JPH0976491A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JPH0976491A JPH0976491A JP24156195A JP24156195A JPH0976491A JP H0976491 A JPH0976491 A JP H0976491A JP 24156195 A JP24156195 A JP 24156195A JP 24156195 A JP24156195 A JP 24156195A JP H0976491 A JPH0976491 A JP H0976491A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- piezoelectric element
- ink
- photosensitive resin
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ピンホールの問題を解決し、振動板の反りが
生じ難く、安価に製造できるインクジェットヘッドを提
供する 【解決手段】 インクジェットヘッドは、インク吐出手
段としての圧電素子２と、圧電素子２に接し、その変位
をインク室６に伝達する振動板１と、インク吐出口が形
成されたノズルプレート４と、振動板１とノズルプレー
ト４との間に形成されインク室６を形成するための感光
性樹脂３とを有する。振動板１は金属板１ａとその上の
感光性樹脂１ｂとで構成され、感光性樹脂１ｂの一部に
溝１ｃが形成されている。溝１ｃは、隣接するインク室
に、圧電素子２による振動板１の変位の影響が及ばない
ようにするための設けられている。
生じ難く、安価に製造できるインクジェットヘッドを提
供する 【解決手段】 インクジェットヘッドは、インク吐出手
段としての圧電素子２と、圧電素子２に接し、その変位
をインク室６に伝達する振動板１と、インク吐出口が形
成されたノズルプレート４と、振動板１とノズルプレー
ト４との間に形成されインク室６を形成するための感光
性樹脂３とを有する。振動板１は金属板１ａとその上の
感光性樹脂１ｂとで構成され、感光性樹脂１ｂの一部に
溝１ｃが形成されている。溝１ｃは、隣接するインク室
に、圧電素子２による振動板１の変位の影響が及ばない
ようにするための設けられている。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、画像信号に基づい
て印字用紙に対してインク滴を吐出するインク吐出口を
有しインク吐出手段として圧伝素子を使用したインクジ
ェットヘッドに関する。
て印字用紙に対してインク滴を吐出するインク吐出口を
有しインク吐出手段として圧伝素子を使用したインクジ
ェットヘッドに関する。
【０００１】
【従来の技術】図４は従来のインクジェットヘッドの一
例を示す断面図である。図において、インクジェットヘ
ッドは、画信号に基づいて印字用紙に対してインク滴を
吐出させる手段としての圧電素子２０と、圧電素子の変
位を伝達する薄板（以下、振動板と称す）１０と、感光
性プレート３０と、ノズルプレート４０とを有し、振動
板１０を変形させることでインク滴５０をノズルプレー
ト４０のノズルから吐出させる。
例を示す断面図である。図において、インクジェットヘ
ッドは、画信号に基づいて印字用紙に対してインク滴を
吐出させる手段としての圧電素子２０と、圧電素子の変
位を伝達する薄板（以下、振動板と称す）１０と、感光
性プレート３０と、ノズルプレート４０とを有し、振動
板１０を変形させることでインク滴５０をノズルプレー
ト４０のノズルから吐出させる。
【０００２】振動板１０は、その変位が隣接インク室に
影響を与えないように、隣接インク室との間に薄肉部６
０を有し、圧電素子２０と接する部分がアイランドを形
成するのが一般的である。また、圧電素子２０の限られ
た変位量で振動板１０の所望の変位を得るためには、振
動板１０の薄肉化が不可欠でもあった。
影響を与えないように、隣接インク室との間に薄肉部６
０を有し、圧電素子２０と接する部分がアイランドを形
成するのが一般的である。また、圧電素子２０の限られ
た変位量で振動板１０の所望の変位を得るためには、振
動板１０の薄肉化が不可欠でもあった。
【０００３】そしてこの振動板１０は、一般に電鋳技術
により製造される。しかし、この振動板は製作中におい
て薄肉部にピンホールが出来易いなど、品質の確保が難
しく、コスト的にも問題があった。
により製造される。しかし、この振動板は製作中におい
て薄肉部にピンホールが出来易いなど、品質の確保が難
しく、コスト的にも問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の振動板は、
電鋳による製法では薄肉部の品質確保が難しく、ピンホ
ール析出のためにインクが漏れたり、加工上どうしても
ある程度の反りを生じてしまうという問題があった。ま
た電鋳でピンホールを形成するので、コスト的にも高価
であった。
電鋳による製法では薄肉部の品質確保が難しく、ピンホ
ール析出のためにインクが漏れたり、加工上どうしても
ある程度の反りを生じてしまうという問題があった。ま
た電鋳でピンホールを形成するので、コスト的にも高価
であった。
【０００５】本発明の目的は、ピンホールの問題を解決
し、振動板の反りが生じ難く、安価に製造できるインク
ジェットヘッドを提供することにある。
し、振動板の反りが生じ難く、安価に製造できるインク
ジェットヘッドを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、圧電素
子と、この圧電素子に接し、その変位をインク室に伝達
する振動板と、インク吐出口が形成されたノズルプレー
トと、振動板とノズルプレートとの間に形成されインク
室を形成するための層とを含み、振動板が金属板とその
上の感光性樹脂とで構成され、感光性樹脂の前記圧電素
子が接する周囲に溝が形成されたことを特徴とするイン
クジェットヘッドが得られる。
子と、この圧電素子に接し、その変位をインク室に伝達
する振動板と、インク吐出口が形成されたノズルプレー
トと、振動板とノズルプレートとの間に形成されインク
室を形成するための層とを含み、振動板が金属板とその
上の感光性樹脂とで構成され、感光性樹脂の前記圧電素
子が接する周囲に溝が形成されたことを特徴とするイン
クジェットヘッドが得られる。
【０００７】本発明では、圧電素子の周囲に溝がなくて
も、金属板、感光性樹脂の厚さを薄くすれば、十分なイ
ンク吐出力と隣接するインク室への影響を少なくでき
る。
も、金属板、感光性樹脂の厚さを薄くすれば、十分なイ
ンク吐出力と隣接するインク室への影響を少なくでき
る。
【０００８】また本発明では、振動板が、感光性樹脂の
みで構成されても良い。
みで構成されても良い。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
て図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】図１は本発明の第１の実施の形態を示す断
面図である。図において、第１の実施の形態のインクジ
ェットヘッドは、インク吐出手段としての圧電素子２
と、圧電素子２に接し、その変位をインク室６に伝達す
る振動板１と、インク吐出口が形成されたノズルプレー
ト４と、振動板１とノズルプレート４との間に形成され
インク室６を形成するための感光性樹脂３とを有する。
この第１の形態のインクジェットヘッドの特徴は、振動
板１が金属板１ａとその上の感光性樹脂１ｂとで構成さ
れ、感光性樹脂１ｂの一部に溝１ｃが形成されている点
である。溝１ｃは、隣接するインク室に、圧電素子２に
よる振動板１の変位の影響が及ばないようにするための
設けられている。この溝１ｃによって圧電素子２に接触
する部分がアイランドとなる。
面図である。図において、第１の実施の形態のインクジ
ェットヘッドは、インク吐出手段としての圧電素子２
と、圧電素子２に接し、その変位をインク室６に伝達す
る振動板１と、インク吐出口が形成されたノズルプレー
ト４と、振動板１とノズルプレート４との間に形成され
インク室６を形成するための感光性樹脂３とを有する。
この第１の形態のインクジェットヘッドの特徴は、振動
板１が金属板１ａとその上の感光性樹脂１ｂとで構成さ
れ、感光性樹脂１ｂの一部に溝１ｃが形成されている点
である。溝１ｃは、隣接するインク室に、圧電素子２に
よる振動板１の変位の影響が及ばないようにするための
設けられている。この溝１ｃによって圧電素子２に接触
する部分がアイランドとなる。
【００１１】金属板１ａの素材として、ニッケル圧延板
を用いた。またその素材は、ステンレスでも良く、特に
材料を限定しないが、インクジェットヘッドの振動板と
しての物理的特性が十分に得られ、使用するインクに対
する耐食性があるものであれば良い。圧電素子２との振
幅運動による疲労を考慮して板材は、圧延板が好まし
い。金属板２ａの厚さは、１〜１０μｍが望ましい。
を用いた。またその素材は、ステンレスでも良く、特に
材料を限定しないが、インクジェットヘッドの振動板と
しての物理的特性が十分に得られ、使用するインクに対
する耐食性があるものであれば良い。圧電素子２との振
幅運動による疲労を考慮して板材は、圧延板が好まし
い。金属板２ａの厚さは、１〜１０μｍが望ましい。
【００１２】感光性樹脂１ｂの素材は、半導体レジスト
を用いた。液状レジストも可能であるが、厚みの設定が
容易に且つ正確にできる感光性フィルムがよい。またソ
ルダーレジストを使用した場合、耐食性およびた耐候性
に優れる。感光性樹脂１ｂは圧電素子２を接着する役割
も果たす。感光性樹脂１ｂの厚さは、５０μｍ以下が望
ましい。
を用いた。液状レジストも可能であるが、厚みの設定が
容易に且つ正確にできる感光性フィルムがよい。またソ
ルダーレジストを使用した場合、耐食性およびた耐候性
に優れる。感光性樹脂１ｂは圧電素子２を接着する役割
も果たす。感光性樹脂１ｂの厚さは、５０μｍ以下が望
ましい。
【００１３】図２は本発明の第２の実施の形態を示すイ
ンクジェットヘッドの断面図である。図において、図１
のインクジェットヘッドとの相違は、振動板が全て感光
性樹脂１ｂで構成された点である。振動板全体が感光性
樹脂になったことで、弾性率が低下することから敢えて
凹凸のある形状や圧電素子２が接触するアイランド部ま
たは溝を形成する必要がなくなり、単なる板状となるの
で、製造が簡略化できる。
ンクジェットヘッドの断面図である。図において、図１
のインクジェットヘッドとの相違は、振動板が全て感光
性樹脂１ｂで構成された点である。振動板全体が感光性
樹脂になったことで、弾性率が低下することから敢えて
凹凸のある形状や圧電素子２が接触するアイランド部ま
たは溝を形成する必要がなくなり、単なる板状となるの
で、製造が簡略化できる。
【００１４】図３は本発明の第３の実施の形態を示すイ
ンクジェットヘッドの断面図である。図において、図１
のインクジェットヘッドとの相違は、振動板１の感光性
樹脂１ｂの厚みを薄くし、溝１ｃをなくしてフラットに
した点である。感光性樹脂の厚さは３０μｍ以下が望ま
しい。
ンクジェットヘッドの断面図である。図において、図１
のインクジェットヘッドとの相違は、振動板１の感光性
樹脂１ｂの厚みを薄くし、溝１ｃをなくしてフラットに
した点である。感光性樹脂の厚さは３０μｍ以下が望ま
しい。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
振動板が電鋳技術によらずに形成されるので、コスト低
減が見込める。請求項１では金属薄板状に感光性樹脂を
形成し、その感光性樹脂を一部切り欠いて溝が形成され
るので、電鋳技術がいらず、ピンホールや異物混入の問
題も解決でき、反りがほとんど生じない。さらに請求項
１によれば、振動板の溝の下の薄肉部分すなわち金属板
の厚みが電鋳技術で形成される従来のものに比べて薄く
することができ、その薄肉部分と感光性樹脂を含めた振
動板の厚肉部分とのアクペクト比の制約もほとんど気に
せずに形成できる。
振動板が電鋳技術によらずに形成されるので、コスト低
減が見込める。請求項１では金属薄板状に感光性樹脂を
形成し、その感光性樹脂を一部切り欠いて溝が形成され
るので、電鋳技術がいらず、ピンホールや異物混入の問
題も解決でき、反りがほとんど生じない。さらに請求項
１によれば、振動板の溝の下の薄肉部分すなわち金属板
の厚みが電鋳技術で形成される従来のものに比べて薄く
することができ、その薄肉部分と感光性樹脂を含めた振
動板の厚肉部分とのアクペクト比の制約もほとんど気に
せずに形成できる。
【００１６】また、請求項２では、同様の効果の他に、
製造工程が簡略化されるという利点がある。
製造工程が簡略化されるという利点がある。
【図１】本発明の第１の実施の形態のインクジェットヘ
ッドを示す断面図である。
ッドを示す断面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態のインクジェットヘ
ッドを示す断面図である。
ッドを示す断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態のインクジェットヘ
ッドを示す断面図である。
ッドを示す断面図である。
【図４】従来のインクジェットヘッドを示す断面図であ
る。
る。
１ 振動板 １ａ 金属板 １ｂ 感光性樹脂 ２ 圧電素子 ３ 感光性樹脂 ４ ノズルプレート
Claims (5)
- 【請求項１】 圧電素子と、前記圧電素子に接し、その
変位をインク室に伝達する振動板と、インク吐出口が形
成されたノズルプレートと、前記振動板と前記ノズルプ
レートとの間に形成され前記インク室を形成するための
層とを含み、前記振動板が金属板とその上の感光性樹脂
とで構成され、前記感光性樹脂の前記圧電素子が接する
周囲に溝が形成されたことを特徴とするインクジェット
ヘッド。 - 【請求項２】 前記金属板は、圧延板であることを特徴
とする請求項１に記載されたインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 前記金属板は、厚さが１〜１０μｍであ
ることを特徴とする請求項２に記載されたインクジェッ
トヘッド。 - 【請求項４】 圧電素子と、前記圧電素子に接し、その
変位をインク室に伝達する振動板と、インク吐出口が形
成されたノズルプレートと、前記振動板と前記ノズルプ
レートとの間に形成され前記インク室を形成するための
層とを含み、前記振動板が感光性樹脂であることを特徴
とするインクジェットヘッド。 - 【請求項５】 圧電素子と、前記圧電素子に接し、その
変位をインク室に伝達する振動板と、インク吐出口が形
成されたノズルプレートと、前記振動板と前記ノズルプ
レートとの間に形成され前記インク室を形成するための
層とを含み、前記振動板が金属板とその上の感光性樹脂
とで構成されたことを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24156195A JPH0976491A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24156195A JPH0976491A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0976491A true JPH0976491A (ja) | 1997-03-25 |
Family
ID=17076181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24156195A Pending JPH0976491A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0976491A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004198421A (ja) * | 2002-12-13 | 2004-07-15 | Xerox Corp | 圧電変換器 |
| JP2007090521A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-12 | Fuji Xerox Co Ltd | 振動板、振動板組立体、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置 |
-
1995
- 1995-09-20 JP JP24156195A patent/JPH0976491A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004198421A (ja) * | 2002-12-13 | 2004-07-15 | Xerox Corp | 圧電変換器 |
| JP2007090521A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-12 | Fuji Xerox Co Ltd | 振動板、振動板組立体、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980908 |