JPH0991738A - マルチビーム生成方法及びマルチビーム光ヘッド - Google Patents

マルチビーム生成方法及びマルチビーム光ヘッド

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JPH0991738A
JPH0991738A JP7247252A JP24725295A JPH0991738A JP H0991738 A JPH0991738 A JP H0991738A JP 7247252 A JP7247252 A JP 7247252A JP 24725295 A JP24725295 A JP 24725295A JP H0991738 A JPH0991738 A JP H0991738A
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JP
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light
ray
optical
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JP7247252A
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Inventor
Hiroshi Goto
博志 後藤
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 低コストでかつ再生信号の低下のないマルチ
ビーム生成方法及びマルチビーム光ヘッドを提供するこ
と。 【構成】 一つの半導体レーザー1から射出される単一
のビームを複屈折材料からなる複屈折くさび部材5Aと
ガラスからなる逆のガラスくさび部材5Bとを接合した
平行平板5によりマルチビームを生成し、このマルチビ
ームを偏光ビームスプリッタ12によりマルチビームを
分離して受光素子13に入射させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光学的情報記録媒体の
複数のトラックに対して同時に情報の再生を行なうマル
チビーム生成方法及びマルチビーム光ヘッドに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】近年、レーザー光により光学的情報記録
媒体(光ディスク)上の情報を再生する装置の発達は著
しい。コンピュータが取り扱うデータが、コードデータ
から音楽、静止画像、動画と進展するにつれ、データ量
も増大している。それに伴い、情報報再生装置からホス
トコンピュータにデータを転送するスピードの高速化が
要求されている。データ転送レートの高速化には、従来
はディスクを回転するモータの回転数を上げる手法がも
っぱらとられていた。
【0003】しかしながら、この方法では、回転モータ
の回転数を大幅に上げるためにはモータを大型化しなけ
ればらならいこと、またモータの回転数の上昇に伴って
ディスクの「面ぶれ」が大きくなりサーボ系の安定化が
困難になる等の問題が生じている。一方、情報の読み取
りを行う1つの光ヘッドで複数のレーザービームを発生
させ、光ディスク上の複数のトラックに対して同時に情
報の再生を行うマルチビーム光ヘッドが提案されてい
る。この方法では、ディスク駆動モータを大型化する必
要もなく、さらに回転数の上昇に伴うディスクの「面ぶ
れ」も押さえることが可能であるため、有望視されてい
る。
【0004】図6は従来のディスク装置におけるマルチ
ビーム光ヘッドの概略構成図である。同図に示すように
従来のマルチビーム光ヘッド200は、半導体レーザ4
0と、コリメートレンズ2と、グレーティング3と、ハ
ーフミラー8と、対物レンズ9と、検出レンズ43と、
シリンドリカルレンズ44と、受光部45とを備える構
成である。
【0005】半導体レーザー40は、2個のレーザーチ
ップ41、42を有しており、2つのレーザビームを射
出している。これらの射出された2つのレーザビーム
は、コリメートレンズ2により平行光に変換され、グレ
ーティング3により3ビーム化され、合計6つのレーザ
ビームがハーフミラー8を通り、対物しンズ9により集
光され光ディスク10の情報記録トラック(図示を省
略)に照射きれる。前記各レーザビームの光が光ディス
ク10の表面で反射され、この反射光は、光ディスク1
0への照射時の光路を逆行し、再び前記対物レンズ9を
通りハーフミラー8に到達する。この反射光は照射時と
は異なりこのハーフミラー8で反射きれ、検出レンズ4
3、及びシリンドリカルレンズ44を通り、受光素子4
5に入射する。
【0006】この場合、合焦サーボ用のフォーカス信号
は「非点収差法」により行われ、トラック追随サーボ用
のトラック検出は「3ビーム法」より行われる。図7は
光ディスク上のトラックとスポットとの配置図である。
同図において3ビーム法を行う一方のメインスポットS
21は情報記録トラックT2の中心線上に照射され、サ
イドスポットS22は情報記録トラックT2の右側に、
サイドスポットS23は情報記録トラックT2の左側に
照射されている。また、他方のメインスポットS24は
情報記録トラックT3の中心軸上に照射され、サイドス
ポットS25は情報記録トラックT3の右側に、サイド
スポットS26は情報記録トラックT3の左側に照射さ
れている。情報信号の再生はメインスポットS21又は
S24からの反射光によって行われる。また、フォーカ
ス検出はメインスポットS21又はS24により、トラ
ック検出はサイドスポットS22,S23又はS25,
S26からの反射光によって行われる。半導体レーザ4
0中の2個のレーザチップ41と42との間隔は150
μmであり、光ディスク上の2つのメインスポットの間
隔は光学系の横倍率が約1/5なので30μmになって
いる。また、メインスポットとサイドスポットとの間隔
は約10μmである。また、メインスポットにより、同
時に光ディスクの2つの情報記録トラックに対して情報
を記録又は再生することが可能となっている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の光ヘッドにおいては、光ディスクにわずかでも
偏心があり、それによりディスクが横ずれを起こすと、
メインスポットの一方はトラッキングにより常にトラッ
ク中心に追随するが、他方のメインスポットは「トラッ
クずれ」を引き起こし、再生信号がレベル低下するとい
う問題があった。図8は従来の光ディスクの偏心による
スポット位置ずれの説明図である。図に示すように、光
ディスクに偏心がない場合の情報記録トラックをT5,
T6とすると、2つのメインスポットS27,S28は
各々情報記録トラックT5,T6の中心線上に照射され
ている。しかし、光ディスクが例えばeだけ偏心してい
る場合には情報記録トラックはT7,T8に示すように
ずれた位置にあり、一方のメインスポットS27はトラ
ッキングサーボにより常に情報記録トラックT7の中心
線上にS29のように追随するが、他方のメインスポッ
トS28はS30のように情報記録トラックT8からは
ずれてしまう。このため、このようにトラック外れを起
こしたメインスポットS30から情報信号を再生しよう
とすると信号レベルや正確性が低下する。
【0008】上記のような光ディスクの偏心の問題を解
決するための対策として、2つのメインスポットの間隔
を狭め、図7に示すように、メインスポットとサイドス
ポットとの間隔d2よりもメインスポット同士の間隔d
1の方を小さくする方法が提案されている。図7におい
て、光スポットS21,S22,S23が1方のレーザ
チップ41から出射されて分光された3つの光ビームに
よる光スポットであり、光スポットS24,S25,S
26が他方のレーザチップ42から出射されて分光され
た3つの光ビームによる光スポットである。この場合、
メインスポットどうしの間隔d1は、光ディスクの偏心
による再生信号の低下が十分無視できる間隔、例えば5
μm程度の値に設定されている。
【0009】図9は、従来のマルチビーム光ヘッドにお
ける受光素子と光スポットの配置図および図10は従来
のマルチビーム光ヘッドにおけるトラックと光スポット
の配置図である。両図に示すように、この時の受光部4
5は、非点収差法によりフォーカス信号を検出するため
の4分割受光素子46と、3ビーム法によりトラック信
号を検出するための2つの受光素子21及び22とが一
つの基板上に配置されて構成されている。上記した図7
に示すマルチビーム方式では、光スポットの間隔が狭
く、受光素子上に2つのレーザチップからの光スポット
が同時に照射されることがあり、この場合には、フォー
カス信号、トラック信号、情報再生信号が正確に検出で
きない、という問題があった。
【0010】さらに、上記問題に加え、半導体レーザに
2個のレーザチップを搭載し2ビームを発生させる方法
はコストが高いという問題もあった。
【0011】本発明は、前記課題を解決するためになさ
れたものであり、光学的情報記録媒体の複数のトラック
から同時にフォーカス信号、トラック信号、情報再生信
号を正確に検出することができるマルチビーム光ヘッド
を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明のマルチビーム生
成方法は、光源から単一の光束を射出し、当該光束を複
数に分離して対物レンズを介して光学的情報記録媒体に
集光投射し、当該光学的情報記録媒体の記録情報を記録
・再生するマルチビーム生成方法であって、光源から単
一の光束を常光線及び異常光線に分離し、当該常光線及
び異常光線の中心軸を対物レンズの光軸に略一致させて
分離した常光線及び異常光線を射出するものである。本
発明においては、分離された常光線と異常光線との中心
軸を対物レンズの光軸に一致させて常光線及び異常光線
を出射するようにしているので、対物レンズの絞り作用
による口径食で光線が制限されることなく常光線及び異
常光線を出射することができる。
【0013】また、本発明のマルチビーム光ヘッドは、
単一の光束を射出する光源と、光束を複屈折させて常光
線と異常光線とに分離する複屈折手段と、複屈折手段で
分離された常光線及び異常光線の中心軸に光軸が略一致
し、常光線及び異常光線を光学的記録媒体に集光する対
物レンズと、光学的情報記録媒体により反射された反射
光をその偏光度により常光線の反射光と異常光線の反射
光に分離して異なる光路で射出する偏光分離手段と、偏
光分離手段からの光を受光する受光手段を備え、光学的
情報記録媒体の複数の情報記録トラックに対して情報を
同時に記録又は再生するものである。
【0014】また、本発明においては必要に応じて、複
屈折手段を中心軸を中心として回動させる回動手段を備
え、光学的情報記録媒体の情報記録トラックのトラック
ピッチに応じて回動手段が複屈折手段を回動させるもの
である。
【0015】また、本発明においては必要に応じて、複
屈折手段が複屈折材料からなる複屈折くさび部材とガラ
スからなる逆のガラスくさび部材とを接合して平行平板
で形成されるものである。
【0016】
【作用】本発明においては、複屈折性を有する複屈折く
さび部材に単一光束を入射させると常光線と異常光線に
分離される。発散光を複屈折を有する複屈折くさび部材
に入射させると非点収差が発生するが、ガラスからなる
逆のガラスくさび部材にこの非点収差を有する光を入射
させることにより逆のガラス非点収差を発生させキャン
セルすることができる。複屈折材料からなる複屈折くさ
び部とガラスからなる逆のガラスくさび部材とを接合し
た平行平板では、上述のように非点収差がキャンセルし
あい発生しないか、正の球面収差か発注するので対物レ
ンズで負の球面収差を発生しこれも補正することができ
る。これにより、有限系の光学系を組むことが可能にな
る。
【0017】さらに、複屈折材料からなる複屈折くさび
部材とガラスからなる逆のガラスくさび部材とを接合し
た平行平板を回動手段により回転させることにより、常
光線と異常光線が同時に回転するため二つのスポットが
回転移動して正しくスポットをトラック中央に照射する
ことが可能になる。
【0018】
【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
ながら説明する。
【0019】図1は本発明の一実施例であるマルチビー
ム光ヘッドの構成を示したものである。同図に示すよう
に、本実施例におけるマルチビーム光ヘッド100は、
光源である半導体レーザ1と、この半導体レーザ1から
射出されるレーザ光を0次・1次の3ビームに回折する
グレーティング3と、このグレーティング3で回折され
た3ビームが入射され、各々3ビームを常光線及び異常
光線に分離して射出する平行平板5と、この平行平板5
により分離された常光線及び異常光線を光ディスクD側
へ反射すると共に光ディスクDからの反射光を透過する
ハーフミラー8と、このハーフミラー8と光ディスクD
との間に配設され、光ディスクD上に常光線及び異常光
線を集光投射する対物レンズ9と、この対物レンズ9及
びハーフミラー8を介して射出される反射光をその偏光
度により分離して異なる光路で出射する偏光ビームスプ
リッタ12と、この偏光ビームスプリッタ12から分離
された常光線及び異常光線を各々受光する受光素子13
とを備える構成である。
【0020】半導体レーザ1から一つのビームが発光し
ている。このビームはグレーティング3により3ビーム
化され、複屈折材料からなる複屈折くさび部材5Aとガ
ラスからなる逆のガラスくさび部材5Bとを接合した平
行平板5に入射する。複屈折材料からなる複屈折くさび
部材5Aの進相軸は図1の面内にあり、半導体レーザ1
を進相軸に対して45度回転して設置すると、複屈折材
料からなる複屈折くさび部材5A内を進む光線は常光線
と異常光線に分かれて進み、さらに常光線と異常光線の
強度は等しくなる。複屈折くさび部材5Aは水晶よりな
り、波長78Onmの常光線に対する屈折率は1.53
8738、異常光線に対する屈折率は1.547666
である。また、ガラスからなる逆のガラスくさび部材5
Bは屈折率が複屈折くさび部材5Aの常光線に対する屈
折率と異常光線に対する屈折率のほぼ中間の値をとるよ
うに選択する。
【0021】図2は、本発明の一実施例における2ビー
ム生成の説明図である。図において、常光線は、常光線
に対する屈折率がガラスの屈折率より小さいため、図2
の光線6のように複屈折くさび部材5Aからガラスくさ
び部材5Bに進むと接合面で屈折される。一方、異常光
線は、常光線に対する屈折率がガラスの屈折率より大き
いため、図2の光線7のように複屈折くさび部材5Aか
らガラスくさび部材5Bに進むと接合面で屈折される。
【0022】発散光を複屈折を有する複屈折くさび部材
5Aに入射させると非点収差が発生するが、ガラスから
なる逆のガラスくさび部材5Bにこの非点収差を有する
光を入射させることにより逆の非点収差を発生させキャ
ンセルすることができる。複屈折材料からなる複屈折く
さび部材5Aとガラスからなる逆のガラスくさび部材5
Bとを接合した平行平板5では上述のように非点収差は
キャンセルしあい発生しない。しかしながら、平行平板
5に発散光を入射させると正の球面収差か発生するた
め、対物レンズ9で負の球面収差を発生するように設計
し平行平板5で発生した球面収差を補正することができ
る。このようにして、本発明では非点収差や球面収差が
ない光学系を有限系で実現することが可能になる。
【0023】平行平板5から出射する常光線からなる3
ビームと異常光線からなる3ビーム光軸に対して略等し
い角度で反対方向に分かれて進むことになる。これらの
6ビームはハーフミラー8を通り、対物レンズ9により
集光され光ディスクDに照射され約1μmの大きさのス
ポットとなる。光ディスクDには、情報が微少なビット
として記録されておりスポットとビットとの干渉により
情報を再生することができる。光ディスクDからの反射
光は、再び対物しンズ9を通りハーフミラー8で反射さ
れ、偏光ビームスプリッタ12に入射し常光線は偏光ビ
ームスプリッタ12を透過して受光素子13で受光され
る。一方、異常光線は偏光ビームスプリッタ12内部で
反射されてから受光素子13で受光される。
【0024】フォーカス検出は常光線6と異常光線7と
のスポットサイズ法により行われトラック検出は公知の
3ビーム法により行われる。図7は従来の光ディスク1
0上のトラックとスポットとの配置図である。3ビーム
法のメインスポットS21、及びS24はトラックT
2、T3の中央に位置し、サイドスポットS22、S25
はトラックT2、T3の右に、サイドスポットS23、S
26はトラックT2、T3の左に位置している。情報の再
生はメインスポットS21、S24によって行われる。
フォーカス検出はメインスポットS21により、トラッ
ク検出はサイドスポットS22、S23により行われ
る。
【0025】図3は本発明の一実施例における受光素子
の配置図である。図において、受光部13は、基板上
に、2つの受光素子20及び23と、情報記録トラック
の中心線を挟んでこれら3分割受光素子の斜前方及び斜
後方に配置される受光素子21,22と24,25とが
配置されて構成されている。上記の各受光素子のうち、
受光素子20,21,22は異常光線B5を検出し、受
光素子23,24,25は常光線B4を検出する。受光
素子20は3分割された受光面20a,20b,20c
を有しており、受光素子23は3分割された受光面23
a,23b,23cを有している。
【0026】メインスポットS1及びS4の各々の集光
点は受光部13上ではなくその前面又は背面にあるた
め、受光面20a,20b,20cが受光して光電変換
した信号強度をそれぞれL20a ,L20b ,L20cとし、
受光面23a,23b,23cが受光して光電変換した
信号強度をそれぞれL23a ,L23b ,L23cとすると、
フォーカス信号Fは、 F=L20a +L20c −L20b −(L23a +L23c −L23b ) ……(1) により得ることができる。
【0027】また、受光素子21,22が受光して光電
変換した信号強度をそれぞれL21,L22とし、受光素子
24,26が受光して光電変換した信号強度をそれぞれ
L24,L26とすると、トラック信号Tは、 T=L21−L22 ……(2) 又は、 T=L24−L26 ……(3) により得ることができる。
【0028】そして、2つの情報記録トラックからの情
報信号K1又はK2は、 K1=L20a +L20b +L20c ……(4) K2=L23a +L23b +L23c ……(5) により得ることができる。
【0029】複屈折材料からなる複屈折くさび部材5A
及びガラスからなる逆のガラスくさび部村5Bの複屈折
くさびの頂角を10度に設定すると2ビームの角度は
0.09度になり、対物レンズ9の焦点距離を3mmと
すると2スポットの間隔は4.7μmになる。このスポ
ット間隔であれば光ディスクDの偏心による再生信号の
低下が十分無視できる。
【0030】一般の光ディスクのトラックピッチは1.
6μmであるが、最近ではこの半分の0.8μmのトラ
ックピッチを有する高密度光ディスク(DVD)が登場
し、一つの光ヘッドで両方の光ディスクを再生する必要
か生じている。図4(a)は一般の光ディスクのトラッ
T2、T3に2つのスポットS53、S54が各々照射さ
れている場合である。図4(b)はDVDディスク上の
トラックT2、T3に2つのスポットS55、S56が各
々照射されている場合である。2つのスポット間隔は一
定なのでスポット列とトラックのなす角度φを変化させ
ることにより、トラックピッチが異なるディスクに対し
ても正しくスポットをトラック中央に照射することがで
きる。このために、平行平板5を回転させる回動装置6
0を回転させることにより、常光線と異常光線が同時に
回転するため二つのスポットが回転移動して正しくスポ
ットをトラック中央に照射することか可能になる。
【0031】図4(a)はトラックピッチ1.6μmの
光ディスク10を再生する時のスポットとトラックの関
係を示す図である。同図においてトラックT2、T3上に
二つのスポットS53、S54が投射されている。この
時の二つのスポットS54、S53を結ぶ線とトラック
T2、T3のなす角度はφ1である。また、図4(b)は
トラックピッチ0.8μmの光ディスク10を再生する
時のスポットとトラックの関係を示す図である。同図に
おいてトラックT2、T3上に二つのスポットS55、S
56が配置されている。この時の二つのスポットS5
5、S56を結ぶ線とトラックT2、T3のなす角度はφ
2である。回動装置60により平行平板5を(φ1一φ
2)回転させることにより常光線と異常光線は平行平板
5の法線を中心に回転し、対物レンズ9の光軸を中心に
してビームが回転することになる。
【0032】このビームが回転する状態を図5(a)、
(b)に基づいて説明する。図5(a)は平行平板を用
いた場合のビーム回転説明図、また図5(b)は複屈折
くさびを用いた場合のビーム回転説明図である。図5
(a)において平行平板5を回動装置60により回動さ
せると、平行平板5の法線を中心として対称に分光した
常光線と異常光線とが射出される。この分光された常光
線及び異常光線は、平行平板5の法線と対物レンズ9の
光軸90とが一致するように配設されたハーフミラー8
を介して反射され、この光軸90を中心として対称な光
線6、7となるように対物レンズ9に入射される。
【0033】これに対して図5(b)において複屈折く
さび部材57により常光線と異常光線とに分離され、こ
の複屈折くさび部材57から斜め方向に屈折されてから
対物レンズ9に入射する。このために複屈折くさび部材
57を回転すると常光線及び異常光線も回転して対物レ
ンズ9に入射しなくなるか、又は対物レンズ9の絞り作
用により光線が制限されることとなる。
【0034】従って、図5(a)に示すように平行平板
5を回動装置60により回動させることにより、回転に
伴ってビームは絞りとして作用する対物レンズ9の口径
食によって制限されることもなく光量損失も生じない。
また、対物レンズ9へのビーム入射角度も変化しない。
平行平板5の回転に応じて、光ディスク10上のスポッ
トも回転する。
【0035】なお、前述の実施例においては平行平板5
を複屈折くさび部材5A及びガラスくさび部材5Bで形
成することとしたが、この平行平板5をウォーラストン
のプリズム(Wollaston Prism)又はローションのプリ
ズム(Rochon Prism)等で形成することもできる。
【0036】
【発明の効果】以上のように本発明は、分離された常光
線と異常光線との中心軸を対物レンズの光軸に一致させ
て常光線及び異常光線を出射するようにしているので、
対物レンズの絞り作用による口径食で光線が制限される
ことなく常光線及び異常光線を出射することができると
いう効果を有する。
【0037】また、本発明は、複屈折材料からなる複屈
折くさび部材とガラスからなる逆のガラスのくさび部材
とを接合した複屈折手段により一つのビームから二つの
ビームを生成するようにしたため、非点収差や球面収差
がない光学系を有限系で実現することが可能になる。そ
れにより、光ヘッドが小型化ししかも低コストなマルチ
ビーム光ヘッドを提供することができる。
【0038】さらに、回動手段により複屈折手段を回転
させることにより、常光線と異常光線が同時に回転し二
つのスポットが回転移動して正しくスポットをトラック
中央に照射することが可能になるため、異なるトラック
ピッチのディスクを一つの光ヘッドで再生することが可
能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例におけるマルチビーム光ヘッ
ドの構成図
【図2】本発明の一実施例における2ビーム生成の説明
【図3】本発明の一実施例における受光素子の配置図
【図4】(a)トラックピッチ1.6μmの光ディスク
を再生する時のスポットとトラックの関係を示す図 (b)トラックピッチ0.8μmの光ディスクを再生す
る時のスポットとトラックの関係を示す図
【図5】(a)平行平板を用いた場合のビーム回転説明
図 (b)複屈折くさびを用いた場合のビーム回転説明図
【図6】従来のマルチビーム光ヘッドの概略構成図
【図7】光ディスク上のトラックとスポットとの配置図
【図8】従来の光ディスクの偏心によるスポット位置ず
れの説明図
【図9】従来のマルチビーム光ヘッドにおける受光素子
と光スポットの配置図
【図10】従来のマルチビーム光ヘッドにおけるトラッ
クとスポットの配置図
【符号の説明】
1 半導体レーザー 2 コリメートレンズ 3 グレーティング 5 平行平板 5A 複屈折くさび部材 5B ガラスくさび部材 8 ハーフミラー 9 対物レンズ 10 光ディスク 11 検出レンズ 12 偏光ビームスプリッタ 13 受光素子

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光源から単一の光束を出射し、当該光束を
    複数に分離して対物レンズを介して光学的情報記録媒体
    に集光投射し、当該光学的情報記録媒体の記録情報を記
    録・再生するマルチビーム生成方法であって、前記光源
    からの単一の光束を常光線及び異常光線に分離し、当該
    常光線及び異常光線の中心軸を前記対物レンズの光軸に
    略一致させて前記分離した常光線及び異常光線を出射す
    ることを特徴とするマルチビーム生成方法。
  2. 【請求項2】単一の光束を出射する光源と、前記光束を
    複屈折させて常光線と異常光線とに分離する複屈折手段
    と、前記複屈折手段で分離された常光線及び異常光線の
    中心軸に光軸が略一致し、前記常光線及び異常光線を光
    学的情報記録媒体に集光する対物レンズと、前記光学的
    情報記録媒体により反射された反射光をその偏光度によ
    り前記常光線の反射光と前記異常光線の反射光に分離し
    て異なる光路で出射する偏光分離手段と、前記偏光分離
    手段からの光を受光する受光手段を備え、前記光学的情
    報記録媒体の複数の情報記録トラックに対して情報を同
    時に記録又は再生することを特徴とするマルチビーム光
    ヘッド。
  3. 【請求項3】請求項2に記載のマルチビーム光ヘッドに
    おいて、前記複屈折手段を中心軸を中心として回動させ
    る回動手段を備え、前記光学的情報記録媒体の情報記録
    トラックのトラックピッチに応じて前記回動手段が複屈
    折手段を回動させることを特徴とするマルチビーム光ヘ
    ッド。
  4. 【請求項4】請求項2又は3に記載のマルチビーム光ヘ
    ッドにおいて、前記複屈折手段が複屈折材料からなる複
    屈折くさび部材とガラスからなる逆のガラスくさび部材
    とを接合して平行平板で形成されることを特徴とするマ
    ルチビーム光ヘッド。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015532432A (ja) * 2012-10-18 2015-11-09 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. 分析システムのための装置、該装置を有する分析システム及び該装置を使用する方法

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