JPH0989675A - 光波長計 - Google Patents
光波長計Info
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- JPH0989675A JPH0989675A JP27342395A JP27342395A JPH0989675A JP H0989675 A JPH0989675 A JP H0989675A JP 27342395 A JP27342395 A JP 27342395A JP 27342395 A JP27342395 A JP 27342395A JP H0989675 A JPH0989675 A JP H0989675A
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- Japan
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- light
- signal
- measurement
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 移動機構を直動させるモータの回転むらや移
動機構の精度不良がある場合においても高分解能な光波
長計を提供する。 【解決手段】 基準光と測定光とを分岐するビームスプ
リッタ２と、基準光と測定光をビームスプリッタ２に再
入力する固定鏡３と移動鏡４と、移動鏡４を光軸方向に
移動する線形移動機構５と、基準光，測定光の干渉縞を
光電変換する受光器６と、受光器６・７からの波形数を
計数するカウント部８・９と、基準縞信号・測定縞信号
の振幅値をディジタル変換するＡＤ変換部１１・１２
と、ＡＤ変換部１１・１２の出力値を保管する記憶部１
３・１４と、基準縞信号と測定縞信号より生じる２つの
端数を記憶部１３に記憶される基準光信号の振幅値と記
憶部１４に記憶される測定縞信号の振幅値から求め、２
つの端数と基準縞信号の波形数と測定縞信号の波形数と
基準光信号の光波長から測定光の波長を算出する演算部
１５とを備える。
動機構の精度不良がある場合においても高分解能な光波
長計を提供する。 【解決手段】 基準光と測定光とを分岐するビームスプ
リッタ２と、基準光と測定光をビームスプリッタ２に再
入力する固定鏡３と移動鏡４と、移動鏡４を光軸方向に
移動する線形移動機構５と、基準光，測定光の干渉縞を
光電変換する受光器６と、受光器６・７からの波形数を
計数するカウント部８・９と、基準縞信号・測定縞信号
の振幅値をディジタル変換するＡＤ変換部１１・１２
と、ＡＤ変換部１１・１２の出力値を保管する記憶部１
３・１４と、基準縞信号と測定縞信号より生じる２つの
端数を記憶部１３に記憶される基準光信号の振幅値と記
憶部１４に記憶される測定縞信号の振幅値から求め、２
つの端数と基準縞信号の波形数と測定縞信号の波形数と
基準光信号の光波長から測定光の波長を算出する演算部
１５とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は光波長計、より具
体的には測定光の波長を干渉計を用いて測定する光波長
計についてのものである。
体的には測定光の波長を干渉計を用いて測定する光波長
計についてのものである。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来技術による光波長計を図３お
よび図４により説明する。なお、図３に示した光波長計
は従来技術による光波長計の構成図である。図４は図３
の波形図であり、縦軸は電流、横軸は時間を示す。ま
た、図４内の符号は図３内の同一符号に記された部分に
表れる波形である。図３の１は基準光源、２はビームス
プリッタ、３は固定鏡、４は移動鏡、５は線形移動機
構、６・７は受光器、８・９はカウント部、１０は発振
器、１６は表示部、１７は測定光源、２５・２６は端数
測定部、２７は演算部である。
よび図４により説明する。なお、図３に示した光波長計
は従来技術による光波長計の構成図である。図４は図３
の波形図であり、縦軸は電流、横軸は時間を示す。ま
た、図４内の符号は図３内の同一符号に記された部分に
表れる波形である。図３の１は基準光源、２はビームス
プリッタ、３は固定鏡、４は移動鏡、５は線形移動機
構、６・７は受光器、８・９はカウント部、１０は発振
器、１６は表示部、１７は測定光源、２５・２６は端数
測定部、２７は演算部である。
【０００３】基準光源１から出力され、波長が既知であ
る基準光２０は、ビームスプリッタ２により反射光２０
ａと通過光２０ｂに二分岐される。反射光２０ａは固定
鏡３で反射され、再びビームスプリッタ２に入射され
る。
る基準光２０は、ビームスプリッタ２により反射光２０
ａと通過光２０ｂに二分岐される。反射光２０ａは固定
鏡３で反射され、再びビームスプリッタ２に入射され
る。
【０００４】通過光２０ｂは移動鏡４により反射され、
ビームスプリッタ２内で前記反射光２０ａと合波されて
基準縞信号２１ａとなる。基準縞信号２１ａは受光器６
で基準縞信号２１ｂに光電変換され、端数測定部２５、
２６とカウント部８に入力される。
ビームスプリッタ２内で前記反射光２０ａと合波されて
基準縞信号２１ａとなる。基準縞信号２１ａは受光器６
で基準縞信号２１ｂに光電変換され、端数測定部２５、
２６とカウント部８に入力される。
【０００５】同様に測定光源１７から出力され、波長が
未知である測定光２２は、ビームスプリッタ２により反
射光２２ａと通過光２２ｂに二分岐される。反射光２２
ａは固定鏡３で反射され、ビームスプリッタ２に入射さ
れる。
未知である測定光２２は、ビームスプリッタ２により反
射光２２ａと通過光２２ｂに二分岐される。反射光２２
ａは固定鏡３で反射され、ビームスプリッタ２に入射さ
れる。
【０００６】通過光２２ｂは移動鏡４により反射され、
ビームスプリッタ２内で前記反射光２２ａと合波されて
測定縞信号２３ａとなる。測定縞信号２３ａは受光器７
で測定縞信号２３ｂに光電変換され、端数測定部２５と
カウント部９に入力される。
ビームスプリッタ２内で前記反射光２２ａと合波されて
測定縞信号２３ａとなる。測定縞信号２３ａは受光器７
で測定縞信号２３ｂに光電変換され、端数測定部２５と
カウント部９に入力される。
【０００７】ここで、移動鏡４は移動ステージとガイド
レールで構成される線形移動機構５の移動ステージに固
定されており、移動ステージがガイドレール上を矢印１
００方向に移動すると、基準縞信号２１ｂと測定縞信号
２３ｂは干渉による周期的に繰り返す光強度変化に対応
したアナログ信号となり、基準縞信号２１ｂと測定縞信
号２３ｂの波長比は基準光２０と測定光２２の波長比に
相当する。
レールで構成される線形移動機構５の移動ステージに固
定されており、移動ステージがガイドレール上を矢印１
００方向に移動すると、基準縞信号２１ｂと測定縞信号
２３ｂは干渉による周期的に繰り返す光強度変化に対応
したアナログ信号となり、基準縞信号２１ｂと測定縞信
号２３ｂの波長比は基準光２０と測定光２２の波長比に
相当する。
【０００８】カウント部８と９は基準縞信号２１ｂと測
定縞信号２３ｂの波形数を計数し、波形数ＮとＫを演算
部２７に出力する。
定縞信号２３ｂの波形数を計数し、波形数ＮとＫを演算
部２７に出力する。
【０００９】次に、端数測定部２５、２６の動作を図４
により説明する。端数測定部２５は測定縞信号２３ｂの
０クロス点から基準縞信号２１ｂの０クロス点までに生
じる発振器１０からの高速矩形波２４を計数し、計数結
果αを演算部２７に出力する。
により説明する。端数測定部２５は測定縞信号２３ｂの
０クロス点から基準縞信号２１ｂの０クロス点までに生
じる発振器１０からの高速矩形波２４を計数し、計数結
果αを演算部２７に出力する。
【００１０】また、端数測定部２５は基準縞信号２１ｂ
の０クロス点から測定縞信号２３ｂの０クロス点までに
生じる発振器１０からの高速矩形波２４についても同様
に計数し、計数結果βを演算部２７に出力する。端数測
定部２６は基準縞信号２１ｂの一周期中に生じる発振器
１０からの高速矩形波２４を計数し、計数結果γを演算
部２７に出力する。
の０クロス点から測定縞信号２３ｂの０クロス点までに
生じる発振器１０からの高速矩形波２４についても同様
に計数し、計数結果βを演算部２７に出力する。端数測
定部２６は基準縞信号２１ｂの一周期中に生じる発振器
１０からの高速矩形波２４を計数し、計数結果γを演算
部２７に出力する。
【００１１】演算部２７では端数測定部２５より一番最
初に入力されたαの値と一番最後に入力されたβの値と
端数測定部２６より入力されたγの値から式１の演算を
行い、端数εを求める。 ε ＝ （α＋β）／γ ・・・式１ また演算部２７はカウント部８と９より入力された波形
数ＮとＫと前記端数εより、式２の演算を行い、測定光
の波長λを求める。 λ ＝ （Ｎ＋ε）λ0／Ｋ ・・・式２ ここでλ0は基準光の波長とする。表示部１６は演算部
２７からの演算結果λを表示する。
初に入力されたαの値と一番最後に入力されたβの値と
端数測定部２６より入力されたγの値から式１の演算を
行い、端数εを求める。 ε ＝ （α＋β）／γ ・・・式１ また演算部２７はカウント部８と９より入力された波形
数ＮとＫと前記端数εより、式２の演算を行い、測定光
の波長λを求める。 λ ＝ （Ｎ＋ε）λ0／Ｋ ・・・式２ ここでλ0は基準光の波長とする。表示部１６は演算部
２７からの演算結果λを表示する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図３の構成に
よる光波長計では、移動機構を直動させるモータに回転
むらが生じた場合や移動機構に精度不良があった場合、
基準縞信号２１ｂと測定縞信号２３ｂの周期が変動して
しまい、端数εの読み取り精度が劣化してしまうという
問題があった。
よる光波長計では、移動機構を直動させるモータに回転
むらが生じた場合や移動機構に精度不良があった場合、
基準縞信号２１ｂと測定縞信号２３ｂの周期が変動して
しまい、端数εの読み取り精度が劣化してしまうという
問題があった。
【００１３】この発明は、端数εを基準縞信号の振幅か
ら算出することにより、移動機構を直動させるモータの
回転むらや移動機構の精度不良がある場合においても高
分解能な光波長計を提供することを目的とする。
ら算出することにより、移動機構を直動させるモータの
回転むらや移動機構の精度不良がある場合においても高
分解能な光波長計を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、本発明における光波長計は、波長が既
知である基準光を出力する基準光源１と、基準光と波長
を測定する測定光とを分岐するビームスプリッタ２と、
ビームスプリッタ２により反射された基準光と測定光を
ビームスプリッタ２に再入力する固定鏡３と、ビームス
プリッタ２を通過した基準光と測定光をビームスプリッ
タ２に再入力する移動鏡４と、移動ステージとガイドレ
ールで構成されて移動鏡４を光軸方向に移動する線形移
動機構５と、移動鏡４の移動により生じる基準光の干渉
縞を光電変換する受光器６と、移動鏡４の移動により生
じる測定光の干渉縞を光電変換する受光器７と、受光器
６からの基準縞信号の波形数を計数するカウント部８
と、受光器７からの測定縞信号の波形数を計数するカウ
ント部９と、発振器１０からの矩形波に同期して基準縞
信号の振幅値をディジタル変換するＡＤ変換部１１と、
発振器１０からの矩形波に同期して測定縞信号の振幅値
をディジタル変換するＡＤ変換部１２と、ＡＤ変換部１
１の出力値を保管する記憶部１３と、ＡＤ変換部１２の
出力値を保管する記憶部１４とを備える。光波長計はさ
らに、基準縞信号と測定縞信号が非同期であることによ
り生じる第１の端数および第２の端数を、記憶部１３に
記憶される基準光信号の振幅値と記憶部１４に記憶され
る測定縞信号の振幅値から計算するとともに、第１の端
数と第２の端数と基準縞信号の波形数と測定縞信号の波
形数と基準光信号の光波長から測定光の波長を算出する
演算部１５と、演算部１５で算出した測定光の波長を表
示する表示部１６とを備える。
め、この発明は、本発明における光波長計は、波長が既
知である基準光を出力する基準光源１と、基準光と波長
を測定する測定光とを分岐するビームスプリッタ２と、
ビームスプリッタ２により反射された基準光と測定光を
ビームスプリッタ２に再入力する固定鏡３と、ビームス
プリッタ２を通過した基準光と測定光をビームスプリッ
タ２に再入力する移動鏡４と、移動ステージとガイドレ
ールで構成されて移動鏡４を光軸方向に移動する線形移
動機構５と、移動鏡４の移動により生じる基準光の干渉
縞を光電変換する受光器６と、移動鏡４の移動により生
じる測定光の干渉縞を光電変換する受光器７と、受光器
６からの基準縞信号の波形数を計数するカウント部８
と、受光器７からの測定縞信号の波形数を計数するカウ
ント部９と、発振器１０からの矩形波に同期して基準縞
信号の振幅値をディジタル変換するＡＤ変換部１１と、
発振器１０からの矩形波に同期して測定縞信号の振幅値
をディジタル変換するＡＤ変換部１２と、ＡＤ変換部１
１の出力値を保管する記憶部１３と、ＡＤ変換部１２の
出力値を保管する記憶部１４とを備える。光波長計はさ
らに、基準縞信号と測定縞信号が非同期であることによ
り生じる第１の端数および第２の端数を、記憶部１３に
記憶される基準光信号の振幅値と記憶部１４に記憶され
る測定縞信号の振幅値から計算するとともに、第１の端
数と第２の端数と基準縞信号の波形数と測定縞信号の波
形数と基準光信号の光波長から測定光の波長を算出する
演算部１５と、演算部１５で算出した測定光の波長を表
示する表示部１６とを備える。
【００１５】
【発明の実施の形態】次にこの発明による光波長計の実
施例を詳細に説明する。図１は、本発明おける光波長計
の実施の形態を示す構成図であり、１は基準光源、２は
ビームスプリッタ、３は固定鏡、４は移動鏡、５は線形
移動機構、６・７は受光器、８・９はカウント部、１０
は発振器、１１・１２はＡＤ変換部、１３・１４は記憶
部、１５は演算部、１６は表示部、１７は測定光源、１
８・１９は位置センサである。
施例を詳細に説明する。図１は、本発明おける光波長計
の実施の形態を示す構成図であり、１は基準光源、２は
ビームスプリッタ、３は固定鏡、４は移動鏡、５は線形
移動機構、６・７は受光器、８・９はカウント部、１０
は発振器、１１・１２はＡＤ変換部、１３・１４は記憶
部、１５は演算部、１６は表示部、１７は測定光源、１
８・１９は位置センサである。
【００１６】基準光源１から出力された波長が既知であ
る基準光２０はビームスプリッタ２により反射光２０ａ
と通過光２０ｂに二分岐される。反射光２０ａは固定鏡
３で反射され、再びビームスプリッタ２に入射される。
通過光２０ｂは移動ステージとガイドレールで構成され
る線形移動機構５の移動ステージに固定されてる移動鏡
４により反射され、ビームスプリッタ２内で前記反射光
２０ａと合波されて基準縞信号２１ａとなる。基準縞信
号２１ａは受光器６で基準縞信号２１ｂに光電変換さ
れ、カウント部８とＡＤ変換部１１に入力される。
る基準光２０はビームスプリッタ２により反射光２０ａ
と通過光２０ｂに二分岐される。反射光２０ａは固定鏡
３で反射され、再びビームスプリッタ２に入射される。
通過光２０ｂは移動ステージとガイドレールで構成され
る線形移動機構５の移動ステージに固定されてる移動鏡
４により反射され、ビームスプリッタ２内で前記反射光
２０ａと合波されて基準縞信号２１ａとなる。基準縞信
号２１ａは受光器６で基準縞信号２１ｂに光電変換さ
れ、カウント部８とＡＤ変換部１１に入力される。
【００１７】同様に測定光源１７から出力された波長が
未知である測定光２２はビームスプリッタ２により反射
光２２ａと通過光２２ｂに二分岐される。反射光２２ａ
は固定鏡３で反射され、ビームスプリッタ２に入射され
る。通過光２２ｂは移動ステージとガイドレールで構成
される線形移動機構５の移動ステージに固定されてる移
動鏡４により反射され、ビームスプリッタ２内で前記反
射光２２ａと合波されて測定縞信号２３ａとなる。測定
縞信号２３ａは受光器７で測定縞信号２３ｂに光電変換
され、カウント部９とＡＤ変換部１２に入力される。
未知である測定光２２はビームスプリッタ２により反射
光２２ａと通過光２２ｂに二分岐される。反射光２２ａ
は固定鏡３で反射され、ビームスプリッタ２に入射され
る。通過光２２ｂは移動ステージとガイドレールで構成
される線形移動機構５の移動ステージに固定されてる移
動鏡４により反射され、ビームスプリッタ２内で前記反
射光２２ａと合波されて測定縞信号２３ａとなる。測定
縞信号２３ａは受光器７で測定縞信号２３ｂに光電変換
され、カウント部９とＡＤ変換部１２に入力される。
【００１８】ここで、移動ステージがガイドレール上を
図１内の矢印１００方向に移動すると、基準縞信号２１
ｂと測定縞信号２３ｂは干渉による周期的に繰り返す光
強度変化に対応したアナログ信号となる。移動ステージ
が位置センサ１８を通過すると、カウント部８と９は基
準縞信号２１ｂと測定縞信号２３ｂの波形数ＮとＫを計
数し始めるとともに、ＡＤ変換部１１と１２は基準縞信
号２１ｂと測定縞信号２３ｂの振幅値を発振器１０から
の高速矩形波２４に同期してディジタル変換し、記憶部
１３・１４に出力する。
図１内の矢印１００方向に移動すると、基準縞信号２１
ｂと測定縞信号２３ｂは干渉による周期的に繰り返す光
強度変化に対応したアナログ信号となる。移動ステージ
が位置センサ１８を通過すると、カウント部８と９は基
準縞信号２１ｂと測定縞信号２３ｂの波形数ＮとＫを計
数し始めるとともに、ＡＤ変換部１１と１２は基準縞信
号２１ｂと測定縞信号２３ｂの振幅値を発振器１０から
の高速矩形波２４に同期してディジタル変換し、記憶部
１３・１４に出力する。
【００１９】記憶部１３・１４はＡＤ変換部１１・１２
からのディジタル値を最下位番地から順番に記憶する。
移動ステージが位置センサ１９に到達するとカウント部
８・９とＡＤ変換部１１・１２はそれぞれの動作を停止
するとともに演算部１５は演算を開始する。
からのディジタル値を最下位番地から順番に記憶する。
移動ステージが位置センサ１９に到達するとカウント部
８・９とＡＤ変換部１１・１２はそれぞれの動作を停止
するとともに演算部１５は演算を開始する。
【００２０】図２は図１に示した光波長計の波形図と記
憶部１３・１４内のデータを示したものであり、縦軸は
電流と電流のディジタル値を示し、横軸は時間と記憶部
１３・１４のアドレスを示している。図２内の符号２１
ｂ・２３ｂは図１内の同一符号の波形を示している。以
下、図２を参照して演算部１５の動作を説明する。
憶部１３・１４内のデータを示したものであり、縦軸は
電流と電流のディジタル値を示し、横軸は時間と記憶部
１３・１４のアドレスを示している。図２内の符号２１
ｂ・２３ｂは図１内の同一符号の波形を示している。以
下、図２を参照して演算部１５の動作を説明する。
【００２１】演算部１５は、記憶部１４の最下位番地か
ら最上位番地に向かい、順次データを読み出し、振幅デ
ータが最初にマイナスからプラスに変化するＡ番地を検
索して測定縞信号２３ｂの立ち上がりを検出する。
ら最上位番地に向かい、順次データを読み出し、振幅デ
ータが最初にマイナスからプラスに変化するＡ番地を検
索して測定縞信号２３ｂの立ち上がりを検出する。
【００２２】次に演算部１５は、記憶部１３のＡ番地か
ら最上位番地に向かい、順次振幅データを読み出し、振
幅データが最初にマイナスからプラスに変化するＢ番地
を検索してＡ番地直後の基準縞信号２１ｂの立ち上がり
を検出する。
ら最上位番地に向かい、順次振幅データを読み出し、振
幅データが最初にマイナスからプラスに変化するＢ番地
を検索してＡ番地直後の基準縞信号２１ｂの立ち上がり
を検出する。
【００２３】さらに演算部１５は、記憶部１３のＢ−１
番地から、振幅データが最初にプラスからマイナスに変
化するＣ番地間の振幅データと、記憶部１３のＡ番地の
振幅データとを比較し、記憶部１３内のＢ番地からＣ番
地の一周期内におけるＡ番地の位相を求め、これを端数
ε１とする。
番地から、振幅データが最初にプラスからマイナスに変
化するＣ番地間の振幅データと、記憶部１３のＡ番地の
振幅データとを比較し、記憶部１３内のＢ番地からＣ番
地の一周期内におけるＡ番地の位相を求め、これを端数
ε１とする。
【００２４】同様にして、演算部１５は記憶部１４の最
上位番地から最下位番地に向かい、順次データを読み出
し、振幅データが最初にマイナスからプラスに変化する
Ｄ番地を検索して測定縞信号２３ｂの立ち上がりを検出
する。
上位番地から最下位番地に向かい、順次データを読み出
し、振幅データが最初にマイナスからプラスに変化する
Ｄ番地を検索して測定縞信号２３ｂの立ち上がりを検出
する。
【００２５】次に演算部１５は、記憶部１３のＤ番地か
ら最下位番地に向かい、順次振幅データを読み出し、振
幅データが最初にプラスからマイナスに変化するＥ番地
を検索してＤ番地直前の基準縞信号２１ｂの立ち上がり
を検出する。
ら最下位番地に向かい、順次振幅データを読み出し、振
幅データが最初にプラスからマイナスに変化するＥ番地
を検索してＤ番地直前の基準縞信号２１ｂの立ち上がり
を検出する。
【００２６】さらに演算部１５は、記憶部１３のＥ番地
から振幅データが最初にマイナスからプラスに変化する
Ｆ番地間の振幅データと、記憶部１３のＤ番地の振幅デ
ータとを比較し、記憶部１３内Ｅ番地からＦ番地の一周
期内におけるＤ番地の位相を求め、これを端数ε２とす
る。
から振幅データが最初にマイナスからプラスに変化する
Ｆ番地間の振幅データと、記憶部１３のＤ番地の振幅デ
ータとを比較し、記憶部１３内Ｅ番地からＦ番地の一周
期内におけるＤ番地の位相を求め、これを端数ε２とす
る。
【００２７】また、演算部１５はカウント部８と９より
波形数ＮとＫを読み出し式３に代入するとともに前記の
端数ε１とε２についても、以下に示す式３に代入して
測定光の波長λを求める。
波形数ＮとＫを読み出し式３に代入するとともに前記の
端数ε１とε２についても、以下に示す式３に代入して
測定光の波長λを求める。
【００２８】 λ＝（Ｎ＋（ε１＋ε２）／２π）λ0／Ｋ ・・・式３ このように演算部１５で算出された測定光の波長λは、
表示部１６に送られ、これにより可視表示される。
表示部１６に送られ、これにより可視表示される。
【００２９】
【発明の効果】この発明の光波長計によれば、基準縞信
号の端数ε１とε２を基準縞信号の振幅から求めること
により、振幅平均化処理により高速矩形波の周波数を上
げたものと等価とすることで端数εの読みと取り精度を
向上させ、高分解能な光波長計の提供を実現できる。
号の端数ε１とε２を基準縞信号の振幅から求めること
により、振幅平均化処理により高速矩形波の周波数を上
げたものと等価とすることで端数εの読みと取り精度を
向上させ、高分解能な光波長計の提供を実現できる。
【図１】この発明による光波長計の実施の形態を示す構
成図である。
成図である。
【図２】図１の光波長計における演算部の動作を説明す
るための波形図である。
るための波形図である。
【図３】従来技術における光波長計の構成図である。
【図４】図３の従来技術における光波長計の動作を説明
する波形図である。
する波形図である。
１ 基準光源 ２ ビームスプリッタ ３ 固定鏡 ４ 移動鏡 ５ 線形移動機構 ６・７ 受光器 ８・９ カウント部 １０ 発振器 １１・１２ ＡＤ変換器 １３・１４ 記憶部 １５ 演算部 １６ 表示部 １７ 測定光源
Claims (2)
- 【請求項１】 波長が既知である基準光を出力する基準
光源(1) と、 前記基準光と波長を測定する測定光とを分岐するビーム
スプリッタ(2) と、 ビームスプリッタ(2) により反射された前記基準光と前
記測定光をビームスプリッタ(2) に再入力する固定鏡
(3) と、 ビームスプリッタ(2) を通過した前記基準光と前記測定
光をビームスプリッタ(2) に再入力する移動鏡(4) と、 移動ステージとガイドレールで構成され、移動鏡(4) を
光軸方向に移動する線形移動機構(5) と、 移動鏡(4) の移動により生じる前記基準光の干渉縞を光
電変換する受光器(6)と、 移動鏡(4) の移動により生じる前記測定光の干渉縞を光
電変換する受光器(7)と、 受光器(6) からの基準縞信号の波形数を計数するカウン
ト部(8) と、 受光器(7) からの測定縞信号の波形数を計数するカウン
ト部(9) と、 発振器(10)からの矩形波に同期して前記基準縞信号の振
幅値をディジタル変換するＡＤ変換部(11)と、 発振器(10)からの矩形波に同期して前記測定縞信号の振
幅値をディジタル変換するＡＤ変換部(12)と、 ＡＤ変換部(11)の出力値を保管する記憶部(13)と、 ＡＤ変換部(12)の出力値を保管する記憶部(14)と、 前記基準縞信号と測定縞信号が非同期であることにより
生じる第１の端数および第２の端数を、記憶部(13)に記
憶される前記基準光信号の振幅値と記憶部(14)に記憶さ
れる前記測定縞信号の振幅値から計算するとともに、前
記第１の端数と前記第２の端数と前記基準縞信号の波形
数と前記測定縞信号の波形数と前記基準光信号の光波長
から測定光の波長を算出する演算部(15)と、 前記演算部(15)で算出した測定光の波長を表示する表示
部(16)とを備えることを特徴とする光波長計。 - 【請求項２】 請求項１に記載の光波長計において、演
算部(15)は、前記基準縞信号の波形数をＮ、前記測定縞
信号の波形数をＫ、前記基準光信号の光波長をλ0 、第
１の端数をε１、第２の端数をε２、測定光の波長をλ
とすると、 λ＝（Ｎ＋（ε１＋ε２）／２π）λ0／Ｋ により算出することを特徴とする光波長計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27342395A JPH0989675A (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | 光波長計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27342395A JPH0989675A (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | 光波長計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0989675A true JPH0989675A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17527701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27342395A Pending JPH0989675A (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | 光波長計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0989675A (ja) |
-
1995
- 1995-09-27 JP JP27342395A patent/JPH0989675A/ja active Pending
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