JPH0980310A - 反射光学系 - Google Patents
反射光学系Info
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- JPH0980310A JPH0980310A JP7262197A JP26219795A JPH0980310A JP H0980310 A JPH0980310 A JP H0980310A JP 7262197 A JP7262197 A JP 7262197A JP 26219795 A JP26219795 A JP 26219795A JP H0980310 A JPH0980310 A JP H0980310A
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- mirror
- optical system
- axis mirror
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 成形が容易なオフアクシスミラーを備え、オ
フアクシスミラーのアライメントを正確に行う。 【解決手段】 基準光軸の軸外に位置決めされ且つ入射
光を反射するための第１オフアクシスミラーと、該第１
オフアクシスミラーからの光を反射するための反射部材
と、基準光軸の軸外に位置決めされ且つ反射部材からの
光を反射して射出するための第２オフアクシスミラーと
を備えた反射光学系において、第１オフアクシスミラー
および第２オフアクシスミラーは、基板の同一面にそれ
ぞれ形成されている。
フアクシスミラーのアライメントを正確に行う。 【解決手段】 基準光軸の軸外に位置決めされ且つ入射
光を反射するための第１オフアクシスミラーと、該第１
オフアクシスミラーからの光を反射するための反射部材
と、基準光軸の軸外に位置決めされ且つ反射部材からの
光を反射して射出するための第２オフアクシスミラーと
を備えた反射光学系において、第１オフアクシスミラー
および第２オフアクシスミラーは、基板の同一面にそれ
ぞれ形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は反射光学系に関し、
特に望遠鏡やモノクロメータ等の軸外し光学系における
オフアクシスミラーに関する。
特に望遠鏡やモノクロメータ等の軸外し光学系における
オフアクシスミラーに関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来の望遠鏡の反射光学系の構
成を概略的に示す図である。図６の反射光学系（軸外し
光学系）では、遠方からの光束１４が第１反射鏡１５、
第２反射鏡１６および第３反射鏡１７によって順次反射
された後、基準光軸ＡＸの軸外に良像１８を形成する。
なお、第１反射鏡１５および第３反射鏡１７は、光学系
の基準光軸ＡＸから外れて位置決めされているので、オ
フアクシスミラーと呼ぶ。
成を概略的に示す図である。図６の反射光学系（軸外し
光学系）では、遠方からの光束１４が第１反射鏡１５、
第２反射鏡１６および第３反射鏡１７によって順次反射
された後、基準光軸ＡＸの軸外に良像１８を形成する。
なお、第１反射鏡１５および第３反射鏡１７は、光学系
の基準光軸ＡＸから外れて位置決めされているので、オ
フアクシスミラーと呼ぶ。
【０００３】図７は、従来のツェルニー・ターナー・マ
ウントの分光器の反射光学系の構成を概略的に示す図で
ある。図７の反射光学系（軸外し光学系）では、入射ス
リット１９を介した光２１が、第１オフアクシスミラー
２２を介して平行光となり、分光光学素子２４に入射す
る。分光光学素子２４で分光された光は、第２オフアク
シスミラー２３によって反射された後、基準光軸ＡＸの
軸外に位置決めされた射出スリット２０上に集光する。
こうして、分光された光が射出スリット２０を介して検
出される。
ウントの分光器の反射光学系の構成を概略的に示す図で
ある。図７の反射光学系（軸外し光学系）では、入射ス
リット１９を介した光２１が、第１オフアクシスミラー
２２を介して平行光となり、分光光学素子２４に入射す
る。分光光学素子２４で分光された光は、第２オフアク
シスミラー２３によって反射された後、基準光軸ＡＸの
軸外に位置決めされた射出スリット２０上に集光する。
こうして、分光された光が射出スリット２０を介して検
出される。
【０００４】図８は、オフアクシスミラーの従来の成形
方法の一例を示す図である。図６および図７に示すよう
に、オフアクシスミラーは、基準光軸ＡＸから外れて位
置決めされる。したがって、図８に示すように、中心軸
線Ｏに関して全体的に回転対称なミラー母材２６（図中
破線で示す）から、中心軸線Ｏを外れた部分２５（図中
斜線で示す）を切り出して、オフアクシスミラーを成形
するのが一般的である。
方法の一例を示す図である。図６および図７に示すよう
に、オフアクシスミラーは、基準光軸ＡＸから外れて位
置決めされる。したがって、図８に示すように、中心軸
線Ｏに関して全体的に回転対称なミラー母材２６（図中
破線で示す）から、中心軸線Ｏを外れた部分２５（図中
斜線で示す）を切り出して、オフアクシスミラーを成形
するのが一般的である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
反射光学系におけるオフアクシスミラーは、回転対称な
ミラー母材から中心軸線を外れた部分を切り出して成形
していた。したがって、このような基準軸線のない形状
を有する個々のオフアクシスミラーを反射光学系の基準
光軸に対してそれぞれ正確にアライメント（位置合わ
せ）することは、非常に困難であり多大な時間を要する
という不都合があった。
反射光学系におけるオフアクシスミラーは、回転対称な
ミラー母材から中心軸線を外れた部分を切り出して成形
していた。したがって、このような基準軸線のない形状
を有する個々のオフアクシスミラーを反射光学系の基準
光軸に対してそれぞれ正確にアライメント（位置合わ
せ）することは、非常に困難であり多大な時間を要する
という不都合があった。
【０００６】また、ミラー母材の中心軸線を外れた領域
において、所望の形状を有するオフアクシスミラーを正
確に切り出す加工に時間がかかり、製造コストも増大す
るという不都合があった。本発明は、前述の課題に鑑み
てなされたものであり、成形が容易なオフアクシスミラ
ーを備え、オフアクシスミラーのアライメントを正確に
行うことのできる反射光学系を提供することを目的とす
る。
において、所望の形状を有するオフアクシスミラーを正
確に切り出す加工に時間がかかり、製造コストも増大す
るという不都合があった。本発明は、前述の課題に鑑み
てなされたものであり、成形が容易なオフアクシスミラ
ーを備え、オフアクシスミラーのアライメントを正確に
行うことのできる反射光学系を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明においては、基準光軸の軸外に位置決めされ
且つ入射光を反射するための第１オフアクシスミラー
と、該第１オフアクシスミラーからの光を反射するため
の反射部材と、前記基準光軸の軸外に位置決めされ且つ
前記反射部材からの光を反射して射出するための第２オ
フアクシスミラーとを備えた反射光学系において、前記
第１オフアクシスミラーおよび前記第２オフアクシスミ
ラーは、共通の基板の同一面にそれぞれ形成されている
ことを特徴とする反射光学系を提供する。
に、本発明においては、基準光軸の軸外に位置決めされ
且つ入射光を反射するための第１オフアクシスミラー
と、該第１オフアクシスミラーからの光を反射するため
の反射部材と、前記基準光軸の軸外に位置決めされ且つ
前記反射部材からの光を反射して射出するための第２オ
フアクシスミラーとを備えた反射光学系において、前記
第１オフアクシスミラーおよび前記第２オフアクシスミ
ラーは、共通の基板の同一面にそれぞれ形成されている
ことを特徴とする反射光学系を提供する。
【０００８】本発明の好ましい態様によれば、前記基板
は、前記基準光軸に対してほぼ回転対称な全体形状を有
する。また、前記第１オフアクシスミラーと前記第２オ
フアクシスミラーとは、前記基板上において前記基準光
軸に対してほぼ対称な位置に形成されていることが好ま
しい。
は、前記基準光軸に対してほぼ回転対称な全体形状を有
する。また、前記第１オフアクシスミラーと前記第２オ
フアクシスミラーとは、前記基板上において前記基準光
軸に対してほぼ対称な位置に形成されていることが好ま
しい。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明では、２つのオフアクシス
ミラーが共通の基板の同一面にそれぞれ形成されてい
る。したがって、２つのオフアクシスミラーをミラー母
材から切り出すことなく容易に一体的に成形することが
可能である。また、２つのオフアクシスミラーの偏心は
成形時に許容誤差内に加工されているため、２つのオフ
アクシスミラーを光学系の基準光軸に対してそれぞれア
ライメントすることなく、基板を基準光軸に対して位置
決め調整するだけでよい。その結果、アライメントに関
するパラメータを減らして、オフアクシスミラーのアラ
イメントを正確に行うことができる。
ミラーが共通の基板の同一面にそれぞれ形成されてい
る。したがって、２つのオフアクシスミラーをミラー母
材から切り出すことなく容易に一体的に成形することが
可能である。また、２つのオフアクシスミラーの偏心は
成形時に許容誤差内に加工されているため、２つのオフ
アクシスミラーを光学系の基準光軸に対してそれぞれア
ライメントすることなく、基板を基準光軸に対して位置
決め調整するだけでよい。その結果、アライメントに関
するパラメータを減らして、オフアクシスミラーのアラ
イメントを正確に行うことができる。
【００１０】なお、オフアクシスミラーのアライメント
をさらに正確に行うには、基板が基準光軸に対してほぼ
回転対称な全体形状を有することが望ましい。また、さ
らに正確なアライメントのために、２つのオフアクシス
ミラーが基板上において基準光軸に対してほぼ対称な位
置に形成されているのが好ましい。また、オフアクシス
ミラーの反射面を非球面状に形成するには、非球面状の
反射面を有するプラスチックミラー部材を基板上に貼り
合わせてもよい。
をさらに正確に行うには、基板が基準光軸に対してほぼ
回転対称な全体形状を有することが望ましい。また、さ
らに正確なアライメントのために、２つのオフアクシス
ミラーが基板上において基準光軸に対してほぼ対称な位
置に形成されているのが好ましい。また、オフアクシス
ミラーの反射面を非球面状に形成するには、非球面状の
反射面を有するプラスチックミラー部材を基板上に貼り
合わせてもよい。
【００１１】本発明の実施例を、添付図面に基づいて説
明する。図１は、本発明の第１実施例にかかる反射光学
系の構成を概略的に示す図である。第１実施例は、遠方
の対象物を観測するための望遠鏡の対物光学系に本発明
の反射光学系を適用した例である。
明する。図１は、本発明の第１実施例にかかる反射光学
系の構成を概略的に示す図である。第１実施例は、遠方
の対象物を観測するための望遠鏡の対物光学系に本発明
の反射光学系を適用した例である。
【００１２】図１の反射光学系では、遠方の対象物から
の光束１が、基板２上に形成された第１オフアクシスミ
ラー４に入射する。第１オフアクシスミラー４で反射さ
れた光は、凸面反射鏡３で反射された後、基板２上にお
いて第１オフアクシスミラー４と同じ側の面に形成され
た第２オフアクシスミラー５に入射する。第２オフアク
シスミラー５によって反射された光は、基準光軸ＡＸの
軸外に良像６を形成する。
の光束１が、基板２上に形成された第１オフアクシスミ
ラー４に入射する。第１オフアクシスミラー４で反射さ
れた光は、凸面反射鏡３で反射された後、基板２上にお
いて第１オフアクシスミラー４と同じ側の面に形成され
た第２オフアクシスミラー５に入射する。第２オフアク
シスミラー５によって反射された光は、基準光軸ＡＸの
軸外に良像６を形成する。
【００１３】基準光軸ＡＸの軸外に良像６を形成するた
めに、第１オフアクシスミラー４、第２オフアクシスミ
ラー５および凸面反射鏡３の面形状の加工誤差は小さい
ことが望ましい。また、基準光軸ＡＸに対する偏心も設
計上許容される誤差範囲に抑える必要がある。第１の実
施例においては、２つのオフアクシスミラー４および５
を共通の基板２の同一面上に形成しており、基準光軸Ａ
Ｘに対する偏心が許容設計誤差内におさまるように、２
つのオフアクシスミラー４および５を加工する際に偏心
も制御されている。
めに、第１オフアクシスミラー４、第２オフアクシスミ
ラー５および凸面反射鏡３の面形状の加工誤差は小さい
ことが望ましい。また、基準光軸ＡＸに対する偏心も設
計上許容される誤差範囲に抑える必要がある。第１の実
施例においては、２つのオフアクシスミラー４および５
を共通の基板２の同一面上に形成しており、基準光軸Ａ
Ｘに対する偏心が許容設計誤差内におさまるように、２
つのオフアクシスミラー４および５を加工する際に偏心
も制御されている。
【００１４】このように、第１実施例では、２つのオフ
アクシスミラー４および５を共通の基板２の同一面にそ
れぞれ形成している。したがって、２つのオフアクシス
ミラー４および５を、ミラー母材から切り出すことなく
容易に一体的に成形することが可能である。また、基板
２と基準光軸ＡＸとの相対位置、ひいては凸面反射鏡３
との相対位置を調整するだけで、オフアクシスミラー４
および５のアライメントを正確且つ迅速に行うことがで
きる。
アクシスミラー４および５を共通の基板２の同一面にそ
れぞれ形成している。したがって、２つのオフアクシス
ミラー４および５を、ミラー母材から切り出すことなく
容易に一体的に成形することが可能である。また、基板
２と基準光軸ＡＸとの相対位置、ひいては凸面反射鏡３
との相対位置を調整するだけで、オフアクシスミラー４
および５のアライメントを正確且つ迅速に行うことがで
きる。
【００１５】図２は、本発明の第２実施例にかかる反射
光学系の構成を概略的に示す図である。第２実施例は、
ツェルニー・ターナー・マウントの分光器の軸外し光学
系に本発明の反射光学系を適用した例である。
光学系の構成を概略的に示す図である。第２実施例は、
ツェルニー・ターナー・マウントの分光器の軸外し光学
系に本発明の反射光学系を適用した例である。
【００１６】図２の反射光学系では、入射スリット７を
介した光９が、基板１０上に形成された第１オフアクシ
スミラー１１に入射する。第１オフアクシスミラー１１
で反射されて平行光となった光は、分光光学素子１３を
介して分光された後、基板１０上において第１オフアク
シスミラー１１と同じ側の面に形成された第２オフアク
シスミラー１２に入射する。第２オフアクシスミラー１
２によって反射された光は、基準光軸ＡＸから外れた射
出スリット８上に集光する。こうして、分光された光
が、射出スリット８を介して検出される。
介した光９が、基板１０上に形成された第１オフアクシ
スミラー１１に入射する。第１オフアクシスミラー１１
で反射されて平行光となった光は、分光光学素子１３を
介して分光された後、基板１０上において第１オフアク
シスミラー１１と同じ側の面に形成された第２オフアク
シスミラー１２に入射する。第２オフアクシスミラー１
２によって反射された光は、基準光軸ＡＸから外れた射
出スリット８上に集光する。こうして、分光された光
が、射出スリット８を介して検出される。
【００１７】このように、第２実施例においても、２つ
のオフアクシスミラー１１および１２は基板１０の同一
面にそれぞれ形成されており、２つのオフアクシスミラ
ーの偏心も許容誤差内に抑えている。したがって、２つ
のオフアクシスミラー１１および１２を、ミラー母材か
ら切り出すことなく容易に一体的に成形することが可能
である。また、基板１０と基準光軸ＡＸとの相対位置、
ひいては分光光学素子１３、入射スリット７および射出
スリット８との相対位置を調整するだけで、オフアクシ
スミラー１１および１２のアライメントを正確且つ迅速
に行うことができる。
のオフアクシスミラー１１および１２は基板１０の同一
面にそれぞれ形成されており、２つのオフアクシスミラ
ーの偏心も許容誤差内に抑えている。したがって、２つ
のオフアクシスミラー１１および１２を、ミラー母材か
ら切り出すことなく容易に一体的に成形することが可能
である。また、基板１０と基準光軸ＡＸとの相対位置、
ひいては分光光学素子１３、入射スリット７および射出
スリット８との相対位置を調整するだけで、オフアクシ
スミラー１１および１２のアライメントを正確且つ迅速
に行うことができる。
【００１８】図３は、第１実施例および第２実施例にお
けるオフアクシスミラーの形成を説明するための図であ
る。図３では、基板２９が中心軸線Ｏに関してほぼ回転
対称な全体形状を有する。そして、２つのオフアクシス
ミラー２７および２８が、基板２９の同一面において中
心軸線Ｏに対してほぼ対称な位置に形成されている。な
お、基板２９上においてオフアクシスミラー２７および
２８が形成されていない領域（図中白抜きの部分）で
は、迷光等の発生を避けるためにマスキングが施されて
いる。
けるオフアクシスミラーの形成を説明するための図であ
る。図３では、基板２９が中心軸線Ｏに関してほぼ回転
対称な全体形状を有する。そして、２つのオフアクシス
ミラー２７および２８が、基板２９の同一面において中
心軸線Ｏに対してほぼ対称な位置に形成されている。な
お、基板２９上においてオフアクシスミラー２７および
２８が形成されていない領域（図中白抜きの部分）で
は、迷光等の発生を避けるためにマスキングが施されて
いる。
【００１９】このように、基板２９が中心軸線Ｏに関し
てほぼ回転対称な全体形状を有する場合、基準光軸ＡＸ
と中心軸線Ｏとを一致させてアライメントを行うように
構成すれば、オフアクシスミラー２７および２８のアラ
イメントをさらに正確且つ迅速に行うことができる。ま
た、２つのオフアクシスミラー２７および２８の形成位
置が中心軸線Ｏに対してほぼ対称でオフアクシスミラー
２７および２８の偏心が許容される誤差範囲内であれ
ば、基板２９上におけるオフアクシスミラーの形成位置
の誤差を最小限に抑えてアライメントをさらに正確且つ
迅速に行うことができる。
てほぼ回転対称な全体形状を有する場合、基準光軸ＡＸ
と中心軸線Ｏとを一致させてアライメントを行うように
構成すれば、オフアクシスミラー２７および２８のアラ
イメントをさらに正確且つ迅速に行うことができる。ま
た、２つのオフアクシスミラー２７および２８の形成位
置が中心軸線Ｏに対してほぼ対称でオフアクシスミラー
２７および２８の偏心が許容される誤差範囲内であれ
ば、基板２９上におけるオフアクシスミラーの形成位置
の誤差を最小限に抑えてアライメントをさらに正確且つ
迅速に行うことができる。
【００２０】なお、上述の各実施例において、２つのオ
フアクシスミラーの反射面の曲率半径は必ずしも同じで
はなく、互いに異なっていてもよい。すなわち、図４に
示すように、第１オフアクシスミラー４１の反射面の曲
率半径Ｒ１と、第２オフアクシスミラー４２の反射面の
曲率半径Ｒ２とが異なっていてもよい。また、図４に示
すように、第１オフアクシスミラー４１の頂点と第２オ
フアクシスミラー４２の頂点とは一致していなくてもよ
い。
フアクシスミラーの反射面の曲率半径は必ずしも同じで
はなく、互いに異なっていてもよい。すなわち、図４に
示すように、第１オフアクシスミラー４１の反射面の曲
率半径Ｒ１と、第２オフアクシスミラー４２の反射面の
曲率半径Ｒ２とが異なっていてもよい。また、図４に示
すように、第１オフアクシスミラー４１の頂点と第２オ
フアクシスミラー４２の頂点とは一致していなくてもよ
い。
【００２１】また、上述の各実施例において、オフアク
シスミラーの反射面は必ずしも球面状ではなく、非球面
状であってもよい。すなわち、図５に示すように、たと
えば基板５１上に形成された第１オフアクシスミラー５
２の反射面は球面状で、第２オフアクシスミラー５３の
反射面が非球面状であってもよいし、第１オフアクシス
ミラー５２および第２オフアクシスミラー５３の反射面
が双方とも非球面状であってもよい。
シスミラーの反射面は必ずしも球面状ではなく、非球面
状であってもよい。すなわち、図５に示すように、たと
えば基板５１上に形成された第１オフアクシスミラー５
２の反射面は球面状で、第２オフアクシスミラー５３の
反射面が非球面状であってもよいし、第１オフアクシス
ミラー５２および第２オフアクシスミラー５３の反射面
が双方とも非球面状であってもよい。
【００２２】この場合、高精度な反射面が要求される場
合には、基板としてガラス材料を選択し、たとえばＮＣ
研削、スモールツール研磨等の使用により、それぞれの
反射面を成形することが可能である。また、反射面の面
精度が厳しくない場合には、加工の容易性からプラスチ
ック材料を選択し、プラスチック基板の圧縮成形や射出
成形等によってオフアクシスミラー５２および５３を形
成することもできる。あるいは、ガラス基板を選択し、
予め成形されたプラスチックミラー部材５４をカラス基
板５１に貼り合わせて加工してもよい。
合には、基板としてガラス材料を選択し、たとえばＮＣ
研削、スモールツール研磨等の使用により、それぞれの
反射面を成形することが可能である。また、反射面の面
精度が厳しくない場合には、加工の容易性からプラスチ
ック材料を選択し、プラスチック基板の圧縮成形や射出
成形等によってオフアクシスミラー５２および５３を形
成することもできる。あるいは、ガラス基板を選択し、
予め成形されたプラスチックミラー部材５４をカラス基
板５１に貼り合わせて加工してもよい。
【００２３】さらに、上述の各実施例において、望遠鏡
や分光器の反射光学系に本発明を適用した例を示してい
る。しかしながら、入射光を反射するための第１オフア
クシスミラーと、第１オフアクシスミラーからの光を反
射するための反射部材と、反射部材からの光を反射して
射出するための第２オフアクシスミラーとを備えた一般
系な反射光学系に対して、本発明を適用することができ
る。
や分光器の反射光学系に本発明を適用した例を示してい
る。しかしながら、入射光を反射するための第１オフア
クシスミラーと、第１オフアクシスミラーからの光を反
射するための反射部材と、反射部材からの光を反射して
射出するための第２オフアクシスミラーとを備えた一般
系な反射光学系に対して、本発明を適用することができ
る。
【００２４】
【効果】以上説明したように、本発明の反射光学系で
は、２つのオフアクシスミラーを共通の基板上に形成し
ているので、オフアクシスミラーの成形が容易であり、
光学系の基準光軸に対する基板の位置調整をするだけで
オフアクシスミラーのアライメントを正確且つ迅速に行
うことができる。
は、２つのオフアクシスミラーを共通の基板上に形成し
ているので、オフアクシスミラーの成形が容易であり、
光学系の基準光軸に対する基板の位置調整をするだけで
オフアクシスミラーのアライメントを正確且つ迅速に行
うことができる。
【図１】本発明の第１実施例にかかる反射光学系の構成
を概略的に示す図である。
を概略的に示す図である。
【図２】本発明の第２実施例にかかる反射光学系の構成
を概略的に示す図である。
を概略的に示す図である。
【図３】第１実施例および第２実施例におけるオフアク
シスミラーの形成を説明するための図である。
シスミラーの形成を説明するための図である。
【図４】第１オフアクシスミラーの反射面の曲率半径
と、第２オフアクシスミラーの反射面の曲率半径とが異
なる場合を示す図である。
と、第２オフアクシスミラーの反射面の曲率半径とが異
なる場合を示す図である。
【図５】基板上に形成された一方のオフアクシスミラー
の反射面が非球面状である場合の形成方法を示す図であ
る。
の反射面が非球面状である場合の形成方法を示す図であ
る。
【図６】従来の望遠鏡の反射光学系の構成を概略的に示
す図である。
す図である。
【図７】従来のツェルニー・ターナー・マウントの分光
器の反射光学系の構成を概略的に示す図である。
器の反射光学系の構成を概略的に示す図である。
【図８】オフアクシスミラーの従来の成形方法の一例を
示す図である。
示す図である。
２，１０ 基板 ４，１１ 第１オフアクシスミラー ５，１２ 第２オフアクシスミラー ３ 凸面反射鏡 ６ 像 ７ 入射スリット ８ 射出スリット １３ 分光光学素子 ＡＸ 基準光軸
Claims (4)
- 【請求項１】 基準光軸の軸外に位置決めされ且つ入射
光を反射するための第１オフアクシスミラーと、該第１
オフアクシスミラーからの光を反射するための反射部材
と、前記基準光軸の軸外に位置決めされ且つ前記反射部
材からの光を反射して射出するための第２オフアクシス
ミラーとを備えた反射光学系において、 前記第１オフアクシスミラーおよび前記第２オフアクシ
スミラーは、共通の基板の同一面にそれぞれ形成されて
いることを特徴とする反射光学系。 - 【請求項２】 前記基板は、前記基準光軸に対してほぼ
回転対称な全体形状を有することを特徴とする請求項１
に記載の反射光学系。 - 【請求項３】 前記第１オフアクシスミラーと前記第２
オフアクシスミラーとは、前記基板上において前記基準
光軸に対してほぼ対称な位置に形成されていることを特
徴とする請求項１または２に記載の反射光学系。 - 【請求項４】 前記第１オフアクシスミラーおよび前記
第２オフアクシスミラーのうち少なくとも一方は、非球
面状の反射面を有するプラスチックミラー部材を前記基
板上に貼り合わせて形成されていることを特徴とする請
求項１乃至３のいずれか１項に記載の反射光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26219795A JP3525423B2 (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | 反射光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26219795A JP3525423B2 (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | 反射光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0980310A true JPH0980310A (ja) | 1997-03-28 |
| JP3525423B2 JP3525423B2 (ja) | 2004-05-10 |
Family
ID=17372436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP26219795A Expired - Fee Related JP3525423B2 (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | 反射光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3525423B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008152280A (ja) * | 2008-02-08 | 2008-07-03 | Konica Minolta Opto Inc | 光学系の設計方法及び製造方法 |
| JP2008233932A (ja) * | 2003-06-30 | 2008-10-02 | Asml Holding Nv | フラットパネルディスプレイ製造用露光システムおよびフラットパネルディスプレイ製造用ユニット拡大環状光学系 |
| KR102287242B1 (ko) * | 2020-02-05 | 2021-08-10 | 한국표준과학연구원 | 본체와 거울 일체형 광학계 및 그 제작방법 |
-
1995
- 1995-09-14 JP JP26219795A patent/JP3525423B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008233932A (ja) * | 2003-06-30 | 2008-10-02 | Asml Holding Nv | フラットパネルディスプレイ製造用露光システムおよびフラットパネルディスプレイ製造用ユニット拡大環状光学系 |
| JP2008152280A (ja) * | 2008-02-08 | 2008-07-03 | Konica Minolta Opto Inc | 光学系の設計方法及び製造方法 |
| KR102287242B1 (ko) * | 2020-02-05 | 2021-08-10 | 한국표준과학연구원 | 본체와 거울 일체형 광학계 및 그 제작방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3525423B2 (ja) | 2004-05-10 |
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