JPH10100137A - スライシングマシンにおけるウエハ回収装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の駆動系を制御するため、ウエハの回収
に複雑な制御系を必要とする上、装置が大型かつ高価と
なる不具合がある。 【解決手段】 チャックボディ１を回転させながら、イ
ンゴット５をスライス方向へ移動させて、上記チャック
ボディ１に取付けられたカッタブレード４で上記インゴ
ット５をスライスするようにしたスライシンクマシンに
おいて、上記チャックボディ１内に収容され、かつ連動
手段２３により互に連動された複数のアーム２０，２
２，２４と、上記のアーム２０，２２，２４を駆動し
て、ウエハ吸着手段２６を有するアーム２４を、ウエハ
受け渡し位置とウエハ回収位置との間を往復動させる単
一の駆動源１７とより構成したため、制御系が簡単とな
る上、複数のアーム２０，２２，２４をコンパクトにチ
ャックボディ１内に収納できるため、小型の装置を安価
に提供することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はスライシングマシ
ンによりスライスされたウエハを回収するためのウエハ
回収装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来この種の装置としては、実開昭５７
−８３８１９号（実公昭６１−２００８号）公報や、特
開昭６１−２１５００６号公報などに記載されたものが
公知である。

【０００３】実開昭５７−８３８１９号公報に記載され
た「ウエハ引き出し装置」は、カッタスピンドルの後方
よりカッタスピンドル内へ進退自在なチャックを有して
いて、このチャックは無端状のワイヤを介してシリンダ
により前後動されるように構成されており、素材の切断
中は上記チャックはカッタスピンドルの後方に待機して
いる。そして切断完了前に前進されて、切断直前の素材
を吸着保持すると共に、切断後、後退してカッタスピン
ドル内よりウエハを引き出すように構成されている。

【０００４】また特開昭６１−２１５００６号公報に記
載の「ウエハ取出し装置」は、それぞれ独立したモータ
で駆動される第１軸、第２軸及び中空軸を有していて、
第２軸及び中空軸の先端はエアベアリング内を通ってブ
レードヘッド内に突出されている。そして中空軸の先端
に第１ベースの一端が固着されていると共に、第１ベー
スの他端第２アームを介して第３アームが取付けられて
おり、第２アームと第３アームの間は無端状のチェーン
を介して連動されていて、第１軸、第２軸及び中空軸を
駆動するモータを同期制御することにより、第３アーム
に設けられた吸着パッドが吸着したウエハを、ウエハの
ほぼ中心とエアベアリングの中心を結ぶ中心線に沿って
移動させて、エアベアリング内より後方へ取出すように
構成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし前者公報のウエ
ハ引き出し装置では、スライスする素材の軸心とこれを
取出すチャックの軸心が一致しているため、スライスさ
れたウエハは、カッタスピンドル内より後方へ取出す必
要がある。またチャックの軸心と素材の軸心を一致させ
た状態で素材を固定し、かつカッタスピンドルを移動さ
せて素材をスライスする構成のため、カッタスピンドル
の内径は、チャック径十送り量（素材径）が必要とな
り、このためスライスする素材の径が大きくなると、カ
ッタスピンドルの径も大きくなって装置全体が大型かつ
高価となる不具合がある。

【０００６】一方後者公報のウエハ取出し装置では、第
１軸、第２軸及び中空軸を駆動するモータを同期制御す
る必要があるため、制御が複雑となると共に、３系統の
駆動系を必要とするため、装置が複雑かつ高価となるな
どの不具合もある。この発明はかかる従来の不具合を改
善するためになされたもので、単一の駆動源により駆動
されるアーム手段によりウエハの回収を可能にしたウエ
ハ回収装置を提供することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段及び作用効果】上記目的を
達成するため請求項１記載の発明は、チャックボディを
回転させながら、インゴットをスライス方向へ移動させ
て、上記チャックボディに取付けられたカッタブレード
で上記インゴットをスライスするようにしたスライシン
クマシンにおいて、上記チャックボディ内に収容され、
かつ連動手段により互に連動された複数のアームと、上
記アームを駆動して、ウエハ吸着手段を有するアーム
を、ウエハ受け渡し位置とウエハ回収位置との間で往復
動させる単一の駆動源とより構成したものである。

【０００８】上記構成により、単一の駆動手段を制御す
ることにより、ウエハ吸着手段をウエハ受け渡し位置と
ウエハ回収位置との間で往復動させてウエハの回収が行
えるため、制御系を簡単に構成できると共に、チャック
ボティ内に必要以上の空間を設ける必要がないため、大
口径のウエハをスライスする場合でも小型のチャックボ
ディで対応でき、これによってカッタブレードも厚みの
薄いものが使用できるようになるため、切粉として排出
されるロス（カーフロス）が少なくなって、材料の歩留
まりが向上する上、スライシングマシン自体の小型化も
図れるようになる。

【０００９】上記目的を達成するため請求項２記載の発
明は、チャックボディを回転させながら、インゴットを
スライス方向へ移動させて、上記チャックボディに取付
けられたカッタブレードで上記インゴットをスライスす
るようにしたスライシンクマシンにおいて、上記チャッ
クボディ内に収容され、かつ基端部が駆動軸に固着され
た第１アームと、上記第１アームの先端に枢着された第
２アームと、上記第２アームの先端に枢着され、かつス
ライスされたウエハを吸着するウエハ吸着手段を有する
第３アームと、上記第１ないし第３アームの間を連動す
る連動手段と、上記駆動軸に接続され、かつ第３アーム
に設けられたウエハ吸着手段を、ウエハ受け渡し位置と
ウエハ回収位置との間で往復動させる単一の駆動手段と
より構成したものである。

【００１０】上記構成により、単一の駆動手段により駆
動軸を正逆回転させると、連動手段により互に連動され
た第１，第２，第３アームが回動して、第３アームに設
けられたウエハ吸着手段がウエハ受け渡し位置とウエハ
回収位置との間を往復動するため、インゴットよりスラ
イスされたウエハをウエハ回収位置よりウエハ受け位置
へ移動した後、チャックボディの前方より回収すること
ができる。

【００１１】これによって１系統の駆動系により各アー
ムを駆動できるため、駆動系が簡単に構成できると共
に、各アームをコンパクトにチャックボディ内に収納で
きるため、チャックボディの径を必要以上に大きくする
必要がない。

【００１２】上記目的を達成するため請求項３記載の発
明は、ウエハ吸着手段がウエハ受け渡し位置とウエハ回
収位置との間でほぼ直線的に往復動するよう第１アーム
と第２アーム及び第３アームの間を連動手段により連動
したものである。

【００１３】上記構成により、ウエハ吸着手段が最短距
離でウエハ受け渡し位置とウエハ回収位置の間を往復動
するため、ウエハの回収作業が短時間で能率よく行える
ようになる。

【００１４】上記目的を達成するため請求項４記載の発
明は、連動手段を固定軸に設けられた第１ギヤと、第
１，第２アームの枢着部に設けられた第３，第４ギヤ
と、第１，第３ギヤに噛合する第２ギヤと、第２，第３
アームの枢着部に設けられた第６ギヤ及び第４，第６ギ
ヤに噛合する第５ギヤより構成したものである。

【００１５】上記構成により、各アームの間を複数のギ
ヤのみで連動することができるため、各アームの間が簡
単な構成で連動することができると共に、各アーム間が
機械的に連動されるため、各アームを個々に同期制御す
る必要がない。

【００１６】上記目的するため請求項５記載の発明は、
第１ないし第３アームをウエハ受け渡し位置において前
後方向へ進退自在に構成したものである。

【００１７】上記構成により、スライスされたウエハを
チャックボディの前方より取出すことができるため、ウ
エハ搬出手段を簡単に構成することができる。

【００１８】上記目的を達成するため請求項６記載の発
明は、第１ないし第３アームの収納状態の外径を、チャ
ックボディを主軸へ取付ける取付け孔の内径より小さく
なるように構成したものである。

【００１９】上記構成により、メンテナンスの際など
に、各アームを取外すことなくチャックボディを主軸よ
り脱着することができるため、メンテナンスなどが容易
に行える。

【００２０】上記目的を達成するため請求項７記載の発
明は、チャックボディを回転させながら、インゴットを
スライス方向へ移動させて、上記チャックボディに取付
けられたカッタブレードで上記インゴットをスライスす
るようにしたスライシンクマシンにおいて、回転中心と
直交するＸ軸方向へ移動自在なスライダと、上記スライ
ダに設けられ、かつスライスされたウエハを吸着するウ
エハ吸着手段を有するアームと、上記ウエハ吸着手段を
ウエハ受け渡し位置とウエハ回収位置との間で往復動さ
せる単一の駆動手段とより構成したものである。

【００２１】上記構成により、単一の駆動手段によりウ
エハ吸着手段をウエハ受け渡し位置とウエハ回収位置と
の間で往復動できるため、インゴットよりスライスされ
たウエハをウエハ回収位置よりウエハ受け渡し位置へ移
動した後、チャックボディの前方より回収することがで
きると共に、Ｘ軸方向へ移動自在なスライダとこれに取
付られたアームにより主要部を構成できるため、動作が
確実で、かつ構成も簡単となるため安価に提供すること
ができる。

【００２２】上記目的を達成するため請求項８記載の発
明は、インゴットよりスライス終了直前のウエハをウエ
ハ吸着手段が吸着したら、インゴットの移動速度にウエ
ハ吸着手段の移動速度が同期するよう駆動源を電気的に
同期制御したものである。

【００２３】上記構成により、ウエハ吸着手段がスライ
ス終了直前のウエハを吸着すると、インゴットの移動速
度に同期して移動するため、ウエハの未切断部に無理な
力が加わって未切断部が欠損するなどの不具合が生じる
ことがない。

【００２４】上記目的を達成するため請求項９記載の発
明は、駆動軸と駆動源の間にクラッチ手段を設けたもの
である。

【００２５】上記構成により、ウエハ吸着手段がウエハ
を吸着すると同時にクラッチ手段をオフにすることによ
り、ウエハ吸着手段がウエハの移動に追従して移動する
ため、ウエハの移動とウエハ吸着手段の移動を同期制御
する必要がない。

【００２６】

【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図面を参
照して詳述する。図１はスライシングマシンに装備され
たウエハ回収装置の断面図を示すもので、この図で１は
スライシングマシンに設けられたチャックボディを示
す。上記チャックボディ１は前面が開口された円盤状に
形成されていて、軸受け２を介して回転自在な支承され
た中空の主軸３の一端側に取付けられており、図示しな
い主軸モータにより回転されるようになっている。

【００２７】上記チャックボディ１の開口部には、中央
に円孔４ａを有するカッタブレード４が押えリング１ｂ
を介して着脱自在に取付けられており、カッタブレード
４の円孔４ａ内周には円柱状のインゴット５を一端側よ
りスライスする切刃４ｂが形成されている。上記インゴ
ット５は、図示しない切断送りユニットに一端が保持さ
れていて、切断送りユニットにより主軸３の軸線方向
（Ｙ軸）及び軸線と直交するＸ軸方向へ移動自在となっ
ている。

【００２８】一方この発明のウエハ回収装置は、主軸３
の後端側近傍に基台７を有していて、この基台７上に布
設されたガイドレール８に、図示しないＹ軸駆動手段に
よりＹ軸方向に移動自在にスライド９が支承されてい
る。上記スライド９上には支持部材１０が設置されてい
て、この支持部材１０に軸受け１１を介して中空な駆動
軸１２の一端が回転自在に支承されている。

【００２９】上記駆動軸１２は、中心が主軸３の中心と
一致するように主軸３内に設けられていて、他端側はチ
ャックボディ１内に突出されており、この駆動軸１２内
に固定軸１３が挿通されている。固定軸１３の外周面
と、駆動軸１２の内周面との間には複数のプレーン軸受
け１４が設けられていて、固定軸１３にも駆動軸１２が
回転自在に支承されていると共に、固定軸１３の一端は
スライド９上に立設された固定ブラケット１５に固着さ
れ、他端はチャックボディ１内へ突出されている。

【００３０】また上記駆動軸１２の一端側には、従動ギ
ヤ１６が固着されていて、この従動ギヤ１６にスライド
９側に設置された単一の駆動源１７の駆動ギヤ１８が噛
合されている。上記駆動源１７は電動モータより構成さ
れていて、上記駆動軸１２を正逆回転できるようになっ
ている。

【００３１】一方上記チャックボディ１内に突出された
駆動軸１２の他端と、固定軸１３の他端には、第１アー
ム２０、第２アーム２２及び第３アーム２４と、これら
アームの間を機械的に連動する第１ないし第６ギヤ２３
_１ないし２３_６よりなる連動手段２３が設けられてい
る。すなわち上記駆動軸１２の他端には、第１アーム２
０の一端側が固着されており、第１アーム２０の他端側
には、支軸２１を介して第２アーム２２の一端側が回動
自在に支承されている。そして第２アーム２２の一端側
に固着された第３ギヤ２３_３に、固定軸１３の他端に固
着された第１ギヤ２３_１が、第１アーム２０の中間部に
回転自在に支承された第２ギヤ２３_２を介して噛合され
ている。

【００３２】また第２アーム２２の他端側には、第３ア
ーム２４の一端側が回転自在に支承されており、上記支
軸２１に固着された第４ギヤ２３_４と、上記第３アーム
２４に固着された第６ギヤ２３_６が第２アーム２２の中
間部に回転自在に支承された第５ギヤ２３_５を介して噛
合されている。そして上記第３アーム２４の前面に、イ
ンゴット５よりスライスされたウエハ５ａを吸着する複
数の吸着パッドよりなるウエハ吸着手段２６が取付けら
れていると共に、これらウエハ吸着手段２６は、固定軸
１３内に配管された管路２７を介して図示しない真空吸
引手段に接続されている。

【００３３】なお、図４、図７及び図８中２８はウエハ
吸着時切削水による表面張力の影響を減らすためにエア
をブローするエアブローを示す。

【００３４】次に上記構成されたウエハ回収装置の作用
を説明する。スライスすべきインゴット５は切断送りユ
ニットに固定されて、一端側が図９の（イ）に示すよう
に、チャックボディ１に取付けられたカッタブレード４
の円孔４ａ内に挿入され、この状態で主軸モータにより
主軸３を介してカッタボディ１が回転され、カッタブレ
ード４の切刃４ｂによりインゴット５のスライスが開始
される。このときウエハ回収装置の第１ないし第３アー
ム２０，２２，２４は図８に示すように折畳まれた状態
でチャックボディ１の取付け孔１ａの内径より内側に収
納されており、第３アーム２４に設けられた吸着手段２
６の吸着中心とチャックボディ１の回転中心がほぼ一致
している。

【００３５】切断送り手段によりインゴット５がＸ軸方
向へ送られて、カッタブレード４によりインゴット５が
スライスされ、図９の（ロ）に示すようにスライス終了
直前になると、駆動源１７により駆動軸１２が回転され
る。これによって駆動軸１２に固着された第１アーム２
０の回転とともに、固定軸１３に固着された第１ギヤ２
３_１の周囲を第２ギヤ２３_２が回転し、この回転が第２
アーム２２に固着された第４ギヤ２３_４へ伝達されて、
第２アーム２２が回転される。

【００３６】そして第２アーム２２の回転により第５ギ
ヤ２３_５を介して第６ギヤ２３_６が回転されるため、第
６ギヤ２３_６が固着された第３アーム２４が回転する。
これによって図８の実線で示すウエハ受け渡し位置にあ
った第３アーム２４は、図８の仮想線で示すウエハ回収
位置へ移動する。このとき第３アーム２４に設けられた
ウエハ吸着手段２６は、ウエハ受け渡し位置とウエハ回
収位置を結ぶ直線上を図８に示すようにほぼ一直線状に
移動してウエハ回収位置に達する。

【００３７】そしてウエハ回収位置で図９の（ハ）に示
すようにスライス終了直前のウエハ５ａをウエハ吸着手
段２６が吸着すると、インゴット５の移動速度にウエハ
吸着手段２６の移動速度が同期するよう駆動源１７が電
気的に同期制御されるため、インゴット５よりウエハ５
ａが切離されるまでウエハ吸着手段２６はウエハ加工速
度に追従して移動される。

【００３８】そしてスライスが終了してウエハ５ａがイ
ンゴット５より切離されると、駆動源１７により駆動軸
１２が逆転されるため、ウエハ５ａを吸着した第３アー
ム２４は、往路と同じ軌跡を通って図９の（ニ）に示す
ようにウエハ受け渡し位置へ移動され、このウエハ受け
渡し位置でＺ軸駆動手段によりＺ軸方向へ前進されるた
め、第３アーム２４のウエハ吸着手段２６に吸着された
ウエハ５ａは、カッタブレード４の円孔４ａよりカッタ
ブレード４の前方へ突出され、この位置でスライシング
マシン側に設けられた図示しないウエハ搬出手段にウエ
ハ５ａが受け渡されてスライシングマシンより回収され
る。

【００３９】その後第１，第２，第３アーム２０，２
２，２４が元の位置へ復帰している間に、切断送り手段
によりインゴット５の中心がカッタボディ１の中心と一
致する位置まで復帰された後、再び先端がカッタブレー
ド４の円孔４ａ内に挿入され、次のスライス動作が開始
される。以下上記動作を繰返して、インゴット５よりウ
エハ５ａをスライスするもので、単一の駆動源１７を正
逆回転させるだけで、第３アーム２４に設けられた吸着
手段２６を直線的に移動させてウエハ５ａの回収が行え
るようになる。

【００４０】一方メンテナンスなどで主軸３よりチャッ
クボディ１を脱着する場合は、チャックボディ１を主軸
３に取付けている複数のボルト２９を外してチャックボ
ディ１を脱着するが、チャックボディ１の取付け孔１ａ
の内径より、ウエハ受け渡し位置に収納された各アーム
２０，２２，２４の外径が予め小さく設定されているた
め、これらアーム２０，２２，２４を取外すことなくチ
ャックボディ１を脱着でき、これによってメンテナンス
などが容易に行えるようになる。

【００４１】なお図１０及び図１１は、別の実施の形態
を示すもので、次にこれを説明すると、主軸３内に設け
られた中空な固定軸３０の一端がチャックボディ１内に
突設されていて、この固定軸３０の一端に支持板３１が
水平に固着されていて、この支持板３１の前面に上下方
向に離間して一対のガイドレール３２が水平方向に布設
されており、これらガイドレール３２間にスライダ３３
がＸ軸方向へ移動自在に支承されている。

【００４２】上記スライダ３３にはラック３４がガイド
レール３２と平行するように設けられていて、このラッ
ク３４に、上記固定軸３０内に設けられた駆動軸３５の
一端に固着されたピニオン３６が噛合されている。上記
駆動軸３５の他端には単一の駆動源（図示せず）が接続
されていて、この駆動源により駆動軸３５を正逆回転さ
せることにより、スライダ３３をＸ軸方向へ駆動できる
ようになっている。

【００４３】そして上記スライダ３３の一端には、ウエ
ハ吸着手段２６を有するアーム２４′が取付けられてい
て、スライダ３３の移動に伴いウエハ吸着手段２６が図
１０の実線で示すウエハ回収位置と仮想線で示すウエハ
受け渡し位置の間で直線的に往復動されるようになって
いる。

【００４４】次に上記構成されたウエハ回収装置の作用
を説明する。なおスライシングマシンによるインゴット
５のスライス動作は先に説明した実施の形態と同様なの
で、その説明は省略する。

【００４５】インゴット５のスライス中はウエハ吸着手
段２６はウエハ受け渡し位置に待機しており、ウエハ５
ａのスライス終了直前になると、駆動源によりスライダ
３３がＸ軸方向へ移動されて、アーム２４′に設けられ
たウエハ吸着手段２６がウエハ５ａを吸着する。その後
駆動源１７がインゴット５の移動速度に追従するよう同
期制御されるため、ウエハ吸着手段２６はウエハ５ａを
吸着したままインゴット５に追従して移動すると共に、
ウエハ５ａのスライスが終了すると、駆動源１７が逆転
されて、ウエハ吸着手段２６がウエハ受け渡し位置まで
復帰され、この位置でスライシングマシン側に設けられ
たウエハ搬出装置（図示せず）にウエハ５ａが受け渡さ
れて、スライシングマシンより回収される。以下上記動
作繰返すことにより、インゴット５よりスライスされた
ウエハ５ａを回収するものである。

【００４６】なお上記実施の形態のように、単一の駆動
源でスライダ３３をＸ軸方向へ移動させて、スライダ３
３に取付けられたアーム２４′のウエハ吸着手段２６で
ウエハ５ａを回収するようにすれば、ウエハ回収装置の
主要部分の構成が簡単に構成できる効果がある。

【００４７】また上記何れの実施の形態も、ウエハ吸着
手段２６がスライス終了直前のウエハ５ａを吸着した
後、ウエハ加工速度とウエハ吸着手段２６の移動速度が
同期するよう駆動源１７を電気的に同期制御するように
したが、駆動源１７と駆動軸１２，３５の間にクラッチ
手段を介在させて、このクラッチ手段をオン，オフ制御
することにより、ウエハ５ａを吸着したウエハ吸着手段
２６をインゴット５の移動に追従させるようにしてもよ
い。

【００４８】すなわちウエハ吸着手段２６がウエハ５ａ
を吸着したら、クラッチ手段をオフにして、ウエハ吸着
手段２６の動きをフリーにすることにより、インゴット
５の移動にウエハ吸着手段２６が追従するため、駆動源
１７を電気的に同期制御することなく、インゴット５の
移動にウエハ吸着手段２６を追従させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態になるスライシングマシ
ンにおけるウエハ回収装置を示す断面図である。

【図２】図１のＡ方向からの矢視図である。

【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。

【図４】図１のＣ円内の拡大図である。

【図５】この発明の実施の形態になるスライシングマシ
ンにおけるウエハ回収装置の第１アーム部分の正面図で
ある。

【図６】この発明の実施の形態になるスライシングマシ
ンにおけるウエハ回収装置の第２アーム部分の正面図で
ある。

【図７】この発明の実施の形態になるスライシングマシ
ンにおけるウエハ回収装置の第３アーム部分の正面図で
ある。

【図８】この発明の実施の形態になるスライシングマシ
ンにおけるウエハ回収装置の作用説明図である。

【図９】（イ）ないし（ニ）はこの発明の実施の形態に
なるスライシングマシンにおけるウエハ回収装置の作用
説明図である。

【図１０】この発明の別の実施の形態になるスライシン
グマシンにおけるウエハ回収装置の正面図である。

【図１１】図１０のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。

【符号の説明】

１…チャックボディ、１ａ…取付け孔、３…主軸、４…
カッタブレード、５…インゴット、５ａ…ウエハ、１２
…駆動軸、１７…駆動源、２０…第１アーム、２２…第
２アーム、２３…連動手段、２３_１…第１ギヤ、２３_２
…第２ギヤ、２３_３…第３ギヤ、２３_４…第４ギヤ、２
３_５…第５ギヤ、２３_６…第６ギヤ、２４…第３アー
ム、２６…ウエハ吸着手段、３３…スライダ。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 チャックボディ１を回転させながら、イ
   ンゴット５をスライス方向へ移動させて、上記チャック
   ボディ１に取付けられたカッタブレード４で上記インゴ
   ット５をスライスするようにしたスライシンクマシンに
   おいて、上記チャックボディ１内に収容され、かつ連動
   手段２３により互に連動された複数のアーム２０，２
   ２，２４と、上記アーム２０，２２，２４を駆動して、
   ウエハ吸着手段２６を有するアーム２４を、ウエハ受け
   渡し位置とウエハ回収位置との間で往復動させる単一の
   駆動源１７とを具備したことを特徴とするスライシング
   マシンにおけるウエハ回収装置。
2. 【請求項２】 チャックボディ１を回転させながら、イ
   ンゴット５をスライス方向へ移動させて、上記チャック
   ボディ１に取付けられたカッタブレード４で上記インゴ
   ット５をスライスするようにしたスライシンクマシンに
   おいて、上記チャックボディ１内に収容され、かつ基端
   部が駆動軸１２に固着された第１アーム２０と、上記第
   １アーム２０の先端に枢着された第２アーム２２と、上
   記第２アーム２２の先端に枢着され、かつスライスされ
   たウエハ５ａを吸着するウエハ吸着手段２６を有する第
   ３アーム２４と、上記第１ないし第３アーム２０，２
   ２，２４の間を連動する連動手段２３と、上記駆動軸１
   ２に接続され、かつ第３アーム２４を、ウエハ受け渡し
   位置とウエハ回収位置との間で往復動させる単一の駆動
   源１７とを具備したことを特徴とするスライシングマシ
   ンにおけるウエハ回収装置。
3. 【請求項３】 ウエハ吸着手段２６がウエハ受け渡し位
   置とウエハ回収位置との間でほぼ直線的に往復動するよ
   う第１アーム２０と第２アーム２２及び第３アーム２４
   の間を連動手段２３により連動してなる請求項１または
   請求項２記載のスライシングマシンにおけるウエハ回収
   装置。
4. 【請求項４】 連動手段２３を固定軸１３に設けられた
   第１ギヤ２３_１と、第１，第２アーム２０，２２の枢着
   部に設けられた第３，第４ギヤ２３_３，２３_４と、第
   １，第３ギヤ２３_１，２３_３に噛合する第２ギヤ２３_２
   と、第２，第３アーム２２，２４の枢着部に設けられた
   第６ギヤ２３_６及び第４，第６ギヤ２３_４，２３_６に噛
   合する第５ギヤ２３_５より構成してなる請求項１または
   請求項２記載のスライシングマシンにおけるウエハ回収
   装置。
5. 【請求項５】 第１ないし第３アーム２０，２２，２４
   をウエハ受け渡し位置において、前後方向へ進退自在と
   してなる請求項１または２記載のスライシングマシンに
   おけるウエハ回収装置。
6. 【請求項６】 第１ないし第３アーム２０，２２，２４
   の収納状態の外径を、チャックボディ１を主軸３へ取付
   ける取付け孔１ａの内径より小さくしてなる請求項１ま
   たは２記載のスライシングマシンにおけるウエハ回収装
   置。
7. 【請求項７】 チャックボディ１を回転させながら、イ
   ンゴット５をスライス方向へ移動させて、上記チャック
   ボディ１に取付けられたカッタブレード４で上記インゴ
   ット５をスライスするようにしたスライシンクマシンに
   おいて、回転中心と直交するＸ軸方向へ移動自在なスラ
   イダ３３と、上記スライダ３３に設けられ、かつスライ
   スされたウエハ５ａを吸着するウエハ吸着手段２６を有
   するアーム２４′と、上記ウエハ吸着手段２６をウエハ
   受け渡し位置とウエハ回収位置との間で往復動させる単
   一の駆動手段とを具備したことを特徴とするスライシン
   グマシンにおけるウエハ回収装置。
8. 【請求項８】 インゴット５よりスライス終了直前のウ
   エハ５ａをウエハ吸着手段２６が吸着したら、インゴッ
   ト５の移動速度にウエハ吸着手段２６の移動速度が同期
   するよう駆動源１７を電気的に同期制御してなる請求項
   １または２または７記載のスライシングマシンにおける
   ウエハ回収装置。
9. 【請求項９】 駆動軸１２と駆動源１７の間にクラッチ
   手段を設けてなる請求項１または２または７記載のスラ
   イシングマシンにおけるウエハ回収装置。