JPH1011714A - 固定マルチチャンネル磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スペーシング抑制溝を備えたヘッドの製造コ
ストの削減、ならびに良好なトラッキングを実現する。 【解決手段】 耐研磨性に優れた非磁性体セラミックの
基板２に対してその上面４に磁気コアとなる磁性膜を成
膜するための複数の溝６を機械加工によって形成する。
基板２の両側部８をそれぞれ端面１０より一定の幅で切
削し、一部を残してテープガイド突起１６を形成する。
さらに、両側の端面１４に一定の間隔で複数のスペーシ
ング抑制溝１８を形成する。以下、従来どうり磁気コ
ア、薄膜コイルなどを形成し、２枚の基板を対向接合し
て、中央で切断分離した後、テープ摺動面となる端面１
４をラッピングして埋め込み型薄膜ヘッドとしての固定
マルチチャンネル磁気ヘッドを完成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、埋め込み型薄膜ヘ
ッドから成る固定マルチチャンネル磁気ヘッドおよびそ
の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ビデオテープレコーダでは一般にいわゆ
るヘリカルスキャン方式が用いられており、傾斜させて
配置した回転ドラムにより磁気ヘッドを回転させ、磁気
テープに対して情報の記録再生を行う構成となってい
る。一方、ヘッドを固定して情報の記録再生を行う方式
は、ヘリカルスキャン方式に比べてテープの走行系が簡
素であることから、データストレッジ、デジタルオーデ
ィオ機器などに幅広く採用されている。図７はこのよう
な従来の情報記録再生装置を構成するテープ走行系を示
す構成図である。このテープ走行系は、記録用固定ヘッ
ド１０２と再生用固定ヘッド１０４が並設され、それら
に対して磁気テープ１０６が、ガイドポスト１０８によ
りガイドされて摺動する構成となっている。

【０００３】このような装置では情報の転送速度を高め
るため、記録用固定ヘッド１０２や再生用固定ヘッド１
０４として、１つのヘッドに複数のギャップが形成され
た固定マルチチャンネル磁気ヘッドが用いられている。
図８はこのような固定マルチチャンネル磁気ヘッドの一
例を示す概略斜視図である。この固定マルチチャンネル
磁気ヘッド１１０では、ヘッド本体１１２のテープ摺動
面１１４に、上下に一定の間隔をおいて複数のギャップ
１１６が形成されている。図９はこの固定マルチチャン
ネル磁気ヘッド１１０に対して磁気テープ１１８が摺動
している状態を示す斜視図である。

【０００４】このような固定マルチチャンネル磁気ヘッ
ドを用いて情報の高速転送を図る場合、１つのヘッドに
設けるギャップの数を多くするほど、また磁気テープ１
０６の走行速度を速くするほど転送速度を高めることが
できる。しかし、ギャップの数は使用するテープの幅に
よって制限され、またギャップの製造技術からも制限さ
れる。したがってギャップ数の増大により転送速度を高
めることには限界がる。一方、テープの走行速度は、原
理的には無制限に速くすることができるが、テープの高
速走行によってテープとヘッドとの間に隙間（以下、ス
ペーシングともいう）が形成されるという問題があり、
これを解決する必要がある。スペーシングｄは、Ｅｓｈ
ｅｌ ａｎｄ Ｅｌｒｏｄの式（Ａ．Ｅｓｈｅｌａｎｄ
Ｈ．Ｇ Ｅｌｒｏｄ、Ｊｒ．、”Ｓｔｉｆｎｅｓｓ
Ｅｆｆｅｃｔｓｏｎ ｔｈｅ Ｉｎｆｉｎｉｔｅｌｙ
Ｗｉｄｅ Ｆｏｉｌ Ｂｅａｒｉｎｇ”，Ｊ．Ｌｕｂ
ｒ．Ｔｅｃｈｎｏｌ．，Ｔｒａｎｓ．ＡＳＭＥ ８９，
９２（１９６７））によると次のように表される。

【０００５】

【数１】 ただし、ｄ：スペーシング（ｍ） α：係数 ０．１５６０ μ：空気の粘性係数 １．８８１２×１０（ｋｇ・ｓ・
ｍ） Ｖ：テープ走行速度（ｍ／ｓ） Ｔ：単位幅当たりのテンション（Ｎ／ｍ） Ｒ：固定ヘッドの先端半径（ｍ） 従って、この式から分るように、テープの走行速度Ｖが
速くなるほどスペーシングｄは大きくなる。そして、ス
ペーシングが大きくなると、それに伴って記録再生時の
スペーシング損失も大きくなる。例えば、再生時には、
記録波長がλのときスペーシング損失Ｌｓは次式で表さ
れ、スペーシングｄに比例してスペーシング損失Ｌｓ
（ｄＢ）が増大する。

【０００６】

【数２】 そこで従来はこのスペーシング損失を低減するため、ヘ
ッドのテープ摺動面に溝を形成している。図１０はこの
ような従来の固定マルチチャンネル磁気ヘッドの一例を
示す斜視図である。この固定マルチチャンネル磁気ヘッ
ド１２０では、ヘッド本体１２２のテープ摺動面１２４
に、上下に一定の間隔をおいて複数のスペーシング抑制
溝１２６が形成されている。各溝はギャップ１２８の位
置を避けて形成され、テープの走行方向に延在してい
る。

【０００７】このようなスペーシング抑制溝１２６を形
成した場合には、ヘッド表面を摺動するテープと、スペ
ーシング抑制溝１２６の奥部との間隔が、ほぼスペーシ
ング抑制溝１２６の深さの分だけ大きくなる。これによ
り、スペーシング抑制溝１２６の箇所ではテープを支え
る空気圧が低下し、テープは主にギャップ１２８の箇所
で支えられることになる。その結果、この箇所でのヘッ
ドに対するテープの押し付け力が増大し、スペーシング
が小さくなると考えられる。

【０００８】スペーシング抑制溝１２６の箇所での単位
幅当たりのテンションＴ１は、スペーシング抑制溝１２
６の深さをｈとしたとき、数１より、

【数３】 となり、またギャップ１２８の箇所での単位幅当たりの
テンションＴ２は、同じく数１より、

【数４】 となる。これら両式の和がテープ全体のテープテンショ
ンを支えることになる。つまり、

【数５】 を解くことにより、スペーシングを一定水準以下に抑え
たい場合のスペーシング抑制溝１２６の形状寸法を決め
ることができる。なお、上式中、ｗはスペーシング抑制
溝１２６の幅、Ｔｐはギャップ１２８間のピッチであ
る。

【０００９】一方、情報の正確な記録再生のためには、
磁気テープ上の情報記録箇所とヘッドのギャップとが常
に正しく位置が一致した状態で、テープがヘッド面を摺
動する（すなわち、ヘッドがテープ上の情報記録箇所を
正しくトラッキングする）必要がある。上述したヘリカ
ルスキャン方式の場合には、固定された下ドラムに螺旋
状にリードが形成されており、テープはその下側側端部
がリードにガイドされる結果、安定したトラッキングが
得られるようになっている。

【００１０】しかし、従来の固定マルチチャンネル磁気
ヘッドでは、図９にも示したように、ヘッド自体にはそ
のようなガイドは設けられておらず、トラッキングの安
定は、図７に示したように、記録用固定ヘッド１０２お
よび再生用固定ヘッド１０４に近接して配置されたガイ
ドポスト１０８により確保するよう図られている。

【００１１】従来、このような固定マルチチャンネル磁
気ヘッドは、多数のギャップを形成するのに有利な埋め
込み型薄膜ヘッドにより形成されることが多い。そし
て、この埋め込み型薄膜ヘッドは、例えば図１１に示す
ような工程により製造されている。

【００１２】すなわち、まず最初の工程（Ａ）では、耐
研磨性に優れた非磁性体セラミック（ＮｉＯ−ＣａＯ−
ＴｉＯ）の基板１３０の上面１３２に、ヘッドの各ギャ
ップに対応する複数の溝１３４を一定の間隔で互いに平
行に、機械加工により形成する。この基板１３０に対し
て、工程（Ｂ）では、スパッタリングを行って、上面１
３２にセンダスト磁性膜１３６を成膜し、その後、工程
（Ｃ）で、機械加工により磁気コア半体１３８を形成す
る。そして、不要部のセンダスト磁性膜１３６を除去し
た後、工程（Ｄ）において、溝１３４に５７０°Ｃ程度
の温度でガラスを充填し、冷却後、表面を研磨して平滑
面１４０とする。

【００１３】次に、工程（Ｅ）では、上記平滑面１４０
上に、イオンミリングにより巻線用の窪み１４２を形成
し、工程（Ｆ）において、上記窪み１４２内に薄膜コイ
ル１４４をメッキ法によって形成した後、窪み１４２内
にフォトレジストを充填し熱硬化させる。そして、工程
（Ｇ）では、ギャップ接合用の金膜１４６を基板１３０
の上面に成膜し、不要箇所の金膜１４６を除去する。そ
の後、工程（Ｈ）において、基板１３０を中央で切断し
た後、切断により得られた２枚の基板を、上面どうしを
対向させて密着し、金の拡散接合によりギャップ１４８
を形成すると同時に双方の薄膜コイルの接点部分を接合
する。その後、基板１３０端面のテープ摺動部の成形や
研磨などを行って、埋め込み型薄膜ヘッドを完成させ
る。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の固
定マルチチャンネル磁気ヘッドには次のような問題があ
る。スペーシングの抑制は上述したようにヘッドのテー
プ摺動面１２４（図１０）にスペーシング抑制溝１２６
を形成することで実現できるが、従来、スペーシング抑
制溝１２６は、ヘッド本体１２２が完成した後に、テー
プ摺動面１２４に対して機械加工を行うことにより形成
していた。その際、ギャップ部などには傷が付かないよ
う注意を払ったり、またヘッド本体１２２には必要以上
に強い力が加わらないようにしなければならず、その結
果、作業は非常に手間と時間の掛かるものとなり、コス
トアップの原因となっていた。

【００１５】一方、上述したように従来の固定マルチチ
ャンネル磁気ヘッドでは、ヘッド自体にはテープのガイ
ド手段が設けられていないので、必ずしも良好なトラッ
キングが得られない場合があった。固定ヘッドのケース
にテープガイドの機能を持たせることも可能であるが、
一般に製造技術の点で実現は困難と考えられる。

【００１６】そこで本発明の目的は、スペーシング抑制
溝１２６を備えたヘッドを作成する際のコストダウンを
可能とする固定マルチチャンネル磁気ヘッドの製造方
法、ならびに良好なトラッキングが得られる固定マルチ
チャンネル磁気ヘッドおよびその製造方法を提供するこ
とにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、複数のヘッドを構成するための半体磁気コ
ア、薄膜コイル、ならびにギャップ材膜を形成した２枚
の基板を接合して埋め込み型薄膜ヘッドから成る固定マ
ルチチャンネル磁気ヘッドを製造する方法において、磁
気コアとなる磁性膜を成膜するための複数の溝を前記基
板上に加工形成するとき、前記基板の端面に間隔をおい
て複数のスペーシング抑制溝を形成することを特徴とす
る。

【００１８】本発明はまた、複数のヘッドを構成するた
めの半体磁気コア、薄膜コイル、ならびにギャップ材膜
を形成した２枚の基板を接合して埋め込み型薄膜ヘッド
から成る固定マルチチャンネル磁気ヘッドを製造する方
法において、磁気コアとなる磁性膜を成膜するための複
数の溝を前記基板上に加工形成するとき、前記基板端部
の端面に前記溝とほぼ平行な方向に突出するテープガイ
ド突起を形成することを特徴とする。

【００１９】本発明はまた、埋め込み型薄膜ヘッドから
成る固定マルチチャンネル磁気ヘッドであって、磁気テ
ープ摺動面の下端部および上端部のうちの少なくとも一
方の、磁気テープ側端部が走行する位置にテープガイド
突起が形成されていることを特徴とする。

【００２０】本発明の固定マルチチャンネル磁気ヘッド
の製造方法では、磁気コアとなる磁性膜を成膜するため
の溝を基板上に加工形成する際に、溝と共に、基板の端
面に間隔をおいて複数のスペーシング抑制溝を形成す
る。したがって、その後、このような基板をもとに、複
数のヘッドを構成するための半体磁気コア、薄膜コイ
ル、ならびにギャップ材膜を形成して埋め込み型薄膜ヘ
ッドを完成させると、その段階ですでにスペーシング抑
制溝が形成された固定マルチチャンネル磁気ヘッドを得
ることができる。そのため、従来のようにヘッド本体を
作成した後に機械加工などを行ってスペーシング抑制溝
を形成する必要がない。

【００２１】また、本発明の固定マルチチャンネル磁気
ヘッドの製造方法では、磁気コアとなる磁性膜を成膜す
るための溝を基板上に加工形成する際に、溝と共に、基
板端部の端面に溝とほぼ平行な方向に突出するテープガ
イド突起を形成する。したがって、その後、このような
基板をもとに、複数のヘッドを構成するための半体磁気
コア、薄膜コイル、ならびにギャップ材膜を形成して埋
め込み型薄膜ヘッドを完成させると、磁気テープ摺動面
の下端部および上端部のうちの少なくとも一方の、磁気
テープ側端部が走行する位置にテープガイド突起が形成
された固定マルチチャンネル磁気ヘッドが得られる。こ
の固定マルチチャンネル磁気ヘッドを用いることによ
り、走行するテープはテープガイド突起により効果的ガ
イドされ、良好なトラッキングを実現できる。

【００２２】そして、本発明の固定マルチチャンネル磁
気ヘッドでは、磁気テープ摺動面の下端部および上端部
のうちの少なくとも一方の、磁気テープ側端部が走行す
る位置にテープガイド突起が形成されているので、走行
するテープはテープガイド突起により効果的ガイドさ
れ、良好なトラッキングを実現できる。

【００２３】

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態について
説明する。以下では、図１ないし図４などを参照して本
発明の固定マルチチャンネル磁気ヘッドの製造方法およ
び固定マルチチャンネル磁気ヘッドの一例について説明
する。図１ないし図４は本発明による固定マルチチャン
ネル磁気ヘッドの製造方法の一実施の形態における各工
程を示す斜視図、図５は、本発明による固定マルチチャ
ンネル磁気ヘッドの一例を示す斜視図である。

【００２４】本実施の形態は、固定マルチチャンネル磁
気ヘッドとして埋め込み型薄膜ヘッドを作成するもので
あり、図１１に示した従来の各工程のうち、本実施の形
態と特に異なるのは図１１の工程（Ａ）である。すなわ
ち、図１に示すように、まず平面視矩形の、耐研磨性に
優れた非磁性体セラミック（ＮｉＯ−ＣａＯ−ＴｉＯ）
の基板２に対してその上面４に従来と同様に、磁気コア
となる磁性膜を成膜するための複数の溝６を機械加工に
よって形成する。溝６の数は本実施の形態では４本であ
り、それらは一定の間隔で平行に形成する。その後、基
板２の両側部８をそれぞれ端面１０より一定の幅で切削
する。ただし、その際、一方の端部１２では切削を行わ
ず、その箇所では基板２をそのまま残す。その結果、図
１に示すように、基板２の端部１２の端面１４に溝６と
ほぼ平行な方向に突出するテープガイド突起１６が形成
される。

【００２５】その後、両側の端面１４に一定の間隔で複
数のスペーシング抑制溝１８を形成する。本実施の形態
では、図１に示すように、３つのスペーシング抑制溝１
８を、それぞれ溝６に近接させ、窪みの方向が溝６と平
行となるように形成する。その後は、図１１の（Ｂ）〜
（Ｈ）に示した各工程と基本的に同じ工程で埋め込み型
薄膜ヘッドを作成する。すなわち、テープガイド突起１
６およびスペーシング抑制溝１８が形成された基板２に
対して、スパッタリングを行って、上面４にセンダスト
磁性膜を成膜し、その後、機械加工により磁気コア半体
を形成する。そして、不要部のセンダスト磁性膜を除去
した後、溝に５７０°Ｃ程度の温度でガラスを充填し、
冷却後、表面を研磨して平滑面とする。次に、上記平滑
面上に、イオンミリングにより巻線用の窪みを形成し、
上記窪み内に薄膜コイルをメッキ法によって形成した
後、窪み内にフォトレジストを充填し熱硬化させる。そ
して、ギャップ接合用の金膜を基板の上面に成膜し、不
要箇所の金膜を除去する。

【００２６】次に、このようにして得られた２枚の基板
２を、図２に示すように、一方を反転させ、双方の上面
４を対向させて密着させる。なお図２において、各基板
２には上記各工程によりセンダスト磁性膜２０、薄膜コ
イル２２などが上記溝６の箇所に形成されている。２枚
の基板２を密着させた結果、各基板２は図３に示す状態
となり、金の拡散接合によりギャップ２４が形成され、
同時に双方の薄膜コイル２２の接点部分が接合される。

【００２７】その後、図４に示すように、基板２を中央
で切断して２つに分離し、それぞれのテープ摺動面２６
をラッピングすることにより、埋め込み型薄膜ヘッドと
しての２つの固定マルチチャンネル磁気ヘッドが完成す
る。図５はこのようにして得られた固定マルチチャンネ
ル磁気ヘッド２８を示している。この図に示すように、
ヘッド本体３０のテープ摺動面２６には、上下に一定の
間隔をおいて、４つのギャップ２４と共にスペーシング
抑制溝１８がすでに形成されている。また、ヘッド本体
３０の下端部にはテープガイド突起１６が形成されてい
る。図６はこの固定マルチチャンネル磁気ヘッド２８に
対して磁気テープ３２が摺動している状態を示す斜視図
である。

【００２８】したがって、本実施の形態の固定マルチチ
ャンネル磁気ヘッドの製造方法によれば、従来のように
ヘッド本体３０を作成した後に機械加工などを行ってス
ペーシング抑制溝１８を形成する必要がない。そのた
め、手間と時間の掛かる作業は不要であり、固定マルチ
チャンネル磁気ヘッド２８の作成におけるコストダウン
を実現できる。

【００２９】また、本実施の形態の固定マルチチャンネ
ル磁気ヘッドの製造方法によれば、テープ摺動面下端部
の磁気テープ３２の側端部が走行する位置にテープガイ
ド突起１６が形成される。従ってこの固定マルチチャン
ネル磁気ヘッド２８を用いた場合には、走行する磁気テ
ープ３２はテープガイド突起１６により効果的ガイドさ
れ、その結果、良好なトラッキングを実現することがで
きる。すなわち、本実施の形態ではこのようなテープガ
イド突起１６を備えた固定ヘッドを容易に作成すること
ができる。そして、テープガイド突起１６はギャップ列
の真下に形成されギャップ２４に極めて近接しているの
で、従来のように固定ヘッドに近接して配置したガイド
ポールにより磁気テープ３２をガイドする場合に比べト
ラッキングの精度を大幅に高めることができる。

【００３０】さらに、従来の製造工程と異なるのは、基
本的に最初に基板２に対し機械加工を行う工程のみであ
るから、既存の製造工程を大きく変えることなくスペー
シング抑制溝１８およびテープガイド突起１６を備えた
固定ヘッドを製造することができる。なお、本実施の形
態では、テープガイド突起１６はヘッド本体３０の下端
部に形成したが、下端部の代りに上端部に形成したり、
あるいは上端部および下端部の両方にテープガイド突起
１６を設けて一層のトラッキング精度の向上を図ること
も可能である。

【００３１】また、本実施の形態では、２枚の基板２を
接合し、その後、２つに切断分離して２つのヘッドを作
成するとしたが、切断せずに１つのヘッドのみを作成す
るようにしてもよい。その場合には、基板２の端面に形
成するスペーシング抑制溝１８およびテープガイド突起
１６は一方の端面にのみ形成すればよい。また、２枚の
基板２を接合する代りに、１枚の基板２を半分に切断し
てそれらを接合するという方法も有効である。

【００３２】そして、上記実施の形態では、スペーシン
グ抑制溝１８およびテープガイド突起１６の両方を形成
するとしたが、いずれか一方のみを形成することも無論
可能である。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように本発明の固定マルチ
チャンネル磁気ヘッドの製造方法では、磁気コアとなる
磁性膜を成膜するための溝を基板上に加工形成する際
に、溝と共に、基板の端面に間隔をおいて複数のスペー
シング抑制溝を形成する。したがって、その後、このよ
うな基板をもとに、複数のヘッドを構成するための半体
磁気コア、薄膜コイル、ならびにギャップ材膜を形成し
て埋め込み型薄膜ヘッドを完成させると、その段階です
でにスペーシング抑制溝が形成された固定マルチチャン
ネル磁気ヘッドを得ることができる。そのため、従来の
ようにヘッド本体を作成した後に機械加工などを行って
スペーシング抑制溝を形成する必要がない。その結果、
手間と時間の掛かる作業は不要となり、固定マルチチャ
ンネル磁気ヘッドの作成におけるコストダウンを実現で
きる。

【００３４】また、本発明の固定マルチチャンネル磁気
ヘッドの製造方法では、磁気コアとなる磁性膜を成膜す
るための溝を基板上に加工形成する際に、溝と共に、基
板端部の端面に溝とほぼ平行な方向に突出するテープガ
イド突起を形成する。したがって、その後、このような
基板をもとに、複数のヘッドを構成するための半体磁気
コア、薄膜コイル、ならびにギャップ材膜を形成して埋
め込み型薄膜ヘッドを完成させると、磁気テープ摺動面
の下端部および上端部のうちの少なくとも一方の、磁気
テープ側端部が走行する位置にテープガイド突起が形成
された固定マルチチャンネル磁気ヘッドが得られる。こ
の固定マルチチャンネル磁気ヘッドを用いることによ
り、走行するテープはテープガイド突起により効果的ガ
イドされ、良好なトラッキングを実現できる。そして、
このようなテープガイド突起をヘッド本体に容易に形成
することができる。

【００３５】さらに、本発明の上記いずれの固定マルチ
チャンネル磁気ヘッドの製造方法においても、従来の製
造工程と異なるのは、基本的に最初に基板に対し機械加
工を行う工程のみであるから、既存の製造工程を大きく
変えることなくスペーシング抑制溝およびテープガイド
突起を備えた固定ヘッドを製造することができる。

【００３６】そして、本発明の固定マルチチャンネル磁
気ヘッドでは、磁気テープ摺動面の下端部および上端部
のうちの少なくとも一方の、磁気テープ側端部が走行す
る位置にテープガイド突起が形成されているので、走行
するテープはテープガイド突起により効果的ガイドさ
れ、良好なトラッキングを実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による固定マルチチャンネル磁気ヘッド
の製造方法の一実施の形態における一工程を示す斜視図
である。

【図２】本発明による固定マルチチャンネル磁気ヘッド
の製造方法の一実施の形態における一工程を示す斜視図
である。

【図３】本発明による固定マルチチャンネル磁気ヘッド
の製造方法の一実施の形態における一工程を示す斜視図
である。

【図４】本発明による固定マルチチャンネル磁気ヘッド
の製造方法の一実施の形態における一工程を示す斜視図
である。

【図５】本発明による固定マルチチャンネル磁気ヘッド
の一例を示す斜視図である。

【図６】固定マルチチャンネル磁気ヘッドに対して磁気
テープが摺動している状態を示す斜視図である。

【図７】従来の情報記録再生装置を構成するテープ走行
系を示す構成図である。

【図８】固定マルチチャンネル磁気ヘッドの一例を示す
斜視図である。

【図９】固定マルチチャンネル磁気ヘッドに対して磁気
テープが摺動している状態を示す斜視図である。

【図１０】従来の固定マルチチャンネル磁気ヘッドの一
例を示す斜視図である。

【図１１】（Ａ）〜（Ｈ）は従来の埋め込み型薄膜ヘッ
ドの製造工程を示す工程図である。

【符号の説明】

２，１３０……基板、４，１３２……上面、６，１３４
……溝、８……側部、１０，１４……端面、１２……端
部、１６……テープガイド突起、１８，１２６……スペ
ーシング抑制溝、２０，１３６……センダスト磁性膜、
２２，１４４……薄膜コイル、２４，１１６，１２８，
１４８……ギャップ、２６，１１４，１２４……テープ
摺動面、２８，１１０，１２０……固定マルチチャンネ
ル磁気ヘッド、３０，１１２，１２２……ヘッド本体、
３２，１０６，１１８……磁気テープ、１０２……記録
用固定ヘッド、１０４……再生用固定ヘッド、１０８…
…ガイドポスト、１３８……磁気コア半体、１４０……
平滑面、１４２……窪み、１４６……金膜。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のヘッドを構成するための半体磁気
   コア、薄膜コイル、ならびにギャップ材膜を形成した２
   枚の基板を接合して埋め込み型薄膜ヘッドから成る固定
   マルチチャンネル磁気ヘッドを製造する方法において、 磁気コアとなる磁性膜を成膜するための複数の溝を前記
   基板上に加工形成するとき、前記基板の端面に間隔をお
   いて複数のスペーシング抑制溝を形成する、 ことを特徴とする固定マルチチャンネル磁気ヘッドの製
   造方法。
2. 【請求項２】 前記スペーシング抑制溝は前記溝とほぼ
   同じピッチで形成する請求項１記載の固定マルチチャン
   ネル磁気ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 前記スペーシング抑制溝は機械加工によ
   り形成する請求項１または２に記載の固定マルチチャン
   ネル磁気ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 前記スペーシング抑制溝は前記溝に近接
   して形成する請求項１ないし３のいずれかに記載の固定
   マルチチャンネル磁気ヘッドの製造方法。
5. 【請求項５】 複数のヘッドを構成するための半体磁気
   コア、薄膜コイル、ならびにギャップ材膜を形成した２
   枚の基板を接合して埋め込み型薄膜ヘッドから成る固定
   マルチチャンネル磁気ヘッドを製造する方法において、 磁気コアとなる磁性膜を成膜するための複数の溝を前記
   基板上に加工形成するとき、前記基板端部の端面に前記
   溝とほぼ平行な方向に突出するテープガイド突起を形成
   する、 ことを特徴とする固定マルチチャンネル磁気ヘッドの製
   造方法。
6. 【請求項６】 前記テープガイド突起は、前記基板の端
   面を切削して形成する請求項５記載の固定マルチチャン
   ネル磁気ヘッドの製造方法。
7. 【請求項７】 埋め込み型薄膜ヘッドから成る固定マル
   チチャンネル磁気ヘッドであって、 磁気テープ摺動面の下端部および上端部のうちの少なく
   とも一方の、磁気テープ側端部が走行する位置にテープ
   ガイド突起が形成されている、 ことを特徴とする固定マルチチャンネル磁気ヘッド。
8. 【請求項８】 前記テープガイド突起はヘッド本体と一
   体に形成されている請求項７記載の固定マルチチャンネ
   ル磁気ヘッド。
9. 【請求項９】 前記テープガイド突起は、ヘッドに形成
   されたギャップ列の延長線上に形成されている請求項７
   または８に記載の固定マルチチャンネル磁気ヘッド。