JPH0972495A - 液化ガス供給装置 - Google Patents
液化ガス供給装置Info
- Publication number
- JPH0972495A JPH0972495A JP7259167A JP25916795A JPH0972495A JP H0972495 A JPH0972495 A JP H0972495A JP 7259167 A JP7259167 A JP 7259167A JP 25916795 A JP25916795 A JP 25916795A JP H0972495 A JPH0972495 A JP H0972495A
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- Japan
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- liquefied gas
- cylinder
- gas
- pressure gauge
- valve
- Prior art date
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/32—Hydrogen storage
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ボンベ内の液化ガス量が従来よりも少なくな
るまでガス供給ができ、ボンベ交換頻度を低減すること
のできる液化ガス供給装置を提供する。 【構成】 液化ガスを充填されたボンベ１と、管路５に
よって前記ボンベと接続され気化したガスを貯留しガス
使用設備への出口配管１０を有するタンク６と、前記管
路５上に設けられた圧力計２及び開閉弁３と、前記圧力
計から信号を受けて前記開閉弁を開閉操作する操作盤１
１とを備えた構成とする。さらに操作盤は、圧力計から
受信する圧力値の急減によって開閉弁を閉操作するよう
にする。
るまでガス供給ができ、ボンベ交換頻度を低減すること
のできる液化ガス供給装置を提供する。 【構成】 液化ガスを充填されたボンベ１と、管路５に
よって前記ボンベと接続され気化したガスを貯留しガス
使用設備への出口配管１０を有するタンク６と、前記管
路５上に設けられた圧力計２及び開閉弁３と、前記圧力
計から信号を受けて前記開閉弁を開閉操作する操作盤１
１とを備えた構成とする。さらに操作盤は、圧力計から
受信する圧力値の急減によって開閉弁を閉操作するよう
にする。
Description
【産業上の利用分野】本発明は、半導体工場等において
ボンベに充填されたアンモニアや塩化水素などを各種製
造設備に供給する液化ガス供給装置に関する。
ボンベに充填されたアンモニアや塩化水素などを各種製
造設備に供給する液化ガス供給装置に関する。
【従来の技術】従来の液化ガス供給装置においては、液
化ガスのボンベはその残量をロードセル（重量計）によ
って測定して交換していた。この場合、液化ガスはその
性質上ボンベ内の残量がある限度以下に減少すると、そ
の供給圧力が急激に低下するため、かなりの余裕を持っ
て交換されていた。
化ガスのボンベはその残量をロードセル（重量計）によ
って測定して交換していた。この場合、液化ガスはその
性質上ボンベ内の残量がある限度以下に減少すると、そ
の供給圧力が急激に低下するため、かなりの余裕を持っ
て交換されていた。
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来の液
化ガス供給装置においては、ボンベは、そのなかにかな
りの量の液化ガスを残したまま交換されていたので、交
換頻度が高く不経済であった。そこで本発明は、ボンベ
内の液化ガス量が従来よりも少なくなるまでガス供給が
でき、ボンベ交換頻度を低減することのできる液化ガス
供給装置を提供することを目的とする。
化ガス供給装置においては、ボンベは、そのなかにかな
りの量の液化ガスを残したまま交換されていたので、交
換頻度が高く不経済であった。そこで本発明は、ボンベ
内の液化ガス量が従来よりも少なくなるまでガス供給が
でき、ボンベ交換頻度を低減することのできる液化ガス
供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の液化ガス供給装置は、液化ガスを充填された
ボンベと、管路によって前記ボンベと接続され気化した
ガスを貯留しガス使用設備への出口配管を有するタンク
と、前記管路上に設けられた圧力計及び開閉弁と、前記
圧力計から信号を受けて前記開閉弁を開閉操作する操作
盤とを備えた構成とする。さらに操作盤は、圧力計から
受信する圧力値の急減によって開閉弁を閉操作するよう
にする。
に本発明の液化ガス供給装置は、液化ガスを充填された
ボンベと、管路によって前記ボンベと接続され気化した
ガスを貯留しガス使用設備への出口配管を有するタンク
と、前記管路上に設けられた圧力計及び開閉弁と、前記
圧力計から信号を受けて前記開閉弁を開閉操作する操作
盤とを備えた構成とする。さらに操作盤は、圧力計から
受信する圧力値の急減によって開閉弁を閉操作するよう
にする。
【作用】本発明の液化ガス供給装置においては、ボンベ
からの気化ガスをタンクに一時的に溜めておき、また、
圧力計によってボンベ内液化ガスの残量およびボンベ交
換時期をモニターすることができるので、ボンベ内に液
化ガスを多量に残すことなく、また、ボンベのガス圧力
が急激に低下してからでも、タンクによってガス使用設
備への供給圧力を維持してボンベ交換ができる。
からの気化ガスをタンクに一時的に溜めておき、また、
圧力計によってボンベ内液化ガスの残量およびボンベ交
換時期をモニターすることができるので、ボンベ内に液
化ガスを多量に残すことなく、また、ボンベのガス圧力
が急激に低下してからでも、タンクによってガス使用設
備への供給圧力を維持してボンベ交換ができる。
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。図１は液化ガス供給源をＡ系統、Ｂ系統の２系統持
つ場合を示す。液化ガスボンベ１は、圧力計２、高圧コ
ントロールバルブ３及び逆止弁４を有する供給管路５に
よってバッファタンク６に接続されている。供給管路５
の途中から、高圧コントロールバルブ７を有するパージ
管路８が分岐されている。また、バッファタンク６に
は、高圧コントロールバルブ９を有する主管路１０が接
続されている。さらに、本実施例の液化ガス供給装置は
工程操作盤１１を備え、この工程操作盤１１には圧力計
２の信号線が入り、高圧コントロールバルブ３、７、９
にその動作電力を供給するケーブルが引き出されてい
る。このように構成された液化ガス供給装置において、
Ａ系統のボンベ１の液化ガスの残量が十分である間は、
ボンベ１内で気化したガスは圧力計２に十分高い検出値
を与える。工程操作盤１１はこの信号を受けて、高圧コ
ントロールバルブ３と９を開、高圧コントロールバルブ
７を閉に保ち、気化したガスはボンベ１から供給管路５
を通ってバッファタンク６に送り込まれ、さらに、主管
路１０を通してガス使用設備に供給される。Ａ系統のボ
ンベ１の液化ガスの残量が減少しガス圧力が所定値より
低下すると、工程操作盤１１は圧力計２からその信号を
受けて系統切替信号を発生する。この系統切替信号によ
ってＡ系統の高圧コントロールバルブ３を閉じ、Ｂ系統
の高圧コントロールバルブ３を開にする。そして、Ｂ系
統からの供給が開始されるまでの間、主管路１０の先の
ガス使用設備には、バッファタンク６に貯留されたガス
が所定値以上の圧力で連続供給される。Ａ系統の空のボ
ンベを取外し新しいボンベを取付けたときは、高圧コン
トロールバルブ７を開にして、ボンベ１から高圧コント
ロールバルブ３までの供給管路５に入った空気をパージ
する。なお、逆止弁４は、装置の信頼性を高めるために
つけたものであり、高圧コントロールバルブの動作等が
確実であれば不要である。
る。図１は液化ガス供給源をＡ系統、Ｂ系統の２系統持
つ場合を示す。液化ガスボンベ１は、圧力計２、高圧コ
ントロールバルブ３及び逆止弁４を有する供給管路５に
よってバッファタンク６に接続されている。供給管路５
の途中から、高圧コントロールバルブ７を有するパージ
管路８が分岐されている。また、バッファタンク６に
は、高圧コントロールバルブ９を有する主管路１０が接
続されている。さらに、本実施例の液化ガス供給装置は
工程操作盤１１を備え、この工程操作盤１１には圧力計
２の信号線が入り、高圧コントロールバルブ３、７、９
にその動作電力を供給するケーブルが引き出されてい
る。このように構成された液化ガス供給装置において、
Ａ系統のボンベ１の液化ガスの残量が十分である間は、
ボンベ１内で気化したガスは圧力計２に十分高い検出値
を与える。工程操作盤１１はこの信号を受けて、高圧コ
ントロールバルブ３と９を開、高圧コントロールバルブ
７を閉に保ち、気化したガスはボンベ１から供給管路５
を通ってバッファタンク６に送り込まれ、さらに、主管
路１０を通してガス使用設備に供給される。Ａ系統のボ
ンベ１の液化ガスの残量が減少しガス圧力が所定値より
低下すると、工程操作盤１１は圧力計２からその信号を
受けて系統切替信号を発生する。この系統切替信号によ
ってＡ系統の高圧コントロールバルブ３を閉じ、Ｂ系統
の高圧コントロールバルブ３を開にする。そして、Ｂ系
統からの供給が開始されるまでの間、主管路１０の先の
ガス使用設備には、バッファタンク６に貯留されたガス
が所定値以上の圧力で連続供給される。Ａ系統の空のボ
ンベを取外し新しいボンベを取付けたときは、高圧コン
トロールバルブ７を開にして、ボンベ１から高圧コント
ロールバルブ３までの供給管路５に入った空気をパージ
する。なお、逆止弁４は、装置の信頼性を高めるために
つけたものであり、高圧コントロールバルブの動作等が
確実であれば不要である。
【発明の効果】本発明の液化ガス供給装置においては、
ボンベからの気化ガスをタンクに一時的に溜めておき、
また、圧力計によってボンベ内液化ガスの残量およびボ
ンベ交換時期をモニターすることができるので、ボンベ
内に液化ガスを多量に残すことなく、また、ボンベのガ
ス圧力が急激に低下してからでも、タンクによってガス
使用設備への供給圧力を維持してボンベ交換ができる。
したがって、ボンベ内の液化ガス量が従来よりも少なく
なるまでガス供給でき、ボンベ交換頻度を低減すること
ができる。
ボンベからの気化ガスをタンクに一時的に溜めておき、
また、圧力計によってボンベ内液化ガスの残量およびボ
ンベ交換時期をモニターすることができるので、ボンベ
内に液化ガスを多量に残すことなく、また、ボンベのガ
ス圧力が急激に低下してからでも、タンクによってガス
使用設備への供給圧力を維持してボンベ交換ができる。
したがって、ボンベ内の液化ガス量が従来よりも少なく
なるまでガス供給でき、ボンベ交換頻度を低減すること
ができる。
【図１】本発明の実施例を示す図
１・・液化ガスボンベ ２・
・圧力計 ３，７，９・・高圧コントロールバルブ ４・
・逆止弁 ５・・供給管路 ６・
・バッファタンク ８・・パージ管路 １０・
・主管路 １１・・工程操作盤
・圧力計 ３，７，９・・高圧コントロールバルブ ４・
・逆止弁 ５・・供給管路 ６・
・バッファタンク ８・・パージ管路 １０・
・主管路 １１・・工程操作盤
Claims (2)
- 【請求項１】 液化ガスを充填されたボンベと、管路に
よって前記ボンベと接続され気化したガスを貯留しガス
使用設備への出口配管を有するタンクと、前記管路上に
設けられた圧力計及び開閉弁と、前記圧力計から信号を
受けて前記開閉弁を開閉操作する操作盤とを備えたこと
を特徴とする液化ガス供給装置。 - 【請求項２】 操作盤は、圧力計から受信する圧力値の
急減によって開閉弁を閉操作することを特徴とする請求
項１記載の液化ガス供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7259167A JPH0972495A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 液化ガス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7259167A JPH0972495A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 液化ガス供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0972495A true JPH0972495A (ja) | 1997-03-18 |
Family
ID=17330292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7259167A Pending JPH0972495A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 液化ガス供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0972495A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001032997A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-02-06 | L'air Liquide | 制御の特徴を含む、液化ガスの制御された送出のためのシステムおよび方法 |
| JP2003021299A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-24 | Ricoh Elemex Corp | ガス供給監視システム及びガス残量監視装置 |
| JP2003036870A (ja) * | 2001-07-25 | 2003-02-07 | Equos Research Co Ltd | 燃料電池システム及びその制御方法 |
| JP2003042395A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ガス供給方法およびガス供給装置 |
| CN102466133A (zh) * | 2010-11-04 | 2012-05-23 | 大阳日酸株式会社 | 液化气体供给装置和方法 |
| JP2015215080A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-03 | 北海道エア・ウォーター株式会社 | 炭酸ガス発生装置 |
-
1995
- 1995-08-31 JP JP7259167A patent/JPH0972495A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001032997A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-02-06 | L'air Liquide | 制御の特徴を含む、液化ガスの制御された送出のためのシステムおよび方法 |
| JP4611497B2 (ja) * | 1999-07-09 | 2011-01-12 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | 制御の特徴を含む、液化ガスの制御された送出のためのシステムおよび方法 |
| JP2003021299A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-24 | Ricoh Elemex Corp | ガス供給監視システム及びガス残量監視装置 |
| JP2003036870A (ja) * | 2001-07-25 | 2003-02-07 | Equos Research Co Ltd | 燃料電池システム及びその制御方法 |
| JP2003042395A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ガス供給方法およびガス供給装置 |
| CN102466133A (zh) * | 2010-11-04 | 2012-05-23 | 大阳日酸株式会社 | 液化气体供给装置和方法 |
| JP2012112521A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-06-14 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 液化ガス供給装置及び方法 |
| CN102466133B (zh) * | 2010-11-04 | 2015-09-09 | 大阳日酸株式会社 | 液化气体供给方法 |
| JP2015215080A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-03 | 北海道エア・ウォーター株式会社 | 炭酸ガス発生装置 |
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