が該円盤の径方向に対し
て傾いて配されている。
【0009】本発明の一態様によれば、前記移動板は一
定のピッチで配列したスリットの列に沿って一対の平行
トラックを有している。一方のトラックに属するスリッ
トの部分は他方のトラックに属するスリットの部分に対
し1/8ピッチだけ空間位相が実効的にずれている。こ
れに応じて、前記受光素子は一対の平行トラックに対応
して一対の受光領域を備えており、該移動板の変位量に
加え変位方向の検出を可能にしている。他の態様によれ
ば、前記移動板は一定のピッチで配列したスリットの列
からなる主トラックに加え、第1領域と第2領域の距離
に対応した間隔で配置した一対の基準スリットパタンか
らなる副トラックを有している。これに応じて、前記受
光素子は主トラックと副トラックに夫々割り当てられた
受光領域を有し、該移動板の変位に加えその基準位置を
検出可能にしている。
【0010】本発明では、受光素子と光源を構成する発
光素子とは移動板に対して同一面側に配置されている。
受光素子と発光素子を光学的に接続する投影手段は移動
板の反対面側に配置されている。従って、極めてコンパ
クトな光学式エンコーダの実装構造が可能になる。投影
手段は等倍反転光学系からなり、発光素子によって照明
されたスリット物像を反転したスリット実像に等倍変換
して受光素子側に投影する。受光素子はスリットをマス
クとして反対方向に移動するスリット実像を受光するこ
とにより、移動板の変位を検出する。移動板に形成され
たスリット自体をマスクとして用いる為、固定マスク等
を別部品として設ける必要がない。スリットそのものと
スリット実像は互いに反対方向に移動する為、実効的な
スリットピッチが1/2となり、図10に示した従来例
に比較し2倍の分解能が達成できる。特に、等倍反転光
学系は第1領域に対面するコリメータレンズと第2領域
に対面する結像レンズと両レンズ間の光路を折り曲げて
像回転を行なう互いに直角を成す2枚のミラーとを含ん
でいる。本光学系は倍率が1であると共に、例えばプリ
ズムの互いに直角を成す2枚の全反射面を組み合わせて
光路を折り曲げ像反転を実現している。コリメータレン
ズとミラーを組み合わせた構成である為、光源光の利用
効率が高く高出力化が図れると共に、収差が少ない為高
精度化が可能である。
【0011】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の最良
な実施形態を詳細に説明する。図1は、本発明にかかる
光学式エンコーダの第1実施形態を示す模式的な斜視図
である。図示するように、光学式エンコーダは移動板1
とLED等の発光素子からなる光源2とフォトトランジ
スタアレイ等からなる受光素子3と投影手段4とを備え
ている。本例では移動板1は回転変位する円盤からな
り、第1領域A及び第2領域Bを通過するように組み込
まれている。光源2は移動板1の下面側で第1領域Aに
対面配置している。受光素子3も移動板1の下面側で第
2領域Bに対面配置している。投影手段4は移動板1の
上面側で第1領域Aと第2領域Bの間に介在している。
移動板1は第1領域A及び第2領域Bを結ぶ移動方向
(本例では円盤の周方向)に沿って一定のピッチPで配
列したスリット5を有する。光源2は第1領域Aを通過
するスリット5を照明してスリット物像を形成する。投
影手段4は第1領域Aに照し出されたスリット物像を反
転したスリット実像に等倍変換して第2領域Bに投影す
る。受光素子3は第2領域Bを通過するスリット5をマ
スクとして、反対方向に移動するスリット実像を受光
し、移動板1の回転変位を検出する。上述した投影手段
4は等倍反転光学系であり、第1領域Aに対面するコリ
メータレンズ6と第2領域Bに対面する結像レンズ7
と、両レンズ6,7の光路を折り曲げて像回転を行なう
2枚のミラーM1,M2とを含んでいる。一対のミラー
M1,M2は互いに直角を成している。本投影手段4は
一体化プリズム8からなり、2枚のミラーM1,M2を
構成する全反射面と、コリメータレンズ6が配された入
射面と、結像レンズ7が配された出射面とを備えてい
る。
【0012】図2は、図1に示した光学式エンコーダに
おける像形成の原理を説明したものである。(a)は一
体化プリズム8を直上から見た平面図であり、(b)は
一体化プリズム8を回転円盤の周方向から見た側面図で
あり、(c)は同じく一体化プリズム8を回転円盤の径
方向から見た側面図である。各図に示した光線は全て子
午光束である。図示するように、光源2と受光素子3は
移動板1の同一面側に配され、投影手段4は移動板1の
反対面側に配されている。これにより、光学式エンコー
ダの実装構造をコンパクト化できる。前述したように、
投影手段4は第1領域Aに対面するコリメータレンズ6
と第2領域Bに対面する結像レンズ7とを含み、倍率1
の等倍反転光学系である。この投影手段4は一体化プリ
ズム8からなり、コリメータレンズ6及び結像レンズ7
と共に光学プラスチック等で一体成形される。コリメー
タレンズ6は一体化プリズム8の入射面10に配され、
結像レンズ7は同じく一体化プリズム8の出射面12に
配されている。
【0013】LED等の発光素子からなる光源2は移動
板1に形成されたスリット5を照射し、第1領域Aにス
リット物像9を照し出す。このスリット物像9はコリメ
ータレンズ6を介して一体化プリズム8の全反射面から
なる互いに直角を成す2枚のミラーM1,M2により結
像レンズ7側に転送される。この後結像レンズ7を介し
て第2領域B上にスリット実像13が投影される。コリ
メータレンズ6の光軸14aと結像レンズ7の光軸14
bは一体化プリズム8を介して同軸となっており、両レ
ンズ間に像転送用のミラーM1,M2が介在している。
(c)に示すように、本発明ではスリット物像9がコリ
メータレンズ6及び結像レンズ7により1回だけ結像さ
れ、スリット物像13を生成している。径方向から見た
場合、光源2から発した光束はミラーM1及びM2によ
り反射されて受光素子3に達する。ミラーM1,M2の
法線ベクトルはスリット移動方向(周方向)成分をもた
ない為、径方向から見た場合、スリット実像9は反転し
てスリット物像13となる。一方、(b)に示すよう
に、周方向から見た場合、光源2から発した光束は互い
に直交するミラーM1,M2により2回反射された後受
光素子側に到達する。このように、スリット物像は直交
する2枚のミラーM1,M2で像反転を受ける為、結果
的にスリット実像は周方向から見た場合正立像となる。
従って、(a)に模式的に示したように、物像Rは径方
向を対称軸として等倍反転された実像に変換される。
尚、本発明に用いるコリメータレンズ6や結像レンズ7
は球面レンズに限られるものではなく非球面レンズを用
いても良いことは勿論である。
【0014】(c)に示すように、光源2で第1領域A
上に照し出されたスリット物像9は、投影手段4を介し
て第2領域B上にスリット物像13として投影される。
受光素子3は、移動板1に形成されたスリット5そのも
のをマスクとしてこのスリット実像13を受光する。こ
の時、スリット実像13はスリット物像9に対して等倍
反転されている。従って、スリット実像13は第2領域
Bにおいてスリット5そのものと裏向きに重なる。又、
スリット実像13の移動方向は矢印で示すようにスリッ
ト5そのものの移動方向に対し反対方向となる。従っ
て、受光素子3に入射する光量はスリット実像13に対
しスリット5自身がマスクとなる為、移動板1の回転変
位に伴って周期的に増減する。しかも、スリット5のピ
ッチPの半分でスリット5自身とスリット実像13が相
対的に反対方向に動く為、結局スリットピッチの2倍の
分解能のエンコーダ出力が得られる。本発明ではコリメ
ータレンズ6と結像レンズ7を組み合わせた1回の結像
により像反転を実現している。この為、光源光の利用効
率が高く高出力化が図れると共に、収差が少い為高精度
化が可能である。これに対し、図11及び図12に示し
た従来例では、全光路長の間に2回結像を行なう為、対
物レンズ6aや結像レンズ7bのパワーを大きくしなけ
ればならない。その結果レンズの曲率半径を小さくしな
ければならず、収差が大きくなり有効径も小さくなるの
で実像が暗くなってしまう。又、全反射面への光線が収
束しているので入射角の小さい部分が発生し、全反射さ
せるには台形プリズム80の光学材料を高屈折率にしな
ければならない。
【0015】図3は、本発明にかかる光学式エンコーダ
の第2実施形態を示す模式図である。基本的な構成は図
1に示した第1実施形態と同様であり、対応する部分に
は対応する参照番号を付して理解を容易にしている。本
実施形態では、移動板1が回転変位ではなく直線変位を
行なっている。図示するように、移動板1は第1領域A
及び第2領域Bを直線的に通過する。光源2は移動板1
の一面側で第1領域Aに対面配置している。受光素子3
は同じく移動板1の一面側で第2領域Bに対面配置して
いる。投影手段4は移動板1の他面側で第1領域Aと第
2領域Bの間に介在する。移動板1は第1領域A及び第
2領域Bを結ぶ直線移動方向に沿って、一定のピッチで
配列したスリットを有している。本実施形態では、移動
板1の移動量ばかりでなく移動方向も検出する為、スリ
ットは2本のトラックに分かれて配列している。一方の
スリット5Aと他方のスリット5Bは互いに位相が45
°シフトしており、移動方向の検出を可能にしている。
本実施形態では、コリメータレンズと結像レンズは1枚
のコリメータ/結像レンズ67で兼用され、投影手段4
の入射面と出射面を兼ねた入出射面に配されている。互
いに直角を成す2枚のミラーM1,M2はコリメータ/
結像レンズ67とは別体に設けられている。
【0016】図4は、図3に示した光学式エンコーダの
幾何光学図である。(a)は移動板1の移動方向から見
た光学図であり、(b)は移動板1の移動方向と直角な
方向から見た光学図である。(a)に示すように、移動
方向から見た場合、スリット物像9はレンズ67により
コリメートされた後ミラーM1,M2により2回反射さ
れ、再びレンズ67によりスリット実像13として結像
される。従って、スリット実像13はスリット物像9に
対して正転像となる。一方、(b)に示すように、移動
板1と直交する方向から見た場合、スリット物像9はレ
ンズ67を介してコリメートされた後、ミラーM1及び
M2により反射され、再びレンズ67を通ってスリット
実像13となる。この場合にはスリット実像13はスリ
ット物像9に対して反転関係になる。
【0017】図5は、図1に示した光学式エンコーダを
一体化プリズム8の直上から見た状態を模式的に表わし
ている。一体化プリズム8の入射光軸14a及び出射光
軸14bは共に回転円盤の周方向外側に向って傾斜して
いる。即ち、コリメータレンズの光軸14a及び結像レ
ンズの光軸14bが回転円盤の平面に対して直交してお
らず傾いている。入射光軸14aと回転円盤の交点をP
aとする。同様に、出射光軸14bと回転円盤の交点を
Pbとする。又、Paと回転円盤の回転中心Oを結ぶ直
線をRaとし、PbとOを結ぶ直線をRbとする。これ
らの直線Ra,Rbは径方向に沿って放射状に延びてい
る。ところで、結像レンズに対してピントが合っている
回転円盤上の領域は合焦線Fとして表わされる。この合
焦線Fは出射光軸14bと直交している。しかしなが
ら、合焦線Fは放射線Rbに対して傾いている。この放
射線Rbに沿ってスリットが配置されている。スリット
実像がPbを通る場合ピントのずれは生じない。しかし
ながら、スリット実像が交点Pbより径方向内側の点P
1及び径方向外側の点P2を通る場合にはピントのずれ
が大きくなり、対策が必要なこともある。例えば、円盤
の回転量に加え回転方向や基準位置を検出する場合、ス
リットは同心円状に複数個のトラックとして設ける必要
がある。この場合、中間のトラックはPaやPbを通る
ことになるが、内側のトラックはP1を通り、外側のト
ラックはP2を通る。このままでは、内側のトラックや
外側のトラックに対してピントずれが大きくなってしま
う。
【0018】そこで、図6に上述した点を改良した第3
実施形態を示す。(a)は模式的な斜視図であり、
(b)は周方向から見た側面図である。図示するよう
に、移動板1は回転中心Oを中心として回転変位する円
盤であり、図示しないがその周方向に沿ってスリットが
配列されている。入射光軸14aは放射線Raと交点P
aで直角に交わっている。又、出射光軸14bも放射線
Rbと交点Pbで直角に交わっている。即ち、コリメー
タレンズ及び結像レンズの光軸14a,14bの夫々
と、円盤の回転中心Oと各光軸14a,14bが円盤に
交わる交点Pa,Pbを結ぶ各直線Ra,Rbとが夫々
直交するように、一体化プリズム8が円盤の径方向に対
して傾いて配されている。(b)に示すように、一体化
プリズム8の中心線Cは移動板1の法線Nに対して90
°ではなく、θの角度をもって傾いている。尚、図では
一体化プリズム8の中心線Cと円盤との交点をEで表わ
している。この交点EはPaとPbを結ぶ線分Dの丁度
中点となっている。このように、本実施形態では出射光
軸14bと対応する放射線Rbが交点Pbで直交してい
る。従って、図5に示した合焦線Fが図6の場合Rb上
に位置することになる。この為、スリット実像はRbに
沿ってピントの合った状態で投影される。この部分には
Rbに沿ってスリット自体が位置している。スリット実
像はピントが合った状態でスリット自体に重なる為、高
精度の変位検出が可能になる。
【0019】図7を参照して、図6に示した傾きθの計
算方法を示す。一体化プリズムの中心を8cで表わす。
8cと前述した点Eを結ぶ中心線Cの長さをcとする。
又、8cから下ろした垂線Nと円盤との交点をFで表わ
す。FとEとの距離をxで表わす。一対の交点Pa及び
Pbを結ぶ線分Dの長さをdで表わす。各放射線Ra及
びRbの長さをrで表わす。RaとO及びEを結ぶ直線
との成す角をφで表わす。以上のような設定で、予め
r,d及びcの寸法が与えられいた場合に、傾きθは以
下により算出できる。尚、r,d,cは本光学式エンコ
ーダの設計に基づいて予め決められる量である。先ず、
φ=sin-1((d/2)/r)である。次に、x=
(d/2)tanφを計算する。最後に、θ=cos-1
(x/c)を計算することで、傾きθが求められる。こ
のθだけ、一体化プリズムを円盤に対して傾ければよ
い。
【0020】光学式エンコーダでは、移動板の変位量に
加えて変位方向を検出したい場合が多い。この時には、
互いに位相が90°ずれた一対のエンコーダ出力が必要
になる。両出力の相対的な位相関係に従って変位方向が
検出できる。図8は、変位方向の検出を可能にしたスリ
ット構造及び受光素子構造の例を二通り示している。
(a)の例では、移動板1は一定のピッチPで配列した
スリット5の列に沿って一対の平行トラック21,22
を有している。径方向外側のトラック21に属するスリ
ット5の部分は、内側のトラック22に属するスリット
5の部分に対し1/8ピッチだけ空間位相が実効的にず
れている。従って、外側のトラック21でスリット5自
身とスリット実像13が重なった状態にある時、内側の
トラック22ではスリット5自身とスリット実像13が
1/4ピッチ分だけシフトしている。これに対応して、
受光素子3は外側の受光領域23と内側の受光領域24
とを備えている。これにより受光素子3は位相が互いに
90°ずれた一対の電気信号を出力することになり、移
動板1の変位方向を検出できる。
【0021】(b)の例では、移動板1の径方向に対し
て、スリット5が若干傾斜した状態で形成されており、
内側のトラックに属するスリット5の部分が、外側のト
ラックに属するスリット5の部分に対し、1/8ピッチ
だけ空間位相が実効的にずれるようにしている。この結
果、外側のトラックでスリット5自身とスリット実像1
3が一致した状態にある時、内側のトラックではスリッ
ト5自身とスリット実像13とが実効的に1/4ピッチ
だけシフトすることになる。
【0022】光学式エンコーダでは、移動板の変位量及
び変位方向に加えて、その基準位置を検出したい場合が
多い。図9は、基準位置検出を可能にしたスリット構成
を表わしている。図示するように、移動板1は一定のピ
ッチで配列したスリット5の列からなる主トラックに加
え、第1領域Aと第2領域Bの距離に対応した間隔で配
置した一対の基準スリットパタン25a,25bからな
る副トラックを有している。これに対応して、受光素子
は主トラックと副トラックに夫々割り当てられた受光領
域を有し、移動板1の変位に加えその基準位置を検出す
る。具体的には、一対の基準スリットパタン25a,2
5bは各々単スリットからなり、主トラック側のスリッ
ト5の列に対し内側に配置されている。両スリットパタ
ン25a,25bの角度間隔αは、第1領域A及び第2
領域B間の角度間隔と等しい。今移動板1が時計方向に
回転変位していると、一方の基準スリットパタン25a
が第2領域Bに到達した時、他方のスリットパタン25
bが第1領域Aに達し、その実像が第2領域Bに投影さ
れる。従って、受光素子は基準スリットパタン25bの
実像が基準スリットパタン25a自身に重なった時、移
動板1の基準位置を表わす検出信号を出力することにな
る。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
受光素子と光源が移動板の一面側に配置し、両者を光学
的に連結する投影手段が移動板の他面側に配置されてい
る。投影手段は光源によって照し出されたスリット物像
を反転したスリット実像に等倍変換して受光素子に投影
する。受光素子はスリット自身をマスクとして反対方向
に移動するスリット実像を受光し移動板の変位を検出し
ている。投影手段は等倍反転光学系からなり、コリメー
タレンズと結像レンズと両レンズ間の光路を折り曲げて
像回転を行なう互いに直角を成す2枚のミラーとで構成
されている。例えば、この投影手段は一体化プリズムか
らなり、互いに直角を成す2枚のミラーを構成する全反
射面とコリメータレンズとが配された入射面と結像レン
ズが配された出射面とを備えている。この構成はコリメ
ータレンズを用いている為、光源光の利用効率が改善で
き高出力のエンコーダが得られる。又、この等倍反転光
学系は収差が少い為高精度なエンコーダが得られる。更
に、プリズムの光学材料は低屈折率でも十分であり、ガ
ラスより安価な樹脂成形品を一体化プリズムに用いるこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる光学式エンコーダの第1実施形
態を示す斜視図である。
【図2】第1実施形態の動作説明図である。
【図3】本発明にかかる光学式エンコーダの第2実施形
態を示す斜視図である。
【図4】第2実施形態の動作説明図である。
【図5】図1に示した第1実施形態の模式的な平面図で
ある。
【図6】本発明にかかる光学式エンコーダの第3実施形
態を示す斜視図及び側面図である。
【図7】図6に示した第3実施形態の幾何説明図であ
る。
【図8】変位方向検出を可能とするスリットパタンの例
を示す模式的な平面図である。
【図9】基準位置検出を可能とするスリットパタンの例
を示す模式的な平面図である。
【図10】従来の光学式エンコーダの一例を示す斜視図
である。
【図11】従来の光学式エンコーダの他の例を示す斜視
図である。
【図12】図11に示した従来例の側面図である。
【図13】図11に示した従来例の説明図である。
【図14】同じく図11に示した従来例の説明図であ
る。
【図15】本発明が解決すべき課題を示す模式図であ
る。
【符号の説明】
1…移動板、2…光源、3…受光素子、4…投影手段、
5…スリット、6…コリメータレンズ、7…結像レン
ズ、8…一体化プリズム、9…スリット物像、13…ス
リット実像、M1…ミラー、M2…ミラー

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1領域及び第2領域を通過する移動坂
    と、該移動板の一面側で第1領域に対面配置した光源
    と、該移動板の一面側で第2領域に対面配置した受光素
    子と、該移動板の他面側で第1領域と第2領域の間に介
    在する投影手段とを備えた光学式エンコーダであって、 前記移動板は第1領域及び第2領域を結ぶ移動方向に沿
    って一定のピッチで配列したスリットを有し、 前記光源は第1領域を通過するスリットを照明してスリ
    ット物像を形成し、 前記投影手段は第1領域に照し出された該スリット物像
    を反転したスリット実像に等倍変換して第2領域に投影
    する等倍反転光学系からなり、第1領域に対面するコリ
    メータレンズと、第2領域に対面する結像レンズと、両
    レンズ間の光路を折り曲げて像回転を行なう互いに直角
    を成す2枚のミラーとを含み、 前記受光素子は第2領域を通過するスリットをマスクと
    して反対方向に移動する該スリット実像を受光し該移動
    板の変位を検出することを特徴とする光学式エンコー
    ダ。
  2. 【請求項2】 前記投影手段は、互いに直角を成す2枚
    のミラーを構成する全反射面と、該コリメータレンズが
    配された入射面と、該結像レンズが配された出射面とを
    備えた一体化プリズムであることを特徴とする請求項1
    記載の光学式エンコーダ。
  3. 【請求項3】 前記コリメータレンズと前記結像レンズ
    は1枚のコリメータ/結像レンズで兼用され、該入射面
    と該出射面を兼ねた入出射面に配されていることを特徴
    とする請求項2記載の光学式エンコーダ。
  4. 【請求項4】 前記移動板は周方向にスリットを配列し
    て回転変位する円盤であり、前記コリメータレンズ及び
    結像レンズの光軸の夫々と、該円盤の回転中心と各光軸
    が円盤に交わる交点を結ぶ各直線とが夫々直交するよう
    に、前記投影手段が該円盤の径方向に対して傾いて配さ
    れていることを特徴とする請求項1記載の光学式エンコ
    ーダ。
  5. 【請求項5】 前記移動板は一定のピッチで配列したス
    リットの列に沿って一対の平行トラックを有し一方のト
    ラックに属するスリットの部分は他方のトラックに属す
    るスリットの部分に対し1/8ピッチだけ空間位相が実
    効的にずれていると共に、前記受光素子は一対の平行ト
    ラックに対応して一対の受光領域を備えており該移動板
    の変位量に加え変位方向の検出を行なうことを特徴とす
    る請求項1記載の光学式エンコーダ。
  6. 【請求項6】 前記移動板は一定のピッチで配列したス
    リットの列からなる主トラックに加え第1領域と第2領
    域の距離に対応した間隔で配置した一対の基準スリット
    パタンからなる副トラックを有し、前記受光素子は主ト
    ラックと副トラックに夫々割り当てられた受光領域を有
    し該移動板の変位に加えその基準位置を検出することを
    特徴とする請求項1記載の光学式エンコーダ。
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